JP2007136481A - レーザ加工装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 レーザ加工装置20では、レーザ光源からウェハWに向けて出射されるレーザ光Lの光軸Lo上に、レンズ移動機構により相対距離を連続的に可変可能な集光レンズCV1および集光レンズCV2が設けられる。これにより、これらの集光レンズCV1、CV2により集光されたレーザ光L”は、その集光点の形成位置を任意に可変することができるので、ウェハWの内部においても、集光点Pa(比較的浅い位置)や集光点Pc(比較的深い位置)の形成位置を任意の位置に連続的に設定することができる。したがって、ウェハW内の任意の位置、例えば比較的浅い位置Pa、ほぼ中間の位置Pb、比較的深い位置Pcに、それぞれ改質層を形成することができる。
【選択図】 図1
Description
図1に示すように、本実施形態に係るレーザ加工装置20は、ウェハWの表面Waからレーザ光を入射し該ウェハWの内部に多光子吸収による改質領域αを形成し得るもので、主に、所定波長のレーザ光Lを所定出力で出射可能な図略のレーザ光源と、このレーザ光源からウェハWに向けて出射されるレーザ光Lの光軸Lo上に設けられる集光レンズCV1と、この集光レンズCV1の屈折率n1と異なった屈折率n2に設定され、光軸Lo上で集光レンズCV1よりもウェハW側に設けられる集光レンズCV2と、集光レンズCV1および集光レンズCV2の相対距離を連続的に可変可能な図略のレンズ移動機構と、を備える。
図4に示すように、集光点位置X、即ちウェハWの表面Waから集光点Pまでの距離Xとレーザ照射に必要な加工幅dnとの関係は、屈折率n1の媒質から入射角θ1 で入射した光が屈折率n2の媒質に屈折角θ2 で屈折するときにはn1×sinθ1=n2×sinθ2の関係式が成り立つことから、図3に示す比例関係となる。なお、NAは、屈折率n1の光学系物質に入射角θ1で光が入射した場合において、NA=n1×sinθ1で与えられる。
CV1…集光レンズ(第1の集光レンズ)
CV2…集光レンズ(第2の集光レンズ)
d1、d2…隙間
Ka、Kb、Kc…改質層
L、L’…レーザ光
Lo…光軸
n1…屈折率(第1の集光レンズの屈折率)
n2…屈折率(第2の集光レンズの屈折率)
Pa、Pb、Pc…集光点
R…構造物
W…ウェハ(加工対象物)
Wa…表面
α…改質領域
Claims (2)
- 加工対象物の表面からレーザ光を入射し当該加工対象物の内部に多光子吸収による改質領域を形成し得るレーザ加工装置であって、
所定波長のレーザ光を所定出力で出射可能なレーザ光源と、
前記レーザ光源から前記加工対象物に向けて出射されるレーザ光の光軸上に設けられる第1の集光レンズと、
前記第1の集光レンズの屈折率と異なった屈折率に設定され、前記光軸上で前記第1の集光レンズよりも前記加工対象物側に設けられる第2の集光レンズと、
前記第1の集光レンズおよび前記第2の集光レンズの相対距離を連続的に可変可能なレンズ移動機構と、
を備えることを特徴とするレーザ加工装置。 - 前記第2の集光レンズの屈折率は、前記第1の集光レンズの屈折率よりも大きく設定されていることを特徴とする請求項1記載のレーザ加工装置。
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