JP2007147941A - フォーカスモニターマークを有するフォトマスク及び転写シミュレーション方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】リソグラフィシュミレーション顕微鏡の測定ステージに、ジャストフォーカスで正確な透過光強度のコントラストが得られるフォーカス制御システム80をセットするだけで、フォーカス位置が制御可能なフォーカスモニターマークが配置されたフォトマスクのメインパターンをジャストフォーカスで正確な透過光強度のコントラストが得られる転写シュミレーションを行うことができる。
【選択図】図3
Description
このような位相シフトマスクを用いる場合、光の位相と透過率を制御することにより、解像度および転写のマージン(裕度)が向上する。
まず、石英基板上に遮光膜(半透明膜)が形成されたブランクスにレジストを塗布したレジスト塗布ブランクスにEB描画装置を用いてパターン描画を行い、専用の現像液で現像処理してレジストパターンを形成する(図6(a)参照)。
さらに、検出された黒欠陥はFIB(Focused Ion Beam)で除去し、検出された白欠陥は遮光物質を体積する等の方法で孔埋めして欠陥修正し、欠陥のないフォトマスクを作成する(図6(f)参照)。
される。
ここで、透過光強度のコントラストは、コントラスト=(最大透過光強度一最小透過光強度)/(最大透過光強度+最小透過光強度)で定義している。
その一つの問題は、コントラストのピークとジャストフォーカスのずれで、パターンによっては、透過光強度のコントラストがピークに達するように対物レンズの高さ位置を調整しても、そのときにジャストフォーカスにならないようなパターンが存在する。
というのは、透過光強度のコントラストがピークになるときの対物レンズの高さ位置と、ジャストフォーカスのときの対物レンズの高さ位置が一致しないようなパターンが存在する。
したがって、ステージを動かした後は、毎回、測定パターンのコントラストよりジャストフォーカスを求める必要がある。
ョン方法を提供することを目的とする。
(a)リソグラフィシミュレーション顕微鏡にレベリングステージからなるフォーカス制御システムを付加する工程。
(b)請求項1に記載のフォーカスモニターマークを有するフォトマスクを前記フォーカス制御システムのレベリングステージに載置、保持する工程。
(c)フォーカスモニターマークを用いて、透過光強度のコントラストがピークになるジャストフォーカスを求め、そのジャストフォーカスを示すフォーカスモニターマークの高さ位置を前記フォーカス制御システムの制御手段に保存する工程。
(d)リソグラフイシミュレーション顕微鏡の対物レンズをフォトマスクのメインパターン内に設定された測定対象パターンにXYステージにて移動し、前記フォーカス制御システムのレベリングステージにて、測定対象パターンの高さ位置を、フォーカスモニターマークの高さ位置と同じにする工程。
(e)リソグラフィシミュレーション顕微鏡にて測定対象パターンのリソグラフィシミュレーションを行う工程。
(f)(d)及び(e)の工程を必要回数繰り返す工程。
また、本発明のフォトマスクの転写シミュレーション方法によれば、リソグラフィシミュレーション顕微鏡の測定ステージに、ジャストフォーカスで正確な透過光強度のコントラストが得られるフォーカス制御システムをセットするだけで、フォトマスク面内の任意の箇所での、ジャストフォーカスで正確な透過光強度のコントラストを得ることができる。
図1は、本発明のフォーカスモニターマークを有するフォトマスクの一実施例を示す模式平面図である。
フォーカスモニターマークを有するフォトマスク30は、図1に示すように、透明基板上にメインパターン10が形成されてなる転写有効領域11とパターンが形成されていない転写有効領域外12とが設けてあり、前記転写有効領域外12にフォーカス位置が制御可能なフォーカスモニターマーク20を配置したものである。
フォーカスモニターマーク20は、遮光部22と透明基板を掘り込まない開口部21の繰り返しパターンであり、露光条件を変化させても、コントラストのピークがジャストフォ
ーカスになるパターンである。
制御手段70は、リソグラフィシミュレーション顕微鏡の制御部分と接続されて、一連の動作制御が行われる。
まず、図1に示すような、石英基板からなる透明基板上にメインパターン10が形成されてなる転写有効領域11とパターンが形成されていない転写有効領域外12とが設けてあり、前記転写有効領域外12にフォーカス位置が制御可能なフォーカスモニターマーク20が配置されたフォトマスク30を準備する。
メインパターン10は、レベンソン位相シフトマスクやCPLと呼ばれる開口部の透明基板を掘り込むことを特徴とするマスクパターンであり、リソグラフイシミュレーション顕微鏡の透過光強度のコントラストがピークに達するように、リソグラフイシミュレーション顕微鏡の対物レンズの高さ位置を調整しても、そのときにジャストフォーカスにならない。
フォーカスモニターマークは、リソグラフイシミュレーション顕微鏡の透過光強度のコントラストがピークに達するときのリソグラフイシミュレーション顕微鏡の対物レンズの高さ位置と、ジャストフォーカスにおけるリソグラフイシミュレーション顕微鏡の対物レンズの高さ位置が一致する。
フォーカス制御システム80は、レベリングステージ40と、光源50と、フォーカスセンサー60と、制御手段70とで構成されている。
また、光源50は、可視〜赤外の光線を出射できるようになっている。
フォーカスセンサー60は、フォトマスク表面の高さ位置、傾きを測定する機能を有し、光源10から出射した光は、リソグラフイシミュレーション顕微鏡の対物レンズとフォトマスク30の間を通り、フォトマスクの表面にて反射し、フォーカスセンサーは反射光を受光して、フォトマスク表面の高さ位置、傾きを測定し、その信号は制御手段70に送ら
れ、レベリングステージ40にてフォトマスク30の高さ位置、傾きが調整される。
さらに、光源10から出射した光はフォトマスク30のフォーカスモニターマーク20の表面で反射し、フォーカスセンサー60に取り込まれる。
一方、リソグラフイシミュレーション顕微鏡では、フォーカスモニターマーク20の透過光強度のコントラストがピークになるジャストフォーカスの高さ位置、傾きがレベリングステージ40にて調整され、フォトマスク30のフォーカスモニターマーク20がジャストフォーカスになる高さ位置データが制御手段70に保存される。
メインパターンの転写シミュレーション結果を図7(a)及び(b)に示す。
コントラストのピークがジャストフォーカスにならないパターンやコントラストがブロードになり正確なピークを検出することができないパターンを含むレベンソン位相シフトマスクやCPLでも、ジャストフォーカスを正確に検出することができる。
11……転写有効領域
12……転写有効領域外
20……フォーカスモニターマーク
30……フォトマスク
40……レベリングステージ
50……光源
60……フォーカスセンサー
70……制御手段
80……フォーカス制御システム
Claims (2)
- 透明基板上にメインパターンが形成されてなる転写有効領域とパターンが形成されていない転写有効領域外とが設けられたフォトマスクであって、前記パターンが形成されていない転写有効領域外にフォーカス位置が制御可能なフォーカスモニターマークを配置したことを特徴とするフォーカスモニターマークを有するフォトマスク。
- 少なくとも以下の工程を具備することを特徴とする請求項1に記載のフォーカスモニターマークを有するフォトマスクの転写シュミレーション方法。
(a)リソグラフィシュミレーション顕微鏡にレベリングステージからなるフォーカス制御システムを付加する工程。
(b)請求項1に記載のフォーカスモニターマークを有するフォトマスクを前記フォーカス制御システムのレベリングステージに載置、保持する工程。
(c)フォーカスモニターマークを用いて、透過光強度のコントラストがピークになるジャストフォーカスを求め、そのジャストフォーカスを示すフォーカスモニターマークの高さ位置を前記フォーカス制御システムの制御手段に保存する工程。
(d)リソグラフイシミュレーション顕微鏡の対物レンズをフォトマスクのメインパターン内に設定された測定対象パターンにXYステージにて移動し、前記フォーカス制御システムのレベリングステージにて、測定対象パターンの高さ位置を、フォーカスモニターマークの高さ位置と同じにする工程。
(e)リソグラフィシュミレーション顕微鏡にて測定対象パターンのリソグラフィシュミレーションを行う工程。
(f)(d)及び(e)の工程を必要回数繰り返す工程。
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