JP2007132814A - ガスセンサ用mems構造体 - Google Patents
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Abstract
MEMS構造を有するガスセンサは,大量生産に向きコスト的にも低価格を実現できる可能性がある。しかし,車載を目的とする用途の様に機械的な特性,耐熱衝撃性,耐久性などの特性でまだ実用化の段階に達していない。上記用途の様に機械的な特性,耐熱衝撃性,耐久性が更に必要な場合に向けて先願特許 特願2005−325455は発明された。しかし、ブリッジ方向に発生する膨張収縮による応力を更に緩和する必要があった。
【解決手段】
シリコン基板とSiO2層及びSiNx層等からなるダイアフラム構造体において,該ダイアフラム部の一部を除去して形成される4本のブリッジを有するブリッジ構造体であって,相対する対をなすブリッジを平行な位置に配置する。
【選択図】図2
Description
2…ステージ
3…ブリッジ
B1…ブリッジ(B3と対向する,もしくは平行関係にある)
B2…ブリッジ(B4と対向する,もしくは平行関係にある)
B3…ブリッジ(B1と対向する,もしくは平行関係にある)
B4…ブリッジ(B2と対向する,もしくは平行関係にある)
Claims (1)
- シリコン基板とSiO2層及びSiNx層等からなるダイアフラム構造体において,該ダイアフラム部の一部を除去して形成される4本のブリッジを有するブリッジ構造体であって,相対する対をなすブリッジが平行な位置関係を有することを特徴とするガスセンサ用MEMS構造体。
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