JP2007103852A - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】素子領域の形成された半導体基板表面に、外部取り出し用のパッド部と、前記パッド部を覆う層間絶縁膜と、この層間絶縁膜の開口を覆うように形成され、ボンディングパッドを形成する配線パターンと、前記配線パターン上を覆うパッシベーション膜と、前記パッシベーション膜に形成された開口内に露呈する前記配線パターンに接続するように圧着されたボンディングワイヤとを備えた半導体装置であって、前記パッシベーション膜により形成される開口端が、前記層間絶縁膜の開口よりも内側に位置し、前記層間絶縁膜の開口に起因するステップカバレッジ部を前記パッシベーション膜が覆うように形成される。
【選択図】図1
Description
ワイヤボンディング法を用いた固体撮像素子の実装方法では通常、CCDは、回路基板を兼ねたセラミックなどからなる箱状のパッケージ内に収納され、これらCCD側の端子とパッケージ側の端子がボンディングワイヤで接続される(例えば特許文献1)。
このため、チップ端部の外部接続領域では、図5に示すようにアルミニウム膜をボンディングパッド5として、ワイヤボンディングを行うことにより、外部接続を達成している。そして、このワイヤボンディング領域を構成するアルミニウム膜5の上層はパッシベーション膜8で被覆されており、このパッシベーション膜に形成された開口Oを介してワイヤボンディング(ボンディングワイヤ9)がなされる構造となっている。このため、アルミニウム膜で構成された配線とシリコンパッド3との間に形成される層間絶縁膜(BPSG膜)6のエッジによって形成される段差部で、この段差部上を覆う領域(ステップカバレッジ領域)でアルミニウム膜の膜厚が薄い部分が形成され易い。このため、アルミニウム膜からなるボンディングパッドを露出させるためにパッシベーション膜を開口する際、このステップカバレッジ領域で薄くなっているアルミニウム膜が、エッチングされてしまい、また、段切れが生じてしまうことがあった。
そしてさらには、このアルミニウム膜の下層のシリコンパッドまでもエッチングされてしまうことがあり、これが、ボンディング不良を生じる原因となっていた。
(実施の形態1)
まず本発明の半導体装置の外部取り出し構造を固体撮像素子に用いた例について説明する。この固体撮像素子は、図1に要部拡大断面図を示すように、光電変換部(フォトダイオード)及び電荷転送部の形成されたシリコン基板1表面に形成される配線構造の端面近傍に位置する外部取り出し部の構造に特徴を有するもので、プラズマCVD法で形成した窒化シリコン膜からなるパッシベーション膜8により形成される開口端O1が、前記層間絶縁膜6の開口O2よりも内側に位置し、前記層間絶縁膜の開口O2に起因してアルミニウム膜5に形成されたステップカバレッジ部を前記パッシベーション膜8が覆うように形成されたことを特徴とする。
まず、n型のシリコン基板1を用意し、フィールド酸化膜2を形成するとともに、電荷転送チャネル、チャネルストップ領域、電荷読み出し領域を形成する。
このようにして極めて容易に作業性よく固体撮像装置を形成することが可能となる。このように、本発明によれば、製造が容易でかつ信頼性の高い固体撮像装置を形成することが可能となる。
次に本発明の実施の形態2について説明する。本実施の形態では図4に示すように、第2の遮光膜を形成することなく、アルミニウム層パターン上に直接パッシベーション膜を形成するようにしてもよい。
さらにまた、前記実施の形態では、固体撮像素子について説明したが、固体撮像素子に限定されることなく、ロジック回路などを構成するLSIなど通常の半導体装置にも適用可能であることはいうまでもない。
2 フィールド酸化膜
3 パッド部(ドープトアモルファスシリコン層)
5 アルミニウム膜
6 層間絶縁膜
7 チタンナイトライド膜
8 パッシベーション膜
9 ボンディングワイヤ
Claims (15)
- 素子領域の形成された半導体基板表面に、外部取り出し用のパッド部と、前記パッド部を覆う層間絶縁膜と、この層間絶縁膜の開口を覆うように形成され、ボンディングパッドを形成する配線パターンと、前記配線パターン上を覆うパッシベーション膜と、
前記パッシベーション膜に形成された開口内に露呈する前記配線パターンに接続するように圧着されたボンディングワイヤとを備えた半導体装置であって、
前記パッシベーション膜により形成される開口端が、前記層間絶縁膜の開口よりも内側に位置し、前記層間絶縁膜の開口に起因する前記配線パターンのステップカバレッジ部を前記パッシベーション膜が覆うように形成された半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置であって、
前記ボンディングパッドを構成する配線パターンはアルミニウム膜またはアルミニウム合金である半導体装置。 - 請求項1または2に記載の半導体装置であって、
前記パッド部は導電性シリコン層である半導体装置。 - 請求項1乃至3のいずれかに記載の半導体装置であって、
前記ボンディングワイヤは金である半導体装置。 - 請求項1乃至4のいずれかに記載の半導体装置であって、
前記層間絶縁膜はBPSG膜またはPSG膜である半導体装置。 - 請求項1乃至5のいずれかに記載の半導体装置であって、
前記配線パターンと前記パッシベーション膜との間に遮光膜を形成した半導体装置。 - 請求項6に記載の半導体装置であって、
前記遮光膜は、チタンナイトライド(TiN)、チタンタングステン(TiW)などのチタン系化合物である半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置であって、
前記半導体装置はCCDである半導体装置。 - 素子領域の形成された半導体基板表面に、外部取り出し用のパッド部と、前記パッド部を覆う層間絶縁膜と、この層間絶縁膜の開口を覆うように形成され、ボンディングパッドを形成する配線パターンと、前記配線パターン上を覆うパッシベーション膜と、
前記パッシベーション膜に形成された開口内に露呈する前記配線パターンに接続するように圧着されたボンディングワイヤとを備えた半導体装置の製造方法であって、
前記パッシベーション膜にボンディング用の開口を形成する工程が、
前記パッシベーション膜により形成される開口端が、前記層間絶縁膜の開口よりも内側に位置するように、前記層間絶縁膜の開口に起因するステップカバレッジ部を前記パッシベーション膜が覆うようにパターニングする工程を含む半導体装置の製造方法。 - 請求項9に記載の半導体装置の製造方法であって、
前記ボンディングパッドを構成する配線パターンの形成工程が、アルミニウム膜またはアルミニウム合金を成膜する工程を含む半導体装置の製造方法。 - 請求項9または10記載の半導体装置の製造方法であって、
前記パッド部の形成工程が、導電性シリコン層を成膜し、これをパターニングする工程を含む半導体装置の製造方法。 - 請求項9乃至11のいずれかに記載の半導体装置の製造方法であって、
前記ボンディングワイヤとして金を用いて前記配線パターン上にワイヤボンディングを行う工程を含む半導体装置の製造方法。 - 請求項9乃至12のいずれかに記載の半導体装置の製造方法であって、
前記層間絶縁膜を形成する工程がBPSG膜またはPSG膜を成膜後リフローを行う工程を含む半導体装置の製造方法。 - 請求項9乃至13のいずれかに記載の半導体装置の製造方法であって、
前記ボンディングパッドを構成する配線パターンの形成工程後、前記パッシベーション膜の形成に先立ち、遮光膜を形成する工程を含む半導体装置の製造方法。 - 請求項14に記載の半導体装置の製造方法であって、
前記遮光膜を形成する工程は、スパッタリング法によりTiN、TiWなどのチタン系化合物を成膜する工程を含む半導体装置の製造方法。
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