JP2007154307A - 無電解銅めっき浴、無電解銅めっき方法及びulsi銅配線形成方法 - Google Patents
無電解銅めっき浴、無電解銅めっき方法及びulsi銅配線形成方法 Download PDFInfo
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Abstract
【効果】ボイド等の欠陥の形成を可及的に防止しつつ、トレンチの効率的な埋め込みが可能であり、更に、微細なトレンチへの均一な付着が難しい乾式法によるシード層形成をせずに、全工程を湿式工程で構成して、より均一かつ確実にトレンチの埋め込みめっきを施すことが可能である。
【選択図】なし
Description
[1] (A)水溶性銅塩、(B)還元剤、(C)錯化剤、(D)めっき析出抑制剤としてポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール又はエチレングリコール−プロピレングリコール共重合体、及び(E)めっき析出促進剤として8−ヒドロキシ−7−ヨード−5−キノリンスルホン酸を含有し、Naイオンを含有しないことを特徴とする無電解銅めっき浴。
[2] 上記(B)成分の還元剤がグリオキシル酸又はその塩であることを特徴とする[1]記載の無電解銅めっき浴。
[3] [1]又は[2]記載の無電解銅めっき浴を用いることを特徴とする無電解銅めっき方法。
[4] [1]又は[2]記載の無電解銅めっき浴を用いた無電解銅めっきにより、トレンチに銅めっきを埋め込んで銅配線を形成することを特徴とするULSI銅配線形成方法。
[5] (A)水溶性銅塩、(B)還元剤としてグリオキシル酸又はその塩、(C)錯化剤、及び(D)めっき析出抑制剤としてポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール又はエチレングリコール−プロピレングリコール共重合体を含有し、Naイオンを含有しないことを特徴とする無電解銅めっき浴。
[6] [5]記載の無電解銅めっき浴を用いることを特徴とする無電解銅めっき方法。
[7] [5]記載の無電解銅めっき浴を用いた無電解銅めっきにより、トレンチに銅めっきを埋め込んで銅配線を形成することを特徴とするULSI銅配線形成方法。
[8] 上記トレンチの幅が100〜500nm、アスペクト比(深さ/幅)が0.5〜3であることを特徴とする[7]記載のULSI銅配線形成方法。
まず、本発明の第1の発明の無電解銅めっき浴について説明する。
本発明の第2の発明において、無電解銅めっき浴は、(A)水溶性銅塩、(B)還元剤としてグリオキシル酸又はその塩、(C)錯化剤、及び(D)めっき析出抑制剤としてポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール又はエチレングリコール−プロピレングリコール共重合体を含有する。
表1に示される無電解銅めっき浴を用い、Cu/Ta/SiO2/Si基板上に形成された幅200〜600nm、アスペクト比2.5〜0.6のトレンチをめっきにより埋め込み、めっき後のトレンチの断面を電界放射型走査電子顕微鏡(FE−SEM)で観察した。SEM像を図1に示す。なお、図示したトレンチの幅は200nm、アスペクト比は2.5である(以下の図2〜4のSEM像において同じ)。また、この無電解銅めっき浴を用い、銅箔上にめっき皮膜を形成し、重量法によりめっき析出速度を測定したところ、3.5μm・hr-1であった。
HIQSA及びPEGを用いなかった以外は、実施例1と同様にしてトレンチを埋め込み、めっき後のトレンチの断面を観察した。SEM像を図2に示す。また、実施例1と同様にめっき析出速度を測定したところ、3.3μm・hr-1であった。
PEGを用いなかった以外は、実施例1と同様にしてトレンチを埋め込み、めっき後のトレンチの断面を観察した。SEM像を図3に示す。また、実施例1と同様にめっき析出速度を測定したところ、4.0μm・hr-1であった。
グリオキシル酸の代わりにホルムアルデヒドを0.04mol/Lの濃度で用い、pHを水酸化ナトリウムで調整した以外は、実施例1と同様にしてトレンチを埋め込み、めっき後のトレンチの断面を観察した。SEM像を図4に示す。また、実施例1と同様にめっき析出速度を測定したところ、5.8μm・hr-1であった。
表2に示される無電解銅めっき浴を用い、Cu/Ta/SiO2/Si基板上に形成された幅200〜600nm、アスペクト比2.5〜0.6のトレンチをめっきにより埋め込み、めっき後のトレンチの断面を電界放射型走査電子顕微鏡(FE−SEM)で観察した。SEM像を図5に示す。なお、図示したトレンチの幅は100nm、アスペクト比は3である(以下の図6のSEM像において同じ)。また、この無電解銅めっき浴を用い、銅箔上にめっき皮膜を形成し、重量法によりめっき析出速度を測定したところ、10.6μm・hr-1であった。
表3に示される無電解銅めっき浴を用い、Cu/Ta/SiO2/Si基板上に形成された幅100〜500nm、アスペクト比0.5〜3のトレンチをめっきにより埋め込み、めっき後のトレンチの断面を電界放射型走査電子顕微鏡(FE−SEM)で観察した。SEM像を図6に示す。また、この無電解銅めっき浴を用い、銅箔上にめっき皮膜を形成し、重量法によりめっき析出速度を測定したところ、1.1μm・hr-1であった。
Claims (8)
- (A)水溶性銅塩、(B)還元剤、(C)錯化剤、(D)めっき析出抑制剤としてポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール又はエチレングリコール−プロピレングリコール共重合体、及び(E)めっき析出促進剤として8−ヒドロキシ−7−ヨード−5−キノリンスルホン酸を含有し、Naイオンを含有しないことを特徴とする無電解銅めっき浴。
- 上記(B)成分の還元剤がグリオキシル酸又はその塩であることを特徴とする請求項1記載の無電解銅めっき浴。
- 請求項1又は2記載の無電解銅めっき浴を用いることを特徴とする無電解銅めっき方法。
- 請求項1又は2記載の無電解銅めっき浴を用いた無電解銅めっきにより、トレンチに銅めっきを埋め込んで銅配線を形成することを特徴とするULSI銅配線形成方法。
- (A)水溶性銅塩、(B)還元剤としてグリオキシル酸又はその塩、(C)錯化剤、及び(D)めっき析出抑制剤としてポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール又はエチレングリコール−プロピレングリコール共重合体を含有し、Naイオンを含有しないことを特徴とする無電解銅めっき浴。
- 請求項5記載の無電解銅めっき浴を用いることを特徴とする無電解銅めっき方法。
- 請求項5記載の無電解銅めっき浴を用いた無電解銅めっきにより、トレンチに銅めっきを埋め込んで銅配線を形成することを特徴とするULSI銅配線形成方法。
- 上記トレンチの幅が50〜500nm、アスペクト比(深さ/幅)が0.5〜3であることを特徴とする請求項7記載のULSI銅配線形成方法。
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