JP2007157928A5 - - Google Patents

Claims (8)

1. 処理体の周縁部を処理液により処理する処理装置であって、
   前記被処理体を載置保持可能なテーブルと、
   前記処理液を保持可能かつ前記被処理体の前記周縁部を挿入可能な処理液保持空間を有する処理液ユニットと、
   前記処理液保持空間に処理液を供給する処理液供給手段と、
   前記処理液ユニットを回転させる回転手段とを有し、
   前記処理液ユニットは、前記処理液保持空間内の処理液の最大液面レベルを規定するオーバーフロードレインポートを有すること
   を特徴とする処理装置。
2. 前記オーバーフロードレインポートは、その一端が前記処理液保持空間における開口寄りの部分に通じていることを特徴とする請求項１記載の処理装置。
3. 前記処理液ユニットは、前記処理液保持空間から前記処理液を排出する処理液排出口を有することを特徴とする請求項１または２に記載の処理装置。
4. 前記処理液排出口に遮断弁を設けたことを特徴とする請求項３記載の処理装置。
5. 前記テーブルを前記処理液ユニットの回転方向とは逆方向に回転させる回転手段をさらに備えたことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１つに記載の処理装置。
6. 前記処理液供給手段は処理液ノズルであって、この処理液ノズルの一端は処理液供給源に接続され、他端は前記処理液供給ユニットの処理液保持空間に向けて延び、かつその先端側は前記処理液ユニットの回転方向側に傾いていることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１つに記載の処理装置。
7. 被処理体の周縁部を処理液により処理する処理方法であって、
   前記処理液が保持可能な処理液保持空間を有する処理液ユニットの回転中心と、前記被処理体の中心とがほぼ同軸となるように、かつ前記周縁部が前記処理液保持空間に挿入されるように前記被処理体を載置保持する工程と、
   前記処理液ユニットを回転させる工程と、
   前記処理液ユニットを回転させた状態で、前記処理液を前記処理液保持空間に供給する工程とを備え、
   前記処理液を前記処理液保持空間に供給する際、前記処理液保持空間内の処理液の最大液面レベルがオーバーフロードレインポートにより規定されるようにしたこと
   を特徴とする処理方法。
8. 前記処理液ユニットを回転させるとともに前記被処理体をその逆方向に回転させる工程を含んでいることを特徴とする請求項７記載の処理方法。