JP2007103841A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】投影レンズと基板との間に液浸露光用液体を介在させた状態で露光を行う液浸露光を用いた半導体装置の製造方法であって、複数のパターンが形成されたフォトマスクを用意する工程(S1)と、投影レンズ及び液浸露光用液体を介してフォトマスクに形成された複数のパターンを所定面上に投影する工程(S2)と、所定面上に投影された複数のパターンに基づく複数の寸法取得用パターンの寸法に関する寸法情報を取得する工程(S3)と、寸法情報に基づいて液浸露光用液体の屈折率を調整する工程(S5)と、フォトマスクに形成されたパターンを投影レンズ及び屈折率が調整された液浸露光用液体を介して基板上に投影する工程(S6)と、を備える。
【選択図】 図3
Description
図1は、本発明の第1の実施形態に係る露光システムの概略を示したブロック図である。
次に、本発明の第2の実施形態について説明する。なお、基本的な装置構成(図1及び図2)及び基本的な動作(図3)は第1の実施形態と同様であるため、それらの詳細な説明は省略する。以下、主として第1の実施形態と異なる点について説明する。
次に、本発明の第3の実施形態について説明する。なお、基本的な装置構成(図1及び図2)及び基本的な動作(図3)は第1の実施形態と同様であるため、それらの詳細な説明は省略する。以下、主として第1の実施形態と異なる点について説明する。
次に、本発明の第4の実施形態について説明する。なお、基本的な装置構成(図1及び図2)及び基本的な動作(図3)は第1の実施形態と同様であるため、それらの詳細な説明は省略する。以下、主として第1の実施形態と異なる点について説明する。
11…基板保持ステージ 12…基板
13…投影レンズ 14…液浸露光用液体
16…光学像取得部 17…光学像解析部
20…液体供給部 30…液温調整部
40…液体排出部 50…寸法情報取得部
60…制御部
101…孤立ラインパターン 102…孤立スペースパターン
103…密集ラインパターン
Claims (5)
- 投影レンズと基板との間に液浸露光用液体を介在させた状態で露光を行う液浸露光を用いた半導体装置の製造方法であって、
複数のパターンが形成されたフォトマスクを用意する工程と、
投影レンズ及び液浸露光用液体を介して前記フォトマスクに形成された複数のパターンを所定面上に投影する工程と、
前記所定面上に投影された複数のパターンに基づく複数の寸法取得用パターンの寸法に関する寸法情報を取得する工程と、
前記寸法情報に基づいて液浸露光用液体の屈折率を調整する工程と、
前記フォトマスクに形成されたパターンを前記投影レンズ及び前記屈折率が調整された液浸露光用液体を介して基板上に投影する工程と、
を備えたことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記寸法情報は、前記複数の寸法取得用パターン間の寸法差を含み、
前記液浸露光用液体の屈折率は、前記寸法差が小さくなるように調整される
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記液浸露光用液体の屈折率は、前記液浸露光用液体の温度又は前記液浸露光用液体の移動速度を調整することによって調整される
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記所定面は、フォトレジスト膜を有する基板の表面であり、
前記寸法取得用パターンは、前記基板の表面に投影されたパターンに基づいて実際に形成されたフォトレジストパターンである
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記所定面は、基板保持ステージの表面であり、
前記寸法取得用パターンは、前記基板保持ステージの表面に投影されたパターンの光学像に基づいて予測されたパターンである
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
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