JP2007155562A - 放射線画像検出モジュールおよび放射線画像検出装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】信号処理回路19の配置エリア上に位置する信号処理側ピクセル電極パッド15を、信号処理回路19の配置エリア外の集積回路素子12上に延設される配線20を介して、該集積回路素子12における各ピクセル対応のピクセル信号処理回路21に出力する。
【選択図】 図1
Description
電極パッドを、前記信号処理回路の配置エリア外の前記集積回路素子上に延設さ
れた配線を介し、この集積回路素子における前記信号処理側ピクセル電極対応の
ピクセル信号処理回路に接続するようにしたので、前記集積回路素子上の信号
処理回路および信号引出しパッドが、放射線検出素子の外にはみ出すことがなく、
この集積回路素子と放射線検出素子とから構成される放射線画像検出モジュール
を、基板上において前後左右の4辺方向に隙間なく連設することができる。
12 集積回路素子
13 共通電極
14 ピクセル電極面
15 ピクセル電極パッド
16 集積回路面
17 信号処理側ピクセル電極パッド
18 絶縁層
19 信号処理回路
20 配線
21 ピクセル信号処理回路
22 回路基板
23 外部出力端子
24 位置合わせマーク
25 側面配線
Claims (8)
- 放射線検出信号出力用の複数のピクセル電極パッドを持つ放射線検出素子と、前記ピクセル電極パッドのそれぞれに接続される複数の信号処理側ピクセル電極パッドと該信号処理側ピクセル電極パッドの設置エリアの一部に重なるような信号処理回路および入出力パッドとを持つ集積回路素子と、を備える放射線画像検出モジュールであって、前記信号処理回路の設置エリア上に位置する前記信号処理側ピクセル電極パッドは、前記信号処理回路の設置エリア外の前記集積回路素子上に延設される配線を介して、該集積回路素子における前記信号処理側ピクセル電極パッド対応のピクセル信号処理回路に接続される構成としたことを特徴とする放射線画像検出モジュール。
- 前記複数の信号処理側ピクセル電極パッドが、集積回路素子上に等間隔に配列されていることを特徴とする請求項1に記載の放射線画像検出モジュール。
- 前記信号処理回路が、集積回路素子で検出されたピクセルごとの放射線検出信号を多重化するマルチプレクサを含むことを特徴とする請求項1に記載の放射線画像検出モジュール。
- 前記集積回路素子が、前記放射線検出素子の大きさと同等もしくは小さいことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載の放射線画像検出モジュール。
- 前記集積回路素子の裏面に、該集積回路素子が設置される回路基板との位置決めのための位置合わせマークが設けられていることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれかに記載の放射線画像検出モジュール。
- 前記位置合わせマークが、前記集積回路素子の裏面に形成された電極と同じ材料で形成されていることを特徴とする請求項5に記載の放射線画像検出モジュール。
- 請求項1から請求項6のいずれかに記載の放射線画像検出モジュールが、2つ以上隙間無く回路基板上に配置されていることを特徴とする放射線画像検出装置。
- 請求項1から請求項6のいずれかに記載の放射線画像検出モジュールが、4方向へ配置されていることを特徴とする放射線画像検出装置。
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