JP2007136641A - 液晶用ガラスの両面研削研磨装置 - Google Patents

Abstract

【課題】
周縁の回路部用段部にプリント印刷を施し積層された液晶用ガラスの両面を全自動で研磨加工をする装置は無く、手間暇係る作業となっており、苦慮している実情である。
【解決手段】
本発明は、第１の研削研磨加工手段３と、保護用テープ貼着手段７と、第２の研削研磨加工手段９と、保護用テープ剥離手段１３と、第１の移送手段１６と、第２の移送手段１７と、第３の移送手段１８とを用いて、対向基板に第１の研削研磨加工手段３で研削又は研磨加工する工程と、第１の反転手段６で反転させて基板を上方にする工程と、保護用テープを貼着する工程と、基板に第２の研削研磨加工手段９で研削又は研磨加工する工程と、第２の反転手段１１で反転させて対向基板を上方にする工程と、保護用テープを剥離する工程と、第２の反転手段で反転させて対向基板を上方にする工程とを含む。
【選択図】
図１

Description

本発明は、矩形状の板体の基板と対向基板とを積層し、該基板の周縁の若干巾にプリント印刷された回路部用段部を備えた液晶ディスプレーに用いる液晶用ガラスの両面に研削研磨加工を施すための両面研削研磨方法に関するものであって、更に詳細には、液晶用ガラスを研削研磨加工する夫々研削研磨加工用テーブル手段と研削又は研磨装置とを備えた第１と第２との２軸の研削研磨加工手段と、液晶用ガラスの周縁の若干巾の回路部用段部のプリント印刷を保護する保護用テープを貼着するテープ貼着手段と、該保護用テープを剥離させるテープ剥離手段と、夫々間を予め設定された移送をさせる第１の移送手段と第２の移送手段と第３の移送手段とを備えた全自動の液晶用ガラスの両面研削研磨装置を用いた液晶用ガラスの両面研削研磨方法に関するものである。

従来、この種の周縁の若干巾の回路部用段部にプリント印刷を施し積層された液晶用ガラスの両面を全自動で研磨加工をする装置及び方法は無く、又、片面毎に研磨加工をする装置においても、液晶用ガラスの片面の周縁の若干巾の回路部用段部に施したプリント印刷を傷つけたり、断線させたりするため保護テープを貼着させるために一旦外に出して貼着させており手間暇係る作業となっており、苦慮している実情である。

例えば、先に開示されている、送出側移送手段で移送させた半導体ウエハを取着するヘッドの位置のコラムの回動方向の直角位置のヘッドの位置へ第１の研磨手段を配設し、第１の研磨手段の上方に位置するヘッドの位置のコラムの回動方向の直角位置のヘッドの位置の下方へ第２の研磨手段を配設し、第２の研磨手段の上方に位置するヘッドの位置のコラムの回動方向の直角位置のヘッドの位置の近傍に洗浄用移送手段を配設し研磨加工後の半導体ウエハを取外すもの（特許文献１参照）や、搬入ラインＬ１上の板硝子Ｇをその表面を間接的に支持するロード移載機１で搬入し、この板硝子Ｇをその表面を間接的に支持するロード台車２で研磨処理ラインＬ３上の着脱位置Ｌ３ａに移送し、この着脱位置Ｌ３ａの板硝子Ｇを上定盤３の吸着面３２ｃに保持させ、上定盤３を研磨処理ラインＬ３に沿う下定盤上に移動して板硝子Ｇの表面を研磨してから上定盤３を着脱位置Ｌ３ａに移動し、この着脱位置Ｌ３ａの研磨後の板硝子Ｇをその表面を間接的に支持するアンロード台車５で搬出ラインＬ２側に移送してから、板硝子Ｇをその表面を間接的に支持するアンロード移載機６によって搬出ラインＬ２に搬出するもの（特許文献２参照）や、本発明は、搬送コンベヤー２０の所定位置に板ガラス１を載置して移送し、搬送コンベヤー２０の上方に設けられた回転する研磨具により搬送コンベヤー上の板ガラスを押圧研磨する連続研磨装置で、板ガラス１と略同寸法の板状体５ｂと、研磨パッド２の板ガラス１との接触面全体に当接する領域に埋設された所定の粗面を有するドレッサー５ａとを具備するドレッシングプレート５を準備して、ドレッシングプレート５を搬送コンベヤー２０に載置して移送し、回転する研磨パッド２に接触させることにより研磨パッド２をドレッシングするもの（特許文献３参照）等が開示されている。
特開２００１−２１７２１４号公報 特開２００４−１５４８９３号公報 特開２００５−１２５４２０号公報

然し乍ら、先に開示された特許文献１のものは、本件出願人が出願人と共に共同開発したもので、全自動２プラテン研磨装置であるが、被加工物は半導体ウエハであり、半導体ウエハには片面の周縁の若干巾にプリント印刷された回路部用段部を有しておらず、従って、保護テープのテープ貼着手段やテープ剥離手段は備えていないもので、その移送動作は大差するものである。

更に、特許文献２に記載のものでは、搬入ラインＬ１上の板硝子Ｇをその表面を間接的に支持するロード移載機１で搬入し、この板硝子Ｇをその表面を間接的に支持するロード台車２で研磨処理ラインＬ３上の着脱位置Ｌ３ａに移送し、この着脱位置Ｌ３ａの板硝子Ｇを上定盤３の吸着面３２ｃに保持させ、上定盤３を研磨処理ラインＬ３に沿う下定盤上に移動して板硝子Ｇの表面を研磨してから上定盤３を着脱位置Ｌ３ａに移動し、この着脱位置Ｌ３ａの研磨後の板硝子Ｇをその表面を間接的に支持するアンロード台車５で搬出ラインＬ２側に移送してから、板硝子Ｇをその表面を間接的に支持するアンロード移載機６によって搬出ラインＬ２に搬出するものであり、搬入ラインＬ１上の板硝子Ｇを研磨処理ラインＬ３に移送し、研磨処理ラインＬ３で研磨後に搬出ラインＬ２に移送させるだけのものである。

更には、特許文献３では、搬送コンベヤー２０の所定位置に板ガラス１を載置して移送し、搬送コンベヤー２０の上方に設けられた回転する研磨具により搬送コンベヤー上の板ガラスを押圧研磨する連続研磨装置であるが、板ガラス１を載置して移送させるのは搬送コンベヤー２０であり、片面の研磨は可能なものであるが、両面の研磨には適応しにくいものである。

本発明の液晶用ガラスの両面研削研磨装置は、前述の課題に鑑み、鋭意研鑽の結果、請求項１に記載の液晶用ガラスの両面研削研磨装置は、液晶ディスプレーに用いる基板の周縁のプリント印刷された回路部用段部を露出させて対向基板を積層した液晶用ガラスの両面を研削研磨加工する方法であって、液晶用ガラスの対向基板を上方にして収納させた送出側カセット手段と、第１の加工前仮置き台と、第１のチャック機構を配設した第１の研削研磨加工用テーブルと第１の研削又は研磨装置とを備えた第１の研削研磨加工手段と、第１の加工後仮置き台と、第１の洗浄乾燥手段と、第１の反転手段と、保護用テープ貼着手段と、第２の加工前仮置き台と、第２のチャック機構を配設した第２の研削研磨加工用テーブルと第２の研削又は研磨装置とを備えた第２の研削研磨加工手段と、第２の洗浄乾燥手段と、第２の反転手段と、第２の加工後仮置き台と、保護用テープ剥離手段と、剥離後仮置き台と、収納側カセット手段と、第１の移送手段と、第２の移送手段と、第３の移送手段と、を用いて、送出側カセット手段から液晶用ガラスを第１の移送手段で第１の加工前仮置き台に仮置きする工程と、第１の加工前仮置き台に仮置きされた液晶用ガラスを第２の移送手段で第１の研削研磨加工用テーブルの第１のチャック機構に移送する工程と、第１のチャック機構に移送させた液晶用ガラスの対向基板に第１の研削研磨加工手段で研削又は研磨加工する工程と、第１の研削研磨加工手段で対向基板に研削又は研磨加工をされた液晶用ガラスを第２の移送手段で第１の加工後仮置き台に移送する工程と、第１の加工後仮置き台に載置させた液晶用ガラスを第１の移送手段で第１の洗浄乾燥手段に移送する工程と、第１の洗浄乾燥手段で対向基板の加工後の液晶用ガラスを洗浄乾燥させる工程と、洗浄乾燥後の液晶用ガラスを第１の反転手段で反転させて基板を上方にする工程と、第１の反転手段で反転させた液晶用ガラスを第１の移送手段で保護用テープ貼着手段に移送させる工程と、保護用テープ貼着手段で液晶用ガラスの回路部用段部に保護用テープを貼着する工程と、保護用テープを貼着した液晶用ガラスを第１の移送手段で第２の加工前仮置き台に仮置きする工程と、第２の加工前仮置き台に仮置きされた液晶用ガラスを第３の移送手段で第２の研削研磨加工用テーブルの第２のチャック機構に移送する工程と、第２のチャック機構に移送させた液晶用ガラスの基板に第２の研削研磨加工手段で研削又は研磨加工する工程と、第２の研削研磨加工手段で基板に研削又は研磨加工をされた液晶用ガラスを第３の移送手段で第２の洗浄乾燥手段に移送する工程と、第２の洗浄乾燥手段で基板の加工後の液晶用ガラスを洗浄乾燥する工程と、洗浄乾燥後の液晶用ガラスを第２の反転手段で反転させて対向基板を上方にする工程と、第２の反転手段で対向基板を上方に反転させた液晶用ガラスをスライドさせて第２の加工後仮置き台に移送する工程と、第２の加工後仮置き台に載置させた液晶用ガラスを第１の移送手段で保護用テープ剥離手段に移送させる工程と、保護用テープ剥離手段で液晶用ガラスの回路部用段部に貼着された保護用テープを剥離する工程と、保護用テープを剥離した液晶用ガラスを第１の移送手段で剥離後仮置き台に移送させる工程と、剥離後仮置き台に移送させ液晶用ガラスを第３の移送手段で第２の洗浄乾燥手段に再度移送する工程と、第２の洗浄乾燥手段で剥離後の液晶用ガラスを再度洗浄する工程と、再度洗浄後の液晶用ガラスを第２の反転手段で反転させて対向基板を上方にする工程と、第２の反転手段で対向基板を上方に反転させた液晶用ガラスを第３の移送手段で第２の加工後仮置き台に再度移送する工程と、第２の加工後仮置き台に再度載置させた液晶用ガラスを第１の移送手段で収納側カセット手段に収納させる工程と、を含むものである。

更に、請求項２に記載の液晶用ガラスの両面を研削研磨加工する方法は、液晶ディスプレーに用いる基板の周縁にプリント印刷された回路部用段部を露出させて対向基板を積層した液晶用ガラスの両面を研削研磨加工する方法であって、液晶用ガラスの対向基板を上方にして複数枚収納させた送出側カセット手段と、第１の加工前仮置き台と、第１のチャック機構を配設してた第１の研削研磨加工用テーブルと第１の研削又は研磨装置とを備えた第１の研削研磨加工手段と、第１の加工後仮置き台と、第１の洗浄乾燥手段と、第１の反転手段と、保護用テープ貼着手段と、第２の加工前仮置き台と、第２のチャック機構を配設してた第２の研削研磨加工用テーブルと第２の研削又は研磨装置とを備えた第２の研削研磨加工手段と、第２の洗浄乾燥手段と、第２の反転手段と、第２の加工後仮置き台と、保護用テープ剥離手段と、剥離後仮置き台と、収納側カセット手段と、第２の収納側カセット手段と、第１の移送手段と、第２の移送手段と、第３の移送手段と、を用いて、送出側カセット手段から液晶用ガラスを単品毎に第１の移送手段で第１の加工前仮置き台に仮置きする工程と、第１の加工前仮置き台に仮置きされた液晶用ガラスを第２の移送手段で第１の研削研磨加工用テーブルの第１のチャック機構に移送する工程と、第１のチャック機構に移送させた液晶用ガラスの対向基板に第１の研削研磨加工手段で研削又は研磨加工する工程と、第１の研削研磨加工手段で対向基板に研削又は研磨加工をされた液晶用ガラスを第２の移送手段で第１の加工後仮置き台に移送する工程と、第１の加工後仮置き台に載置させた液晶用ガラスを第１の移送手段で第１の洗浄乾燥手段に移送する工程と、第１の洗浄乾燥手段で対向基板の加工後の液晶用ガラスを洗浄乾燥させる工程と、洗浄乾燥後の液晶用ガラスを第１の反転手段で反転させて基板を上方にする工程と、第１の反転手段で基板を上方に反転させた液晶用ガラスを第１の移送手段で保護用テープ貼着手段に移送させる工程と、保護用テープ貼着手段で液晶用ガラスの基板の回路部用段部に保護用テープを貼着する工程と、保護用テープを貼着した液晶用ガラスを第１の移送手段で第２の加工前仮置き台に仮置きする工程と、第２の加工前仮置き台に仮置きされた液晶用ガラスを第３の移送手段で第２の研削研磨加工用テーブルの第２のチャック機構に移送する工程と、第２のチャック機構に移送させた液晶用ガラスの基板に第２の研削研磨加工手段で研削又は研磨加工する工程と、第２の研削研磨加工手段で基板に研削又は研磨加工をされた液晶用ガラスを第３の移送手段で第２の洗浄乾燥手段に移送する工程と、第２の洗浄乾燥手段で基板の加工後の液晶用ガラスを洗浄乾燥する工程と、洗浄乾燥後の液晶用ガラスを第２の反転手段で反転させて対向基板を上方にする工程と、第２の反転手段で対向基板を上方に反転させた液晶用ガラスをスライドさせて第２の加工後仮置き台に移送する工程と、第２の加工後仮置き台に載置させた液晶用ガラスを第１の移送手段で保護用テープ剥離手段に移送させる工程と、保護用テープ剥離手段で液晶用ガラスの周縁の若干巾の回路部用段部に貼着された保護用テープを剥離する工程と、保護用テープを剥離した液晶用ガラスを第１の移送手段で第２の収納側カセット手段に収納させる工程と、を含むものである。

更には、請求項３に記載の液晶用ガラスの両面を研削研磨加工する方法は、請求項２に記載の液晶用ガラスの両面を研削研磨加工する方法において、第２の収納側カセット手段に収納させた液晶用ガラスを第１の移送手段で剥離後仮置き台に移送させる工程と、剥離後仮置き台に移送させ液晶用ガラスを第３の移送手段で第２の洗浄乾燥手段に再度移送する工程と、第２の洗浄乾燥手段で剥離後の液晶用ガラスを再度洗浄乾燥する工程と、再度洗浄乾燥後の液晶用ガラスを第２の反転手段で反転させて対向基板を上方にする工程と、第２の反転手段で対向基板を上方に反転させた液晶用ガラスをスライドさせて第２の加工後仮置き台に再度移送する工程と、第２の加工後仮置き台に再度載置させた液晶用ガラスを第１の移送手段で収納側カセット手段に収納させる工程と、を含むものである。

本発明の液晶用ガラスの両面研削研磨方法は、液晶ディスプレーに用いる基板の周縁の若干巾にプリント印刷された回路部用段部を露出させて対向基板を積層した液晶用ガラスの対向基板を上方にして収納させた送出側カセット手段と、第１と第２との加工前仮置き台と、第１と第２との研削研磨加工手段と、第１と第２との加工後仮置き台と、第１と第２との洗浄乾燥手段と、第１と第２との反転手段と、テープ貼着手段と、テープ剥離手段と、剥離後仮置き台と、収納側カセット手段と、第１と第２と第３との移送手段とを備えたことにより、基板の周縁にプリント印刷された回路部用段部を形成した液晶用ガラスを全自動で且つ高効率で両面研削研磨加工を可能とするものであり、極めて画期的で実用性の高い発明である。

以下、本発明の液晶用ガラスの両面研削研磨方法の実施例の図面を用いて詳細に説明すると、図１は本発明の液晶用ガラスの両面研削研磨方法に用いる液晶用ガラスの両面研削研磨の実施例の全体の概要説明図である。

本発明は、矩形状の板体の基板と対向基板とを積層し、該基板の周縁の若干巾にプリント印刷された回路部用段部を備えた液晶ディスプレーに用いる液晶用ガラスＡの両面に研削研磨加工を施すための両面研削研磨方法に関するものであって、更に詳細には、液晶用ガラスＡを研削研磨加工する夫々研削研磨加工用テーブル手段３ａ．９ａと研削又は研磨装置とを備えた第１と第２との２軸の研削研磨加工手段３．９と、液晶用ガラスＡの周縁の若干巾の回路部用段部のプリント印刷を保護する保護用テープを貼着するテープ貼着手段７と、該保護用テープを剥離させるテープ剥離手段１３と、夫々間を予め設定された移送をさせる第１の移送手段１６と第２の移送手段１７と第３の移送手段１８とを備えた全自動の液晶用ガラスの両面研削研磨装置を用いた液晶用ガラスの両面研削研磨方法に関するものであり、請求項１に記載の液晶用ガラスＡの両面研削研磨方法は、液晶ディスプレーに用いる基板の周縁の若干巾にプリント印刷された回路部用段部を露出させて対向基板を積層した液晶用ガラスＡの両面を研削研磨加工する方法であって、前記液晶用ガラスＡの対向基板を上方にして複数枚収納させた送出側カセット手段１と、第１の加工前仮置き台２と、第１のチャック機構３ｂを等間隔に複数配設して間欠的に回動停止を繰り返えす第１の研削研磨加工用テーブル３ａと該第１のチャック機構３ｂの上方に第１の研削又は研磨装置とを備えた第１の研削研磨加工手段３と、第１の加工後仮置き台４と、第１の洗浄乾燥手段５と、第１の反転手段６と、保護用テープ貼着手段７と、第２の加工前仮置き台８と、第２のチャック機構９ｂを等間隔に複数配設して間欠的に回動停止を繰り返えす第２の研削研磨加工用テーブル９ａと該第２のチャック機構９ｂの上方に第２の研削又は研磨装置とを備えた第２の研削研磨加工手段９と、第２の洗浄乾燥手段１０と、第２の反転手段１１と、第２の加工後仮置き台１２と、保護用テープ剥離手段１３と、剥離後仮置き台１４と、収納側カセット手段１５と、第１の移送手段１６と、第２の移送手段１７と、第３の移送手段１８と、を用いて、前記送出側カセット手段１から液晶用ガラスＡを単品毎に第１の移送手段１６で第１の加工前仮置き台２に仮置きする工程と、前記第１の加工前仮置き台２に仮置きされた液晶用ガラスＡを第２の移送手段１７で第１の研削研磨加工用テーブル３ａの第１のチャック機構３ｂに移送する工程と、前記第１のチャック機構３ｂに移送させた液晶用ガラスＡの対向基板に第１の研削研磨加工手段３で研削又は研磨加工する工程と、前記第１の研削研磨加工手段３で対向基板に研削又は研磨加工をされた液晶用ガラスＡを第２の移送手段１７で第１の加工後仮置き台４に移送する工程と、前記加工後仮置き台４に載置させた液晶用ガラスＡを第１の移送手段１６で第１の洗浄乾燥手段５に移送する工程と、前記第１の洗浄乾燥手段５で対向基板の加工後の液晶用ガラスＡを洗浄乾燥させる工程と、洗浄乾燥後の液晶用ガラスＡを第１の反転手段６で反転させて基板を上方にする工程と、前記第１の反転手段６で基板を上方に反転させた液晶用ガラスＡを第１の移送手段１６で保護用テープ貼着手段７に移送させる工程と、前記保護用テープ貼着手段７で液晶用ガラスＡの基板の周縁の若干巾の回路部用段部に保護用テープを貼着する工程と、保護用テープを貼着した液晶用ガラスＡを第１の移送手段１６で第２の加工前仮置き台８に仮置きする工程と、前記第２の加工前仮置き台８に仮置きされた液晶用ガラスＡを第３の移送手段１８で第２の研削研磨加工用テーブル９ａの第２のチャック機構９ｂに移送する工程と、前記第２のチャック機構９ｂに移送させた液晶用ガラスＡの基板に第２の研削研磨加工手段９で研削又は研磨加工する工程と、前記第２の研削研磨加工手段９で基板に研削又は研磨加工をされた液晶用ガラスＡを第３の移送手段１８で第２の洗浄乾燥手段１０に移送する工程と、前記第２の洗浄乾燥手段１０で基板の加工後の液晶用ガラスＡを洗浄乾燥する工程と、洗浄乾燥後の液晶用ガラスＡを第２の反転手段１１で反転させて対向基板を上方にする工程と、前記第２の反転手段１１で対向基板を上方に反転させた液晶用ガラスＡをスライドさせて第２の加工後仮置き台１２に移送する工程と、前記第２の加工後仮置き台１２に載置させた液晶用ガラスＡを第１の移送手段１６で保護用テープ剥離手段１３に移送させる工程と、前記保護用テープ剥離手段１３で液晶用ガラスＡの周縁の若干巾の回路部用段部に貼着された保護用テープを剥離する工程と、該保護用テープを剥離した液晶用ガラスＡを第１の移送手段１６で剥離後仮置き台１４に移送させる工程と、前記剥離後仮置き台１４に移送させ液晶用ガラスＡを第３の移送手段１８で第２の洗浄乾燥手段１０に再度移送する工程と、前記第２の洗浄乾燥手段１０で剥離後の液晶用ガラスＡを再度洗浄する工程と、再度洗浄後の液晶用ガラスＡを第２の反転手段で反転させて対向基板を上方にする工程と、前記第２の反転手段１１で対向基板を上方に反転させた液晶用ガラスＡをスライドさせて第２の加工後仮置き台１２に再度移送する工程と、前記第２の加工後仮置き台１２に再度載置させた液晶用ガラスＡを第１の移送手段１６で収納側カセット手段１５に収納させる工程と、を含むことを特徴とするものである。

更に、請求項２に記載の液晶用ガラスの両面研削研磨方法は、液晶ディスプレーに用いる基板の周縁の若干巾にプリント印刷された回路部用段部を露出させて対向基板を積層した液晶用ガラスＡの両面を研削研磨加工する方法であって、前記液晶用ガラスＡの対向基板を上方にして複数枚収納させた送出側カセット手段１と、第１の加工前仮置き台２と、第１のチャック機構３ｂを等間隔に複数配設して間欠的に回動停止を繰り返えす第１の研削研磨加工用テーブル３ａと該第１のチャック機構３ｂの上方に第１の研削又は研磨装置とを備えた第１の研削研磨加工手段３と、第１の加工後仮置き台４と、第１の洗浄乾燥手段５と、第１の反転手段６と、保護用テープ貼着手段７と、第２の加工前仮置き台８と、第２のチャック機構９ｂを等間隔に複数配設して間欠的に回動停止を繰り返えす第２の研削研磨加工用テーブル９ａと該第２のチャック機構９ｂの上方に第２の研削又は研磨装置とを備えた第２の研削研磨加工手段９と、第２の洗浄乾燥手段１０と、第２の反転手段１１と、第２の加工後仮置き台１２と、保護用テープ剥離手段１３と、剥離後仮置き台１４と、収納側カセット手段１５と、第２の収納側カセット手段１５ａと、第１の移送手段１６と、第２の移送手段１７と、第３の移送手段１８と、を用いて、前記送出側カセット手段１から液晶用ガラスＡを単品毎に第１の移送手段１６で第１の加工前仮置き台２に仮置きする工程と、前記第１の加工前仮置き台２に仮置きされた液晶用ガラスＡを第２の移送手段１７で第１の研削研磨加工用テーブル９ａの第１のチャック機構９ｂに移送する工程と、前記第１のチャック機構９ｂに移送させた液晶用ガラスＡの対向基板に第１の研削研磨加工手段３で研削又は研磨加工する工程と、前記第１の研削研磨加工手段３で対向基板に研削又は研磨加工をされた液晶用ガラスＡを第２の移送手段１８で第１の加工後仮置き台４に移送する工程と、前記加工後仮置き台４に載置させた液晶用ガラスＡを第１の移送手段１６で第１の洗浄乾燥手段５に移送する工程と、前記第１の洗浄乾燥手段５で対向基板の加工後の液晶用ガラスＡを洗浄乾燥させる工程と、洗浄乾燥後の液晶用ガラスＡを第１の反転手段６で反転させて基板を上方にする工程と、前記第１の反転手段６で基板を上方に反転させた液晶用ガラスＡを第１の移送手段１６で保護用テープ貼着手段７に移送させる工程と、前記保護用テープ貼着手段７で液晶用ガラスＡの基板の周縁の若干巾の回路部用段部に保護用テープを貼着する工程と、保護用テープを貼着した液晶用ガラスＡを第１の移送手段１６で第２の加工前仮置き台８に仮置きする工程と、前記第２の加工前仮置き台８に仮置きされた液晶用ガラスＡを第３の移送手段１８で第２の研削研磨加工用テーブル９ａの第２のチャック機構９ｂに移送する工程と、前記第２のチャック機構９ｂに移送させた液晶用ガラスＡの基板に第２の研削研磨加工手段９で研削又は研磨加工する工程と、前記第２の研削研磨加工手段９で基板に研削又は研磨加工をされた液晶用ガラスＡを第３の移送手段１８で第２の洗浄乾燥手段１０に移送する工程と、前記第２の洗浄乾燥手段１０で基板の加工後の液晶用ガラスＡを洗浄乾燥する工程と、洗浄乾燥後の液晶用ガラスＡを第２の反転手段１１で反転させて対向基板を上方にする工程と、前記第２の反転手段１１で対向基板を上方に反転させた液晶用ガラスＡをスライドさせて第２の加工後仮置き台８に移送する工程と、前記第２の加工後仮置き台８に載置させた液晶用ガラスＡを第１の移送手段１６で保護用テープ剥離手段１３に移送させる工程と、前記保護用テープ剥離手段１３で液晶用ガラスＡの周縁の若干巾の回路部用段部に貼着された保護用テープを剥離する工程と、該保護用テープを剥離した液晶用ガラスＡを第１の移送手段１６で第２の収納側カセット手段１５ａに収納させる工程と、を含むことを特徴とするものである。

更には、請求項３に記載の液晶用ガラスの両面研削研磨方法は、請求項２に記載の液晶用ガラスの両面研削研磨方法において、前記第２の収納側カセット手段１５ａに収納させた液晶用ガラスＡを第１の移送手段１６で剥離後仮置き台１４に移送させる工程と、前記剥離後仮置き台１４に移送させ液晶用ガラスＡを第３の移送手段１８で第２の洗浄乾燥手段１０に再度移送する工程と、前記第２の洗浄乾燥手段１０で剥離後の液晶用ガラスＡを再度洗浄乾燥する工程と、再度洗浄乾燥後の液晶用ガラスＡを第２の反転手段１１で反転させて対向基板を上方にする工程と、前記第２の反転手段１１で対向基板を上方に反転させた液晶用ガラスＡをスライドさせて第２の加工後仮置き台１２に再度移送する工程と、前記第２の加工後仮置き台１２に再度載置させた液晶用ガラスＡを第１の移送手段１６で収納側カセット手段１５に収納させる工程と、を含むことを特徴とするものである。

即ち、本発明の液晶用ガラスの両面研削研磨方法の液晶用ガラスＡは、液晶用のディスプレーとしてＴＦＴや液晶等を介装させるために基板と対向基板とを積層させたものであり、両面に高品質の平坦精度、平面精度を求められるもので、矩形状の液晶用ガラスＡの基板の少なくとも隣り合う２辺の周縁の若干巾（５ｍｍ程度）にプリント印刷された回路部用段部を露出させて形成しているもので、二組の液晶用ガラスＡを一体に形成し基板の３辺の周縁の若干巾にプリント印刷された回路部用段部を設け加工後に半分に切断するものでも、四組を一体に形成し基板の全周の周縁の若干巾にプリント印刷された回路部用段部を設け加工後に十字に切断するものでも構わないものであり、図示する実施例では四組の液晶用ガラスＡを一体にして研削研磨加工を施すものである。

そして、送出側カセット手段１は水平方向を複数の桟体で仕切られており、未加工の液晶用ガラスＡの対向基板を上方にして、つまり、回路部用段部を設けた面を上方にして、複数の桟体の間に単品毎に収納させているものであり、下方に昇降自在なエレベーター台を設けており、図示する実施例では２セットを配設して夫々液晶用ガラスＡが送出され空に成ると、空に成った送出側カセット手段１は収納されている送出側カセット手段１と取り替えるものである。

次に、第１の加工前仮置き台２は、前記送出側カセット手段１と後述する第１の研削研磨加工手段３との間に設けられ、加工前の液晶用ガラスＡの対向基板を上方にして単品毎に仮置きするものである。

次いで、第１の研削研磨加工手段３は、第１の研削研磨加工用テーブル３ａと第１の研削又は研磨装置とから成り、第１の研削研磨加工用テーブル３ａには液晶用ガラスＡの基板側を吸着又は水張り等の手段でチャックする第１のチャック機構３ｂを等間隔に図示する実施例では４つ配設しているもので、間欠的に回動停止を繰り返えすと共に、第１のチャック機構３ｂの上方には図示しない第１の研削又は研磨装置を配設しており、スピンドル軸の下端にカップホイール砥石や研磨パットや研磨クロス等を設けて液晶用ガラスＡの対向基板に研削研磨加工を施すものである。

そして、第１の加工後仮置き台４は、第１の研削研磨加工手段３で対向基板に研削研磨加工された後の液晶用ガラスＡを一時的に載置させるものであり、前記第１の研削研磨加工手段３と後述する第１の洗浄乾燥手段５の間に位置するものである。

更には、第１の洗浄乾燥手段５は、前記第１の研削研磨加工用テーブル３ａの第１のチャック機構３ｂにチャックされ研削研磨加工後の液晶用ガラスＡを水や純水により洗浄されドライヤー等の乾燥機で乾燥されるものである。

更に、第１の反転手段６は、前記第１の洗浄乾燥手段５で洗浄乾燥された後の液晶用ガラスＡを吸盤又は挟持具等をアームの先端に取り付けてバキューム吸着又は挟持させ縦方向に回動させることで、対向基板と基板との面を反転させ基板を上方に向けるものである。

次に、保護用テープ貼着手段７は、液晶用ガラスＡの基板の周縁の若干巾の回路部用段部に保護用テープを貼着させるもので、前記回路部用段部の厚みと略同じ厚みの保護用テープを貼着するものであり、保護用テープ貼着手段７の構造は各種考慮されるもので、回路部用段部に保護用テープを貼着できるものなら構わないものである。

次いで、第２の加工前仮置き台８は、第１の加工前仮置き台２と同様なもので、前記保護用テープ貼着手段７と後述する第２の研削研磨加工手段９との間に設けられ、基板側の加工前の液晶用ガラスＡを単品毎に仮置きするものである。

更に、第２の研削研磨加工手段９は、第１の研削研磨加工手段３と同様なもので、第２の研削研磨加工用テーブル９ａと第２の研削又は研磨装置とから成り、第２の研削研磨加工用テーブル９ａには液晶用ガラスＡの対向基板を吸着又は水張り等の手段でチャックする第２のチャック機構９ｂを等間隔に図示する実施例では４つ配設しているもので、間欠的に回動停止を繰り返えすと共に、第２のチャック機構９ｂの上方には図示しない第２の研削又は研磨装置を配設しており、スピンドル軸の下端にカップホイール砥石や研磨パットや研磨クロス等を設けているものである。

更には、第２の洗浄乾燥手段１０は、第１の洗浄乾燥手段５と同様なもので、前記第２の研削研磨加工用テーブル９ａの第２のチャック機構９ｂにチャックされ基板を研削研磨加工された後の液晶用ガラスＡを水や純水により洗浄されドライヤー等の乾燥機で乾燥されるものである。

次に、第２の反転手段１１は、第１の反転手段６と同様なもので、前記第２の洗浄乾燥手段１０で洗浄乾燥された後の液晶用ガラスＡを吸盤又は挟持具等をアームの先端に取り付けてバキューム吸着又は挟持させ縦方向に回動させることで、基板と対向基板との面を反転させ対向基板を上方にするものである。

次いで、第２の加工後仮置き台１２は、第１の加工後仮置き台４と同様なもので、第２の研削研磨加工手段９で研削研磨加工された後の液晶用ガラスＡを一時的に載置させるものである。

更に、保護用テープ剥離手段１３は、液晶用ガラスＡの基板の周縁の膨出させた若干巾の回路部用段部に貼着された保護用テープを剥離させるものであり、その構造は各種考慮されるもので、保護用テープを自動的に剥離できるものなら構わないものである。

更に、剥離後仮置き台１４は、テープ剥離手段１３で剥離後の液晶用ガラスＡを一時的に載置させるものである。

次いで、収納側カセット手段１５は、前記送出側カセット手段１と同様な構造であり、水平方向を複数の桟体で仕切られており、加工後の液晶用ガラスＡを複数の桟体の間に単品毎に収納させているものであり、図示する実施例では２セットを配設して夫々収納が終わると交互に空のものと取り替えるものである。

そして、第１の移送手段１６は、前記送出側カセット手段１と前記収納側カセット手段１５との間にレールを敷設して左右方向にスライドすると共に、上下方向は伸縮自在の立設柱を設け、該立設柱の先端には旋回及び進退自在のアームを設け、先端に液晶用ガラスＡの把持具を備えているものであり、液晶用ガラスＡを送出側カセット手段１と第１の加工前仮置き台２と第１の加工後仮置き台４と第１の洗浄乾燥手段５と第１の反転手段６と保護用テープ貼着手段７と第２の加工前仮置き台８と第２の加工後仮置き台１２と保護用テープ剥離手段１３と剥離後仮置き台１４との間を図示しない自動制御装置等で予め設定された移送をさせるものである。

更に、第２の移送手段１７は、旋回自在及び伸縮自在な立設柱の先端に旋回及び進退自在のアームを設け、先端に液晶用ガラスＡの把持具を備えているものであり、液晶用ガラスＡを第１の加工前仮置き台２と第１の研削研磨加工手段３と第１の加工後仮置き台４との間で図示しない自動制御装置等で予め設定した移送をさせるものである。

更には、第３の移送手段１８は、前記第２の移送手段１７と同様なもので、第２の研削研磨加工手段９への又は第２の研削研磨加工手段９からの移送を主として行うもので、液晶用ガラスＡを第２の加工前仮置き台８と第２の研削研磨加工手段９と第２の洗浄乾燥手段１０と剥離後仮置き台１４との間で図示しない自動制御装置等で予め設定した移送をさせるものである。

本発明の液晶用ガラスの両面研削研磨方法は、先ず、第１の加工前仮置き台２に仮置きする工程を実施するもので、送出側カセット手段１から対向基板を上方にした液晶用ガラスＡを単品毎に第１の移送手段１６で第１の加工前仮置き台２に移送して仮置きするもので、送出側カセット手段１の下方に昇降自在に設けたエレベーター台と共動させて第１の移送手段１６で移送するものである。

そして、第１のチャック機構３ｂに移送する工程では、第１の加工前仮置き台２に仮置きされた液晶用ガラスＡを第２の移送手段１７で第１の研削研磨加工用テーブル３ａの第１のチャック機構３ｂに移送するもので、第１の研削研磨加工用テーブル３ａや第１のチャック機構３ｂはその回転を停止させているものである。

次に、液晶用ガラスＡの対向基板に第１の研削研磨加工手段３で研削又は研磨加工する工程では、第１のチャック機構３ｂに移送させた液晶用ガラスＡの対向基板に第１の研削研磨加工手段３で研削又は研磨加工を施すもので、実施例では第１の研削研磨加工用テーブル３ａは等間隔に４つの第１のチャック機構３ｂを備えており、第１の研削研磨加工用テーブル３ａは間欠的に１／４回転の回動と停止を繰り返えすものであり、最初のポジションの第１のチャック機構３ｂに第２の移送手段１７で移送され乗載された液晶用ガラスＡはバキューム吸着等でチャックされ、第１の研削研磨加工用テーブル３ａを１／４回動させて停止すると、上方からスピンドル軸の下端に研削砥石を備えた第１の研削装置（図示しない）が降下して研削加工を施すもので、更に、第１の研削研磨加工用テーブル３ａを１／４回動させて停止し、第１のチャック機構３ｂを回転させると共に上方からスピンドル軸の下端に研磨パットを備えた第１の研磨装置（図示しない）が降下して粗研磨加工を施し、更に、第１の研削研磨加工用テーブル３ａを１／４回動させて停止し、上方からスピンドル軸の下端に研磨クロスを備えた第１の研磨装置（図示しない）が降下して仕上研磨加工を施すものである。

更には、第１の加工後仮置き台４に移送する工程では、第１の研削研磨加工手段３で対向基板に研削又は研磨加工をされた液晶用ガラスＡを第２の移送手段１７で移送させるものである。

更に、第１の洗浄乾燥手段５に移送する工程では、第１の加工後仮置き台４に載置された液晶用ガラスＡを第１の移送手段１６で把持させて第１の洗浄乾手段５に移送するものである。

更に、液晶用ガラスＡを洗浄乾燥する工程では、第１の研削研磨加工手段３で対向基板に研削又は研磨加工を施こされた液晶用ガラスＡを水や純水を噴射させると共にドライヤー等の手段により第１の洗浄乾燥手段４で洗浄及び乾燥をするものである。

更には、反転させて基板を上方にする工程では、第１の洗浄乾燥手段４で洗浄後の対向基板が上方に成っている状態の液晶用ガラスＡを第１の反転手段５で把持させて基板が上方に成るように反転させるものである。

次に、保護用テープ貼着手段７に移送させる工程では、第１の反転手段６で基板を上方に反転させた液晶用ガラスＡを第１の移送手段１６で保護用テープ貼着手段７に移送させるものである。

次いで、保護用テープを貼着する工程では、保護用テープ貼着手段７で液晶用ガラスＡの基板の周縁の若干巾の回路部用段部に保護用テープを貼着させるものである。

更に、第２の加工前仮置き台８に仮置きする工程では、保護用テープを貼着した液晶用ガラスＡを第１の移送手段１６で保護用テープ貼着手段７から第２の加工前仮置き台８に移送させるものである。

更には、第２のチャック機構９ｂに移送する工程では、第２の加工前仮置き台８に仮置きされた液晶用ガラスＡを第３の移送手段１８で第２の研削研磨加工用テーブル９ａの第２のチャック機構９ｂに移送するものである。

そして、基板に第２の研削研磨加工手段９で研削又は研磨加工する工程では、第２のチャック機構９ｂに移送させた液晶用ガラスＡの基板に第２の研削研磨加工手段９で研削又は研磨加工を施すもので、実施例では第２の研削研磨加工用テーブル９ａは等間隔に４つの第１のチャック機構９ｂを備えており、間欠的に１／４回転の回動と停止を繰り返えすものであり、最初のポジションの第２のチャック機構９ｂに第３の移送手段１８で移送され乗載された液晶用ガラスＡはバキューム吸着等でチャックされ、第２の研削研磨加工用テーブル９ａを１／４回動させて停止すると、第１のチャック機構９ｂを回転させると共に上方からスピンドル軸の下端に研削砥石を備えた第２の研削装置（図示しない）が降下して液晶用ガラスＡの基板に研削加工を施すもので、更に、第２の研削研磨加工用テーブル９ａを１／４回動させて停止し、上方からスピンドル軸の下端に研磨パットを備えた第２の研磨装置（図示しない）が降下して粗研磨加工を施し、更に、第２の研削研磨加工用テーブル９ａを１／４回動させて停止し、上方からスピンドル軸の下端に研磨クロスを備えた第２の研磨装置（図示しない）が降下して仕上研磨加工を施すものである。

次に、第２の洗浄乾燥手段１０に移送する工程では、第２の研削研磨加工手段９で基板に研削又は研磨加工をされた液晶用ガラスＡを第２の研削研磨加工用テーブル９ａの第２のチャック機構９ｂから第３の移送手段１８で第２の洗浄乾燥手段１０に移送するものである。

次いで、基板の加工後の液晶用ガラスＡを洗浄乾燥する工程では、第２の研削研磨加工手段９で基板に研削又は研磨加工を施こされた液晶用ガラスＡを水や純水を噴射させると共にドライヤー等の手段により第２の洗浄乾燥手段１０で洗浄及び乾燥をするものである。

更には、反転させて対向基板を上方にする工程では、第２の洗浄乾燥手段１０で洗浄乾燥後の基板が上方に成っている状態の液晶用ガラスＡを第２の反転手段１１で把持させて対向基板が上方に成るように反転させるものである。

そして、第２の加工後仮置き台１２に移送する工程では、第２の反転手段１１で対向基板を上方に反転させた液晶用ガラスＡをスライドさせて第２の加工後仮置き台１２に移送するものである。

次に、保護用テープ剥離手段１３に移送させる工程では、第２の加工後仮置き台１２に載置させた液晶用ガラスＡを第１の移送手段１６で保護用テープ剥離手段１３に移送させるものである。

次いで、保護用テープを剥離する工程では、保護用テープ剥離手段１３で液晶用ガラスＡの周縁の若干巾の回路部用段部に貼着された保護用テープを隔離させるものである。

更に、剥離後仮置き台１４に移送させる工程では、保護用テープを剥離した液晶用ガラスＡを保護用テープ剥離手段１３から第１の移送手段１６で剥離後仮置き台１４に移送させるものである。

そして、第２の洗浄乾燥手段１０に再度移送する工程では、前述と同様であるが、剥離後仮置き台１４に乗載された保護用テープを剥離した後の液晶用ガラスＡを第３の移送手段１８で第２の洗浄乾燥手段１０に再度移送するものである。

更には、剥離後の液晶用ガラスＡを洗浄乾燥する工程では、前述と同様であるが、第２の洗浄乾燥手段１０で保護用テープを剥離させた後の液晶用ガラスＡを洗浄及び乾燥をするものである。

更に、反転させて対向基板を上方にする工程では、保護用テープを剥離させ洗浄乾燥後の液晶用ガラスＡを再び第２の反転手段１１で反転させて対向基板を上方にするものである。

次いで、第２の加工後仮置き台１２に再度移送する工程では、第２の反転手段１１で対向基板を上方に反転させた液晶用ガラスＡをスライドさせて第２の加工後仮置き台１２に再度移送するものである。

そして、収納側カセット手段１５に収納させる工程では、保護用テープを剥離され、洗浄乾燥され、反転され、第２の加工後仮置き台１２に載置させた液晶用ガラスＡを第１の移送手段１６で収納側カセット手段１５に再度収納させるものである。

本発明の液晶用ガラスの両面研削研磨方法の実施例は、前述のような装置を用いて前述のように全自動で実施するものである。

そして、本発明の液晶用ガラスの両面研削研磨方法の次実施例においては、実施例に加えて第２の収納側カセット１５ａを備えたものであるので、前記実施例と重複する部分の詳述は省略するものである。

つまり、第２の収納側カセット手段１５ａは、前記収納側カセット手段１５と同様な構造であり、第２の収納側カセット１５ａは、保護用テープを剥離する工程で保護用テープを剥離させた後の液晶用ガラスＡに洗浄の必要を生じない場合、又は、一時的に保管をするような場合に収納するものである。

従って、第２の収納側カセット手段１５ａに収納させる工程では、実施例の保護用テープを剥離する工程の後に、保護用テープを剥離した液晶用ガラスＡを第１の移送手段１６で第２の収納側カセット手段１５ａに収納させるものである。

又、本発明の液晶用ガラスの両面研削研磨方法の他の実施例においては、前記第２の収納側カセット手段１５ａに収納させた保護用テープを剥離した剥離後の液晶用ガラスＡを第１の移送手段１６で剥離後仮置き台１４に移送させる工程を実施して、第２の洗浄乾燥手段１０に再度移送する工程を実施し、剥離後の液晶用ガラスＡを再度洗浄乾燥する工程を実施して、第２の反転手段１１で反転させて対向基板を上方にする工程を実施して、第２の加工後仮置き台１２に再度移送する工程を実施して、 収納側カセット手段１５に収納させる工程を実施することによって液晶用ガラスＡの全自動両面研削研磨加工をするものである。

本発明は、液晶用のディスプレーとしてＴＦＴや液晶等を介装させるために基板の上に対向基板を積層させた液晶用ガラスの研削研磨加工を全自動で実施可能な両面研削研磨装置を提供するものである。

図１は本発明の液晶用ガラスの両面研削研磨装置の実施例の全体の概要説明図である。

符号の説明

Ａ 液晶用ガラス
１ 送出側カセット手段
２ 第１の加工前仮置き台
３ 第１の研削研磨加工手段
３ａ 第１の研削研磨加工用テーブル
３ｂ 第１のチャック機構
４ 第１の加工後仮置き台
５ 第１の洗浄乾燥手段
６ 第１の反転手段
７ テープ貼着手段
８ 第２の加工前仮置き台
９ 第２の研削研磨加工手段
９ａ 第２の研削研磨加工用テーブル
９ｂ 第２のチャック機構
１０ 第２の洗浄乾燥手段
１１ 第２の反転手段
１２ 第２の加工後仮置き台
１３ テープ剥離手段
１４ 剥離後仮置き台
１５ 収納側カセット手段
１５ａ 第２の収納側カセット手段
１６ 第１の移送手段
１７ 第２の移送手段
１８ 第３の移送手段

Claims (3)

1. 液晶ディスプレーに用いる基板の周縁の若干巾にプリント印刷された回路部用段部を露出させて対向基板を積層した液晶用ガラスの両面を研削研磨加工する方法であって、前記液晶用ガラスの対向基板を上方にして複数枚収納させた送出側カセット手段と、第１の加工前仮置き台と、第１のチャック機構を等間隔に複数配設して間欠的に回動停止を繰り返えす第１の研削研磨加工用テーブルと該第１のチャック機構の上方に第１の研削又は研磨装置とを備えた第１の研削研磨加工手段と、第１の加工後仮置き台と、第１の洗浄乾燥手段と、第１の反転手段と、保護用テープ貼着手段と、第２の加工前仮置き台と、第２のチャック機構を等間隔に複数配設して間欠的に回動停止を繰り返えす第２の研削研磨加工用テーブルと該第２のチャック機構の上方に第２の研削又は研磨装置とを備えた第２の研削研磨加工手段と、第２の洗浄乾燥手段と、第２の反転手段と、第２の加工後仮置き台と、保護用テープ剥離手段と、剥離後仮置き台と、収納側カセット手段と、第１の移送手段と、第２の移送手段と、第３の移送手段と、を用いて、前記送出側カセット手段から液晶用ガラスを単品毎に第１の移送手段で第１の加工前仮置き台に仮置きする工程と、前記第１の加工前仮置き台に仮置きされた液晶用ガラスを第２の移送手段で第１の研削研磨加工用テーブルの第１のチャック機構に移送する工程と、前記第１のチャック機構に移送させた液晶用ガラスの対向基板に第１の研削研磨加工手段で研削又は研磨加工する工程と、前記第１の研削研磨加工手段で対向基板に研削又は研磨加工をされた液晶用ガラスを第２の移送手段で第１の加工後仮置き台に移送する工程と、前記第１の加工後仮置き台に載置させた液晶用ガラスを第１の移送手段で第１の洗浄乾燥手段に移送する工程と、前記第１の洗浄乾燥手段で対向基板の加工後の液晶用ガラスを洗浄乾燥させる工程と、洗浄乾燥後の液晶用ガラスを第１の反転手段で反転させて基板を上方にする工程と、前記第１の反転手段で基板を上方に反転させた液晶用ガラスを第１の移送手段で保護用テープ貼着手段に移送させる工程と、前記保護用テープ貼着手段で液晶用ガラスの基板の周縁の若干巾の回路部用段部に保護用テープを貼着する工程と、保護用テープを貼着した液晶用ガラスを第１の移送手段で第２の加工前仮置き台に仮置きする工程と、前記第２の加工前仮置き台に仮置きされた液晶用ガラスを第３の移送手段で第２の研削研磨加工用テーブルの第２のチャック機構に移送する工程と、前記第２のチャック機構に移送させた液晶用ガラスの基板に第２の研削研磨加工手段で研削又は研磨加工する工程と、前記第２の研削研磨加工手段で基板に研削又は研磨加工をされた液晶用ガラスを第３の移送手段で第２の洗浄乾燥手段に移送する工程と、前記第２の洗浄乾燥手段で基板の加工後の液晶用ガラスを洗浄乾燥する工程と、洗浄乾燥後の液晶用ガラスを第２の反転手段で反転させて対向基板を上方にする工程と、前記第２の反転手段で対向基板を上方に反転させた液晶用ガラスをスライドさせて第２の加工後仮置き台に移送する工程と、前記第２の加工後仮置き台に載置させた液晶用ガラスを第１の移送手段で保護用テープ剥離手段に移送させる工程と、前記保護用テープ剥離手段で液晶用ガラスの周縁の若干巾の回路部用段部に貼着された保護用テープを剥離する工程と、該保護用テープを剥離した液晶用ガラスを第１の移送手段で剥離後仮置き台に移送させる工程と、前記剥離後仮置き台に移送させ液晶用ガラスを第３の移送手段で第２の洗浄乾燥手段に再度移送する工程と、前記第２の洗浄乾燥手段で剥離後の液晶用ガラスを再度洗浄乾燥する工程と、再度洗浄乾燥後の液晶用ガラスを第２の反転手段で再度反転させて対向基板を上方にする工程と、前記第２の反転手段で対向基板を上方に再度反転させた液晶用ガラスをスライドさせて第２の加工後仮置き台に再度移送する工程と、前記第２の加工後仮置き台に再度載置させた液晶用ガラスを第１の移送手段で収納側カセット手段に収納させる工程と、を含むことを特徴とする液晶用ガラスの両面研削研磨方法。
2. 液晶ディスプレーに用いる基板の周縁の若干巾にプリント印刷された回路部用段部を露出させて対向基板を積層した液晶用ガラスの両面を研削研磨加工する方法であって、前記液晶用ガラスの対向基板を上方にして複数枚収納させた送出側カセット手段と、第１の加工前仮置き台と、第１のチャック機構を等間隔に複数配設して間欠的に回動停止を繰り返えす第１の研削研磨加工用テーブルと該第１のチャック機構の上方に第１の研削又は研磨装置とを備えた第１の研削研磨加工手段と、第１の加工後仮置き台と、第１の洗浄乾燥手段と、第１の反転手段と、保護用テープ貼着手段と、第２の加工前仮置き台と、第２のチャック機構を等間隔に複数配設して間欠的に回動停止を繰り返えす第２の研削研磨加工用テーブルと該第２のチャック機構の上方に第２の研削又は研磨装置とを備えた第２の研削研磨加工手段と、第２の洗浄乾燥手段と、第２の反転手段と、第２の加工後仮置き台と、保護用テープ剥離手段と、剥離後仮置き台と、収納側カセット手段と、第２の収納側カセット手段と、第１の移送手段と、第２の移送手段と、第３の移送手段と、を用いて、前記送出側カセット手段から液晶用ガラスを単品毎に第１の移送手段で第１の加工前仮置き台に仮置きする工程と、前記第１の加工前仮置き台に仮置きされた液晶用ガラスを第２の移送手段で第１の研削研磨加工用テーブルの第１のチャック機構に移送する工程と、前記第１のチャック機構に移送させた液晶用ガラスの対向基板に第１の研削研磨加工手段で研削又は研磨加工する工程と、前記第１の研削研磨加工手段で対向基板に研削又は研磨加工をされた液晶用ガラスを第３の移送手段で第１の加工後仮置き台に移送する工程と、前記第１の加工後仮置き台に載置させた液晶用ガラスを第１の移送手段で第１の洗浄乾燥手段に移送する工程と、前記第１の洗浄乾燥手段で対向基板の加工後の液晶用ガラスを洗浄乾燥させる工程と、洗浄乾燥後の液晶用ガラスを第１の反転手段で反転させて基板を上方にする工程と、前記第１の反転手段で基板を上方に反転させた液晶用ガラスを第１の移送手段で保護用テープ貼着手段に移送させる工程と、前記保護用テープ貼着手段で液晶用ガラスの基板の周縁の若干巾の回路部用段部に保護用テープを貼着する工程と、保護用テープを貼着した液晶用ガラスを第１の移送手段で第２の加工前仮置き台に仮置きする工程と、前記第２の加工前仮置き台に仮置きされた液晶用ガラスを第３の移送手段で第２の研削研磨加工用テーブルの第２のチャック機構に移送する工程と、前記第２のチャック機構に移送させた液晶用ガラスの基板に第２の研削研磨加工手段で研削又は研磨加工する工程と、前記第２の研削研磨加工手段で基板に研削又は研磨加工をされた液晶用ガラスを第３の移送手段で第２の洗浄乾燥手段に移送する工程と、前記第２の洗浄乾燥手段で基板の加工後の液晶用ガラスを洗浄乾燥する工程と、洗浄乾燥後の液晶用ガラスを第２の反転手段で反転させて対向基板を上方にする工程と、前記第２の反転手段で対向基板を上方に反転させた液晶用ガラスをスライドさせて第２の加工後仮置き台に移送する工程と、前記第２の加工後仮置き台に載置させた液晶用ガラスを第１の移送手段で保護用テープ剥離手段に移送させる工程と、前記保護用テープ剥離手段で液晶用ガラスの周縁の若干巾の回路部用段部に貼着された保護用テープを剥離する工程と、該保護用テープを剥離した液晶用ガラスを第１の移送手段で第２の収納側カセット手段に収納させる工程と、を含むことを特徴とする液晶用ガラスの両面研削研磨方法。
3. 前記第２の収納側カセット手段に収納させた液晶用ガラスを第１の移送手段で剥離後仮置き台に移送させる工程と、前記剥離後仮置き台に移送させ液晶用ガラスを第３の移送手段で第２の洗浄乾燥手段に再度移送する工程と、前記第２の洗浄乾燥手段で剥離後の液晶用ガラスを再度洗浄乾燥する工程と、再度洗浄乾燥後の液晶用ガラスを第２の反転手段で反転させて対向基板を上方にする工程と、前記第２の反転手段で対向基板を上方に反転させた液晶用ガラスをスライドさせて第２の加工後仮置き台に再度移送する工程と、前記第２の加工後仮置き台に再度載置させた液晶用ガラスを第１の移送手段で収納側カセット手段に収納させる工程と、を含むことを特徴とする請求項２に記載の液晶用ガラスの両面研削研磨方法。
   

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