JP2007119795A - 硬質皮膜及び硬質皮膜被覆工具 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基材表面に被覆する硬質皮膜であって、該硬質皮膜の少なくとも1層は、(Al1−x−y−zNbxCrySiz)の窒化物、炭化物、硼化物、酸化物、硫化物から選択される1種以上もしくはこれらの固溶体からなり、但し、x、y、zは夫々原子比率を示し、0.04<x<0.40、0.06<y<0.40、0≦z<0.20、0.10<x+y+z<0.50、を満足することを特徴とする硬質皮膜である。
【選択図】 図8
Description
Al必須硬質皮膜とSi必須硬質皮膜とは特に優れた密着強度を有するため、その相互作用により優れた耐摩耗性を発揮する。Si含有量であるu値は、0.04<u<0.80、とする。u値が0.04以下の場合は、単一層の場合に比べ、耐摩耗性を改善するには至らない。またu値が0.8以上の場合は、皮膜硬度の低下が著しく、機能皮膜としてその効果が顕著に確認できない。Al必須硬質皮膜とSi必須硬質皮膜とを積層する場合の最適な積層構造は、硬質皮膜の総膜厚に対して、Al必須硬質皮膜の占める割合が10%以上、99%未満である。この範囲であれば、積層する効果が顕著になり優れた耐摩耗性を発揮することができる。Al必須硬質皮膜の占める割合が60%以上、99%未満の場合、残留圧縮応力が比較的低く耐チッピング性を重視した切削工具の中でも、特に多刃エンドミル、汎用エンドミル、ドリル、インサート工具に最適である。Al必須硬質皮膜の占める割合が10%以上、60%未満の場合、残留圧縮応力が比較的高く、耐クラック性を重視した切削工具の中でも、特にボールエンドミルに最適である。硬質皮膜の総膜厚に対して、Al必須硬質皮膜が占める割合が10%以上、99%未満とは、2層以上積層することが可能であり、上記範囲の中で積層することも本発明に含まれる。具体的には、2層以上、3000層未満の積層構造が、耐摩耗性の観点から好ましい範囲である。
Si必須硬質皮膜は、高い皮膜硬度並びに残留圧縮応力を有する場合、硬質皮膜の最表層に被覆されることが好ましい積層構造である。また、Si必須硬質皮膜以外にも、例えば密着強化層として、TiN、CrN、(TiAl)N、(AlCr)N等、また摩擦を低減するために硬質皮膜の表層に硬質炭素膜等を被覆する場合等は、本発明の効果を損なわない範囲であれば本発明の効果が確認され、使用分野に応じて適宜変更を施すことができる。
本発明の硬質皮膜は、特に耐熱性に優れ、耐摩耗性に優れることから切削工具へ被覆するとにより、その効果が顕著に確認できる。本願発明の硬質皮膜の被覆方法に関しては、特に限定するものではないが物理蒸着法による被覆が好ましい。物理蒸着法の中でも特にアーク放電式イオンプレーティング(以下、AIPと記す。)法、スパッタリング(以下、SPと記す。)法が好適である。以下、本願発明を実施例に基づいて説明する。
図1より、本発明例1、2、3は、比較例17、18、従来例21、22に対して、押し込み硬さ、ヤング率が伴に高い値を示した。一方、従来例20に対して、従来例21、従来例22は高硬度を示すものの、ヤング率が低く、基材との密着強度に乏しかった。比較例17、比較例18は、何れも皮膜硬度が従来例20に対して低い結果となった。
図2〜図6より、上記酸化環境化において超硬合金基材は複雑な複数の酸化物を形成していることが確認される。即ち、これらの酸化物が形成される場合、硬質皮膜の耐酸化性が乏しいことを示す。従来例20の表面は硬質皮膜がほぼ消滅しており、酸化した超硬合金基材が剥き出しになっていた。従来例21は、1時間保持後、巨大な酸化物が硬質皮膜表面に形成され、図6から、超硬合金の基材表面には硬質皮膜はほぼ消滅しており、酸化した超硬合金基材であると考えられる複数のピークが確認された。
図7に本発明例1の9時間保持後のSEM像を示し、図8にXRD結果を示す。図9に本発明例2の9時間保持後のSEM像を示し、図10にXRD結果を示す。
図7、図8より、本発明例1は9時間保持後、硬質皮膜表面に酸化物を形成した。図9、図10より、Nb及びSiを添加した本発明例2は9時間保持後も硬質皮膜表面は微細な表面構造をしており、大幅に酸化特性が改善された。
これらの結果から(AlCr)N系皮膜にNb又はNbとSiを添加することにより、高温環境下における耐酸化性が大幅に改善されることがわかった。これらは何れもAl含有量一定化で評価した結果であることから、Nb又はNbとSi添加による効果である。
(切削条件)
工具:2枚刃ボールエンドミル(半径5mmR)
切削方法:高速仕上げ加工
被削材:マルテンサイト系ステンレス鋼(HRC52)
切り込み:軸方向、1.0mm、径方向、0.2mm
主軸回転数:20kmin−1
テーブル送り:4m/min
切削油:無し、ドライ切削(エアーブロー)
Claims (3)
- 基材表面に被覆する硬質皮膜であって、該硬質皮膜の少なくとも1層は、(Al1−x−y−zNbxCrySiz)の窒化物、炭化物、硼化物、酸化物、硫化物から選択される1種以上もしくはこれらの固溶体からなり、但し、x、y、zは夫々原子比率を示し、0.04<x<0.40、0.06<y<0.40、0≦z<0.20、0.10<x+y+z<0.50、を満足することを特徴とする硬質皮膜。
- 請求項1記載の硬質皮膜において、該硬質皮膜は総膜厚に対して、10%以上、99%未満を有し、残部が、(SiuMe1−u)の窒化物、炭化物、硼化物、酸化物、硫化物から選択される1種以上もしくはこれらの固溶体からなり、但し、Meは、Cr、Ti、Al、Nb、Yから選択される1種以上、uは原子比率を示し、0.04<u<0.80、を満足することを特徴とする硬質皮膜。
- 請求項1又は請求項2記載の硬質皮膜を被覆したことを特徴とする硬質皮膜被覆工具。
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