JP2007134028A - ページバッファ及びその駆動方法、並びにこれを具備した不揮発性メモリ装置 - Google Patents

ページバッファ及びその駆動方法、並びにこれを具備した不揮発性メモリ装置 Download PDF

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Abstract

【課題】ページバッファ及びその駆動方法、並びにこれを具備した不揮発性メモリ装置を提供する。
【解決手段】ここに開示されたページバッファ及びこれを具備した不揮発性メモリ装置は、複数のページバッファを複数のグループに分割し、分割されたページバッファに具備された複数のラッチを所定の時間差をおいて順に駆動する。この時、それぞれのページバッファは感知ノードに連結されたラッチを通じて第1接点を先に充電した後、感知回路に連結された第2接点と前記第1接点とを電気的に連結する。その結果、ラッチの活性化の時、第1接点から第2接点にチャージが抜けてもラッチに貯蔵されているデータ値には影響を及ぼさなくなる。
【選択図】図3

Description

本発明は半導体メモリ装置に係り、より具体的には不揮発性半導体メモリ装置及びそのためのページバッファに関するものである。
半導体メモリ装置は大きく揮発性半導体メモリ装置(volatile semiconductor memory device)と不揮発性半導体メモリ装置(non‐volatile semiconductor memory device)とに区分される。揮発性半導体メモリ装置はまた、ダイナミックランダムアクセスメモリ(dynamic access memory)とスタティックランダムアクセスメモリ(static random access memory)とに区分される。揮発性半導体メモリ装置は、読み出しと書き込みの速度が速いが、外部電源供給が切られれば、貯蔵された内容が消えてしまう短所がある。一方、不揮発性半導体メモリ装置は、外部電源供給が中断されてもその内容を保存する。したがって、不揮発性半導体メモリ装置は、電源が供給されるか否かに関係なく保存されるべき内容を記憶させることに用いられる。
不揮発性半導体メモリ装置としては、マスクROM(mask read‐only memory、MROM)、プログラム可能なROM(programmable read‐only memory、PROM)、消去及びプログラム可能なROM(erasable programmable read‐only memory、EPROM)、電気的に消去及びプログラム可能なROM(electrically erasable programmable read‐only memory、EEPROM)などがある。
一般的に、MROM、PROM及びEPROMはシステム自体に消去及び書き込みを自由に行うことができず、一般の使用者が記憶内容を更新するのが容易ではない。これに対して、EEPROMは電気的に消去及び書き込みが可能であるから、継続的な更新が必要なシステムプログラミングや補助記憶装置への応用が拡大されている。特に、フラッシュEEPROMは従来のEEPROMに比べて集積度が高く、大容量補助記憶装置への応用に非常に有利である。フラッシュEEPROMの中でも、NAND型フラッシュEEPROM(以下、NANDフラッシュメモリと称する)は他のフラッシュEEPROMに比べて集積度が非常に高いという長所を有する。
図1は一般的なフラッシュメモリ装置10の構成を概略的に示すブロック図である。図1にはNANDフラッシュメモリの構造が図示されている。
図1を参照すると、フラッシュメモリ装置10は、メモリセルアレイ11、行デコーダ回路12、及びページバッファ回路14で構成される。メモリセルアレイ11は情報を貯蔵するための貯蔵領域で、行(すなわち、ワードライン)及び列(すなわち、ビットライン)が交差する領域に配列されたメモリセルを含む。メモリセルはNANDストリング構造を有し、各メモリセルは1ビットデータまたはマルチビットデータを貯蔵する。メモリセルアレイ11の行は行デコーダ回路12によって駆動され、列はページバッファ回路14によって駆動される。
ページバッファ回路14は、各メモリセルに対して1ビットデータまたはマルチビットデータ(例えば、2ビットデータ)のプログラム/読み出し動作を実行する。最近ではフラッシュメモリ装置10に多様な機能が要求されており、ページバッファ回路14はキャッシュプログラム機能、ページコピーバック機能などを付加的に提供する。ここで、キャッシュプログラム機能とは1つのページのデータがプログラムされるうちに次に貯蔵されるページのデータがページバッファ回路14にロードされることを意味する。また、ページコピーバック機能とは任意のページに貯蔵されているデータが外部に出力されず、ページバッファ回路14を通じて他のページに貯蔵されることを意味する。
ページバッファ回路14の内部には、複数のページバッファが具備される。そして、それぞれのページバッファ内部には1つまたは2つのラッチが具備される。それぞれのページバッファは正常な読み出し動作またはページコピーバック動作の時には感知ノードで感知されたセルデータをラッチに貯蔵し、ノーマルプログラム動作またはキャッシュプログラム動作の時にはプログラムされるデータをラッチに貯蔵する。ラッチにデータが貯蔵される時点は外部に具備された制御ロジックブロック(図示しない)を通じて調節され、各ラッチは電源電圧をソースとして使用しデータを貯蔵する。ところが、もし、ページバッファ回路14の内部に具備されたすべてのラッチが同時に活性化されれば、一時的にデータ経路に流れる電流が急に増加するようになって、電源電圧が低くなる問題が発生するようになる。
このような問題点を防止するために、ページバッファ回路14に具備された複数のページバッファは、一定個数のグループ(例えば、8つのグループ)に分割される。そして、分割されたページバッファグループに含まれたラッチは、活性化区間の間に非常に小さな時間差をおいて順次活性化される。しかし、グループ化されたラッチが順次活性化されても、ページバッファの内部に存在するロードキャパシタンス成分によって、電源電圧のレベルが一時的に低くなることがある。例えば、グループ化されたラッチが活性化される瞬間にラッチと接続されている内部ノードとの間から発生されるチャージ分配(charge sharing)現像によって、ラッチノードに提供される電圧がトリップポイント(trip point)以下に落ちることがある。その結果、ラッチに貯蔵されている値が反転される。このようにラッチに貯蔵されたデータを変動させる現像をラッチノイズと称する。
本発明は前記の問題を解決するために提案されたもので、その目的はラッチノイズを低減させることができるページバッファ及びこれを具備した不揮発性メモリ装置を提供することである。
本発明の他の目的は、単一ビットまたはマルチビットのプログラム/読み出し動作と、キャッシュプログラム動作、及びページコピーバック動作を安定されるように実行することができるページバッファ及びこれを具備した不揮発性メモリ装置を提供することである。
本発明の目的を達成するための本発明の特徴によれば、ページバッファは、感知ノードと第1接点とに連結されたラッチ、前記感知ノードと第2接点とに連結され前記感知ノードのセルデータを感知する感知回路、及び前記第1接点が前記ラッチによって充電された後前記第1接点と前記第2接点とを電気的に連結するスイッチ回路を含む。
本発明の目的を達成するための本発明の特徴によれば、ページバッファは、感知ノードと第1接点とに連結された第1レジスタ回路、前記感知ノードと第2接点とに連結され前記感知ノードのセルデータを感知する感知回路、前記感知回路に連結された第2レジスタ回路、前記第1接点が前記第1レジスタ回路によって充電された後前記第1接点と前記第2接点とを電気的に連結するスイッチ回路、及び前記感知結果を出力するデータ出力回路を含むことを特徴とする。
本発明の目的を達成するための本発明の特徴によれば、不揮発性メモリ装置は、複数のメモリセルを具備したメモリセルアレイ、ビットラインを通じて前記メモリセルと連結された複数のページバッファを具備したページバッファ回路、及び前記複数のページバッファを複数のグループに分割して制御する制御ロジックを含む。ここで、前記各ページバッファは、選択されたビットラインに電気的に連結された感知ノードと第1接点とに連結されたラッチ、前記感知ノードと第2接点とに連結されて前記感知ノードのセルデータを感知する感知回路、及び前記制御ロジックの制御に回答して前記第1接点が前記ラッチによって充電された後前記第1接点と前記第2接点とを電気的に連結するスイッチ回路を含むことを特徴とする。
本発明の目的を達成するための本発明の特徴によれば、不揮発性メモリ装置は、複数のメモリセルを具備したメモリセルアレイ、ビットラインを通じて前記メモリセルと連結された複数のページバッファを具備したページバッファ回路、及び前記複数のページバッファを複数のグループに分割して制御する制御ロジックを含み、前記各ページバッファは、選択されたビットラインに電気的に連結された感知ノードと第1接点とに連結された第1レジスタ回路、前記感知ノードと第2接点とに連結されて前記感知ノードのセルデータを感知する感知回路、前記感知回路に連結された第2レジスタ回路、前記第1接点が前記第1レジスタ回路によって充電された後前記第1接点と前記第2接点を電気的に連結するスイッチ回路、及び前記感知結果を出力するデータ出力回路を含むことを特徴とする。
この実施形態において、前記第1接点のキャパシタンス成分は、前記第2接点のキャパシタンス成分より大きいか、または同じであることを特徴とする。
この実施形態において、前記第1レジスタ回路は、前記セルデータを貯蔵する第1ラッチ、及び前記第1ラッチと前記第1接点とを電気的に連結する第1スイッチを含むことを特徴とする。
この実施形態において、前記第1スイッチは前記スイッチ回路より先にターンオンされることを特徴とする。
この実施形態において、前記感知回路は、前記第2接点と前記感知ノードとを電気的に連結する第2スイッチ、及び前記第2接点と前記第2レジスタ回路とを電気的に連結する第3スイッチを含むことを特徴とする。
この実施形態において、前記第2スイッチ及び前記第3スイッチは、前記スイッチ回路より先にターンオンされることを特徴とする。
この実施形態において、前記第2レジスタ回路は、プログラムされるデータを貯蔵する第2ラッチを含み、前記プログラムされるデータは前記第1ラッチにダンプされることを特徴とする。
この実施形態において、前記セルデータはマルチビットデータ及び単一ビットデータのうちいずれか1つであることを特徴とする。
この実施形態において、前記メモリセルはNANDタイプのフラッシュメモリセルであることを特徴とする。
本発明の目的を達成するための本発明の特徴によれば、ページバッファの駆動方法は、感知ノードに連結されたラッチを通じて第1接点を充電する段階、及び前記第1接点と、前記感知ノードのセルデータを感知する感知回路に連結された第2接点とを電気的に連結する段階を含むことを特徴とする。
本発明の目的を達成するための本発明の特徴によれば、ページバッファの駆動方法は、複数のページバッファを複数のグループに分割する段階、そして前記分割されたページバッファに具備された複数のラッチを所定の時間差をおいて順次的に駆動する段階を含み、前記ラッチを所定の時間差をおいて順次的に駆動する段階は、感知ノードに連結されたラッチを通じて第1接点を充電する段階、前記第1接点と、前記感知ノードのセルデータを感知する感知回路と連結された第2接点とを電気的に連結する段階を含むことを特徴とする。
この実施形態において、前記感知されたセルデータは前記ラッチに貯蔵されることを特徴とする。
この実施形態において、前記第1接点のキャパシタンス成分は前記第2接点のキャパシタンス成分より大きいか、または同じであることを特徴とする。
前記の本発明によれば、ページバッファのラッチノイズが低減されて、単一ビットまたはマルチビットに対するプログラム/読み出し動作と、キャッシュプログラム動作、及びページコピーバック動作を安定的に実行することができるようになる。
(実施形態)
以下、本発明による実施形態を、添付の図面を参照して詳細に説明する。
本発明のページバッファ及びこれを具備した不揮発性メモリ装置は、複数のページバッファを複数のグループに分割し、分割されたページバッファに具備された複数のラッチを所定の時間差を置いて順に駆動する。この時、各ページバッファは、感知ノードに連結されたラッチを通じて第1接点を先に充電した後、感知回路に連結された第2接点と前記第1接点とを電気的に連結する。その結果、ラッチの活性化の時、第1接点から第2接点にチャージが抜けても、ラッチに貯蔵されているデータ値には影響を及ぼさなくなる。
図2は本発明によるフラッシュメモリ装置1000の全体構成を示すブロック図である。図2には本発明が適用される不揮発性メモリ装置の実施形態として、NANDタイプのフラッシュメモリ装置の構成が図示されている。
図2を参照すると、本発明によるフラッシュメモリ装置1000は、データ情報を貯蔵するためのメモリセルアレイ100を含む。メモリセルアレイ100は、行(または、ワードライン)と列(または、ビットライン)が交差する領域にマトリックス形態で配列された複数のメモリセルを含む。各メモリセルは1ビットデータを貯蔵するか、またはマルチビットデータ(例えば、2ビットデータ)を貯蔵することができる。行デコーダ回路200はメモリセルアレイ100の行を選択し、選択された行及び非選択された行を対応するワードライン電圧で駆動する。例えば、プログラム動作の時、行デコーダ回路200は選択された行をプログラム電圧に駆動し、非選択された行をパス電圧にそれぞれ駆動する。読み出し動作の時、行デコーダ回路200は選択された行を読み出し電圧に駆動し、そして非選択された行をパス電圧にそれぞれ駆動する。読み出し動作はマルチビット及び単一ビットのプログラム動作モードの検証読み出し動作(verify read operation)、正常な読み出し動作(Normal read operation)などを含む。
これ以外にも、本発明によるフラッシュメモリ装置1000は、ビットライン選択及びバイアスブロック300、ページバッファブロック400、制御ロジックブロック500、そしてページバッファデコーダブロック600をさらに含む。
ビットライン選択及びバイアスブロック300は、制御ロジックブロック500の制御に回答し、メモリセルアレイ100のビットラインの一部を選択する。例えば、ビットライン選択及びバイアスブロック300はプログラム/読み出し動作モードの時、ビットラインのうち奇数番ビットラインBLoまたは偶数番ビットラインBLeを選択する。これは、1つの行が2つのページで構成されることを意味する。ビットライン選択及びバイアスブロック300は、1ページのビットラインに対応する複数のビットライン選択及びバイアス回路300a〜300bで構成される。ビットライン選択及びバイアス回路300a〜300bのそれぞれは、対応する対のビットラインBLe、BLoのうち1つを選択する。前記のように、1つの行が2つのページで構成される。しかし、1つの行が1つのページまたは2つより多いページで構成されることができるのは、この分野の通常的な知識を習得した者には自明である。
ページバッファブロック400は、動作モードによって感知増幅器として、または書き込みドライバとして動作する。例えば、プログラム動作モードの時、ページバッファブロック400はページバッファデコーダブロック600を通じて入力されるデータを貯蔵する。そして、ページバッファブロック400は貯蔵されたデータによってビットライン選択及びバイアスブロック300によって選択されたビットラインをプログラム電圧(例えば、接地電圧)またはプログラム禁止電圧(例えば、電源電圧)に駆動する。読み出し動作モードの時、ページバッファブロック400はビットライン選択及びバイアスブロック300によって選択されたビットラインを通じてメモリセルからデータを感知する。感知されたデータはページバッファデコーダブロック600を通じてデータラインバス(または外部)に出力される。ページバッファブロック400のプログラム/読み出し動作などは、制御ロジックブロック500によって制御される。
ページバッファブロック400は、それぞれのビットライン選択及びバイアス回路300a〜300bに対応する(または1つのページのビットラインにそれぞれ対応する)複数のページバッファ400a〜400bを具備する。そして、各ページバッファ400a〜400bは、感知されたデータとプログラムされるデータとが貯蔵されるラッチを具備する。ここで、各ページバッファ400a〜400bは互いに同一の構成を有する。したがって、以降では1つのページバッファ(例えば、400a)と関連する構成要素についてのみ詳細に説明する。
図2に図示されたように、本発明によるページバッファ400aは、2つのレジスタ410、420、ロード回路430、共通感知回路(図面には“CSC”で表記する)440、データ出力回路(図面には“DOC”で表記する)450、そしてスイッチ回路(図面には“LEC”で表記する)470を含む。
レジスタ410はキャッシュレジスタと呼ばれ、レジスタ420はメインレジスタと呼ばれる。キャッシュレジスタ410の内部にはプログラムされるデータをラッチするラッチ(図3の417参照)が具備され、メインレジスタ420の内部には感知されたデータをラッチするラッチ(図3の427参照)がそれぞれ具備される。メインレジスタに具備されたラッチはメインラッチと呼ばれる。
感知ノードSOはビットライン選択及びバイアス回路300aによって選択されたビットラインに電気的に連結される。ロード回路430は感知ノードSOに電気的に連結され、感知ノードSOに電流を供給する。データ出力回路450はメインレジスタ420に貯蔵されたデータをページバッファデコーダ回路600に出力する。共通感知回路440はスイッチ回路470を通じてメインレジスタ420に電気的に連結され、キャッシュレジスタ410と感知ノードSOに直接の電気的に連結される。共通感知回路440は読み出し動作の時、レジスタ410、420のうちいずれか1つに感知経路を提供する。また、共通感知回路440はデータダンプ区間中レジスタ410と420との間にデータ経路を提供する。
スイッチ回路470は、制御ロジックブロック500の制御に応答してメインレジスタ420と共通感知回路440とを電気的に連結する。メインレジスタ420と共通感知回路440とが電気的に連結されることによって、メインレジスタ420内に具備されたメインラッチはデータをラッチすることができるように活性化される。本発明では、ページバッファブロック400に含まれている複数のメインラッチを同時に活性化させず、非常に小さな時間差を置いて連続的に活性化させる。また、本発明ではメインラッチを活性化させる動作を、メインラッチを通じてノードAを充電させる第1動作と、ノードAが充電された後、スイッチ回路470を通じてノードAとノードBを電気的に連結させる第2動作とに区分して実行する。
以上のようなメインラッチの活性化動作によれば、ラッチの活性化の時、スイッチ回路470の両端(すなわち、ノードA、ノードB)との間にかかるロードキャパシタンス成分の比率(すなわち、Cap_A/Cap_B)が一定のレベル以上で維持される。これは、メインラッチの活性化の時、前記キャパシタンス成分Cap_A、Cap_Bのチャージ共有現像による電圧の変化を最小化させる。その結果、ラッチノイズが防止され、ラッチに貯蔵されている値が一定に維持される。これに関する内容は図3を参照して詳細に説明される。
一方、前記のように、本発明のフラッシュメモリ装置1000は、1つのページバッファ構造を通じて単一ビット、マルチビットのプログラム動作、キャッシュプログラム動作、そしてページコピーバック動作を実行することができる構造を有している。しかし、ページバッファ400aの実施形態が図2に図示されたものに限定されないのは、この分野の通常的な知識を習得した者には自明である。
図3は本発明の実施形態によるページバッファ400aの回路図である。
図3を参照すると、本発明によるページバッファ400aは、キャッシュレジスタ410、メインレジスタ420、ロード回路430、共通感知回路440、データ出力回路450、そしてスイッチ回路470を含む。
キャッシュレジスタ410は4つのNMOSトランジスタ411、412、413、416と2つのインバータ414、415とを含む。2つのインバータ414、415はラッチ417を構成する。NMOSトランジスタ411はラッチノードN1に連結されたドレインと、ソースと、制御信号C1が入力されるように連結されたゲートとを有する。NMOSトランジスタ413はゲートを通じて制御信号C3を入力される。NMOSトランジスタ413は、NMOSトランジスタ411のソースと接地との間に連結される。NMOSトランジスタ412は制御信号C2を入力されるように連結されたゲートと、ラッチノードN2に連結されたドレインと、NMOSトランジスタ413のドレインに連結されたソースとを有する。NMOSトランジスタ416はゲートを通じて制御信号C4を入力される。NMOSトランジスタ416はラッチノードN2とノードAとの間に連結される。
キャッシュレジスタ410のラッチ417にはプログラムされるデータが貯蔵される。プログラムされるデータが入力されるデータロード区間の間、制御信号C1、C2は互いに相補的なロジックレベルを有する。例えば、データ‘1’がロードされる時、制御信号C1はロジックハイレベルになり、制御信号C2はロジックローレベルになる。データ‘0'がロードされる時、制御信号C1はロジックローレベルになり、制御信号C2はロジックハイレベルになる。ラッチ417を初期化させようとする時、制御信号C1、C2は制御信号C3がロジックハイレベルに設定された状態でロジックハイレベルとロジックローレベルにそれぞれ設定される。制御信号C3は図2の制御ロジックブロック500から提供され、プログラムされるデータが入力されるデータロード区間の間に活性化される。制御信号C4は図2の制御ロジックブロック500から提供され、MSBプログラム動作の初期読み出し(initial sensing)区間で活性化される。本発明のフラッシュメモリ装置1000は一つのメモリセルに2ビットデータ(“11”、“10”、“00”、“01”)を貯蔵する。この場合、プログラム動作は2回にわたって実行され、2回のプログラム動作のうち第1のプログラム動作を“LSBプログラム動作”といい、第2のプログラム動作を“MSBプログラム動作”という。一方、NMOSトランジスタ411、412、413は制御信号C1、C2、C3に応答してラッチノードN1、N2を選択的に接地電圧に連結する。
続いて、図3を参照すると、メインレジスタ420は4つのNMOSトランジスタ421、422、423、426と2つのインバータ424、425で構成される。2つのインバータ424、425はメインラッチ427を構成する。NMOSトランジスタ421は、制御信号C5が入力されるように連結されたゲートと、ラッチノードN3に連結されたドレインと、ノードAに連結されたソースとを有する。NMOSトランジスタ422は、制御信号C6が入力されるように連結されたゲートと、ラッチノードN4に連結されたドレインと、ノードAに連結されたソースとを有する。NMOSトランジスタ423は制御信号C7が入力されるように連結されたゲートと、ノードAに連結されたドレインと、接地されたソースとを有する。NMOSトランジスタ426は、ゲートを通じて制御信号C8を入力される。NMOSトランジスタ426は感知ノードSOとラッチノードN3との間に連結される。
この実施形態において、制御信号C5、C6、C7、C8は図2の制御ロジックブロック500から提供される。制御信号C5は、キャッシュレジスタ410にロードされたデータが共通感知回路440を通じてメインレジスタ420に伝達される時、活性化される。制御信号C6は、メインラッチ427を初期化する時と、読み出し動作の感知区間(normal sensing)、そして検証区間(“00”、“01”、及び“10”検証区間)で活性化される。制御信号C7は、メインラッチ427を初期化する時、及びデータ出力区間で活性化される。制御信号C8は、プログラム区間でメインラッチ427に貯蔵されているデータをビットラインに伝達する時、活性化される。しかし、制御信号C5、C6、C7、C8が活性化される時、メインラッチ427に感知経路またはデータ経路がすぐ形成されるのではない。以降で説明されるが、先に制御信号C5、C6、C7、C8が活性化されてメインラッチ427と連結された隣接ノードが充電された後、活性化された制御信号C17によってスイッチング回路470がターンオンされる時、メインラッチ427に感知経路またはデータ経路が形成される。メインラッチ427は感知経路またはデータ経路が形成される時、ラッチ動作を実行し始める。
共通感知回路440は、4つのNMOSトランジスタ441、442、443、444で構成される。NMOSトランジスタ441は制御信号C10が入力されるように連結されたゲートと、ノードBに連結されたドレインと、ソースとを有する。NMOSトランジスタ442は、ノードBに連結されたドレインと、キャッシュレジスタ410のラッチノードN1に連結されたゲートと、ソースとを有する。ゲートが感知ノードSOに連結されたNMOSトランジスタ443は、トランジスタ441、442の共通ソースノードN5と接地電圧との間に連結される。NMOSトランジスタ444は、制御信号C11が入力されるように連結されたゲートと、共通ソースノードN5に連結されたドレインと、接地されたソースとを有する。
この実施形態において、制御信号C10は、MSBプログラム動作の“01”及び“10”検証区間、初期読み出し区間、そして正常読み出し動作の感知区間で活性化される。制御信号C11は、キャッシュレジスタ410に貯蔵されたデータをメインレジスタ420に伝達する時(すなわち、データダンプ区間で)活性化される。共通感知回路440は、制御信号C10、C11が活性化された後、制御信号C17が活性化されて共通感知回路440がメインレジスタ420と電気的に連結される時、やっとメインレジスタ420に感知経路またはデータ経路を提供する動作を実行し始める。
ロード回路430は電源電圧と感知ノードSOとの間に連結されたPMOSトランジスタ431で構成される。ロード回路430は、制御ロジックブロック500からの制御信号C9によって制御される。データ出力回路450は、2つのNMOSトランジスタ451、452で構成される。NMOSトランジスタ451、452は、接地電圧と信号ラインDOLとの間に直列に連結される。NMOSトランジスタ451、452は、メインレジスタ420に貯蔵されたデータ値と、制御信号C7とによってそれぞれ制御される。
スイッチ回路470は、ノードAとノードBとの間に連結されたNMOSトランジスタ471で構成される。NMOSトランジスタ471は、制御信号C17が入力されるように連結されたゲートと、ノードAに連結されたドレインと、ノードBに連結されたソースとを有する。制御信号C17は図2の制御ロジックブロック500から提供され、以降で説明されるメインラッチ427の活性化区間の間に制御信号C17に応答してスイッチングされる。スイッチ回路470のスイッチオン/オフ動作によってメインレジスタ420と共通感知回路440との間に感知経路またはデータ経路が形成され、ラッチ動作を実行することができるようにメインラッチ427が活性化される。
図4は、図3に図示されたページバッファ400aの動作を説明するためのタイミング図である。図4にはメインレジスタとして用いられるメインレジスタ420に具備されたメインラッチ427を活性化するのに用いられる制御信号が図示されている。メインラッチ427がデータをラッチすることができるように活性化される区間では、データダンプ区間、初期読み出し区間、正常な読み出し動作区間、及び検証読み出し区間(“01”及び“10”検証読み出し区間、及び“00”検証読み出し区間を含む)がある。以降ではページバッファ400aの正常な読み出し区間の間にメインラッチ427が活性化される動作を例として見ることにする。
図3及び図4を参照すると、正常な読み出し動作区間が始まれば、制御信号(C6、C10)が先に活性化される。その後、制御信号C17が活性化される。制御信号C17は、ページバッファブロック400に含まれた複数のグループに該当する複数のメインラッチの感知経路を形成するのに用いられる。また、制御信号C17は複数のグループに対応するように所定の時間差を有する複数の制御信号C17<7:0>‐C17<7:7>で構成される。
活性化された制御信号C6、C10によって、メインラッチ427に連結されたトランジスタ422と、共通感知回路410に具備されたトランジスタ441とが先にターンオンされる。前記トランジスタ422、441がターンオンされることによって、スイッチ回路470の両端に位置したノードA及びノードBにはチャージが満たされるようになる。ノードA及びノードBから見ると、キャパシタンス成分はそれぞれCap_A及びCap_Bである。トランジスタ422、441がターンオンされる時、ノードAのキャパシタンス成分Cap_Aは、ノードBのキャパシタンス成分Cap_Bより大きいか、または同じ値を有するように構成される。続いて、複数に分割された制御信号C17<7:0>‐C17<7:7>のうち対応する制御信号C17<7:0>が活性化されれば、スイッチ回路470のトランジスタ471がターンオンされて、ノードAとノードBとが電気的に接続される。その結果、メインラッチ427と共通感知回路440との間に感知経路が形成され、データをラッチすることができるようにメインラッチ427が活性化される。メインラッチ427が活性化されることによって、感知ノードSOのデータはラッチ427にラッチされ、共通感知回路410によって感知される。感知されたデータはデータ出力回路450を通じて外部に出力される。
この分野の通常の知識を有する人々によく知られているように、ロードキャパシタンス成分Cap_A、Cap_Bの大きさは、チャージ共有の時、誘発される電圧の変化量ΔVと密接に関係している。例えば、ロードキャパシタンス成分Cap_A、Cap_Bの大きさが大きくなればなるほど電圧の変化量ΔVは小さくなり、ロードキャパシタンス成分Cap_A、Cap_Bの大きさが小さくなればなるほど電圧の変化量ΔVは大きくなる。そこで、本発明ではノードAのキャパシタンス成分Cap_AがノードBのキャパシタンス成分Cap_Bより大きいように構成する。このような構成によれば、ラッチの活性化の時、ノードAとノードBとの間にチャージ共有が発生しても、ノードA側から発生される電圧の変化量△Vは、メインラッチ247に影響を与えない程度に小さくなる。すなわち、ノードAのキャパシタンス成分Cap_AがノードBのキャパシタンス成分Cap_Bより大きいか、または同一であれば、トランジスタ471のターンオンのとき、ノードA側からノードBの側にチャージが流入されてもラッチノードN3、N4の電圧には影響を及ぼさなくなる。
その結果、メインラッチ247に提供される電圧がメインラッチ247のトリップポイント以下に落ちるのが防止されて、メインラッチに貯蔵されたデータが安定に維持されることができるようになる。したがって、単一ビットまたはマルチビットに対するプログラム/読み出し動作と、キャッシュプログラム動作、及びページコピーバック動作を安定に実行することができるようになる。
以上では正常な読み出し動作区間を例としてラッチ427が活性化される過程を説明した。しかし、これは本発明が適用される複数の動作の中の1つを例示したに過ぎない。前記のメインラッチ427の活性化動作は、正常な読み出し動作だけではなく、データダンプ区間、初期読み出し区間、及び検証読み出し区間(“01”及び“10”検証読み出し区間、及び“00”検証読み出し区間を含む)にも全部適用されることができ、 本発明の技術的思想を外れない範囲内で多様な変化及び変更が可能である。
一般的なフラッシュメモリ装置の構成を概略的に示すブロック図である。 本発明によるフラッシュメモリ装置の全体構成を示すブロック図である。 本発明の実施形態によるページバッファの回路図である。 図3に図示されたページバッファの動作を説明するためのタイミング図である。
符号の説明
100 メモリセルアレイ
200 行デコーダ回路
300 ビットライン選択及びバイアスブロック
400 ページバッファブロック
470 スイッチ回路
500 制御ロジックブロック
600 ページバッファデコーダブロック

Claims (28)

  1. 感知ノードと第1接点とに連結されたラッチと、
    前記感知ノードと第2接点とに連結され、前記感知ノードのセルデータを感知する感知回路と、
    前記第1接点が前記ラッチによって充電された後、前記第1接点と前記第2接点とを電気的に連結するスイッチ回路とを含むことを特徴とするページバッファ。
  2. 前記第1接点のキャパシタンス成分は前記第2接点のキャパシタンス成分より大きいか、または同じであることを特徴とする請求項1に記載のページバッファ。
  3. 前記セルデータはマルチビットデータ及び単一ビットデータのうちいずれか1つであることを特徴とする請求項1に記載のページバッファ。
  4. 感知ノードと第1接点とに連結された第1レジスタ回路と、
    前記感知ノードと第2接点とに連結され、前記感知ノードのセルデータを感知する感知回路と、
    前記感知回路に連結された第2レジスタ回路と、
    前記第1接点が前記第1レジスタ回路によって充電された後、前記第1接点と前記第2接点とを電気的に連結するスイッチ回路と、
    前記感知結果を出力するデータ出力回路とを含むことを特徴とするページバッファ。
  5. 前記第1接点のキャパシタンス成分は前記第2接点のキャパシタンス成分より大きいか、または同じであることを特徴とする請求項4に記載のページバッファ。
  6. 前記第1レジスタ回路は、
    前記セルデータを貯蔵する第1ラッチと、
    前記第1ラッチと前記第1接点とを電気的に連結する第1スイッチとを含むことを特徴とする請求項4に記載のページバッファ。
  7. 前記第1スイッチは前記スイッチ回路より先にターンオンされることを特徴とする請求項6に記載のページバッファ。
  8. 前記感知回路は、
    前記第2接点と前記感知ノードとを電気的に連結する第2スイッチと、
    前記第2接点と前記第2レジスタ回路とを電気的に連結する第3スイッチとを含むことを特徴とする請求項4に記載のページバッファ。
  9. 前記第2スイッチ及び前記第3スイッチは前記スイッチ回路より先にターンオンされることを特徴とする請求項8に記載のページバッファ。
  10. 前記第2レジスタ回路は、
    プログラムされるデータを貯蔵する第2ラッチを含み、前記プログラムされるデータは前記第1ラッチにダンプされることを特徴とする請求項6に記載のページバッファ。
  11. 前記セルデータはマルチビットデータ及び単一ビットデータのうちいずれか1つであることを特徴とする請求項4に記載のページバッファ。
  12. 複数のメモリセルを具備したメモリセルアレイと、
    ビットラインを通じて前記メモリセルと連結された複数のページバッファを具備したページバッファ回路と、
    前記複数のページバッファを複数のグループに分割して制御する制御ロジックとを含み、
    前記各ページバッファは、
    選択されたビットラインに電気的に連結された感知ノードと第1接点とに連結されたラッチと、
    前記感知ノードと第2接点とに連結され、前記感知ノードのセルデータを感知する感知回路と、
    前記制御ロジックの制御に回答して前記第1接点が前記ラッチによって充電された後、前記第1接点と前記第2接点とを電気的に連結するスイッチ回路とを含むことを特徴とする不揮発性メモリ装置。
  13. 前記第1接点のキャパシタンス成分は前記第2接点のキャパシタンス成分より大きいか、または同じであることを特徴とする請求項12に記載の不揮発性メモリ装置。
  14. 前記メモリセルはマルチビットデータ及び単一ビットデータのうちいずれか1つであることを特徴とする請求項12に記載の不揮発性メモリ装置。
  15. 前記メモリセルはNANDタイプのフラッシュメモリセルであることを特徴とする請求項12に記載の不揮発性メモリ装置。
  16. 複数のメモリセルを具備したメモリセルアレイと、
    ビットラインを通じて前記メモリセルと連結された複数のページバッファを具備したページバッファ回路と、
    前記複数のページバッファを複数のグループに分割して制御する制御ロジックとを含み、
    前記各ページバッファは、
    選択されたビットラインに電気的に連結された感知ノードと第1接点とに連結された第1レジスタ回路と、
    前記感知ノードと第2接点とに連結され、前記感知ノードのセルデータを感知する感知回路と、
    前記感知回路に連結された第2レジスタ回路と、前記第1接点が前記第1レジスタ回路によって充電された後、前記第1接点と前記第2接点とを電気的に連結するスィッチ回路と、
    前記感知結果を出力するデータ出力回路とを含むことを特徴とする不揮発性メモリ装置。
  17. 前記第1接点のキャパシタンス成分は前記第2接点のキャパシタンス成分より大きいか、または同じであることを特徴とする請求項16に記載の不揮発性メモリ装置。
  18. 前記第1レジスタ回路は、
    前記セルデータを貯蔵する第1ラッチと、
    前記第1ラッチと前記第1接点とを電気的に連結する第1スイッチとを含むことを特徴とする請求項16に記載のページバッファ。
  19. 前記第1スイッチは前記スイッチ回路より先にターンオンされることを特徴とする請求項18に記載の不揮発性メモリ装置。
  20. 前記感知回路は、
    前記第2接点と前記感知ノードとを電気的に連結する第2スイッチと、
    前記第2接点と前記第2レジスタ回路とを電気的に連結する第3スイッチとを含むことを特徴とする請求項16に記載の不揮発性メモリ装置。
  21. 前記第2スイッチ及び前記第3スイッチは前記スイッチ回路より先にターンオンされることを特徴とする請求項20に記載の不揮発性メモリ装置。
  22. 前記第2レジスタ回路は、
    プログラムされるデータを貯蔵する第2ラッチを含み、前記プログラムされるデータは前記第1ラッチにダンプされることを特徴とする請求項18に記載の不揮発性メモリ装置。
  23. 前記セルデータはマルチビットデータ及び単一ビットデータのうちいずれか1つであることを特徴とする請求項16に記載の不揮発性メモリ装置。
  24. 前記メモリセルはNANDタイプのフラッシュメモリセルであることを特徴とする請求項16に記載の不揮発性メモリ装置。
  25. 感知ノードに連結されたラッチを通じて第1接点を充電する段階と、
    前記第1接点と、前記感知ノードのセルデータを感知する感知回路に連結された第2接点とを電気的に連結する段階とを含むことを特徴とするページバッファの駆動方法。
  26. 複数のページバッファを複数のグループに分割する段階と、
    前記分割されたページバッファに具備された複数のラッチを所定の時間差をおいて順に駆動する段階とを含み、
    前記ラッチを所定の時間差をおいて順に駆動する段階は、
    感知ノードに連結されたラッチを通じて第1接点を充電する段階と、前記第1接点と、前記感知ノードのセルデータを感知する感知回路に連結された第2接点とを電気的に連結する段階とを含むことを特徴とするページバッファの駆動方法。
  27. 前記感知されたセルデータは前記ラッチに貯蔵されることを特徴とする請求項25または26に記載のページバッファの駆動方法。
  28. 前記第1接点のキャパシタンス成分は前記第2接点のキャパシタンス成分より大きいか、または同じであることを特徴とする請求項25または26に記載のページバッファの駆動方法。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010020891A (ja) * 2008-07-09 2010-01-28 Samsung Electronics Co Ltd フラッシュメモリ装置及びそのプログラム方法

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101800763B (zh) * 2009-02-05 2013-04-10 威睿公司 使用网络和基于碟片上的方案的混合锁定
KR101662271B1 (ko) * 2009-06-29 2016-10-04 삼성전자주식회사 페이지 버퍼 및 이를 구비하는 비휘발성 반도체 메모리 장치
CN102682839B (zh) * 2011-03-16 2015-06-17 旺宏电子股份有限公司 快闪记忆体装置与其程序化方法
KR101459693B1 (ko) 2014-05-30 2014-11-17 김영순 유아용 블록식 학습교구
KR102197787B1 (ko) 2014-07-03 2021-01-04 삼성전자주식회사 비휘발성 메모리 장치 및 그 동작 방법
KR102238296B1 (ko) * 2015-06-12 2021-04-08 에스케이하이닉스 주식회사 반도체 메모리 장치
KR20170057902A (ko) * 2015-11-17 2017-05-26 에스케이하이닉스 주식회사 메모리 시스템 및 메모리 시스템의 동작 방법
KR20200046576A (ko) * 2018-10-25 2020-05-07 삼성전자주식회사 비휘발성 메모리 장치, 수직형 낸드 플래시 메모리 장치 및 이를 포함하는 에스에스디 장치
KR102535827B1 (ko) 2019-04-04 2023-05-23 삼성전자주식회사 내부 전압을 안정화시키기 위한 메모리 장치 및 그것의 내부 전압 안정화 방법
KR200493151Y1 (ko) 2019-09-19 2021-02-05 김찬균 3d 프린팅을 이용한 코딩 교육용 조립식 블록 세트
KR20210091479A (ko) * 2020-01-14 2021-07-22 에스케이하이닉스 주식회사 페이지 버퍼를 구비하는 반도체 메모리 장치
US11862287B2 (en) 2021-08-06 2024-01-02 Macronix International Co., Ltd. Managing page buffer circuits in memory devices

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11242894A (ja) * 1997-12-26 1999-09-07 Sony Corp 不揮発性半導体記憶装置およびそのデータ書き込み方法
JP2001312890A (ja) * 2000-04-27 2001-11-09 Toshiba Corp 不揮発性半導体メモリ
JP2004087002A (ja) * 2002-08-27 2004-03-18 Fujitsu Ltd Acセンス方式のメモリ回路
JP2005196950A (ja) * 2004-01-09 2005-07-21 Hynix Semiconductor Inc フラッシュメモリ素子のページバッファ

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7042770B2 (en) * 2001-07-23 2006-05-09 Samsung Electronics Co., Ltd. Memory devices with page buffer having dual registers and method of using the same
US6671204B2 (en) * 2001-07-23 2003-12-30 Samsung Electronics Co., Ltd. Nonvolatile memory device with page buffer having dual registers and methods of using the same
JP2003045179A (ja) * 2001-08-01 2003-02-14 Mitsubishi Electric Corp 半導体素子及びそれを用いた半導体メモリモジュール
US6847550B2 (en) 2002-10-25 2005-01-25 Nexflash Technologies, Inc. Nonvolatile semiconductor memory having three-level memory cells and program and read mapping circuits therefor
JP4322686B2 (ja) 2004-01-07 2009-09-02 株式会社東芝 不揮発性半導体記憶装置
KR100609568B1 (ko) 2004-07-15 2006-08-08 에스티마이크로일렉트로닉스 엔.브이. 비휘발성 메모리 장치의 페이지 버퍼 및 이를 이용한프로그램 방법과 독출 방법
KR100680486B1 (ko) 2005-03-30 2007-02-08 주식회사 하이닉스반도체 향상된 동작 성능을 가지는 플래시 메모리 장치의 페이지버퍼 회로 및 그 독출 및 프로그램 동작 제어 방법

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11242894A (ja) * 1997-12-26 1999-09-07 Sony Corp 不揮発性半導体記憶装置およびそのデータ書き込み方法
JP2001312890A (ja) * 2000-04-27 2001-11-09 Toshiba Corp 不揮発性半導体メモリ
JP2004087002A (ja) * 2002-08-27 2004-03-18 Fujitsu Ltd Acセンス方式のメモリ回路
JP2005196950A (ja) * 2004-01-09 2005-07-21 Hynix Semiconductor Inc フラッシュメモリ素子のページバッファ

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010020891A (ja) * 2008-07-09 2010-01-28 Samsung Electronics Co Ltd フラッシュメモリ装置及びそのプログラム方法

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