KR100700835B1 - 레이저 열 전사법 및 도너필름을 이용한 유기 전계 발광소자의 제조방법 - Google Patents

레이저 열 전사법 및 도너필름을 이용한 유기 전계 발광소자의 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 억셉터 기판과 도너필름의 전사층 사이에 밀착특성을 향상시킬 수 있는 레이저 열 전사법 및 및 도너필름을 이용한 유기 전계 발광 소자의 제조방법에 관한 것이다.
본 발명의 레이저 열 전사법은 챔버 내의 기판 스테이지 상에 억셉터 기판을 위치시키는 단계와, 상기 억셉터 기판의 적어도 일면에 전자석을 위치시키는 단계와, 상기 억셉터 기판 타면에 적어도 광-열 변환층, 전사층 및 자성층이 구비된 도너필름을 위치시키는 단계와, 상기 도너필름을 상기 억셉터 기판 상에 라미네이션 하는 단계와, 상기 도너필름 상에 레이저빔을 조사하여 상기 전사층의 적어도 일부를 억셉터 기판 상에 전사시키는 단계를 포함한다.
이에 따라, 본 발명에 따른 레이저 열 전사법은 억셉터 기판과 도너필름의 전사층 사이에 밀착특성을 향상시킬 수 있으며, 더 나아가 유기 발광 소자의 수명, 수율 및 신뢰도를 향상시킬 수 있다.
자석, 자성 나노 파티클, 전자석, 진공

Description

레이저 열 전사법 및 도너필름을 이용한 유기 전계 발광 소자의 제조방법{Laser Induced Thermal Imaging Method and the fabricating method of Organic Light Emitting Diode using the Donor Film}
도 1은 종래 기술에 따른 레이저 열 전사법을 설명하기 위한 공정 단면도.
도 2a 내지 도 2f는 본 발명에 따른 레이저 열 전사법을 설명하기 위한 공정 단면도.
도 3은 레이저 열 전사법을 도시하는 블럭도.
도 4는 본 발명에 따른 레이저 전사용 도너 필름 구조의 제1 실시 예를 나타내는 단면도.
도 5는 본 발명에 따른 레이저 전사용 도너 필름 구조의 제2 실시 예를 나타내는 단면도.
도 6은 본 발명에 따른 레이저 전사용 도너 필름 구조의 제3 실시 예를 나타내는 단면도.
도 7a 내지 도 7e는 본 발명의 도너필름을 이용한 유기 전계 발광 소자의 제조공정을 순차적으로 도시한 단면도.
♣ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ♣
210 : 도너필름 지지대 220 : 기판 지지대
230 : 기판 스테이지 260 : 전자석
270 : 억셉터 기판 280 : 도너필름
290 : 레이저 발진기
본 발명은 레이저 열 전사법 및 도너필름을 이용한 유기 전계 발광 소자의 제조방법에 관한 것으로서, 보다 구체적으로 전자석이 구비된 억셉터 기판과, 자성층을 포함하는 도너필름을 형성함으로써, 억셉터 기판과 전사층의 밀착특성을 향상시킬 수 있는 레이저 열 전사법 및 도너필름을 이용한 유기 전계 발광 소자의 제조방법이다.
일반적으로, 레이저 열 전사법(LITI: Laser Induced Thermal Imaging)을 수행하기 위해서는 적어도 레이저빔, 억셉터 기판 및 도너필름을 필요로 한다. 도너필름은 기재기판, 광-열 변환층 및 전사층을 포함한다.
레이저 열 전사 공정에 있어서는 전사층을 억셉터 기판에 대향 되도록 하여 도너필름을 억셉터 기판 상에 라미네이션한 후, 기재기판 상에 레이저빔을 조사한다. 기재기판 상에 조사된 레이저빔은 광-열 변환층에 흡수되어 열에너지로 변환되고, 열에너지에 의해 전사층은 억셉터 기판 상으로 전사된다.
이하에서는 도면을 참조하여 종래 기술에 따른 레이저 열 전사법을 구체적으 로 설명한다.
도 1은 종래 기술에 따른 레이저 열 전사 장치의 단면도이다.
도 1을 참고하면, 상기 챔버(100) 내의 하부에 스테이지(110)를 마련한다. 상기 스테이지(110)는 억셉터 기판(140)과 도너필름(160)을 각각 정렬되게 하기 위해 제1 정열홈(170)과 제2 정열홈(180)을 형성한다. 상기 제2 정렬홈(180)은 상기 제1 정열홈(170)과 단차를 이루며 형성된다. 상기 스테이지(110) 상에 형성된 제1 정렬홈(170)의 형상을 따라 상기 억셉터 기판(140)이 위치되고, 상기 스테이지(110) 상에 형성된 제2 정렬홈(180)의 형상을 따라 상기 도너필름(160)이 위치된다.
상기 억셉터 기판(140) 상에 상기 도너필름(160)이 라미네이션된 후, 레이저 발진기(190)를 이용하여 상기 도너필름(160)의 상부에 레이저를 조사하여, 상기 도너필름(160)의 전사층(미도시)을 상기 억셉터 기판(140) 상에 전사한다.
그러나 상기 도너필름(160)의 전사층(미도시)과 상기 억셉터 기판(140) 사이에 공극또는 이물질(150) 등이 포함될 수 있다. 따라서, 제1 정열홈(170) 및 제2 정렬홈(180) 하부영역의 일구간에 호스를 연결하여 진공펌프(130)로 산소 또는 이물질 등을 빨아들여야 한다.
또한, 이러한 종래기술은 유기 발광 소자를 제작하는 다른 공정이 진공챔버 내에서 진행되는 것과는 달리 대기 중에서 이루어짐으로써, 산소 및 수분 등에 의해 유기 발광 소자의 신뢰성, 수명 및 소자특성의 저하를 야기시킨다.
이러한 문제점들을 해소하고자, 유기 발광 소자의 전사 공정을 진공챔버 내 에서 수행하도록 한다.
그러나, 유기 발광 소자의 전사 공정을 진공챔버 내에서 수행할 경우, 유기 발광 표시 소자의 신뢰성, 수명 및 소자특성이 향상될 수 있으나, 전사층과 억셉터 기판 사이에 미세한 공극(구멍) 또는 이물질 등이 발생되어도 진공펌프 또는 진공을 이용한 라미네이팅법을 이용하는 공정을 수행할 수가 없어, 전사층과 억셉터 기판 사이의 밀착특성은 더욱 저하되는 문제점을 갖는다.
따라서, 본 발명은 전술한 종래의 문제점들을 해소하기 위해 도출된 발명으로, 진공챔버 내에서 억셉터 기판 일면에 형성되는 전자석과 자성층을 포함하는 도너필름을 형성함으로써 억셉터 기판과 전사층의 밀착특성을 향상시킬 수 있는 레이저 열 전사법 및 및 도너필름을 이용한 유기 전계 발광 소자의 제조방법을 제공함에 그 목적이 있다.
전술한 목적을 달성하기 위한, 본 발명의 일 측면에 따르면, 본 발명의 레이저 열 전사 도너필름을 이용한 레이저 열 전사법은 챔버 내의 기판 스테이지 상에 억셉터 기판을 위치시키는 단계와, 상기 억셉터 기판의 적어도 일면에 전자석을 형성하는 단계와, 상기 억셉터 기판 타면에 적어도 광-열 변환층, 전사층 및 자성층이 구비된 도너필름을 위치시키는 단계와, 상기 도너필름을 상기 억셉터 기판 상에 라미네이션 하는 단계와, 상기 도너필름 상에 레이저빔을 조사하여 상기 전사층의 적어도 일부를 억셉터 기판 상에 전사시키는 단계를 포함한다.
바람직하게는, 상기 자성층과 상기 전자석 사이에 자기력이 작용하며, 상기 전자석은 전압을 인가하기 위한 전기배선이 포함되며, 상기 자성물질은 철, 니켈, 크롬 또는 자성을 갖는 유기물, 자성을 갖는 무기물 중 적어도 하나로 이루어진다.
본 발명의 또 다른 일 측면에 따르면, 본 발명의 도너필름을 이용한 유기 전계 발광 소자의 제조방법은 억셉터 기판의 적어도 일면에 전자석을 형성하는 단계와, 상기 억셉터 기판 상에 제1 전극층을 형성하는 단계와, 상기 제1 전극층 상에 형성되며, 상기 제1 전극층의 일 영역을 부분적으로 노출되도록 개구부를 갖는 화소정의막을 형성하는 단계와, 상기 제1 전극층과 상기 화소정의막 상에 레이저 열 전사법에 의해 자성층을 포함하는 도너필름의 전사층이 전사되는 단계와, 상기 전사층과 상기 화소정의막 상에 제2 전극층을 형성하는 단계를 포함한다.
이하에서는, 본 발명의 실시 예들을 도시한 도면을 참조하여, 본 발명을 보다 구체적으로 설명한다.
도 2a 내지 도 2f는 본 발명에 따른 레이저 열 전사법을 설명하기 위한 공정 단면도이고, 도 3은 레이저 열 전사법을 도시하는 블럭도이다.
도 2a를 참조하면, 본 레이저 열 전사법을 설명하기 위해서는, 우선, 이송 챔버(200b) 내에 로봇팔(240)과 엔드이펙터(end-effector:250)를 로딩한다. 상기 이송 챔버(200b)는 진공 분위기를 유지하는 것이 바람직하다. 상기 엔드이펙터(end-effector:250) 상에 전자석(260)과 상기 억셉터 기판(270)을 안착시킨다. (S1참조)
도 2b를 참조하면, 상기 엔드이펙터(end-effector:250) 상에 안착된 상기 전 자석(260)과 상기 억셉터 기판(270)을 상기 공정챔버(200a) 내로 이송시키기 위해, 상기 엔드이펙터(end-effector:250)를 상기 공정챔버(200a) 내로 이송시킨다. 이 후, 상기 엔드이펙터(end-effector:250) 상에 안착 된 상기 전자석(260)과 상기 기판70)은 상기 엔드이펙터(end-effector:250) 내부에 형성된 소정수의 관통 홀(미도시)을 통해 상부 방향으로 상승된 상기 기판 지지대(220) 상에 안착된다. 상기 기판 지지대(220)는 상기 기판 스테이지(230)의 관통 홀을 통해 상부 또는 하부로 이동할 수 있다. 상기 전자석(260)과 억셉터 기판(270)을 상기 기판 스테이지(230) 상에 안착시키기 위해, 상기 기판 지지대(220)를 하부 방향으로 하강시켜 상기 전자석(260)과 상기 억셉터 기판(270)을 상기 기판 스테이지(230) 상에 안착시킨다. 이 때 상기 공정챔버(200a)는 진공 분위기를 유지하는 것이 바람직하다. (S2참조)
도 2c를 참조하면, 상기 엔드이펙터(end-effector:250) 상에 안착 된 상기 전자석(260)을 및 상기 억셉터 기판(270)을 상기 기판 지지대(220) 상에 안착시킨 후, 상기 엔드이펙터(end-effector:250)를 상기 이송 챔버(200b) 내로 이송시킨다. 이 후, 상기 이송 챔버(200b) 내에 위치한 상기 엔드이펙터(end-effector:250) 상에 도너필름(280)이 구비된 필름 트레이(280a)을 위치시킨다. 상기 필름 트레이(280a)의 중심에는 개구부가 형성되어 있고, 상기 개구부에는 상기 도너필름(280)이 개재되어있다. 또한, 상기 도너필름(280)은 기재기판, 자성층, 광-열 변환층, 중간층 및 전사층이 포함된다.
도 2d를 참조하면, 상기 엔드이펙터(end-effector:250) 상에 안착 된 상기 도너필름(280)이 구비된 상기 필름 트레이(280a)를 상기 공정챔버(200a) 내로 이동 시킨다. 상기 공정챔버(200a) 내로 이동된 상기 필름 트레이(280a)를 상기 도너필름 지지대(210) 상에 안착시킨다.
도 2e를 참조하면, 상기 필름 트레이(280a)를 상기 도너필름 지지대(210) 상에 안착시킨 후, 상기 엔드이펙터(end-effector:250)를 상기 이송 챔버(200b) 내로 이송시킨다. 이 후, 상기 도너필름 지지대(210) 상에 안착된 상기 필름 트레이(210)의 상기 도너필름(280)을 상기 억셉터 기판(270) 상에 라미네이션 하기 위해, 상기 전자석(260)에 형성된 전기배선(미도시)에 전력을 인가시킨 후, 상기 공정 챔버(200a) 내에 위치한 상기 도너필름 지지대(210)를 하부 방향으로 하강시켜 상기 도너필름(280)을 상기 억셉터 기판(270) 상에 라미네이션 시킨다. 상기 기판(270) 하부에 형성된 상기 전자석(260)과 자성층이 구비된 상기 도너필름(280) 사이에 자기력이 작용함으로써, 상기 억셉터 기판(270)과 상기 도너필름의 전사층(280) 사이에 밀착특성은 더욱 향상될 수 있다. (S3참조)
도 2f를 참조하면, 상기 도너필름(280)의 전사층을 상기 억셉터 기판(270) 상에 전사시키기 위해 상기 이송 챔버(200b)와 상기 공정챔버(200a) 사이에 형성된 게이트 밸브(200)를 닫아준다. 이때, 상기 공정챔버(200a) 내부 또는 외부에 형성된 레이저 발진기(280)가 작동되어 상기 도너필름(280) 상부에 레이저를 조사시킨다. 상기 레이저 발진기(290)는 상기 전사층이 전사되는 라인(line)별로 이송 가능하다. 또한 상기 전자석(260)과 자성층을 포함하는 상기 도너필름(280) 사이에 자기력이 작용함으로써 상기 억셉터 기판(270)과 상기 도너필름의 전사층의 밀착특성은 더욱 향상될 수 있다.
이하에서는, 상기 상기 레이저 발진기(290)를 보다 구체적으로 설명한다.
상기 레이저 발진기(290)는 상기 도너필름(280) 상부에 위치된다. 상기 레이저 발진기(290)는 챔버의 외부 또는 내부에 설치될 수 있으며, 상기 레이저가 상부에서 비춰질 수 있도록 설치되는 것이 바람직하다. 또한, 레이저 발진기의 개략적이 구성도(290)에 따르면, 본 실시예에서 레이저 발진기는 CW ND:YAG 레이저(1604nm)를 사용하고, 2개의 갈바노미터 스캐너(291,292)를 구비하며, 스캔렌즈(293) 및 실린더렌즈(294)를 구비하나 이에 제한되는 것은 아니다. (S4참조)
도 4는 본 발명에 따른 레이저 전사용 도너 필름 구조의 제1 실시 예를 나타내는 단면도이다.
도 4를 참조하면, 상기 도너필름(280)은 기재기판(281), 상기 기재기판(281) 일면에 위치하는 자성을 띠는 물질을 포함하는 광-열 변환층(282), 상기 광-열 변환층(282) 상에 위치하는 중간층(283)과, 상기 중간층(283) 상에 위치하는 전사층(284)으로 이루어질 수 있다.
설명의 중복을 피하기 위해, 전술한 제1 실시 예와 동일한 구성요소인 기재기판(281), 중간층(283) 및 전사층(284)에 대한 구체적인 설명은 생략한다.
상기 기재기판(281)은 투명성 고분자, 예컨대 폴레에틸렌, 테레프탈레이트, 폴리에스테르, 폴리아크릴, 폴리에폭시, 폴리에틸렌 또는 폴리스티렌으로 이루어지며, 이들에 제한되지는 않는다.
상기 자성을 띠는 물질을 포함하는 광-열 변환층(282)는 상기 기재기판(281) 상에 패드 형태로 소정 간격을 가지고 형성될 수 있다. 상기 자성을 띠는 물질을 포함하는 광-열 변환층(282)은 자석에 붙는 일반적인 물질로 이루어지며, 예컨대 철(Fe), 니켈(Ni), 크롬(Cr) 및 이들의 합금(Fe3O4, CoFeO4, MnFeO4) 또는 자석에 붙는 모든 무기·유기 물질 또는 자성 나노입자 중 적어도 하나의 물질과 이들의 복합층 중 하나를 포함하여 형성될 수 있다. 상기 자성을 띠는 물질을 포함하는 광-열 변환층(282)는 자성을 띠며, 레이저빔을 흡수하여 열로 변화시키는 역할을 한다.
상기 중간층(283)은 상기 자성 물질을 띠는 광-열 변환층(282) 상에 패드 형태로 소정 간격을 가지고 형성될 수 있다.
상기 전사층(284)은 상기 중간층(283) 상에 형성되며, 상기 기판 상에 패터닝 하고자하는 층으로써, 유기물질, 예컨대 고분자 또는 저분자 물질로 이루어질 수 있다.
도 5는 본 발명에 따른 레이저 전사용 도너 필름 구조의 제2 실시 예를 나타내는 단면도이다.
도 5를 참조하면, 도너필름(380)은 기재기판(381), 상기 기재기판(381) 일면에 형성되는 상기 자성층(382)과, 상기 자성층(382) 상에 형성되는 광-열 변환층(383)과, 상기 광-열 변환층(383) 상에 형성되는 중간층(384)과, 상기 중간층(384) 상에 형성되는 전사층(385)으로 이루어질 수 있다.
상기 기재기판(381)은 투명성 고분자, 예컨대 폴레에틸렌, 테레프탈레이트, 폴리에스테르, 폴리아크릴, 폴리에폭시, 폴리에틸렌 또는 폴리스티렌으로 이루어지 며, 이들에 제한되지는 않는다.
상기 자성층(382)은 상기 기재기판(381) 상에 패드 형태로 소정 간격을 가지고 형성될 수 있다. 상기 자성층(382)은 자석에 붙는 일반적인 물질로 이루어지며, 예컨데 철(Fe), 니켈(Ni), 크롬(Cr) 및 이들의 합금(Fe3O4, CoFeO4, MnFeO4) 또는 자석에 붙는 모든 무기·유기 물질 중 적어도 하나의 물질로 이루어질 수 있다.
상기 광-열 변환층(383)은 자성층(382) 상에 패드 형태로 소정 간격을 가지고 형성될 수 있다. 상기 광-열 변환층(383)은 유기막, 금속 및 이들의 복합층 중 하나로 이루어질 수 있으며, 레이저빔을 흡수하여 열로 변화시키는 역할을 한다.
상기 중간층(384)은 상기 광-열 변환층(383) 상에 패드 형태로 소정 간격을 가지고 형성될 수 있다. 상기 중간층(384)은 무기물질 또는 유기물질 중 하나로 이루어질 수 있다. 상기 중간층(384384 상기 광-열 변환층(383)을 보호하기 위한 것으로서 높은 열저항을 갖는 것이 바람직하다.
상기 전사층(385)은 상기 중간층(384) 상에 형성되며, 상기 기판 상에 패터닝 하고자하는 층으로써, 유기물질, 예컨대 고분자 또는 저분자 물질로 이루어질 수 있다.
도 6은 본 발명에 따른 레이저 전사용 도너 필름 구조의 제3 실시 예를 나타내는 단면도이다.
도 6을 참조하면, 상기 도너필름(480)은 기재기판(481), 상기 기재기판(481) 일면에 위치하는 광-열 변환층(482), 상기 광-열 변환층(482) 상에 위치하는 자성 층(483)과, 상기 자성층(483) 상에 위치하는 중간층(484)과, 상기 중간층(484) 상에 위치하는 전사층(485)으로 이루어질 수 있다.
설명의 중복을 피하기 위해, 전술한 제1 실시 예와 동일한 구성요소인 기재기판(481), 광-열 변환층(482), 전사층(485)에 대한 구체적인 설명은 생략한다.
상기 기재기판(481)은 투명성 고분자, 예컨대 폴레에틸렌, 테레프탈레이트, 폴리에스테르, 폴리아크릴, 폴리에폭시, 폴리에틸렌 또는 폴리스티렌으로 이루어지며, 이들에 제한되지는 않는다.
상기 광-열 변환층(482)은 기재기판(481)에 패드 형태로 소정 간격을 가지고 형성될 수 있다.
상기 자성층(483)은 상기 광-열 변환층(482) 상에 패드 형태로 소정 간격을 가지고 형성될 수 있다. 상기 자성층(483)은 자석에 붙는 일반적인 물질로 이루어지며, 예컨대 철(Fe), 니켈(Ni), 크롬(Cr) 및 이들의 합금(Fe3O4, CoFeO4, MnFeO4) 또는 자석에 붙는 모든 무기·유기 물질 중 적어도 하나의 물질로 이루어질 수 있다.
상기 중간층(484)은 상기 자성층(483) 상에 패드 형태로 소정 간격을 가지고 형성될 수 있다. 상기 중간층(484)은 전사패턴 특성이 향상될 수 있도록 상기 전사층(485)과의 전사력을 제어하는 역할을 한다.
상기 전사층(485)은 상기 중간층(484) 상에 형성되며, 상기 기판 상에 패터닝 하고자하는 층으로써, 유기물질, 예컨대 고분자 또는 저분자 물질로 이루어질 수 있다.
전술한 실시 예에서 자성층(282,382,483)은 기재기판(381)의 일면, 광-열 변환층(482)의 일면 및 광-열 변환층(282)에 포함하여 형성되었으나, 상기 자성층은 이의 위치에 한정되지 않으며, 기재기판, 광-열 변환층 및 중간층의 적어도 일측에 형성될 수 있음은 물론이며, 자성을 띠는 물질을 포함하는 기재기판을 형성할 수 있음은 물론이다. 단, 전사층 일면 및 타면에 자성층을 형성할 경우, 전사층의 특성이 변화될 수 있어, 전사층 일면 및 타면에는 자성층을 형성하지 않는다.
도 7a 내지 도 7e는 본 발명의 도너필름을 이용한 유기 전계 발광 소자의 제조공정을 순차적으로 도시한 단면도이다.
먼저, 도 7a에 도시된 바와 같이, 상기 기판(500) 하부에 상기 전자석(510)을 형성한다. 상기 기판(500)의 일 영역 상에 상기 제1 전극층(520)이 형성된다. 상기 화소정의막(530)은 상기 제1 전극층(520) 상에 형성되며, 상기 기판(500) 상에 상기 제1 전극층(520)을 적어도 부분적으로 노출시키는 개구부(540)를 포함한다. 상기 화소정의막(530)은 500Å 내지 3000Å의 범위 두께로 형성된다.
그리고 도 7b에 도시된 바와 같이, 상기 기판(500) 상에 도너필름(550)을 위치시킨다. 상기 도너필름(550)과 상기 기판(500) 사이에 밀착이 좋을수록 후속 전사공정에서의 전사효율이 향상되므로, 상기 도너필름(550)의 전사층(555)을 상기 기판(500) 상에 밀착이 잘 되도록 라미네이션하는 것이 바람직하다.
그 다음, 도 7c에 도시된 바와 같이, 상기 기판(500) 상에 전사될 영역에 상기 도너필름(550)의 상부에 국부적으로 선택된 화소영역에 레이저를 조사한다. 상 기 도너필름(550)의 선택된 화소영역 상에 레이저가 조사되면, 상기 광-열 변환층(553)이 팽창함에 따라 상기 전사층(555)이 팽창되면서 상기 도너필름(550)의 기재기판(551)으로 부터 분리되어 유기 전계 발광 소자의 기판(500)으로 전사된다. 이때, 상기 전자석(510)에 형성된 전기배선(미도시)에 전력을 인가시킨다. 이에 따라, 상기 자성층(552)과 상기 전자석(510) 사이에 자기력이 작용됨으로써, 상기 전사층(555)의 전사 특성을 더욱 향상시킬 수 있다.
그 다음, 도 7d에서 보는 바와 같이, 상기 기판(500) 상에 상기 전사층(555a)이 전사되면 상기 도너필름(550)과 상기 기판(500)을 분리시킨다. 상기 분리된 기판(500) 상에는 상기 개구부(540)를 따라 상기 전사층(555a)이 전사되며, 상기 도너필름(550) 하부의 상기 전사층(555a) 중 레이저가 조사된 영역의 상기 전사층(555a)만 전사되고, 레이저가 조사되지 않은 영역의 상기 전사층(555b)은 상기 도너필름(540) 상에 그대로 남아있게 된다.
이 후, 도 7e에서 보는 바와 같이, 상기 전사층(555a)이 전사된 뒤, 상기 전사층(555a) 상에 제2 전극층(560)을 형성한다. 또한, 상기 기판(500)과 대향되는 위치에 상기 봉지커버(580)가 형성된다. 상기 봉지커버(580)의 내측 면, 즉 상기 기판(500)의 적층물과 대향되는 위치에 상기 흡습제(570)가 형성된다. 상기 흡습제(570)는 상기 봉지커버(580) 내에 형성된 수분 및 산소를 흡수할 수 있다. 이에 따라, 유기 전계 발광 표시 소자의 유기층이 수분 등에 의해 손상 및 부식되는 것을 방지할 수 있을 것이다.
전술한 실시예에서는, 기판 하부에 전자석을 형성하였으나, 기판 상부 즉, 상기 기판과 버퍼층 사이에 전자석을 형성할 수 있음은 물론이다.
발명의 기술 사상은 상기 바람직한 실시 예에 따라 구체적으로 기술되었으나, 상기한 실시예는 그 설명을 위한 것이며, 그 제한을 위한 것이 아님을 주지해야 한다. 또한, 본 발명의 기술분야에서 당업자는 본 발명의 기술 사상의 범위 내에서 다양한 실시 예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다.
이상과 같이, 본 발명에 의하면, 진공하에서 자력을 이용하여 도너필름과 억셉터 기판을 라미네이팅 할 수 있게 되어 유기 발광소자의 이전 공정과 동일하게 진공상태를 유지할 수 있을 뿐만 아니라, 도너필름과 억셉터 기판 사이에 이물질이나 공극이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 유기 발광 소자의 수명, 수율 및 신뢰성를 유지할 수 있다.

Claims (10)

  1. 챔버 내의 기판 스테이지 상에 억셉터 기판을 위치시키는 단계와,
    상기 억셉터 기판의 적어도 일면에 전자석을 형성하는 단계와,
    상기 억셉터 기판 타면에 적어도 광-열 변환층, 전사층 및 자성층이 구비된 도너필름을 위치시키는 단계와,
    상기 도너필름을 상기 억셉터 기판 상에 라미네이션 하는 단계와,
    상기 도너필름 상에 레이저빔을 조사하여 상기 전사층의 적어도 일부를 억셉터 기판 상에 전사시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 열 전사법.
  2. 제1 항에 있어서, 상기 자성층과 상기 전자석 사이에 자기력이 작용하는 것을 특징으로 하는 레이저 열 전사법.
  3. 제1 항에 있어서, 상기 전자석은 전압을 인가하기 위한 전기배선이 포함되는 것을 특징으로 하는 레이저 열 전사법.
  4. 제1 항에 있어서, 상기 자성층은 철, 니켈, 크롬 또는 자성을 갖는 유기물, 자성을 갖는 무기물 중 적어도 하나로 이루어진 것을 특징으로 하는 레이저 열 전사법.
  5. 제1 항에 있어서, 상기 챔버는 진공챔버인 것을 특징으로 하는 레이저 열 전 사법.
  6. 제1 항에 있어서, 상기 도너 필름은
    기재 기판과,
    상기 기재 기판 상에 형성되는 자성층과,
    상기 자성층 상에 형성되는 광-열 변환층과,
    상기 광-열 변환층 상에 형성되는 전사층을 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 열 전사법.
  7. 제6 항에 있어서, 상기 광-열 변환층과 상기 전사층 사이에 중간층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 열 전사법.
  8. 삭제
  9. 제6 항에 있어서, 상기 광-열 변환층은 자성물질을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 열 전사법.
  10. 억셉터 기판의 적어도 일면에 전자석을 형성하는 단계와,
    상기 억셉터 기판 상에 제1 전극층을 형성하는 단계와,
    상기 제1 전극층 상에 형성되며, 상기 제1 전극층의 일 영역을 부분적으로 노출되도록 개구부를 갖는 화소정의막을 형성하는 단계와;
    상기 제1 전극층과 상기 화소정의막 상에 레이저 열 전사법에 의해 자성층을 포함하는 도너필름의 전사층이 전사되는 단계와,
    상기 전사층과 상기 화소정의막 상에 제2 전극층을 형성하는 단계를 포함하는 도너필름을 이용한 유기 전계 발광 소자의 제조방법.
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