JP2006031871A - 半導体記憶装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 高速のデータ書き込みを可能とした半導体記憶装置を提供する。
【解決手段】 半導体記憶装置は、電気的書き換え可能な不揮発性メモリセルを有し、一つのメモリセルがしきい値電圧の順として規定される第1,第2,第3及び第4のデータのいずれかを記憶するメモリセルアレイと、前記メモリセルアレイのデータ読み出し及び書き込みを行う読み出し/書き込み回路と、前記読み出し/書き込み回路を制御して、第1のデータに初期化された前記メモリセルアレイの選択ページ内の第1の選択メモリセルに第2のデータを書き込む第1の書き込みシーケンスと、前記選択ページ内の第2又は第1のデータを記憶するメモリセルのうち第2の選択メモリセルに第4のデータを書き込み、続いて前記選択ページ内の第1又は第2のデータを記憶するメモリセルのうち第3の選択メモリセルに第3のデータを書き込む第2の書き込みシーケンスとを実行するコントローラとを有する。
【選択図】 図1
【解決手段】 半導体記憶装置は、電気的書き換え可能な不揮発性メモリセルを有し、一つのメモリセルがしきい値電圧の順として規定される第1,第2,第3及び第4のデータのいずれかを記憶するメモリセルアレイと、前記メモリセルアレイのデータ読み出し及び書き込みを行う読み出し/書き込み回路と、前記読み出し/書き込み回路を制御して、第1のデータに初期化された前記メモリセルアレイの選択ページ内の第1の選択メモリセルに第2のデータを書き込む第1の書き込みシーケンスと、前記選択ページ内の第2又は第1のデータを記憶するメモリセルのうち第2の選択メモリセルに第4のデータを書き込み、続いて前記選択ページ内の第1又は第2のデータを記憶するメモリセルのうち第3の選択メモリセルに第3のデータを書き込む第2の書き込みシーケンスとを実行するコントローラとを有する。
【選択図】 図1
Description
この発明は、半導体記憶装置に係り、特に多値記憶のための書き込み制御方式に関する。
電気的書き換え可能な不揮発性半導体記憶装置(EEPROM)であるフラッシュメモリは、メモリセルの電荷蓄積層(例えば浮遊ゲート)の電荷蓄積状態に応じてデータを不揮発に記憶する。例えば、浮遊ゲートの電子を放出させたしきい値電圧の低い状態(通常負のしきい値状態)をデータ“1”、浮遊ゲートに電子を注入したしきい値電圧の高い状態(通常正のしきい値状態)をデータ“0”として、二値記憶を行う。
フラッシュメモリの記憶容量を増やすためには、1メモリセルに多ビットを記憶する多値記憶が行われる。1メモリセルで2ビット記憶を行う4値記憶では、例えばしきい値電圧の低い方から順に、“11”,“10”,“01”,“00”として、書き込み制御がなされる。
フラッシュメモリの一つとして、NAND型フラッシュメモリが知られている。NAND型フラッシュメモリは、複数のメモリセルがソース/ドレイン拡散層を隣接メモリセルで共有して直列接続されるため、大容量化が可能である。
フラッシュメモリのデータ書き込みは、選択メモリセルの浮遊ゲートに電子注入を起こさせるに必要な書き込み電圧を印加することにより行われる。書き込みされるメモリセルのしきい値電圧を所定分布内に収めるためには、書き込み電圧の印加と書き込み状態を確認する書き込みベリファイとを繰り返すことが必要である。更に、書き込み電圧を書き込みサイクル毎に少しずつステップアップすることにより、より正確な書き込みしきい値制御が可能になる。
NAND型フラッシュメモリでは、ページ単位でデータ書き込みを行うことにより、実質的に高速のデータ書き込みを実現している。NAND型フラッシュメモリでの書き込み時、選択ブロック内の選択ページに対応する選択ワード線に書き込み電圧が印加され、少なくともビット線側の非選択ワード線には書き込みパス電圧が印加される。また書き込みベリファイ時は、選択ワード線にベリファイ用の読み出し電圧(ベリファイ電圧)が印加され、非選択ワード線にはセルデータによらずメモリセルをオンさせる読み出しパス電圧が印加される。
一般に、フラッシュメモリの高速書き込み特性を実現するためには、書き込み電圧を高くした方が好ましい。しかし、書き込み電圧をあまり高くすると、データしきい値分布の高精度制御が困難になる。特に狭いデータしきい値分布に制御することが望まれる多値記憶では、問題である。
この様な問題を解決する一つの有効な手法として、目標とするデータしきい値分布への書き込みを、書き込み条件の異なる次のような2段階で行う方式が提案されている(特許文献1参照)。第1段階書き込みは、比較的高速の書き込みが行われる条件とし、その書き込みベリファイでは目標とするデータしきい値分布の下限値より少し低いベリファイ電圧を用いる。第1段階の書き込みベリファイがパスした後の第2段階書き込みでは、より低速の書き込みとなる条件とし、その書き込みベリファイでは目標とするデータしきい値分布の下限値をベリファイ電圧とする。
第1及び第2段階の書き込み速度の切り換えは、書き込み時のメモリセルのチャネル電位を決める、ビット線に与える制御電圧の切り換えにより行う。即ち第1段階の“0”書き込みでは、ビット線に第1の制御電圧(例えば、通常の“0”書き込みと同じ0V)を与える。第2段階の“0”書き込みでは、それより高く、かつ書き込み禁止電圧よりは低い第2の制御電圧(例えば0.4V)を与える。書き込み禁止(“1”書き込み)のビット線制御電圧は、通常と同じ電源電圧Vccを用いる。
この様な書き込み手法を用いると、書き込み電圧を引き下げることなく、狭い書き込みしきい値分布を高速で書き込むことが可能になる。
特開2003−196988号公報
複数ページからなるブロックに高速でデータ書き込みを行うためには、1ページのデータ書き込みが高速化されるだけでは不十分である。例えば上述した書き込み条件を異ならせた2段階の書き込みを行う方式を4値データ書き込みに適用した場合を考える。上位ビット“x”と下位ビット“y”の組み合わせで表される4値データ“xy”の書き込みでは、全てのメモリセルが消去された状態(データ“11”状態)から、まず下位ビット“y”の書き込み(即ちデータ“10”書き込み)を行い、続いて上位ビット“x”の書き込み(即ちデータ“01”及び“00”書き込み)を行う。
このとき、“01”及び“00”書き込みを同時に実行するためには、既に書き込まれている下位ビットデータ(データ“11”及び“10”)を参照して、書き込みベリファイを行うことが必要である。そのためには、データ“01”及び“00”の書き込みデータをセンスアンプ回路に保持して書き込みを行う間、データ“11”及び“10”を読み出して、センスアンプ回路と併設されたデータキャッシュに保持しておくことが必要である。
従って、1ページの書き込みが終了するまでは、次ページの書き込みデータをロードすることができない。1ページの書き込みが行われている間に、次ページの書き込みデータをロード可能とするためには、更に別のデータレジスタを付加することが必要となる。
この発明は、高速のデータ書き込みを可能とした半導体記憶装置を提供することを目的とする。
この発明の一態様による半導体記憶装置は、電気的書き換え可能な不揮発性メモリセルを有し、一つのメモリセルがしきい値電圧の順として規定される第1,第2,第3及び第4のデータのいずれかを記憶するメモリセルアレイと、前記メモリセルアレイのデータ読み出し及び書き込みを行う読み出し/書き込み回路と、前記読み出し/書き込み回路を制御して、第1のデータに初期化された前記メモリセルアレイの選択ページ内の第1の選択メモリセルに第2のデータを書き込む第1の書き込みシーケンスと、前記選択ページ内の第2又は第1のデータを記憶するメモリセルのうち第2の選択メモリセルに第4のデータを書き込み、続いて前記選択ページ内の第1又は第2のデータを記憶するメモリセルのうち第3の選択メモリセルに第3のデータを書き込む第2の書き込みシーケンスとを実行するコントローラとを有する。
この発明によると、高速のデータ書き込みを可能とした半導体記憶装置を提供することができる。
以下、図面を参照して、この発明の実施の形態を説明する。
図1は、一実施の形態によるNAND型フラッシュメモリの機能ブロック構成を示し、図2及び図3はメモリセルアレイ1の構成を示している。メモリセルアレイ1は、NANDセルユニットNUをマトリクス配列して構成されている。各NANDセルユニットNUは、複数個(図3の例では16個)直列接続された電気的書き換え可能な不揮発性メモリセルM0−M15と、その両端をそれぞれビット線BLとソース線CELSRCに接続するための選択ゲートトランジスタS1及びS2を有する。
NANDセルユニット内のメモリセルの制御ゲートは異なるワード線WL0−WL15に接続される。選択ゲートトランジスタS1,S2のゲートはそれぞれ選択ゲート線SGD,SGSに接続される。
1ワード線を共有するNANDセルユニットの集合は、データ消去の単位となるブロックを構成する。図2に示すように、ビット線方向に複数のブロックBLK0,BLK1,…が配置される。
図3に示すように、2本ずつのビット線BLa,BLbが一つのセンスアンプPBを共有する構成としている。奇数番目のビット線BLaと偶数番目のビット線BLbとは、ビット線選択トランジスタQa,Qbにより選択的にセンスアンプPBに接続される。
1ワード線と奇数番のビット線BLaの交点にあるメモリセルが1ページを構成し、1ワード線と偶数番目のビット線BLbの交点にあるメモリセルが他の1ページを構成する。
ロウデコーダ2は、ロウアドレスに従ってワード線及び選択ゲート線を選択駆動するもので、ワード線ドライバ及び選択ゲート線ドライバを含む。センスアンプ回路3は、ビット線に接続されてページ単位のデータ読み出しを行うと共に、1ページの書き込みデータを保持するデータラッチを兼ねる。即ち、読み出し及び書き込みはページ単位で行われる。センスアンプ回路3とデータバス10との間には、センスアンプ回路3との間で1ページ分のデータを授受できるデータキャッシュ11が設けられている。
ロウデコーダ2、センスアンプ回路3及びデータキャッシュ11の部分は、メモリセルアレイ1のデータ読み出しと書き込み(書き込み後のベリファイ読み出しを含む)を行うための読み出し/書き込み回路を構成している。
データキャッシュ11と外部入出力端子I/Oとの間のデータ授受は、I/Oバッファ5を介し行われる。データキャッシュ11には、カラム選択信号により制御されるカラムゲートが付属し、カラムデコーダ4はこのカラムゲート制御を行う。例えば入出力端子I/Oが8個(I/O0−I/O7)として、上述のカラム制御によってデータキャッシュ11と外部入出力端子I/Oとの間は、1バイト単位でシリアルデータ転送が行われる。
入出力端子I/Oを介して供給されるアドレス“Add”は、アドレスレジスタ6を介してロウデコーダ2及びカラムデコーダ4に転送される。入出力端子I/Oを介して供給されるコマンド“Com”は、コントローラ7でデコードされる。コントローラ7は、外部制御信号とコマンドComに基づいて、データ書き込み及び消去のシーケンス制御及び読み出しの動作制御を行う。コントローラ7は、書き込み回数(ループ数)をカウントする書き込みカウンタ(PC)12を内蔵する。
内部電圧発生回路8は、コントローラ7により制御されて、書き込み、消去及び読み出しの動作に必要な各種内部電圧を発生するもので、電源電圧より高い内部電圧を発生するためには昇圧回路が用いられる。ステータスレジスタ9は、チップが読み出し又は書き込みのレディ状態にあるか、ビジー状態にあるかを示すステータス信号R/Bをチップ外部に出力するためのものである。
図4は、一つのセンスアンプPBiの構成を示している。センスノードNsenは、クランプ用NMOSトランジスタQ1を介し、ビット線選択トランジスタQa,Qbを介してビット線BLa,BLbに選択的に接続される。クランプ用トランジスタQ1は、ビット線電圧のクランプ用であり、またビット線電圧を検出するプリセンスアンプでもある。
センスノードNsenには、ビット線及びセンスノードをプリチャージするためのプリチャージ用NMOSトランジスタQ2と電荷保持用キャパシタCが接続されている。センスノードNsenには、転送ゲートトランジスタQ3,Q4を介して二つのデータ記憶部DS1,DS2が接続されている。書き込みデータは、データ記憶部DS1から転送用トランジスタQ3,Q4を介してデータ転送部DS2に転送されるようになっている。
データ書き込みは後述するように、書き込みと書き込みベリファイの繰り返しにより行われる。更に、高精度のしきい値制御を行うデータ“10”及び“01”の書き込みでは、書き込み条件を異ならせた2段階の書き込みを行う。第1段階書き込みでは、データ記憶部DS2の書き込みデータが、ビット毎の書き込みベリファイにより、“0”書き込みがなされたら以後“1”データ(書き込み禁止)となるように制御される。従って、第1段階書き込みのベリファイ判定では、データ記憶部DS2の全データが“1”となったことを検出して、パスとなる。この間、書き込みデータはデータ記憶部DS1に保持されている。従って、第2段階書き込みでは、データ記憶部DS1が、全データの書き込み終了によりオール“1”となるように制御される。
センスノードNsenは、転送用NMOSトランジスタQ6を介してデータキャッシュ11の一つのデータ記憶部DS3とも接続される。NMOSトランジスタQ7は、カラム制御信号CSLにより制御されるカラムゲートである。データ書き込み時、1ページの書き込みデータはバイト単位でシリアル転送されてデータキャッシュ11にロードされ、その後センスアンプ回路PBiに並列転送される。センスアンプPBi内でも、第1及び第2のデータ記憶部DS1及びDS2間で1ページデータの並列転送が可能とされている。
図5は、4値データのしきい値電圧分布を示している。1メモリセルが、上位ビット“x”と下位ビット“y”の組み合わせで定義される値データ“xy”を記憶する。データ“11”はしきい値電圧が最も低い、負のしきい値電圧状態であり、以下しきい値の順に、データ“10”,“01”,“00”が定義される。
データ“11”は、ブロック内の全メモリセルの浮遊ゲートの電子を放出させる消去動作により得られる消去状態である。データ“10”,“01”,“00”は、浮遊ゲートへの電子注入動作(“0”書き込み動作)により、それぞれ定められた正のしきい値電圧分布を持つように、書き込み制御される。
この実施の形態では、第1の書き込みシーケンスで、下位ビットデータ“y”をロードして、“10”書き込みを行う。第2の書き込みシーケンスにおいて、上位ビットデータ“x”により“10”及び“00”データの書き込みを行う。この第2の書き込みシーケンスでは、データ“10”からデータ“00”への書き込みを先に行い、引き続きデータ“11”からデータ“01”への書き込みを行う。
この第2の書き込みシーケンス内の書き込み順序は重要である。即ち、データ“10”,“01”は、狭いしきい値分布を高精度に制御することが要求されるのに対し、最上位しきい値電圧のデータ“00”は、それ程高精度のしきい値制御を必要とせず、高速の書き込みが可能である。そこで、高速で書き込みできるデータ“00”書き込みを先に行い、その後データ“01”書き込みを行うことによって、後に説明するように、データ“01”書き込みを行っている間に、次ページの書き込みデータロードを可能とする。これにより、複数ページデータの高速書き込みを可能としている。
高精度のしきい値制御を必要とするデータ“10”及び“01”の書き込みには、書き込み条件を異ならせた2段階書き込みを行う。この2段階書き込みでは後に説明するように、ビット線に与える制御電圧と、書き込みベリファイ時のベリファイ電圧を異ならせる。即ち、図5に示すように、データ“10”,“01”の目標とするしきい値電圧分布の下限値をそれぞれ、Vw12,Vw22として、データ“10”及び“01”の第1段階書き込みでは、書き込みベリファイ時、それらより少し低いベリファイ電圧Vw11,Vw21を用い、第2段階書き込みでは、ベリファイ電圧Vw12,Vw22を用いる。
データ“00”については、その様な2段階書き込みを行わないことで、短時間の書き込みが可能となる。但し、必要なら、データ“00”書き込みについても、2段階書き込み方式を適用することができる。またこの実施の形態では、データ“10”及び“01”の書き込みに2段階書き込み方式を適用する例を説明するが、最も厳しいしきい値制御が要求されるのは、データ“01”であり、これに対してのみ2段階書き込み方式を適用することも有効である。
図6は、別の4値データしきい値分布を示している。この場合、下から3番目のしきい値分布をデータ“00”、最上位しきい値分布をデータ“01”とする。下位ビット書き込みによりデータ“10”が得られることは、図5の場合と同じである。上位ビット書き込みシーケンスでは、データ“11”状態からデータ“01”への書き込みを先に行い、続いてデータ“10”状態からデータ“00”状態への書き込みを行う。
この場合も、“01”書き込みは、高精度のしきい値制御を必要としないので、短時間で書き込み可能である。“10”及び“00”書き込みは、高精度のしきい値制御を必要とするため、図5の場合の“10”及び“01”書き込みと同様に、書き込み条件を異ならせた2段階書き込みを行うものとする。従って図5におけると同様に、“10”書き込み時は各段階でベリファイ電圧Vw11,Vw12を用い、“00”書き込み時は、各段階でベリファイ電圧Vw21,Vw22を用いる。そして、“00”書き込みを行っている間に、次ページの書き込みデータをロードすることにより、複数ページデータの高速書き込みが可能になる。
以下では、図5の4値データしきい値分布を用いた場合について、詳細説明を行う。データ書き込みの詳細説明に先立って、データ消去と読み出しを簡単に説明する。
データ消去はブロック単位で、次のように行われる。即ち選択ブロックの全ワード線を0Vとし、セルアレイが形成されたp型ウェルに電源電圧より高い消去電圧Veraを印加する。これにより、メモリセルの浮遊ゲートの電子がチャネルに放出されて、ブロック内の全メモリセルは、データ“11”状態になる。
データ読み出しは、ページ単位で行われる。この4値データ読み出しのために、図5に示す各データしきい値分布の間に設定される読み出し電圧Vr1,Vr2,Vr3を用いた3回の読み出し動作が行われる。即ち選択ブロックの選択ワード線に読み出し電圧Vr1を与え、非選択ワード線及び選択ゲート線SGD,SGSに、図5に示す読み出しパス電圧Vreadを与えて、予め所定電圧に設定されたビット線の放電状態を検出することにより、データ“11”と“10”,“01”,“00”とが判別できる。更に、読み出し電圧Vr2,Vr3を選択ワード線に与えた同様の読み出し動作を繰り返すことにより、4値データ判別が可能になる。
次にデータ書き込みを詳細に説明する。データ書き込みはページ単位で行われる。既に簡単に説明したように、データ書き込みは、“10”書き込みを行う第1の書き込みシーケンスと、“10”及び“00”書き込みを行う第2の書き込みシーケンスを要する。
図7は、ある選択ワード線に沿ったメモリセルに対する下位ビット書き込みの第1の書き込みシーケンスと上位ビット書き込みの第2の書き込みシーケンスのタイミング図を示している。第1の書き込みシーケンスでは、コマンド入力、アドレス入力に続いて、第1ページ(例えば選択ワード線と奇数番目のビット線により選択されるメモリセルの集合)の書き込み制御データ即ち下位ビットデータ“y”をロードする。ここで、“y”=“0”が“10”書き込み、“y”=“1”が“11”書き込み(即ち書き込み禁止)となる。この下位ビットデータロードを受けて、コントローラ7は書き込み及び書き込みベリファイ制御を行う。
書き込み及び書き込みベリファイが開始されると、コントローラ7によりステータスレジスタ9がレディ状態にセットされ、外部にR/B=“L”(レディ状態)が出力される。従ってこの書き込み及び書き込みベリファイ動作の間に、次の第2ページ(同じ選択ワード線と偶数番目のビット線により選択されるメモリセルの集合)の書き込みデータをデータキャッシュ11にロードすることができる。
第2の書き込みシーケンスは、同様に選択ワード線のメモリセルのうち第1ページの書き込み制御データである上位ビットデータ“x”(“x”=“0”で“00”又は“01”書き込み、“x”=“1”で書き込み禁止)をロードした後、“00”書き込みと“01”書き込みが順次に行われるようにする。この場合、書き込みデータはデータキャッシュ11に保持し、まず“00”書き込みデータのみをセンスアンプ回路3に転送して、“00”書き込みを行う。“00”書き込みが完了したら、“01”書き込みデータをセンスアンプ回路3に転送して、“01”書き込みを行う。この“00”書き込みデータと“01”書き込みデータの転送は、ページ内アドレスにより、図4に示される転送トランジスタQ3及びQ4を制御することにより、選択的に行われる。
“01”書き込みデータをセンスアンプ回路3に転送した後は、データキャッシュ11の書き込みデータは不要となる。このときコントローラ7は、ステータスレジスタ9にR/B=“L”(Ready)をセットする。従って、“01”書き込み動作の間に、データキャッシュ11に次の第2ページの書き込みデータロードが可能になる。
前述のように、“00”及び“01”書き込みを同時に実行すれば、書き込みに要する時間はより短くできる。しかしこの場合は、二つのデータ“00”,“01”書き込みベリファイのために、既に書かれている下位データ“11”,“10”を参照することが必要となる。そのため、これらの下位データをデータキャッシュ11に読み出して、書き込みが完了するまで保持しなければならない。
この結果、書き込みが完了するまで次ページの書き込みデータをロードすることができない。この実施の形態においては、“00”書き込みと“01”書き込みをシリアルに行うことにより、“01”書き込み時にはデータキャッシュ11が空き、次ページ書き込みデータの入力が可能になる。従って、複数ページのデータを連続して書く場合には、高速書き込みが可能になる。
図7では、一つの選択ワード線内のデータ書き込みのみ説明した。選択ブロック内の複数ワード線に順次データ書き込みを行う場合には、最初のワード線に図7に示した2ページ分の第1の書き込みシーケンス、続いて同じ2ページ分の第2の書き込みシーケンスを実行し、以下順次ワード線を切り換えて同様の書き込みを繰り返す。
図8は、この実施の形態でのデータ書き込み時のバイアス関係を、あるブロックのワード線WL5が選択され、奇数番のビット線BLaが選択された場合を例にとって示している。図9は、第1の書き込みシーケンス(下位ビット書き込み)の制御アルゴリズムを示し、図10及び図11は、第2の書き込みシーケンス(上位ビット書き込み)の制御アルゴリズムを示している。
図9の第1の書き込みシーケンス(“10”書き込み)を説明すると、ホストからのデータ入力コマンドを受けて、コントローラ7は書き込み制御を開始する。データ入力コマンドに続いて、アドレス及び1ページ分の書き込みデータ(下位ビットデータ“y”)が入力されると、アドレスはアドレスレジスタに、書き込みデータはデータキャッシュ11を介してセンスアンプ回路3のデータ記憶部DS1に設定される(ステップS1,S2)。
次いで、書き込み開始コマンドが入力され、コントローラ7に設定されると(ステップS3)、以下自動的にデータ書き込みが起動される。データ記憶部DS1のデータは一括してデータ記憶部DS2に転送される(ステップS4)。次いで、書き込み電圧Vpgmが初期値Vpgm0に設定され、また書き込みカウンタPCがリセットされる(ステップS5)。
続いて、書き込みのためのビット線制御電圧設定ステップS6、書き込みステップS7、ベリファイ判定ステップS8,書き込みベリファイステップS9,S10が行われる。ステップS6のビット線制御電圧設定は、次のように行われる。データ記憶部DS1が“0”でかつデータ記憶部DS2が“0”のとき、“10”第1段階書き込みであり、このとき、図8に示すように、選択ビット線BLaの制御電圧は0Vとする。第1段階書き込みで、ある選択メモリセルのしきい値電圧がVw11になると、対応するデータ記憶部DS1のデータが“0”から“1”に変更される。従ってデータ記憶部DS1が“0”でかつデータ記憶部DS2が“1”のとき、“10”第2段階書き込みであり、このとき、図8に示すように、選択ビット線BLaの制御電圧は、第1段階書き込み時のそれより高く、書き込み禁止電圧Vccよりは低い0.4Vとする。データ記憶部DS1が“1”でかつデータ記憶部DS2が“1”のときは、書き込み禁止であり、このとき、図8に示すように、選択ビット線BLaの制御電圧はVccとする。
この様に設定されたワード線の書き込み電圧Vpgmとビット線の書き込み制御電圧を用いて、1ページのメモリセルに書き込みパルスを印加する書き込みステップS7が実行される。図8に示すように、選択ワード線WL5に書き込み電圧Vpgmが、非選択ワード線のうち選択ワード線WL5に隣接するソース線側のワード線WL6には0Vが、それ以外の非選択ワード線には書き込みパス電圧Vpassが印加される。
第1段階書き込みでは、“0”書き込みのメモリセルのチャネルにビット線電圧0Vが転送され、浮遊ゲートとチャネルの間に大きな電界がかかる。これにより、FNトンネリングにより浮遊ゲートに電子が注入され、メモリセルのしきい値が正方向に変化する。第2段階書き込みでは、チャネル電位が第1段階書き込みより高く設定され、電子注入が抑制される。書き込み禁止(“1”書き込み)のメモリセルでは、チャネルがVcc−Vthのフローティングになり、電子注入が生じない。
ベリファイ判定ステップS8では、全てのデータ記憶部DS2のデータが“1”であるか否かを判定する。全て“1”なら、“10”第1段階書き込みをパスと判定する。第1段階ステータスがパスでなければ、“10”第1段階書き込みベリファイが起動される(ステップS9)。
図5及び図8に示すように、第1段階書き込みベリファイでは、選択ワード線WL5に与えるベリファイ電圧を、目標しきい値の下限値より少し低いVw11とした読み出しが行われる。1ページのメモリセルのうち、判定結果がパスとなったメモリセル対応のデータ記憶部DS2を“0”から“1”に変える。データ記憶部DS2のデータが“1”であれば、それを維持する。
第1段階ステータスがパスの場合、或いは“10”第1段階書き込みベリファイが終了すると、“10”第2段階書き込みベリファイが起動される(ステップS10)。前述のように、“10”第2段階書き込みが行われるのは、DS1=“0”かつDS2=“1”のセルである。図5及び図8に示すように、第2段階書き込みベリファイでは、選択ワード線WL5に与えるベリファイ電圧を、目標しきい値の下限値Vw12とした読み出しが行われる。1ページのメモリセルのうち、判定結果がパスとなったメモリセル対応のデータ記憶部DS1を“0”から“1”(書き込み禁止)に変える。データ記憶部DS1のデータが“1”であれば、それを維持する。
第2段階ステータスのパス又はフェイルを判定し(ステップS11)、パスであれば、パスフラグを設定して(ステップS12)、書き込みを終了する。フェイルの場合は、書き込みカウンタPCが予め設定された最大カウント値(例えば20)以下であるか否かを判定し(ステップS13)、最大カウント値に達していれば、正常に書き込みなされなかったものとして、フェイルフラグを設定して(ステップS14)、書き込みを終了する。
最大カウント値に達していなければ、書き込み電圧Vpgmをステップアップすると共に、書き込みカウンタPCをインクリメントして(ステップS15)、再度ステップS6に戻り、以下同様の書き込みを繰り返す。
図12は、以上の第1の書き込みシーケンス(“10”書き込み)での書き込み電圧Vpgm、ビット線制御電圧及び、代表的なメモリセルのしきい値変化の様子を示している。“10”第1段階書き込みでは、ビット線電圧が0V、ベリファイ電圧がVw11である。これにより、しきい値変化が大きい、比較的高速の“0”書き込みが行われる。第1段階書き込みがパスした後の“10”第2段階書き込みでは、ビット線電圧が0.4Vに設定され、書き込み速度が抑えられる。“1”書き込み(書き込み禁止)のときは、ビット線電圧は通常通りVccである。この様に“0”書き込みに2段階書き込み方式を適用することにより、メモリセルの書き込み特性のばらつきにかかわらず、高速でしかも狭いしきい値電圧分布の“10”書き込みが可能になる。
次に、第2の書き込みシーケンス(上位ビット書き込み)を、図10及び図11を参照して説明する。ホストからのデータ入力コマンドを受けて、コントローラ7は書き込み制御を開始する。データ入力コマンドに続いて、アドレス及び1ページ分の書き込みデータ(上位ビットデータ“x”)が入力されると、アドレスはアドレスレジスタ6に、書き込みデータはデータキャッシュ11にロードされる(ステップS21,S22)。
次いで、書き込み開始コマンドが入力され、コントローラ7に設定されると(ステップS23)、以下自動的にデータ書き込みが起動される。まずデータキャッシュ11の上位ビットデータのうち、“00”書き込み用データのみがセンスアンプ回路3のデータ記憶部DS1に転送される(ステップS24)。具体的にいえば、“01”及び“00”書き込み用データは共に“x”=“0”であるが、そのうち“00”書き込み用の“0”データのみを対応するデータ記憶部DS1に転送し、それ以外のデータ記憶部DS1には“1”データ(書き込み禁止)を転送する。
次いで、書き込み電圧Vpgmが初期値Vpgm0に設定され、また書き込みカウンタPCがリセットされる(ステップS25)。以下、通常の2値データ書き込みの場合と同様に、書き込みステップS26、書き込みベリファイステップS27、ベリファイ判定ステップS28が実行される。ベリファイ読み出しで、“00”書き込みセルについて、図5に示すしきい値電圧Vw3に達したことが検出されると、対応するデータ記憶部DS1の“0”データは、以後“1”データ(書き込み禁止)となる。従って、データ記憶部DS1のデータがオール“1”でベリファイ判定がパスとなる。
判定結果がパスでなければ、書き込みカウンタPCが最大書き込み回数20以下であるか否かが判断され(ステップS29)、“YES”であれば、書き込み電圧をステップアップすると共に書き込みカウンタをインクリメントして、以下同様の書き込みを繰り返す。最大書き込み回数に達した場合には、フェイルフラグを設定して(ステップS31)、書き込みは終了する。
ステップS28のベリファイ判定がパスすると、次にデータキャッシュ11が保持している上位ビットデータ“x”のうち、“01”書き込み用データをセンスアンプ回路3のデータ記憶部DS1に転送し、更にデータ記憶部DS2にコピーする(ステップS32)。このデータ転送も“00”書き込みの場合と同様、“01”書き込みデータ以外は、“1”データ(書き込み禁止)を転送するものとする。次いで、書き込み電圧Vpgmを初期化し、書き込みカウンタPCをリセットする(ステップS33)。
この後図11に示すステップS34に移り、以下“01”書き込みが行われる。この“01”書き込みには、先の下位ビット“10”書き込みと同様に、2段階書き込み方式が適用される。ステップS34のビット線電圧設定は、先のステップS6と同様であり、データ記憶部DS1が“0”でかつデータ記憶部DS2が“0”のとき、“01”第1段階書き込みであり、このとき、図8に示すように、選択ビット線BLaの制御電圧は0Vとする。
第1段階書き込みである選択メモリセルのしきい値電圧がVw21になると、対応するデータ記憶部DS1のデータが“0”から“1”に変更される。従ってデータ記憶部DS1が“0”でかつデータ記憶部DS2が“1”のとき、“01”第2段階書き込みであり、このとき、図8に示すように、選択ビット線BLaの制御電圧は0.4Vとする。データ記憶部DS1が“1”でかつデータ記憶部DS2が“1”のときは、書き込み禁止であり、このとき、図8に示すように、選択ビット線BLaの制御電圧はVccとする。
この様に設定された書き込み電圧Vpgmと書き込み制御電圧を用いて、1ページのメモリセルに書き込みパルスを印加する書き込みステップS35が実行される。図8に示すように、選択ワード線WL5に書き込み電圧Vpgmが、非選択ワード線のうち選択ワード線WL5に隣接するソース線側のワード線WL6には0Vが、それ以外の非選択ワード線には書き込みパス電圧Vpassが印加される。
ベリファイ判定ステップS36では、全てのデータ記憶部DS2のデータが“1”であるか否かを判定する。全て“1”なら、“01”第1段階書き込みをパスと判定する。第1段階ステータスがパスでなければ、“01”第1段階書き込みベリファイが起動される(ステップS37)。
図5及び図8に示すように、第1段階書き込みベリファイでは、選択ワード線WL5に与えるベリファイ電圧を、目標しきい値の下限値より少し低いVw21とした読み出しが行われる。1ページのメモリセルのうち、判定結果がパスとなったメモリセル対応のデータ記憶部DS2を“0”から“1”に変える。既に“00”が書かれているメモリセルも“0”として読み出されるが、その対応データ記憶部DS2も“1”となる。データ記憶部DS2のデータが“1”であれば、それを維持する。
第1段階ステータスがパスの場合、或いは“01”第1段階書き込みベリファイが終了すると、“01”第2段階書き込みベリファイが起動される(ステップS38)。前述のように、“01”第2段階書き込みが行われるのは、DS1=“0”かつDS2=“1”のセルである。図5及び図8に示すように、第2段階書き込みベリファイでは、選択ワード線WL5に与えるベリファイ電圧を、目標しきい値の下限値Vw22とした読み出しが行われる。1ページのメモリセルのうち、判定結果がパスとなったメモリセル対応のデータ記憶部DS1を“0”から“1”(書き込み禁止)に変える。データ記憶部DS1のデータが“1”であれば、それを維持する。
そして、第2段階ステータスのパス又はフェイルを判定し(ステップS39)、パスであれば、パスフラグを設定して(ステップS40)、書き込みを終了する。フェイルの場合は、書き込みカウンタPCが予め設定された最大カウント値以下であるか否かを判定し(ステップS41)、最大カウント値に達していれば、正常に書き込みなされなかったものとして、フェイルフラグを設定して(ステップS42)、書き込みを終了する。
最大カウント値に達していなければ、書き込み電圧Vpgmをステップアップすると共に、書き込みカウンタPCをインクリメントして(ステップS43)、再度ステップS34に戻り、以下同様の書き込みを繰り返す。
以上の“00”及び“01”データの書き込みシーケンスにおいて、“00”書き込みが終了して、ステップS32でデータキャッシュ11の“01”書き込み用データをセンスアンプ回路3に転送した後は、データキャッシュ11のデータは不要となる。従って、図7に示したように、“01”データ書き込みを行っている間に、次ページの上位ビット書き込みデータをロードすることができる。
ここまでは、書き込み電圧Vpgm及びそのステップアップ電圧ΔVは書き込みデータによらず一定としたが、例えば書き込みデータに応じてこれを切り換えることも有効である。例えば、図12に破線で示したように、最上位しきい値データ“00”の書き込みについては、他のデータ“10”及び“01”の書き込み時の書き込み電圧初期値Vpgm0及びステップアップ電圧ΔVよりそれぞれ少し高い書き込み電圧初期値Vpgm0’及びステップアップ電圧ΔV’を用いる。これにより、“00”書き込み時間がより短縮される。
この発明は、滋養機実施の形態に限られない。上記実施の形態では、NAND型フラッシュメモリを説明したが、NOR型、DINOR型、AND型等、他のフラッシュメモリにも同様にこの発明を適用することができる。また実施の形態では、4値データ記憶を説明したが、4値以上の多値データ記憶にもこの発明を適用することが可能である。
1…メモリセルアレイ、2…ロウデコーダ、3…センスアンプ回路、4…カラムデコーダ、5…I/Oバッファ、6…アドレスレジスタ、7…コントローラ、8…内部電圧発生回路、9…ステータスレジスタ、10…データバス、11…データキャッシュ、NU…NANDセルユニット、M0〜M15…メモリセル、S1,S2…選択ゲートトランジスタ、WL0〜WL15…ワード線、SGD,SGS…選択ゲート線、BLa,BLb…ビット線、CELSRC…共通ソース線。
Claims (5)
- 電気的書き換え可能な不揮発性メモリセルを有し、一つのメモリセルがしきい値電圧の順として規定される第1,第2,第3及び第4のデータのいずれかを記憶するメモリセルアレイと、
前記メモリセルアレイのデータ読み出し及び書き込みを行う読み出し/書き込み回路と、
前記読み出し/書き込み回路を制御して、第1のデータに初期化された前記メモリセルアレイの選択ページ内の第1の選択メモリセルに第2のデータを書き込む第1の書き込みシーケンスと、前記選択ページ内の第2又は第1のデータを記憶するメモリセルのうち第2の選択メモリセルに第4のデータを書き込み、続いて前記選択ページ内の第1又は第2のデータを記憶するメモリセルのうち第3の選択メモリセルに第3のデータを書き込む第2の書き込みシーケンスとを実行するコントローラとを有する
ことを特徴とする半導体記憶装置。 - 前記第1,第2,第3及び第4のデータは、上位ビット“x”と下位ビット“y”で表される4値データ“xy”の“11”,“10”,“01”及び“00”として定義され、
前記第1の書き込みシーケンスでは、前記読み出し/書き込み回路にロードされた下位ビットデータ“y”に基づいて、“10”書き込みが行われ、
前記第2の書き込みシーケンスでは、前記読み出し/書き込み回路にロードされた上位ビットデータ“x”に基づいて、“00”書き込み、引き続き“01”書き込みが行われる
ことを特徴とする請求項1記載の半導体記憶装置。 - “10”,“00”及び“01”書き込みのうち少なくとも“01”書き込みについて、選択メモリセルに目標しきい値電圧より低い第1のしきい値電圧になるまで書き込む第1段階書き込みと、前記第1のしきい値電圧に達した選択メモリセルに前記目標しきい値電圧になるまで書き込む、第1段階書き込みより書き込み速度が低い条件での第2段階書き込みとが行われる
ことを特徴とする請求項2記載の半導体記憶装置。 - 前記メモリセルアレイは、
第1の方向に並ぶメモリセルの制御ゲートを共通接続するように配設された複数のワード線と、
第2の方向に並ぶメモリセルのドレインに選択的に接続されるように配設された複数のビット線とを有し、
前記読み出し/書き込み回路は、
前記メモリセルアレイのワード線を選択駆動するロウデコーダと、
前記メモリセルアレイのビット線に接続される、1ページデータを保持できるセンスアンプ回路と、
前記センスアンプ回路との間で並列にデータ転送が可能な1ページデータを保持できるデータキャッシュとを有し、
前記第1の書き込みシーケンスでは、前記センスアンプ回路に転送された下位ビットデータ“y”に基づいて第1ページの“10”書き込みが行われ、その書き込み動作の間に第2ページの下位ビットデータ“y”が前記データキャッシュにロードされ、
前記第2の書き込みシーケンスでは、前記データキャッシュにロードされた上位ビットデータ“x”のうち前記センスアンプ回路に転送された“00”書き込み用の上位ビットデータに基づいて第1ページの“00”書き込みが行われ、引き続き前記データキャッシュから前記センスアンプ回路に転送された“01”書き込み用上位ビットデータに基づいて第1ページの“01”書き込みが行われ、その“01”書き込み動作の間に第2ページの上位ビットデータ“x”が前記データキャッシュにロードされる
ことを特徴とする請求項2記載の半導体記憶装置。 - データ“10”,“00”及び“01”のうち少なくともデータ“01”書き込みについて、選択ワード線に書き込み電圧を、選択ビット線に第1の制御電圧を与えて、選択メモリセルに目標しきい値電圧より低い第1のしきい値電圧になるまで書き込む第1段階書き込みと、前記選択ワード線に書き込み電圧を、前記選択ビット線に第1の制御電圧より高く書き込み禁止電圧より低い第2の制御電圧を与えて、前記第1のしきい値電圧に達した選択メモリセルに前記目標しきい値電圧になるまで書き込む第2段階書き込みとが行われる
ことを特徴とする請求項4記載の半導体記憶装置。
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