JP2014500216A - シリコンの方向性凝固のための機器および方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本出願は、2010年11月17日に出願された米国特許出願第12/947,936号に対する優先権の恩典を主張するものであり、なお、当該特許出願は、参照によりその全体が本明細書に組み入れられる。
太陽電池は、太陽光を電気エネルギーに変換するその能力を用いることにより、実施可能なエネルギー源であり得る。シリコンは、太陽電池の製造において使用される半導体材料であるが、しかしながら、シリコン使用の制限が、シリコンをソーラーグレード(SG)へと精製するためのコストに関連している。
現在のエネルギー需要および供給の限界を鑑みて、本発明者らは、冶金級(MG)のシリコン(または、ソーラーグレードより多くの不純物を有する任意の他のシリコン)をソーラーグレードのシリコンへと精製するための、よりコスト効率の良い方法の必要性を認識している。
以下において、開示される主題のある特定の例について詳細に言及し、そのいくつかは、添付の図面に示されている。開示される主題ついては、主には、添付の図面と併せて説明するが、そのような説明は、開示される主題をそれらの図面に限定することを意図するものではないことは理解されたい。逆に、開示される主題は、特許請求の範囲によって定義されるような、開示される本主題の範囲内に含まれ得る代替物、改変物、および等価物のすべてを網羅することが意図される。
本明細書において使用される場合、「導管」は、材料を貫通する管状の穴を意味し、この場合、当該材料は、必ずしも管形状である必要はない。例えば、一塊の材料を貫通する穴は、導管である。当該穴は、直径より大きい長さのものであり得る。導管は、管(パイプなど)を材料中に内包することによって形成され得る。
図1は、本発明の態様を示している。機器100の断面側面図が示されている。機器100は、方向性凝固鋳型110を具備し、これは、少なくとも1種類の耐火性材料を含む。当該少なくとも1種類の耐火性材料は、鋳型内でのシリコンの方向性凝固が可能であるように構成される。機器100は、外側ジャケット130も具備する。さらに、機器100は、少なくとも部分的に方向性凝固鋳型110と外側ジャケット130との間に配置されている断熱層120を具備する。機器100は、シリコンの方向性凝固のために、2回以上使用することができる。
一態様において、本発明は、上部加熱器も含む。当該上部加熱器は、底部鋳型の上部に位置し得る。上部加熱器の底部の形状は、底部鋳型の上部の形状にほぼ適合する。当該上部加熱器は、底部鋳型の上部に対して熱を適用することができ、それにより、その中のシリコンを加熱する。底部鋳型への熱の適用は、当該底部鋳型中のシリコンの溶融を生じ得る。さらに、底部鋳型への熱の適用は、当該底部鋳型中のシリコンの温度制御を可能にし得る。さらに、当該上部加熱器は、加熱することなく底部鋳型の上部に位置してもよく、それにより、底部鋳型の上部からの熱の放出を制御するための断熱層としての役割も果たす。底部鋳型の上部の温度または熱の放出を制御することにより、所望の温度勾配をより容易に達成することができ、これは、より高度に制御された方向性凝固を可能にし得る。最終的に、温度勾配に対する制御は、より効率的な方向性凝固を可能にすることができ、結果として得られるシリコンの純度が最大化される。一態様において、タイプBの熱電対を使用して、炉チャンバー内の温度をモニターすることができる。
上記において説明したように、当該機器における温度勾配を制御することにより、高度に制御された方向性凝固を達成することができる。温度勾配に対する高度な制御および対応する方向性結晶化は、より効果的な方向性凝固を可能にすることができ、それにより、高純度のシリコンを提供する。本発明において、方向性結晶化は、およそ底部から上部へと進行し、したがって、所望の温度勾配は、底部においてより低い温度を有し、上部においてより高い温度を有する。上部加熱器を有する態様において、当該上部加熱器は、方向性凝固鋳型の上部からの熱の入りまたは損失を制御するための方法の1つである。いくつかの態様は、機器の底部からの熱損失を誘起するために、方向性凝固鋳型において伝導性耐火性材料を含み、その一方で、いくつかの態様は、方向性凝固鋳型の側部からの熱損失を防ぐため、および垂直熱勾配の形成を促進しかつ水平熱勾配の形成を抑制するために、方向性凝固鋳型の側部に断熱性材料を含む。本発明を使用するいくつかの方法において、ファンにより、機器の底部に、例えば、外側ジャケットの底部に風を当てることによって、当該機器の底部からの熱損失を制御することができる。本発明を使用するいくつかの方法において、ファンを使用せずに周囲空気の循環を用いて、機器の底部など、当該機器を冷却する。
図4は、底部鋳型420の上部に位置された上部加熱器部分を含む、シリコンの方向性凝固のための機器400の特定の態様を示している。当該上部加熱器は、垂直構造部材403の穴402を介して上部加熱器410に接続された鎖401を具備する。当該鎖401は、ブライドルを形成し、これは、クレーンを使用することによって当該上部加熱器を移動させること可能にし得る。当該機器は、例えば、機器の底部半体をテーブルリフト上に置くことによっても移動させることができ、その一方で、上部加熱器は当該底部半分の上に残される。当該機器は、任意の好適な方式において移動させることができる。垂直構造部材403は、上部加熱器410の外側ジャケットの底端部から、上部加熱器410のステンレス鋼外側ジャケットの上端部へと垂直に延びている。当該垂直構造部材は、上部加熱器外側ジャケットの外側に位置しており、上部加熱器の中心から離れる方向と平行に、当該ジャケットから延びている。当該上部加熱器は、水平構造部材404も具備し、これは、上部加熱器外側ジャケットの外側に位置しており、当該上部加熱器の中心から離れる方向と平行な方向に、当該ジャケットから延びている。当該上部加熱器は、上部加熱器の外側ジャケットの一部である口縁部405も具備する。当該口縁部は、上部加熱器の外側ジャケットから離れるように突き出ている。当該口縁部は、上部加熱器の中心軸に向かって内向きに延びており、任意の好適な程度まで上部加熱器の断熱材を覆っている。あるいは、当該口縁部は、上部加熱器の外側ジャケットの底端部を覆うのに十分なだけ内向きに延び得る。スクリーンボックス406は、上部加熱器の外側ジャケットから突き出ている加熱部材の端部を囲んで、これらの部材の端部中および端部付近に存在し得る熱および電気から使用者を保護する。
本発明は、上記において説明した機器を使用してシリコンを精製する方法を提供し、この場合、当該機器は、当該機器の任意の態様であり得る。シリコンを精製する当該方法は、1つまたは複数のソーラーウェハへと切断するための1つまたは複数のシリコンインゴットを作製する方法であり得る。当該方法は、第一シリコンを提供する工程または受け入れる工程を含む。当該第一シリコンは、任意の好適なグレードの純度のシリコンを含み得る。当該方法は、当該第一シリコンを少なくとも部分的に溶融させる工程を含み得る。当該方法は、当該第一シリコンを完全に溶融させる工程を含み得る。当該第一シリコンを少なくとも部分的に溶融させる工程は、当該第一シリコン完全に溶融させる工程、当該第一シリコンをほとんど完全に溶融させる工程(約99%、95%、90%、85%、または80重量%のいずれかを超える)、または当該第一シリコンを部分的に溶融させる工程(約80重量%以下が溶融している)を含み得る。当該第一シリコンを溶融させる工程は、第一溶融シリコンを提供する。当該方法は、方向性凝固機器を提供する工程または受け入れる工程を含む。当該方向性凝固機器は、上記において説明したものと実質的に同様である。当該方法は、第一溶融シリコンを提供するために第一シリコンを方向性凝固させる工程を含む。方向性凝固において、シリコンは、およそ方向性凝固鋳型の底部において凝固し始め、およそ当該方向性凝固鋳型の上部において凝固し終わる。方向性凝固は、第二シリコンを提供する。第二シリコンにおける最後に固化した部分は、第一シリコンよりも高い濃度の不純物を含む。当該最後に固化した部分以外の第二シリコンの一部は、第一シリコンより低い濃度の不純物を含む。
本発明は、以下の例示的態様を提供する。
少なくとも1種類の耐火性材料を含む方向性凝固鋳型と、
外側ジャケットと、
少なくとも部分的に、当該方向性凝固鋳型と当該外側ジャケットとの間に配置された断熱層と
を備える、シリコンの方向性凝固のための機器。
方向性凝固鋳型、外側ジャケット、および断熱層が、シリコンの方向性凝固のために3回以上使用されるように構成されている、態様1の機器。
方向性凝固鋳型が、少なくとも約1.4メトリックトンのシリコンを受け入れる容量を伴う、態様1〜2のいずれか1つにおける機器。
少なくとも1種類の耐火性材料が、酸化アルミニウム、酸化シリコン、酸化マグネシウム、酸化カルシウム、酸化ジルコニウム、酸化クロム、シリコンカーバイド、グラファイト、またはそれらの組み合わせを含む、態様1〜3のいずれか1つによる機器。
方向性凝固鋳型の1つまたは複数の側壁が、当該方向性凝固鋳型の底部に対して、異なる厚さ、材料組成、または材料量を具備する、態様1〜4のいずれか1つによる機器。
方向性凝固鋳型の1つまたは複数の側壁が稼働面耐火物を含み、当該方向性凝固鋳型の底部が伝導性耐火物を含む、態様1〜5のいずれか1つによる機器。
方向性凝固鋳型の1つまたは複数の側壁が、酸化アルミニウムを含み、当該方向性凝固鋳型の底部が、シリコンカーバイド、グラファイト、またはそれらの組み合わせを含む、態様1〜6のいずれか1つによる機器。
断熱層が、断熱れんが、耐火性材料、断熱ボード、セラミックペーパー、高温ウール、またはそれらの組み合わせを含む、態様1〜7のいずれか1つによる機器。
断熱層の1つまたは複数の側壁が、断熱層の底部に対して、異なる厚さ、材料組成、または材料量を含む、態様1〜8のいずれか1つによる機器。
断熱層が、少なくとも部分的に、方向性凝固鋳型の1つまたは複数の側壁と外側ジャケットの1つまたは複数の側壁との間に配置され、かつ、当該断熱層が、方向性凝固鋳型の底部と外側ジャケットの底部との間には配置されない、態様1〜9のいずれか1つによる機器。
外側ジャケットが、鉄鋼、ステンレス鋼、銅、鋳鉄、耐火性材料、耐火性材料の混合物、またはそれらの組み合わせを含む、態様1〜10のいずれか1つによる機器。
鋳型からの方向性凝固されたシリコンの取り出しを可能にするのに十分な抜き勾配をさらに備える、態様1〜11のいずれか1つによる機器。
外側ジャケットが1つまたの構造部材をさらに備え、当該構造部材が、鉄鋼、ステンレス鋼、銅、鋳鉄、耐火性材料、耐火性材料の混合物、またはそれらの組み合わせを含む、態様1〜12のいずれか1つによる機器。
冷却液が中を通り抜けて方向性凝固鋳型から熱を取り除くことが可能であるようなサイズおよび形状である少なくとも1つの液体導管をさらに備える、態様1〜13のいずれか1つによる機器。
水、エチレングリコール、ジエチレングリコール、プロピレングリコール、油、油の混合物、またはそれらの組み合わせからなる群より選択される冷却液をさらに含む、態様14の機器。
少なくとも1つの液体導管が、銅、鋳鉄、鉄鋼、ステンレス鋼、耐火性材料、耐火性材料の混合物、またはそれらの組み合わせを含む、態様14〜15のいずれか1つによる機器。
少なくとも1つの液体導管が、方向性凝固鋳型、外側ジャケット、または断熱層の底部部分に隣接しているか、またはその内部に位置している、態様14〜16のいずれか1つによる機器。
方向性凝固鋳型が、少なくとも1つの滑り面耐火性材料を含む上層を備え、当該上層が、方向性凝固されたシリコンが方向性凝固鋳型から取り出されるときの損傷から方向性凝固鋳型の残りの部分を保護するように構成されている、態様1〜17のいずれか1つによる機器。
上層が、全体を通して実質的に一定の厚さおよび組成を具備する、態様18の機器。
少なくとも1種類の滑り面耐火物が、溶融二酸化シリコン、二酸化シリコン、酸化アルミニウム、窒化シリコン、グラファイト、またはそれらの組み合わせを含む、態様18〜19のいずれか1つによる機器。
上層が、シリコンの第一方向性凝固とシリコンの第二方向性凝固との間において交換または修復されるように構成されている、態様18〜20のいずれか1つによる機器。
加熱要素または誘導加熱器を含む1つまたは複数の加熱部材
を具備する上部加熱器をさらに備える、態様1〜21のいずれか1つによる機器。
加熱要素が、シリコンカーバイド、二ケイ化モリブデン、グラファイト、またはそれらの組み合わせを含む、態様22による機器。
任意の1つの加熱要素が故障した場合に任意の残りの加熱要素が電気を受け取り熱を生成し続けるよう加熱部材に連結されている、電力を1つまたは複数の加熱部材に供給するように構成された電気システムをさらに備える、態様22〜23のいずれか1つによる機器。
上部加熱器が断熱材をさらに備え、当該断熱材が、断熱れんが、耐火物、耐火物の混合物、断熱ボード、セラミックペーパー、高温ウール、またはそれらの組み合わせを含む、態様22〜24のいずれか1つによる機器。
上部加熱器が外側ジャケットをさらに備え、断熱材が、少なくとも部分的に、1つまたは複数の加熱要素と当該上部加熱器外側ジャケットとの間に配置されている、態様22〜25のいずれか1つによる機器。
上部加熱器外側ジャケットが1つまたは複数の構造部材をさらに備え、当該構造部材が、鉄鋼、ステンレス鋼、銅、鋳鉄、耐火性材料、耐火性材料の混合物、またはそれらの組み合わせを含む、態様26による機器。
上部加熱器外側ジャケットが、ステンレス鋼を含む、態様26〜27のいずれか1つによる機器。
方向性凝固されたシリコンを取り出すのに十分に、第一半体が垂直継ぎ目に沿って第二半体から分離可能であるように構成され、かつ、
機器を形成するために当該第一半体および当該第二半体を接合することができ、かつ当該機器が再使用可能である、
態様1〜28のいずれか1つによる機器。
第一シリコンを提供する工程または受け入れる工程;
第一溶融シリコンを提供するために、当該第一シリコンを少なくとも部分的に溶融させる工程;および
第二シリコンを提供するために、態様1〜29のいずれか1つによる方向性凝固機器において当該第一溶融シリコンを方向性凝固させる工程
を含む、シリコンを精製する方法。
第一シリコンを提供する工程または受け入れる工程;
少なくとも1種類の耐火性材料を含む方向性凝固鋳型と、
外側ジャケットと、
少なくとも部分的に、当該方向性凝固鋳型と当該外側ジャケットとの間に配置された断熱層と
を備える方向性凝固機器を提供する工程または受け入れる工程;
第一溶融シリコンを提供するために、当該第一シリコンを少なくとも部分的に溶融させる工程;および
第二シリコンを提供するために、当該方向性凝固鋳型において当該第一溶融シリコンを方向性凝固させる工程
を含む、シリコンを精製する方法。
前記シリコンを精製する方法が1つまたは複数のソーラーウェハへと切断するための1つまたは複数のシリコンインゴットを作製する方法であり得る、態様31による方法。
加熱要素および誘導加熱器から選択される1つまたは複数の加熱部材を方向性凝固鋳型の上に位置決めすることを含む、加熱器を方向性凝固鋳型の上に位置決めする工程をさらに含む、態様31〜32のいずれか1つによる方法。
第一シリコンを溶融させる工程が、方向性凝固機器の外側において当該第一シリコンを溶融させることを含む、
第一溶融シリコンを方向性凝固機器に加える工程をさらに含む、態様31〜33のいずれか1つによる方法。
第一シリコンを溶融させる工程が、方向性凝固の前に、方向性凝固機器の内側において当該第一シリコンを溶融させることを含む、態様31〜34のいずれか1つによる方法。
第一溶融シリコンを方向性凝固させる工程が、方向性凝固機器の底部から熱を除去する工程を含む、態様31〜35のいずれか1つによる方法。
方向性凝固機器から第二シリコンを取り出す工程をさらに含む、態様31〜36のいずれか1つによる方法。
加熱要素が、シリコンカーバイド、二ケイ化モリブデン、グラファイト、またはそれらの組み合わせを含む、態様33〜37のいずれか1つによる方法。
第一溶融シリコンを方向性凝固させる工程が、
上部加熱器を使用して、シリコンを少なくとも約1450℃まで加熱する工程;および
シリコンの上部部分の温度をおよそ10〜16時間かけておよそ1450℃から1410℃までゆっくりと冷却する工程
を含む、態様33〜38のいずれか1つによる方法。
第一溶融シリコンを方向性凝固させる工程が、
上部加熱器を使用して、シリコンを少なくとも約1450℃まで加熱する工程;および
シリコンの上部の温度をおよそ14時間にわたっておよそ1425℃〜1460℃におよそ一定に維持する工程
を含む、態様33〜39のいずれか1つによる方法。
第一溶融シリコンを方向性凝固させる工程が、
上部加熱器の電源を切る工程;
シリコンをおよそ4〜12時間かけて冷却させる工程;および
当該上部加熱器を方向性凝固鋳型から取り出す工程
を含む、態様33〜40のいずれか1つによる方法。
方向性凝固機器の底部から熱を除去する工程が、1つまたは複数のファンにより当該機器の底部を冷却することを含む、態様36〜41のいずれか1つによる方法。
方向性凝固機器の底部から熱を除去する工程が、冷却液により当該機器の底部を冷却することを含む、態様36〜42のいずれか1つによる方法。
方向性凝固された第二シリコンから、最後に固化した部分の少なくとも一部を除去する工程をさらに含む、態様37〜43のいずれか1つによる方法。
1つまたは複数の側壁が酸化アルミニウムを含み、
底部が、シリコンカーバイド、グラファイト、またはそれらの組み合わせを含む、
耐火性材料を含む方向性凝固鋳型;
方向性凝固されたシリコンが方向性凝固鋳型から取り出される時の損傷から該鋳型の残りの部分を保護するように構成されている、滑り面耐火物を含む上層;
鉄鋼を含む外側ジャケット;
断熱れんが、耐火性材料、耐火性材料の混合物、断熱ボード、セラミックペーパー、高温ウール、またはそれらの混合物を含み、少なくとも部分的に、方向性凝固鋳型の1つまたは複数の側壁と外側ジャケットの1つまたは複数の側壁との間に配置されている、断熱層;
各加熱部材が、シリコンカーバイド、二ケイ化モリブデン、グラファイト、またはそれらの組み合わせを含む加熱要素、または誘導加熱器を含む、1つまたは複数の加熱部材と、
断熱れんが、耐火物、耐火物の混合物、断熱ボード、セラミックペーパー、高温ウール、またはそれらの組み合わせを含む、少なくとも部分的に、1つまたは複数の加熱部材と上部加熱器外側ジャケットとの間に配置された断熱材と、
ステンレス鋼を含む外側ジャケットと
を備える上部加熱器
を備え、前記方向性凝固鋳型、外側ジャケット、および断熱層が、シリコンの方向性凝固のために3回以上使用されるように構成されている、シリコンの方向性凝固のための機器。
シリコンカーバイド耐熱要素を、高温ウール断熱材および鋼鉄シェルで断熱された上部加熱器において使用した。溶融シリコン(1.4トン)を、機器の予熱された耐火物内張底部部分に注いだ。当該機器は、冷却後にシリコンを脱落させることができる抜き勾配を具備する酸化アルミニウム耐火壁を有していた。当該耐火物の壁は、酸化アルミニウム耐火物の薄い滑り面と、次いでSi3N4粉末の第二層とでコーティングされていた。方向性凝固鋳型の底部は、シリコンカーバイド耐火物で作製されており、鉄鋼シェルの外側は、外側シェルの底部へのファン送風によって冷却した。加熱器を、14時間、1450℃に設定し、その後、当該要素の電源を切った。6時間後、上部加熱器部分を取り外し、シリコンを室温まで冷却させた。当該鋳型を反転させた。1.4トンのインゴットを半分に切断し、不純物を除去するために、当該インゴットの上部25%を切除した。粒は、幅が約1〜2cmで高さは3〜10cmであり、Bridgemanプロセスからの標準インゴットと同様に垂直方向にカラムを形成していた。
シリコンカーバイド耐熱要素を、高温ウール断熱材および鉄鋼シェルで断熱された上部加熱器において使用した。溶融シリコン(0.7トン)を、予熱された、当該機器の耐火物内張底部部分に注いだ。当該機器は、シリコンインゴットを取り出すための中間型割り線を有する酸化アルミニウム耐火壁を有していた。当該耐火物の壁は、SiO2耐火物の薄い滑り面でコーティングされていた。方向性凝固鋳型の底部は、グラファイトで作製されており、鉄鋼シェルの外側は、外側シェルの底部へのファン送風により冷却した。当該加熱器を、12時間、1450℃に設定し、その後、当該要素の電源を切った。6時間後、上部加熱器部分を取り外し、シリコンを室温まで冷却させた。鋳型を、型割り線において開けた。0.7トンのインゴットを半分に切断し、不純物を除去するために、当該インゴットの上部15%を切除した。粒は、幅が約1cmで高さは3〜10cmであり、Bridgemanプロセスからの標準インゴットと同様に垂直方向にカラムを形成していた。
[本発明1001]
少なくとも1種類の耐火性材料を含む方向性凝固鋳型と、
外側ジャケットと、
少なくとも部分的に、該方向性凝固鋳型と該外側ジャケットとの間に配置された断熱層と
を備える、シリコンの方向性凝固のための機器。
[本発明1002]
方向性凝固鋳型、外側ジャケット、および断熱層が、シリコンの方向性凝固のために3回以上使用されるように構成されている、本発明1001の機器。
[本発明1003]
方向性凝固鋳型の1つまたは複数の側壁が、該方向性凝固鋳型の底部に対して、異なる厚さ、材料組成、または材料量を具備する、本発明1001〜1002のいずれかの機器。
[本発明1004]
方向性凝固鋳型の1つまたは複数の側壁が、稼働面(hot face)耐火物を含み、該方向性凝固鋳型の底部が、伝導性耐火物を含む、本発明1001〜1003のいずれかの機器。
[本発明1005]
方向性凝固鋳型の1つまたは複数の側壁が、酸化アルミニウムを含み、該方向性凝固鋳型の底部が、シリコンカーバイド、グラファイト、またはそれらの組み合わせを含む、本発明1001〜1004のいずれかの機器。
[本発明1006]
断熱層の1つまたは複数の側壁が、該断熱層の底部に対して、異なる厚さ、材料組成、または材料量を含む、本発明1001〜1005のいずれかの機器。
[本発明1007]
断熱層が、少なくとも部分的に、方向性凝固鋳型の1つまたは複数の側壁と外側ジャケットの1つまたは複数の側壁との間に配置され、かつ、該断熱層が、該方向性凝固鋳型の底部と該外側ジャケットの底部との間には配置されない、本発明1006の機器。
[本発明1008]
外側ジャケットが、鉄鋼、ステンレス鋼、銅、鋳鉄、耐火性材料、もしくは耐火性材料の混合物、またはそれらの組み合わせを含む、本発明1001〜1007のいずれかの機器。
[本発明1009]
冷却液が中を通り抜けて方向性凝固鋳型から熱を取り除くことが可能であるようなサイズおよび形状である少なくとも1つの液体導管をさらに備える、本発明1001〜1008のいずれかの機器。
[本発明1010]
少なくとも1つの液体導管が、方向性凝固鋳型、外側ジャケット、または断熱層の底部部分に隣接しているか、またはその内部に位置している、本発明1009の機器。
[本発明1011]
方向性凝固鋳型が、少なくとも1つの滑り面耐火性材料を含む上層を備え、該上層が、方向性凝固されたシリコンを方向性凝固鋳型から取り出すときの損傷から該方向性凝固鋳型の残りの部分を保護するように構成されている、本発明1001〜1010のいずれかの機器。
[本発明1012]
加熱要素または誘導加熱器を含む1つまたは複数の加熱部材
を具備する上部加熱器をさらに備える、本発明1001〜1011のいずれかの機器。
[本発明1013]
上部加熱器が断熱材をさらに備え、該断熱材が、断熱れんが、耐火物、耐火物の混合物、断熱ボード、セラミックペーパー、高温ウール、またはそれらの組み合わせを含む、本発明1012の機器。
[本発明1014]
上部加熱器が外側ジャケットをさらに備え、断熱材が、少なくとも部分的に、1つまたは複数の加熱要素と該上部加熱器外側ジャケットとの間に配置されている、本発明1013の機器。
[本発明1015]
上部加熱器外側ジャケットが、ステンレス鋼を含む、本発明1014の機器。
[本発明1016]
第一シリコンを提供する工程または受け入れる工程;
少なくとも1種類の耐火性材料を含む方向性凝固鋳型と、
外側ジャケットと、
少なくとも部分的に、該方向性凝固鋳型と該外側ジャケットとの間に配置された断熱層と
を備える方向性凝固機器を提供する工程または受け入れる工程;
第一溶融シリコンを提供するために、該第一シリコンを少なくとも部分的に溶融させる工程;および
第二シリコンを提供するために、該方向性凝固鋳型において該第一溶融シリコンを方向性凝固させる工程
を含む、1つまたは複数のソーラーウェハへと切断するための1つまたは複数のシリコンインゴットを作製する方法。
[本発明1017]
加熱要素および誘導加熱器から選択される1つまたは複数の加熱部材を方向性凝固鋳型の上に位置決めすることを含む、加熱器を方向性凝固鋳型の上に位置決めする工程をさらに含む、本発明1016の方法。
[本発明1018]
第一シリコンを溶融させる工程が、方向性凝固機器の外側において該第一シリコンを溶融させることを含む、
第一溶融シリコンを方向性凝固機器に加える工程をさらに含む、本発明1016〜1017のいずれかの方法。
[本発明1019]
第一シリコンを溶融させる工程が、方向性凝固の前に、方向性凝固機器の内側において該第一シリコンを溶融させることを含む、本発明1016〜1018のいずれかの方法。
[本発明1020]
第一溶融シリコンを方向性凝固させる工程が、方向性凝固機器の底部から熱を除去する工程を含む、本発明1016〜1019のいずれかの方法。
[本発明1021]
方向性凝固機器の底部から熱を除去する工程が、1つまたは複数のファンにより、該機器の底部を冷却することを含む、本発明1020の方法。
[本発明1022]
1つまたは複数の側壁が酸化アルミニウムを含み、
底部が、シリコンカーバイド、グラファイト、またはそれらの組み合わせを含む、
耐火性材料を含む方向性凝固鋳型;
方向性凝固されたシリコンが方向性凝固鋳型から取り出される時の損傷から該鋳型の残りの部分を保護するように構成されている、滑り面耐火物を含む上層;
鉄鋼を含む外側ジャケット;
断熱れんが、耐火性材料、耐火性材料の混合物、断熱ボード、セラミックペーパー、高温ウール、またはそれらの混合物を含み、少なくとも部分的に、方向性凝固鋳型の1つまたは複数の側壁と外側ジャケットの1つまたは複数の側壁との間に配置されている、断熱層;
各加熱部材が、シリコンカーバイド、二ケイ化モリブデン、グラファイト、またはそれらの組み合わせを含む加熱要素、または誘導加熱器を含む、1つまたは複数の加熱部材と、
断熱れんが、耐火物、耐火物の混合物、断熱ボード、セラミックペーパー、高温ウール、またはそれらの組み合わせを含む、少なくとも部分的に、1つまたは複数の加熱部材と上部加熱器外側ジャケットとの間に配置された断熱材と、
ステンレス鋼を含む外側ジャケットと
を備える、上部加熱器
を備え、前記方向性凝固鋳型、外側ジャケット、および断熱層が、シリコンの方向性凝固のために3回以上使用されるように構成されている、シリコンの方向性凝固のための機器。
Claims (22)
- 少なくとも1種類の耐火性材料を含む方向性凝固鋳型と、
外側ジャケットと、
少なくとも部分的に、該方向性凝固鋳型と該外側ジャケットとの間に配置された断熱層と
を備える、シリコンの方向性凝固のための機器。 - 方向性凝固鋳型、外側ジャケット、および断熱層が、シリコンの方向性凝固のために3回以上使用されるように構成されている、請求項1記載の機器。
- 方向性凝固鋳型の1つまたは複数の側壁が、該方向性凝固鋳型の底部に対して、異なる厚さ、材料組成、または材料量を具備する、請求項1〜2のいずれか一項記載の機器。
- 方向性凝固鋳型の1つまたは複数の側壁が、稼働面(hot face)耐火物を含み、該方向性凝固鋳型の底部が、伝導性耐火物を含む、請求項1〜3のいずれか一項記載の機器。
- 方向性凝固鋳型の1つまたは複数の側壁が、酸化アルミニウムを含み、該方向性凝固鋳型の底部が、シリコンカーバイド、グラファイト、またはそれらの組み合わせを含む、請求項1〜4のいずれか一項記載の機器。
- 断熱層の1つまたは複数の側壁が、該断熱層の底部に対して、異なる厚さ、材料組成、または材料量を含む、請求項1〜5のいずれか一項記載の機器。
- 断熱層が、少なくとも部分的に、方向性凝固鋳型の1つまたは複数の側壁と外側ジャケットの1つまたは複数の側壁との間に配置され、かつ、該断熱層が、該方向性凝固鋳型の底部と該外側ジャケットの底部との間には配置されない、請求項6記載の機器。
- 外側ジャケットが、鉄鋼、ステンレス鋼、銅、鋳鉄、耐火性材料、もしくは耐火性材料の混合物、またはそれらの組み合わせを含む、請求項1〜7のいずれか一項記載の機器。
- 冷却液が中を通り抜けて方向性凝固鋳型から熱を取り除くことが可能であるようなサイズおよび形状である少なくとも1つの液体導管をさらに備える、請求項1〜8のいずれか一項記載の機器。
- 少なくとも1つの液体導管が、方向性凝固鋳型、外側ジャケット、または断熱層の底部部分に隣接しているか、またはその内部に位置している、請求項9記載の機器。
- 方向性凝固鋳型が、少なくとも1つの滑り面耐火性材料を含む上層を備え、該上層が、方向性凝固されたシリコンを方向性凝固鋳型から取り出すときの損傷から該方向性凝固鋳型の残りの部分を保護するように構成されている、請求項1〜10のいずれか一項記載の機器。
- 加熱要素または誘導加熱器を含む1つまたは複数の加熱部材
を具備する上部加熱器をさらに備える、請求項1〜11のいずれか一項記載の機器。 - 上部加熱器が断熱材をさらに備え、該断熱材が、断熱れんが、耐火物、耐火物の混合物、断熱ボード、セラミックペーパー、高温ウール、またはそれらの組み合わせを含む、請求項12記載の機器。
- 上部加熱器が外側ジャケットをさらに備え、断熱材が、少なくとも部分的に、1つまたは複数の加熱要素と該上部加熱器外側ジャケットとの間に配置されている、請求項13記載の機器。
- 上部加熱器外側ジャケットが、ステンレス鋼を含む、請求項14記載の機器。
- 第一シリコンを提供する工程または受け入れる工程;
少なくとも1種類の耐火性材料を含む方向性凝固鋳型と、
外側ジャケットと、
少なくとも部分的に、該方向性凝固鋳型と該外側ジャケットとの間に配置された断熱層と
を備える方向性凝固機器を提供する工程または受け入れる工程;
第一溶融シリコンを提供するために、該第一シリコンを少なくとも部分的に溶融させる工程;および
第二シリコンを提供するために、該方向性凝固鋳型において該第一溶融シリコンを方向性凝固させる工程
を含む、1つまたは複数のソーラーウェハへと切断するための1つまたは複数のシリコンインゴットを作製する方法。 - 加熱要素および誘導加熱器から選択される1つまたは複数の加熱部材を方向性凝固鋳型の上に位置決めすることを含む、加熱器を方向性凝固鋳型の上に位置決めする工程をさらに含む、請求項16記載の方法。
- 第一シリコンを溶融させる工程が、方向性凝固機器の外側において該第一シリコンを溶融させることを含む、
第一溶融シリコンを方向性凝固機器に加える工程をさらに含む、請求項16〜17のいずれか一項記載の方法。 - 第一シリコンを溶融させる工程が、方向性凝固の前に、方向性凝固機器の内側において該第一シリコンを溶融させることを含む、請求項16〜18のいずれか一項記載の方法。
- 第一溶融シリコンを方向性凝固させる工程が、方向性凝固機器の底部から熱を除去する工程を含む、請求項16〜19のいずれか一項記載の方法。
- 方向性凝固機器の底部から熱を除去する工程が、1つまたは複数のファンにより、該機器の底部を冷却することを含む、請求項20記載の方法。
- 1つまたは複数の側壁が酸化アルミニウムを含み、
底部が、シリコンカーバイド、グラファイト、またはそれらの組み合わせを含む、
耐火性材料を含む方向性凝固鋳型;
方向性凝固されたシリコンが方向性凝固鋳型から取り出される時の損傷から該鋳型の残りの部分を保護するように構成されている、滑り面耐火物を含む上層;
鉄鋼を含む外側ジャケット;
断熱れんが、耐火性材料、耐火性材料の混合物、断熱ボード、セラミックペーパー、高温ウール、またはそれらの混合物を含み、少なくとも部分的に、方向性凝固鋳型の1つまたは複数の側壁と外側ジャケットの1つまたは複数の側壁との間に配置されている、断熱層;
各加熱部材が、シリコンカーバイド、二ケイ化モリブデン、グラファイト、またはそれらの組み合わせを含む加熱要素、または誘導加熱器を含む、1つまたは複数の加熱部材と、
断熱れんが、耐火物、耐火物の混合物、断熱ボード、セラミックペーパー、高温ウール、またはそれらの組み合わせを含む、少なくとも部分的に、1つまたは複数の加熱部材と上部加熱器外側ジャケットとの間に配置された断熱材と、
ステンレス鋼を含む外側ジャケットと
を備える、上部加熱器
を備え、前記方向性凝固鋳型、外側ジャケット、および断熱層が、シリコンの方向性凝固のために3回以上使用されるように構成されている、シリコンの方向性凝固のための機器。
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