JP2007103800A - 薬液塗布装置制御方法および薬液塗布装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】薬液塗布装置に対して定期的にダミー吐出を行わせる際のダミー吐出レートを少なくとも2つ有し、一定の期間に吐出される薬液の量が常に一定値を超えるように前記ダミー吐出レートの切り替えを行う。
【選択図】図3
Description
図1は、本発明の薬液塗布装置制御方法の第1の実施形態を使用する薬液塗布装置の構成の一例を示す。本例では、例えばスピンオングラス(Spin On Glass; SOG) 法によって塗布されるSOG薬液を用いて酸化シリコン(SiO2 )膜を形成する場合について説明する。
Claims (5)
- 薬液塗布装置に対して定期的にダミー吐出を行わせる際のダミー吐出レートを少なくとも2つ有し、一定の期間に吐出される薬液の量が常に一定値を超えるように前記ダミー吐出レートの切り替えを行うことを特徴とする薬液塗布装置制御方法。
- 前記ダミー吐出レートの切り替えは、過去に吐出された薬液の量および/または将来予定される処理基板数に基づいて判断することを特徴とする請求項1記載の薬液塗布装置制御方法。
- 前記ダミー吐出レートは、ノズル先端固化防止の観点および劣化した薬液が基板に吐出されることを防止する観点から決定されることを特徴とする請求項1記載の薬液塗布装置制御方法。
- 前記所定の期間は、薬液の時間経過に対する劣化度と薬液ボトル容量と前記薬液塗布装置の配管内薬液容量の少なくとも一つに基づいて決定されることを特徴とする請求項1記載の薬液塗布装置制御方法。
- 薬液を貯蔵し、冷蔵状態で保管された薬液貯蔵容器と、
前記薬液貯蔵容器から薬液塗布用の吐出ノズルまで薬液を供給する経路に使用され、常温環境下で配設された配管と、
前記配管の途中に挿入された薬液供給制御用のポンプと、
前記ポンプによる薬液供給量を請求項1乃至4のいずれか1項に記載の薬液塗布装置制御方法を用いて制御するコントローラ
とを具備することを特徴とする薬液塗布装置。
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