JP2007141807A - レーザ熱転写装置及びこれを利用したレーザ熱転写法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】レーザオシレータを利用してドナーフィルムの転写層を有機電界発光素子の発光層で形成するレーザ熱転写装置において、前記レーザ熱転写装置内に磁性体が具備されたアクセプタ基板が挿入され、前記アクセプタ基板上部と所定間隔離隔されて磁石を含むことを特徴とする密着フレームが具備される。
【選択図】図2
Description
図1は、従来の技術によるレーザ熱転写装置の断面図である。
また、このような従来の技術は、有機発光素子を製作する他の工程が真空チャンバ内で進行されるのとは違って大気中で行われることにより、酸素及び水気などによって有機発光素子の信頼性、寿命及び素子特性の低下を惹起させる。
しかし、有機発光素子の転写工程を真空チャンバ内で遂行する場合、有機発光表示素子の信頼性、寿命及び素子特性を向上することはできるが、転写層と基板との間に微細な空隙(孔)または異物などが発生されても真空ポンプまたは真空を利用したラミネーティング法を利用する工程を遂行することができず、転写層と基板の間の密着特性はさらに低下されるという問題点を持つ。
また、前記永久磁石は少なくとも一本の棒または円筒状に形成される。
図2は、本発明によるレーザ熱転写装置の斜視図である。
前記レーザオシレータ220は、前記ドナーフィルム241上部に位置される。前記レーザオシレータ220は、チャンバの外部または内部に設置されうるし、前記レーザオシレータ220から発生するレーザがドナーフィルム上部から照らされることができるように設置されることが好ましい。また、前記レーザオシレータ220の概略的な構成図である図3によれば、本実施例でレーザオシレータは、CWND:YAGレーザ(1604nm)を使って、2個のガルバノメートルスキャナ221、222を具備し、スキャンレンズ223及びシリンダレンズ224を具備するが、これに制限されるのではない。前記レーザオシレータ220によって発生されたレーザビームは、前記プロジェクションレンズ224を通過して前記アクセプタ基板250上にラミネーションされた前記ドナーフィルム241上部から照射される。
220 レーザオシレータ
230 密着フレームトレイ
240 ドナーフィルムトレイ
250 アクセプタ基板
260 基板ステージ
Claims (15)
- レーザオシレータを利用してドナーフィルムの転写層を有機電界発光素子の発光層で形成するレーザ熱転写装置において、
前記レーザ熱転写装置内に磁性体が具備されたアクセプタ基板が挿入され、
前記アクセプタ基板上部と所定間隔離隔されて磁石を含むことを特徴とする密着フレームが具備されるレーザ熱転写装置。 - 前記磁石と前記磁性体との間には磁気力が作用することを特徴とする請求項1に記載のレーザ熱転写装置。
- 前記磁石は、
前記密着フレームの上下部または前記密着フレームの内部に形成されることを特徴とする請求項1に記載のレーザ熱転写装置。 - 前記磁石は、
前記密着フレーム自体であることを特徴とする請求項1に記載のレーザ熱転写装置。 - 前記密着フレームは、
前記ドナーフィルムの転写される部分に対応するパターンの開口部が形成されることを特徴とする請求項1に記載のレーザ熱転写装置。 - 前記磁石は、
電磁石または永久磁石からなることを特徴とする請求項1に記載のレーザ熱転写装置。 - 前記電磁石は、
電圧を印加するための電気配線が含まれることを特徴とする請求項6に記載のレーザ熱転写装置。 - 前記永久磁石は、
少なくとも一本の棒または円筒状に形成されることを特徴とする請求項6に記載のレーザ熱転写装置。 - 前記永久磁石は、
磁性ナノパーティクルからなることを特徴とする請求項6に記載のレーザ熱転写装置。 - 前記磁性ナノパーティクルは、
スピンコーティング、電子ビーム蒸着またはインクジェット工程を利用することを特徴とする請求項9に記載のレーザ熱転写装置。 - 前記磁性体は、
鉄、ニッケル、クロムまたは磁性を持つ有機物、無機物及び磁性ナノ粒子の中の少なくとも一つの物質で形成されることを特徴とする請求項1に記載のレーザ熱転写装置。 - 前記磁性体は、
前記アクセプタ基板の少なくとも一面に形成されることを特徴とする請求項11に記載のレーザ熱転写装置。 - 基板ステージは、
所定数の貫通ホールを通じて前記アクセプタ基板を上部または下部に移動させる基板支持台をさらに具備することを特徴とする請求項1に記載のレーザ熱転写装置。 - チャンバ内の基板ステージ上に少なくとも一面に磁性体を具備するアクセプタ基板を位置させる段階と、
前記アクセプタ基板の上部に少なくとも基材基板、光−熱変換層及び転写層が具備されたドナーフィルムを位置させる段階と、
前記ドナーフィルム上部に磁石が具備された密着フレームを位置させる段階と、
前記ドナーフィルムを前記アクセプタ基板上にラミネーションする段階と、
前記ドナーフィルム上にレーザビームを照射して前記ドナーフィルムの転写層の一部を前記アクセプタ基板上に転写させる段階と、
を含むことを特徴とするレーザ熱転写装置を利用したレーザ熱転写法。 - 前記チャンバは、
真空チャンバであることを特徴とする請求項14に記載のレーザ熱転写装置を利用したレーザ熱転写法。
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