JP2007088010A - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 トレンチゲート構造の半導体装置において、トレンチ上方コーナ部に結晶欠陥が生じることを抑制する。また、半導体装置の小型化が可能となる構造の半導体装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】 ゲート電極7の形状を、その断面がT字となるように、トレンチ5の内部から半導体基板4の表面に至って形成された形状とし、ソースとなるN+型領域15をトレンチ5から離れた位置であって、ゲート電極7における半導体基板4の表面上に位置する部分7aの下に配置した構造とした場合、ゲート電極7の上方部7aのトレンチ側壁5aに対するオーバラップ量を0.3μm以上とする。また、ゲート電極7とゲート配線10とを電気的に接続させるためのコンタクトホール18を、層間絶縁膜8のうち、トランジスタ領域内におけるトレンチ5の上方の位置に形成する。
【選択図】 図3
【解決手段】 ゲート電極7の形状を、その断面がT字となるように、トレンチ5の内部から半導体基板4の表面に至って形成された形状とし、ソースとなるN+型領域15をトレンチ5から離れた位置であって、ゲート電極7における半導体基板4の表面上に位置する部分7aの下に配置した構造とした場合、ゲート電極7の上方部7aのトレンチ側壁5aに対するオーバラップ量を0.3μm以上とする。また、ゲート電極7とゲート配線10とを電気的に接続させるためのコンタクトホール18を、層間絶縁膜8のうち、トランジスタ領域内におけるトレンチ5の上方の位置に形成する。
【選択図】 図3
Description
本発明は、トレンチゲート構造の半導体装置およびその製造方法に関するものである。
従来、トレンチゲート型のMOSFET、IGBT等のパワーデバイスに代表されるトレンチゲート構造、すなわち、半導体基板に形成されたトレンチの内部に、絶縁膜を介して、導電性材料が埋め込まれた構造の半導体装置がある。さらに、このトレンチゲート構造の半導体装置としては、トレンチ内の導電性材料部の断面形状が、I字形状である半導体装置やT字形状である半導体装置がある(例えば、特許文献1、2、3参照)。
そして、従来のトレンチゲート型のパワーデバイスは、ソース等を構成する不純物領域がトレンチに接して形成された構造であった。このため、基板表面よりも基板内部側であって、トレンチ側壁に面する領域にのみにチャネルが形成されていた(例えば、特許文献1、2、3参照)。
なお、ゲート電極がT字形状のパワーデバイスでは、トレンチ側壁に接した形状の不純物領域を形成するために、トレンチの開口端からゲート電極の基板表面上に位置する部分の先端までの距離を小さくする必要があった(例えば、特許文献3参照)。以下では、上記距離をオーバラップ量と呼ぶ。
また、従来のトレンチゲート型のパワーデバイスでは、隣り合うトレンチの間隔、すなわち、セルピッチを縮小させることにより、半導体装置の小型化を図っていた(例えば、特許文献2参照)。
特開2000−58823号公報
特表2002−543587号公報
特開2004−266140号公報
上記したように、トレンチ内の導電性材料部の断面形状がI字形状や、T字形状であってオーバラップ量が小さな構造の半導体装置を製造する場合では、トレンチの内部に形成された導電性材料部の表面を酸化させたとき、トレンチ上方コーナ部に結晶欠陥が生じるという問題がある。
この結晶欠陥は、導電性材料部の表面を酸化したとき、導電性材料部の上方エッジ近傍に生じるバーズビークの影響により、トレンチ上方コーナ部に高い応力が生じるためであると推測される。
一方、トレンチゲート型のパワーデバイスでは、セルピッチの縮小化は、例えば、その時代におけるパターニングやエッチング等の加工技術レベルに依存するため、セルピッチの縮小化に限度がある。したがって、半導体装置の小型化を図るために、セルピッチの縮小化とは異なる方法が求められている。
本発明は、上記点に鑑み、トレンチ上方コーナ部に結晶欠陥が生じるのを抑制できる構造の半導体装置およびその製造方法を提供することを第1の目的とする。また、半導体装置の小型化が可能となる構造の半導体装置およびその製造方法を提供することを第2の目的とする。
上記目的を達成するため、本発明は、導電性材料部(7)の形状を、半導体基板の表面上に位置する部分(7a)の端部(7b)が、トレンチ(5)の側壁(5a)から0.3μm以上離れている形状とすることを第1の特徴としている。
従来では、上記したように、導電性材料部の上方端部とトレンチ上方コーナ部の位置が近いために、導電性材料部の端部を酸化したときに、トレンチ上方コーナ部に応力が加わり、結晶欠陥が生じていた。
これに対して、本発明では、導電性材料部の上方端部とトレンチ上方コーナ部の位置を離しているので、トレンチ上方コーナ部に加わる応力を従来よりも緩和でき、トレンチ上方コーナ部に結晶欠陥が生じるのを抑制できる。
特に、以下に示す構造の半導体装置において、ゲート電極(7)を、半導体基板の表面上に位置する部分(7a)の端部(7c)が、トレンチ(5)の側壁(5a)から0.3μm以上離れている形状とすることが好ましい。
具体的には、この半導体装置は、半導体基板(4)に形成されたトレンチ(5)の内壁上から半導体基板(4)の表面上に至って、ゲート絶縁膜(6)を介して、断面がT字形状となるように、形成されたゲート電極(7)と、半導体基板内のうち、トレンチ(5)の側壁(5a)から離れた位置であって、かつ、ゲート電極(7)における半導体基板の表面上に位置する部分(7a)の下の位置に、ゲート絶縁膜(6)に隣接して配置されている第1半導体領域(15)等を備える構造である。
この構造では、トレンチ側壁に面する領域だけでなく、トレンチの上方コーナ部にもチャネルが形成される。このため、このチャネルが形成される領域に、結晶欠陥が存在すると、トランジスタ動作ができないという不具合が生じる。そこで、ゲート電極(7)を上記した構造とすることで、この不具合の発生を抑制できる。
また、本発明では、コンタクトホール(18)を、半導体基板(4)のうち、第1半導体領域(15)、第2半導体領域(3)、第3半導体領域(2)およびゲート電極(7)によってトランジスタが構成されているトランジスタ領域内におけるトレンチ(5)の上方に、配置していることを第2の特徴としている。
従来では、後述するように、ゲート電極用のコンタクトホールは、第1、第2、第3半導体領域が形成されているトランジスタ領域とは別の領域であるゲート電極引き出し領域に設けられていた(図9、10参照)。
これに対して、本発明では、トランジスタ領域内に、ゲート電極用のコンタクトホールを設けているので、従来のゲート電極引き出し領域を省略できる。このため、本発明によれば、従来のゲート電極引き出し領域を有する半導体装置と比較して、半導体装置の縮小化が可能となる。
この場合、例えば、層間絶縁膜(8)の表面上に形成され、第1半導体領域(15)と電気的に接続された金属配線(9)およびゲート配線(10)を、トランジスタ領域上で、ともに細長い形状として、ストライプ状に交互に配置することができる。
また、この場合、ゲート電極(7)は、上面(7c)が平坦であることが好ましい。
なお、第1の特徴と第2の特徴とを組み合わせることもできる。
また、第1の特徴に関して、半導体装置の製造する際では、トレンチ(5)を形成する工程で、半導体基板(4)のトレンチ形成予定領域に対向する位置に開口部(22)を有するマスク(21)を、半導体基板(4)の表面上に形成した後、マスク(21)を用いたエッチングにより、半導体基板(4)にトレンチ(5)を形成する。
そして、トレンチ(5)を形成した後、マスク(21)の開口端(22a)を、半導体基板の表面に対して平行な方向で、トレンチ側壁(5a)から0.3μm以上後退させる工程を行う。その後、トレンチ(5)の内壁に絶縁膜(6)を形成し、導電性材料部(7)を形成する工程で、マスク(21)の開口部(22)内に導電性材料を堆積させる工程を行った後、マスクを除去する工程を行うことで、導電性材料部(7)を形成することが好ましい。
このように、トレンチを形成するためのマスクを利用して、ゲート電極を形成することで、ゲート電極をセルフアラインで形成することができる。
また、マスク(21)の開口部(22)内に導電性材料を堆積させる工程と、マスク(21)を除去する工程との間で、堆積された導電性材料の上面を平坦化する工程を行うことが好ましい。なお、平坦化の方法としては、例えば、エッチバック法、CMP法を採用することができる。
なお、特許請求の範囲およびこの欄で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す一例である。
(第1実施形態)
図1に、本発明の第1実施形態における半導体装置の平面図を示す。また、図2に図1中の領域Aの拡大図を示し、図3にB−B線断面図を示す。なお、図1では、半導体基板上のゲート配線10およびソース配線9のみを示している。また、図1、2、3では、同一の構成部に同一の符号を付している。
図1に、本発明の第1実施形態における半導体装置の平面図を示す。また、図2に図1中の領域Aの拡大図を示し、図3にB−B線断面図を示す。なお、図1では、半導体基板上のゲート配線10およびソース配線9のみを示している。また、図1、2、3では、同一の構成部に同一の符号を付している。
本実施形態の半導体装置は、図1に示すように、後述する各半導体層およびゲート電極が形成され、これらによって、トランジスタが構成されている、すなわち、トランジスタとして機能するトランジスタ領域と、ソース配線9が形成されているソース配線領域と、ゲート配線10が形成されているゲート配線領域とを備えている。
そして、トランジスタ領域に、図3に示す構造のトレンチゲート型パワーMOSFETが形成されている。なお、本実施形態では、図3に示す構造のトレンチゲート型パワーMOSFETの他に、図示しないMOSFET等の他のデバイスが同一の半導体基板に形成されている。
図3に示す構造のトレンチゲート型パワーMOSFETは、ドレイン領域となるN+型層1と、N型層2と、P型層3とが積層されたシリコンからなる半導体基板4と、半導体基板4の表面からN型層2に到達する深さのトレンチ5の内部に、ゲート絶縁膜6を介して、埋め込まれたゲート電極7と、半導体基板4の表面上およびゲート電極7の表面上に形成された層間絶縁膜8と、層間絶縁膜8の表面上に互いに離間して形成されたソース電極(ソース配線)9およびゲート配線10と、半導体基板4の裏面に形成されたドレイン電極11とを備えている。
ここで、ゲート電極7は、トレンチ5の内壁から半導体基板4の表面に至って形成されており、断面がT字形状となっている。言い換えると、ゲート電極7は、その上方部7aが、基板表面に対して平行な方向で、トレンチ5に対してオーバラップして、半導体基板4の表面上に位置している。
そして、ゲート電極7の上方部7aのオーバラップ量13、すなわち、基板表面に対して平行な方向で、トレンチ5の側壁5aからゲート電極7の端部7b(その表面上のシリコン酸化膜12を含む)までの距離13は、例えば、0.3μmである。なお、オーバラップ量を0.3μmよりも大きくすることもできる。
また、ゲート電極7の上面7cは平坦であり、ゲート電極7の表面にシリコン酸化膜12が形成されている。また、ゲート電極7の上方部7aの基板表面からの高さは、0.3〜0.5μm程度である。なお、ゲート電極7は、ポリシリコンにより構成されている。このゲート電極7が特許請求の範囲に記載の導電性材料部に相当する。
ゲート絶縁膜6は、ゲート電極7に接して、トレンチ5の内壁から半導体基板4の表面に至って形成されている。
トレンチ5は、図2に示すように、基板表面において、複数の細長い形状で平行に、すなわち、ストライプ状に配置されている。また、図3に示すように、トレンチ5の上方コーナ部5bは、後述する犠牲酸化処理によって丸められており、その量はR=50〜150nm程度である。また、トレンチ5の幅14は、例えば、約1μmである。
また、半導体基板4の内部、すなわち、P型層3の基板表面側には、ソース領域となるN+型領域15と、コンタクトとなるP+型領域16とが形成されている。
N+型領域15は、基板表面からの深さが浅く、トレンチ5から離れた位置に配置されており、トレンチ5の側壁5aに到達していない。ただし、N+型領域15は、ゲート電極7の基板表面上に位置する部分7aの下に位置しており、ゲート絶縁膜6に隣接している。そして、N+型領域15およびP+型領域16は、層間絶縁膜8に形成されたコンタクトホール17を介して、ソース配線9と電気的に接続されている。このソース配線9が特許請求の範囲に記載の金属配線に相当する。
なお、N+型領域15が浅いのは、このN+型領域15と、図示しない他のMOSFETにおけるN+型領域との共用を目的としているためである。すなわち、他のMOSFETのN+型領域と深さを同じとすることで、このN+型領域15と他のMOSFETのN+型領域とを同一のイオン注入工程で形成するためである。
P型層3は、ゲート絶縁膜6に隣接しており、N+型領域15と接合している。そして、このP型層3のゲート絶縁膜6に接する領域がチャネルを構成するようになっている。すなわち、P型層3のうち、トレンチ5の側壁5aに面する領域とトレンチ上方コーナ部5bの近傍領域に、反転層からなるチャネルが形成されるようになっている。また、N型層2も、ゲート絶縁膜6に隣接しており、P型層3と接合している。
このように、図3に示すパワーMOSFETは、チャネル形成領域として、半導体基板4の表面から離れたトレンチ5の側壁5aの近傍だけでなく、半導体基板4の表面近傍の領域も使う構造となっている。なお、本実施形態では、N+型領域15、P型層3およびN型層2が、それぞれ、特許請求の範囲に記載の第1半導体領域、第2半導体領域、第3半導体領域に相当する。
また、図3に示すように、トレンチ5の真上にコンタクトホール18が形成されており、コンタクトホール18を介して、ゲート電極7とゲート配線10とが電気的に接続されている。言い換えると、ゲート電極7とゲート配線10とを電気的に接続するためのコンタクトホール18の位置と、トレンチ5の位置とが、基板表面に対して平行な方向において、重複している
なお、本実施形態では、コンタクトホール18の開口幅18aは、ゲート電極7の上面7cの幅よりも小さく、また、コンタクトホール18の全域が、ゲート電極7の上面7cに位置している。
なお、本実施形態では、コンタクトホール18の開口幅18aは、ゲート電極7の上面7cの幅よりも小さく、また、コンタクトホール18の全域が、ゲート電極7の上面7cに位置している。
また、ゲート配線10は、図1に示すように、トランジスタ領域の一端側に隣接するゲート配線領域からトランジスタ領域に、櫛歯状に、複数の細長い帯が伸びた形状である。また、ソース配線9は、トランジスタ領域の他端側、すなわち、ゲート配線領域の反対側に隣接するソース配線領域からトランジスタ領域に、櫛歯状に、複数の細長い帯が伸びた形状である。そして、ゲート配線10およびソース配線9の細長い部分は、トランジスタ領域内で、ストライプ状に、交互に配置されている。
また、ゲート配線10は、図2中の破線で示すように、トランジスタ領域では、ストライプ状に配置されているトレンチ5およびゲート電極7の真上に配置されている。そして、ゲート配線10とゲート電極8とを電気的に接続するためのコンタクトホール18が、ゲート電極7の真上に所定の間隔で複数個配置されている。同様に、ソース配線9とN+型領域15とを電気的に接続するためのコンタクトホール17が、細長い形状のソース配線9の真下に所定の間隔で複数個配置されている。
次に、上記した構造の半導体装置の製造方法について説明する。図4(a)〜(c)、図5(a)〜(c)、図6(a)〜(c)、図7(a)、(b)に、本実施形態における半導体装置の製造工程を示す。
〔図4(a)に示す工程〕
まず、半導体基板4を用意する。このとき、半導体基板4は、図4(a)中では一部省略しているが、例えば、N+型層1とN型層2とを備えている。
まず、半導体基板4を用意する。このとき、半導体基板4は、図4(a)中では一部省略しているが、例えば、N+型層1とN型層2とを備えている。
続いて、半導体基板4の表面上に、後に行うトレンチ形成の際に用いるマスクとしての酸化膜21を形成する。このとき、例えば、CVD法により酸化膜21を形成し、膜厚を約0.6〜0.8μmとする。なお、ここでいう酸化膜とは、シリコン酸化膜である。
〔図4(b)に示す工程〕
酸化膜21のパターニングを行う。すなわち、フォトリソグラフィおよびドライエッチングによって、酸化膜21のうち、半導体基板4のトレンチ形成予定領域に対向する領域を選択的に除去することで開口部22を形成する。このとき、開口部22の幅23を、例えば、0.6μmとする。
酸化膜21のパターニングを行う。すなわち、フォトリソグラフィおよびドライエッチングによって、酸化膜21のうち、半導体基板4のトレンチ形成予定領域に対向する領域を選択的に除去することで開口部22を形成する。このとき、開口部22の幅23を、例えば、0.6μmとする。
〔図4(c)に示す工程〕
パターニングされた酸化膜21をマスクとしたドライエッチングを行い、半導体基板4にトレンチ5を形成する。
パターニングされた酸化膜21をマスクとしたドライエッチングを行い、半導体基板4にトレンチ5を形成する。
〔図5(a)に示す工程〕
図4(c)の工程によってトレンチ5の内壁が受けたダメージを除去する。また、酸化膜21の開口端22aを、半導体基板4の表面に対して平行な方向で、後退させる。すなわち、開口部22の幅23を広げる。例えば、ケミカルドライエッチング、1000℃程度でのアニール処理、850〜1050℃での犠牲酸化および等方性エッチングを順に行う。等方性エッチングとしては、HF液によるWetエッチング、Dryエッチングを行うことができる。
図4(c)の工程によってトレンチ5の内壁が受けたダメージを除去する。また、酸化膜21の開口端22aを、半導体基板4の表面に対して平行な方向で、後退させる。すなわち、開口部22の幅23を広げる。例えば、ケミカルドライエッチング、1000℃程度でのアニール処理、850〜1050℃での犠牲酸化および等方性エッチングを順に行う。等方性エッチングとしては、HF液によるWetエッチング、Dryエッチングを行うことができる。
このとき、等方性エッチングによる酸化膜21のエッチング量を、形成後におけるゲート電極7の上方部7aのオーバラップ量に必要な量とする。例えば、エッチング量を0.3μmとする。この場合、酸化膜21の開口端22aはトレンチ5の側壁5aから0.3μm後退し、酸化膜21の高さは0.3μm減少する。
なお、この工程での犠牲酸化および等方性エッチングにより、トレンチ5の上方コーナ部5bが丸められる。
〔図5(b)に示す工程〕
トレンチ5の内壁から半導体基板4の表面の一部に至って、ゲート酸化膜6を形成する。例えば、H2OまたはO2雰囲気中での850℃程度での熱酸化を行う。
トレンチ5の内壁から半導体基板4の表面の一部に至って、ゲート酸化膜6を形成する。例えば、H2OまたはO2雰囲気中での850℃程度での熱酸化を行う。
〔図5(c)に示す工程〕
トレンチ5の内部を含む酸化膜21の表面上に、ドープドポリシリコン膜24を、例えば、LPCVD法により形成する。なお、ノンドープドポリシリコンを堆積し、その後に不純物をドープすることもできる。
トレンチ5の内部を含む酸化膜21の表面上に、ドープドポリシリコン膜24を、例えば、LPCVD法により形成する。なお、ノンドープドポリシリコンを堆積し、その後に不純物をドープすることもできる。
〔図6(a)に示す工程〕
酸化膜21をストッパとして、ポリシリコン膜24をエッチングする。すなわち、ポリシリコン膜24のうち、酸化膜21の表面上に位置する部分を除去し、ポリシリコン膜24の上面を平坦化する。
酸化膜21をストッパとして、ポリシリコン膜24をエッチングする。すなわち、ポリシリコン膜24のうち、酸化膜21の表面上に位置する部分を除去し、ポリシリコン膜24の上面を平坦化する。
このとき、平坦化の手段として、エッチバック法もしくはCMP法を採用することができる。なお、エッチバック法を採用する場合では、図5(c)に示す工程で、上面が平坦になる程度に、ポリシリコン膜24を厚く成膜することが必要である。一方、CMP法を採用する場合では、図5(c)に示す工程で、ポリシリコン膜24が酸化膜21よりも高く成膜されていれば良い。
これにより、上面7cが平坦であるゲート電極7が形成される。
なお、ゲート電極7の上面7cを平坦にする理由は、後述するコンタクトホール18を形成する工程で、コンタクトホール18を良好に形成するためである。すなわち、ゲート電極7の上面7cが平坦でない場合、ゲート電極7の上に形成した層間絶縁膜の膜厚が不均一となり、層間絶縁膜にコンタクトホール18を形成したときに、コンタクトホールの深さにばらつきが生じ、極端な場合、コンタクトホール18がゲート電極7に到達しないという製造不良を防止するためである。
したがって、上面7cの平坦の程度は、少なくとも、層間絶縁膜8の膜厚のばらつき範囲内に収まる程度であれば良い。
〔図6(b)に示す工程〕
酸化膜21の全体を除去する。例えば、HF液によるWetエッチングまたはDryエッチングを行う。
酸化膜21の全体を除去する。例えば、HF液によるWetエッチングまたはDryエッチングを行う。
〔図6(c)に示す工程〕
ゲート電極7の表面および半導体基板4の表面に酸化膜12を形成する。例えば、850〜1050℃での熱酸化を行う。これにより、ゲート電極7の上方端部7d、7eを丸める。このとき、上方端部7d、7eでの丸め量は、例えば、r=30〜50nmである。
ゲート電極7の表面および半導体基板4の表面に酸化膜12を形成する。例えば、850〜1050℃での熱酸化を行う。これにより、ゲート電極7の上方端部7d、7eを丸める。このとき、上方端部7d、7eでの丸め量は、例えば、r=30〜50nmである。
〔図7(a)に示す工程〕
イオン注入および拡散処理により、N型層2の表層にP型層3を形成し、P型層3の表層にN+型領域15とP+型領域16を形成する。なお、N+型領域15は、図示しない他のデバイスにおけるN+型領域と同時に形成される。
イオン注入および拡散処理により、N型層2の表層にP型層3を形成し、P型層3の表層にN+型領域15とP+型領域16を形成する。なお、N+型領域15は、図示しない他のデバイスにおけるN+型領域と同時に形成される。
〔図7(b)に示す工程〕
ゲート電極7の表面上および半導体基板4の表面上に層間絶縁膜8を形成する。続いて、層間絶縁膜8のうち、P+型領域16の上方にソース配線用のコンタクトホールを形成するとともに、層間絶縁膜8のうち、ゲート電極7の上方にゲート配線用のコンタクトホール18を形成する。
ゲート電極7の表面上および半導体基板4の表面上に層間絶縁膜8を形成する。続いて、層間絶縁膜8のうち、P+型領域16の上方にソース配線用のコンタクトホールを形成するとともに、層間絶縁膜8のうち、ゲート電極7の上方にゲート配線用のコンタクトホール18を形成する。
その後、図3に示すように、ソース配線9、ゲート配線10を、それぞれ、コンタクトホール17、18の内部を含む層間絶縁膜8の表面上に形成する。これにより、ソース配線用のコンタクトホール17を介して、ソース配線9と、N+型領域15およびP+型領域16とを電気的に接続させ、ゲート配線用のコンタクトホール18を介して、ゲート電極7とゲート配線10とを電気的に接続させる。また、半導体基板4の裏面に、ドレイン電極11を形成する。
このようにして、上記した構造の半導体装置を製造することができる。
次に、本実施形態の主な効果について説明する。
(1)本実施形態では、トレンチゲート型パワーMOSFETにおいて、ゲート電極7の形状を、その断面がT字となるように、トレンチ5の内部から半導体基板4の表面に至って形成された形状とし、ソースとなるN+型領域15をトレンチ5から離れた位置であって、ゲート電極7における半導体基板4の表面上に位置する部分7aの下に配置した構造としている。
ここで、ゲート電極の断面形状がT字形状であって、ゲート電極のオーバラップ量が0.3μmよりも小さい、すなわち、トレンチ5の上方コーナ部5bとゲート電極7の上方部7aの端部7bとが近い構造のトレンチゲート型パワーMOSFETを、本実施形態と同様の製造方法により、製造する場合、半導体基板4のトレンチ上方コーナ部5bの近傍に結晶欠陥が生じてしまう。
これは、図6(c)に示す工程で、ゲート電極7の表面を酸化したとき、上方部7aの端部7bの近傍に生じるバーズビークの影響により、半導体基板4のトレンチ上方コーナ部5bに高い応力がかかるためである。
そして、本実施形態のように、トレンチ上方コーナ部5bの近傍領域をもチャネル形成領域として用いる構造では、チャネル形成領域に結晶欠陥が生じることとなるため、トランジスタの動作不良が生じてしまう。
そこで、本実施形態では、ゲート電極7の上方部7aのトレンチ側壁5aに対するオーバラップ量が0.3μm以上となるように、ゲート電極7を形成している。このように、トレンチ5の上方コーナ部5bとゲート電極7の上方部7aの端部7bを離すことで、オーバラップ量が0.3μmよりも小さな場合と比較して、レンチ5の上方コーナ部5bに加わる応力を緩和でき、トレンチ5の上方コーナ部5b近傍での結晶欠陥の発生を抑制できる。
ここで、参考として、図8に、トレンチ5の上方コーナ部5bに加わる応力の解析結果を示す。これは、図6(c)に示す工程時において、ゲート電極7のオーバラップ量13を、それぞれ、0μm、0.2μm、0.3μm、0.4μmとしたときのシミュレーション結果である。なお、このときにおけるトレンチ5の上方コーナ部5bの曲率半径は、R=60nmであった。
図8に示すように、トレンチ5の上方コーナ部5bに加わる応力は、オーバラップ量13が、0μm、0.2μm、0.3μm、0.4μmのとき、それぞれ、約270MPa、約70MPa、約20MPa、約20MPaであった。
この結果から、オーバラップ量13を0μmから0.2μm、0.3μmと順に大きくすることで、トレンチ5の上方コーナ部5bに加わる応力を低減できることがわかり、特に、オーバラップ量13を0.3μm以上とすることで、トレンチ5の上方コーナ部5bに加わる応力値を最小値にできることがわかる。
したがって、オーバラップ量13を0.3μm以上とすることで、ゲート電極7の表面を酸化したときに、トレンチ5の上方コーナ部5bに加わる応力の発生を最も抑制できると言える。
(2)本実施形態では、ゲート電極7とゲート配線10とを電気的に接続させるためのコンタクトホール18を、層間絶縁膜8のうち、トランジスタ領域内におけるトレンチ5の上方の位置に形成している。
ここで、図9に、従来における半導体装置の平面図を示し、図10に図9中の領域Cの拡大図を示す。なお、図9では、半導体基板上のゲート配線10、ゲート引き出し配線32およびソース配線9のみを示している。また、従来と同様の構造部については、図1、2と同一の符号を付している。
図9、10に示すように、従来では、トランジスタ領域内のゲート電極31と導通しているゲート引き出し配線32が、半導体基板の表面上であって、トランジスタ領域とは別の領域であるゲート電極引き出し領域に形成されていた。なお、ゲート電極31の断面形状はT字形状であるが、ゲート電極31のトレンチ5の側壁に対するオーバラップ量は本実施形態よりも小さい。
また、ゲート配線10は、ゲート引き出し配線32の上に、層間絶縁膜を介して、配置されていた。そして、ゲート電極引き出し領域における層間絶縁膜に、コンタクトホール33が形成されていた。このコンタクトホール33を介して、ゲート配線10とゲート引き出し配線32とが電気的に接続されていた(特許文献3参照)。
これに対して、本実施形態では、トランジスタ領域内にコンタクトホール18を設けているので、従来のゲート電極引き出し領域を省略できる。このため、本実施形態によれば、トランジスタ領域が同じ大きさで、ゲート電極引き出し領域を有する従来の半導体装置と比較して、半導体装置の縮小化が可能となる。
さらに、本実施形態では、ゲート電極7の断面形状をT字形状としている。
ここで、ゲート電極の断面形状を、後述するように、I字形状とすることもできる。
しかし、この場合、形成されるトレンチの幅が小さくなるにつれ、コンタクトホールの形成時に、高い位置精度が要求される。例えば、トレンチ幅と同じ大きさのコンタクトホールを形成するときでは、コンタクトホールの全体が必ずゲート電極の上に位置するように、トレンチの真上にコンタクトホールを形成する必要がある。
これに対して、ゲート電極7の断面形状がT字形状の場合、ゲート電極7の上面の幅が、トレンチ幅よりも広い。このため、例えば、トレンチ幅と同じ大きさのコンタクトホールを形成するとき、トレンチの上から少しずれた位置にコンタクトホールを形成した場合でも、コンタクトホールの全体を必ずゲート電極の上に位置させることができる。このように、ゲート電極7の断面形状をT字形状とすることで、I字形状の場合と比較して、コンタクトホールの形成時に要求される位置精度を低くすることができ、コンタクトホールの形成が容易となる。
(3)本実施形態では、図4(c)に示す工程でトレンチ5を形成した後、図5(a)に示す工程で、トレンチ5の形成に使用したマスクの開口端22aを、トレンチ5の側壁5aから0.3μm以上後退させている。そして、図5(c)に示す工程で、トレンチ5の内部およびマスクの開口部にゲート電極材料であるポリシリコンを堆積させている。
ここで、図3に示す形状のゲート電極を形成する他の方法として、トレンチ5を形成した後、マスクとして用いた酸化膜21を除去し、トレンチ5の内部から基板表面上に至って、ポリシリコン膜を成膜した後、ポリシリコン膜の表面上に新たなマスクを形成し、そのマスクを用いたエッチングにより、ポリシリコン膜をパターニングする方法が考えられる。
しかし、この方法では、トレンチを形成する際に使用するマスクを形成する工程と、ゲート電極を形成するためのマスクを形成する工程とが必要となるため、プロセスコストが高いという問題がある。また、トレンチとゲート電極の上方部端部との位置合わせズレ量を考慮して、オーバラップ量を設計する必要があるため、ゲート電極の寸法が拡大するという問題がある。
これに対して、本実施形態では、トレンチを形成するために使用したマスクをそのまま使用して、ゲート電極7を形成しているので、上記した別々のマスクを形成する方法と比較して、ゲート電極を形成するためのマスクを形成する工程を省略でき、プロセスコストを低くすることができる。
また、本実施形態では、トレンチ5の位置に対して、ゲート電極7をセルフアラインで形成できるので、トレンチとゲート電極の上方部端部との位置合わせズレ量を考慮する必要がない。
(第2実施形態)
第1実施形態では、ゲート電極7の断面形状をT字形状とし、ゲート電極7の上方部7aのトレンチ側壁に対するオーバラップ量13を0.3μm以上としている場合に、コンタクトホール18を、トランジスタ領域内におけるトレンチ5の上方の位置に配置する場合を例として説明した。
第1実施形態では、ゲート電極7の断面形状をT字形状とし、ゲート電極7の上方部7aのトレンチ側壁に対するオーバラップ量13を0.3μm以上としている場合に、コンタクトホール18を、トランジスタ領域内におけるトレンチ5の上方の位置に配置する場合を例として説明した。
これに対して、ゲート電極7の断面形状をT字形状とし、かつ、上記オーバラップ量13を0より大きく0.3μm未満とすることもできる。この場合においても、コンタクトホール18を、トランジスタ領域内におけるトレンチ5の上方の位置に配置することで、ゲート電極引き出し領域を省略することができる。
このため、第1実施形態と同様に、トランジスタ領域が同じ大きさで、ゲート電極引き出し領域を有する従来の半導体装置と比較して、半導体装置の縮小化が可能となる。
(第3実施形態)
図11に、第3実施形態における半導体装置の断面図を示す。図11は、図3中のゲート電極の形状を変更した図であり、図3と同様の構造部には、図3と同一の符号を付している。
図11に、第3実施形態における半導体装置の断面図を示す。図11は、図3中のゲート電極の形状を変更した図であり、図3と同様の構造部には、図3と同一の符号を付している。
第1、2実施形態では、ゲート電極7の断面形状をT字形状とする場合を例として説明したが、図11に示すように、ゲート電極7の断面形状をI字形状とすることもできる。この場合、N+型領域15は、第1実施形態のときよりも深く、トレンチ5に接するように形成されている。
また、本実施形態においても、ゲート電極7とゲート配線10とを電気的に接続させるためのコンタクトホール18を、層間絶縁膜8のうち、トランジスタ領域内におけるトレンチ5の上方の位置に形成している。このため、第1実施形態と同様に、トランジスタ領域が同じ大きさで、ゲート電極引き出し領域を有する従来の半導体装置と比較して、半導体装置の縮小化が可能となる。
(他の実施形態)
(1)第1、第2実施形態では、ゲート電極7の上面7aを平坦にする場合を例として説明したが、ゲート電極7の上面7aは、ゲートコンタクトが形成できれば、必ずしも平坦でなくても良い。
(1)第1、第2実施形態では、ゲート電極7の上面7aを平坦にする場合を例として説明したが、ゲート電極7の上面7aは、ゲートコンタクトが形成できれば、必ずしも平坦でなくても良い。
例えば、層間絶縁膜に、ゲート電極用のコンタクトホール18と、ソース用のコンタクトホール17を形成する場合、これらのコンタクトホール17、18を、別々に、形成する。これにより、トレンチゲートの上面が平坦でないことにより、層間絶縁膜の膜厚が、ゲート電極上とソース領域上とにおいて、異なっていても、良好にゲート電極用のコンタクトホール18を形成することができる。
(2)上記した各実施形態では、トレンチゲートを有するNチャネル型MOSFETを例として説明してきたが、導電型をそれぞれ反対導電型としたPチャネル型MOSFETを備える半導体装置に本発明を適用することができる。
また、上記した各実施形態では、チャネルが反転層で構成されるエンハンスメント型のMOSFETを例として説明したが、デプレッション型のMOSFETを備える半導体装置に本発明を適用することができる。この場合、例えば、図3に示す構造に対して、チャネルを構成する薄いN型層が、ゲート絶縁膜6に隣接し、かつ、N+型領域15およびN型層2と接合するように、半導体基板4の内部に配置された構造となる。
また、上記した各実施形態におけるN+型層1とN型層2とを相互に異なる導電型としたIGBT等のトレンチゲートを有するMOS構造の半導体素子を備える半導体装置においても、本発明を適用することができる。
(3)第1実施形態では、コンタクトホール18を、トランジスタ領域内におけるトレンチ5の上方の位置に配置する場合に、ゲート電極7の断面形状をT字形状とし、ゲート電極7の上方部7aのトレンチ側壁に対するオーバラップ量13を0.3μm以上としている場合を例として説明した。
これに対して、図10に示す従来の半導体装置と同様に、ゲート電極引き出し領域にコンタクトホール33を配置した構造に対して、ゲート電極7の断面形状をT字形状とし、ゲート電極7の上方部7aのトレンチ側壁に対するオーバラップ量13を0.3μm以上とすることもできる。
(4)第1実施形態では、トレンチゲートを有するMOS構造を備えるパワー素子において、ゲート電極7の上方部7aのトレンチ側壁5aに対するオーバラップ量を0.3μm以上とする場合を例として説明した。
これに対して、基板表層に形成されたトレンチ内に層間絶縁膜を介して上部電極が形成されたトレンチキャパシタ、その他のトレンチ内に絶縁膜を介して導電性材料部が形成された、いわゆるトレンチゲートを有する半導体素子を備える半導体装置においても、導電性材料部を同様の形状とすることができる。
すなわち、導電性材料部を、断面がT字となるように、トレンチの内部から半導体基板の表面上に至って形成された形状であって、かつ、導電性材料部のうち、半導体基板の表面上に位置する部分の端部を、トレンチの側壁から0.3μm以上離した形状とすることができる。
1…N+型層、2…N型層、3…P型層、4…半導体基板、5…トレンチ、
6…ゲート絶縁膜、7…ゲート電極、8…層間絶縁膜、
9…ソース配線、10…ゲート配線、18…ゲート配線用コンタクトホール。
6…ゲート絶縁膜、7…ゲート電極、8…層間絶縁膜、
9…ソース配線、10…ゲート配線、18…ゲート配線用コンタクトホール。
Claims (11)
- 半導体基板(4)に形成されたトレンチ(5)の内壁上から前記半導体基板(4)の表面上に至って、絶縁膜(6)を介して、断面がT字形状となるように、形成された導電性材料部(7)と、
前記導電性材料部(7)の表面上に形成された酸化膜(12)とを備える半導体装置において、
前記導電性材料部(7)は、前記半導体基板の表面上に位置する部分(7a)の端部(7b)が、前記トレンチ(5)の側壁(5a)から0.3μm以上離れている形状であることを特徴とする半導体装置。 - 半導体基板(4)に形成されたトレンチ(5)の内壁上から前記半導体基板(4)の表面上に至って、ゲート絶縁膜(6)を介して、断面がT字形状となるように、形成されたゲート電極(7)と、
前記半導体基板内のうち、前記トレンチ(5)の側壁(5a)から離れた位置であって、かつ、前記ゲート電極(7)における前記半導体基板の表面上に位置する部分(7a)の下の位置に、前記ゲート絶縁膜(6)に隣接して配置されている第1半導体領域(15)と、
前記半導体基板内に、前記ゲート絶縁膜(6)に隣接し、かつ、前記第1半導体領域(15)と接合して配置されており、チャネルを構成する第2半導体領域(3)と、
前記半導体基板内に、前記ゲート絶縁膜(6)に隣接し、かつ、前記第2半導体領域(3)と接合して配置されている第3半導体領域(2)とを備える半導体装置であって、
前記ゲート電極(7)は、前記半導体基板の表面上に位置する部分(7a)の端部(7c)が、前記トレンチ(5)の側壁(5a)から0.3μm以上離れている形状であることを特徴とする半導体装置。 - 前記半導体基板(4)の表面上および前記ゲート電極(7)の表面上に形成された層間絶縁膜(8)と、
前記層間絶縁膜(8)の表面上に形成され、前記層間絶縁膜(8)に設けられたコンタクトホール(18)を介して、前記ゲート電極(7)と電気的に接続されたゲート配線(10)とを備えており、
前記コンタクトホール(18)は、前記半導体基板(4)のうち、前記第1半導体領域(15)、前記第2半導体領域(3)、前記第3半導体領域(2)および前記ゲート電極(7)によってトランジスタが構成されているトランジスタ領域内における前記トレンチ(5)の上方に、配置されていることを特徴とする請求項2に記載の半導体装置。 - 前記層間絶縁膜(8)の表面上に、前記第1半導体領域(15)と電気的に接続された金属配線(9)が形成されており、
前記金属配線(9)および前記ゲート配線(10)は、前記トランジスタ領域上では、ともに細長い形状であって、ストライプ状に交互に配置されていることを特徴とする請求項3に記載の半導体装置。 - 半導体基板(4)に形成されたトレンチ(5)の内部に、ゲート絶縁膜(6)を介して、埋め込まれているゲート電極(7)と、
前記半導体基板内であって、前記半導体基板(4)の表面側に、前記ゲート絶縁膜(6)に隣接して配置されている第1半導体領域(15)と、
前記半導体基板内に、前記ゲート絶縁膜(6)に隣接し、かつ、前記第1半導体領域(15)と接合して配置されており、チャネルを構成する第2半導体領域(3)と、
前記半導体基板内に、前記ゲート絶縁膜(6)に隣接し、かつ、前記第2半導体領域(3)と接合して配置されている第3半導体領域(2)と、
前記半導体基板(4)の表面上および前記ゲート電極(7)の表面上に形成された層間絶縁膜(8)と、
前記層間絶縁膜(8)の表面上に形成され、前記層間絶縁膜(8)に設けられたコンタクトホール(18)を介して、前記ゲート電極(7)と電気的に接続されたゲート配線(10)とを備える半導体装置において、
前記半導体基板(4)のうち、前記第1半導体領域(15)、前記第2半導体領域(3)、前記第3半導体領域(2)および前記ゲート電極(7)によって、トランジスタが構成されているトランジスタ領域内に位置する前記トレンチ(5)の上方に、前記コンタクトホール(18)が配置されていることを特徴とする半導体装置。 - 前記ゲート電極(7)は、断面がT字となるように、前記トレンチ(5)の内部から前記半導体基板(4)の表面上に至って形成された形状であることを特徴とする請求項5に記載の半導体装置。
- 前記ゲート電極(7)は、上面(7c)が平坦であることを特徴とする請求項3、4または6に記載の半導体装置。
- 半導体基板(4)に形成されたトレンチ(5)の内壁上から前記半導体基板の表面上に至って、絶縁膜(6)を介して、断面がT字形状となるように、導電性材料部(7)を形成する工程を備える半導体装置の製造方法において、
半導体基板(4)に前記トレンチ(5)を形成する工程と、
前記トレンチ(5)の内壁上および前記半導体基板(4)の表面の一部に前記絶縁膜(6)を形成する工程と、
前記絶縁膜(6)の上に、断面がT字形状であって、前記半導体基板の表面上に位置する部分(7a)の端部(7b)が、前記トレンチ(5)の側壁(5a)から0.3μm以上離れている形状の導電性材料部(7)を形成する工程と、
前記導電性材料部(7)の表面を酸化する工程とを備えることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記トレンチ(5)を形成する工程では、半導体基板(4)のトレンチ形成予定領域に対向する位置に開口部(22)を有するマスク(21)を、前記半導体基板(4)の表面上に形成した後、前記マスク(21)を用いたエッチングにより、前記半導体基板(4)に前記トレンチ(5)を形成し、
前記トレンチ(5)を形成する工程と、前記トレンチ(5)の内壁に前記絶縁膜(6)を形成する工程との間に、前記マスク(21)の開口端(22a)を、前記半導体基板の表面に対して平行な方向で、前記トレンチ側壁(5a)から0.3μm以上後退させる工程を有し、
前記導電性材料部(7)を形成する工程では、前記マスク(21)の開口部(22)内に導電性材料を堆積させる工程を行った後、前記マスクを除去する工程を行うことで、前記導電性材料部(7)を形成することを特徴とする請求項8に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記マスク(21)の開口部(22)内に導電性材料を堆積させる工程と、前記マスク(21)を除去する工程との間に、堆積された導電性材料の上面を平坦化する工程を有することを特徴とする請求項9に記載の半導体装置の製造方法。
- 半導体基板(4)に形成されたトレンチ(5)の内部に、ゲート絶縁膜(6)を介して、埋め込まれているゲート電極(7)と、前記半導体基板(4)の表面側に前記ゲート絶縁膜(6)に隣接して配置されている第1半導体領域(15)と、前記ゲート絶縁膜(6)に隣接し、かつ、前記第1半導体領域(15)と接合して配置されており、チャネルを構成する第2半導体領域(3)と、前記ゲート絶縁膜(6)に隣接し、かつ、前記第2半導体領域(3)と接合して配置されている第3半導体領域(2)とが形成されている半導体基板(4)を用意する工程と、
前記半導体基板(4)の表面上および前記ゲート電極(7)の表面上に層間絶縁膜(8)を形成する工程と、
前記層間絶縁膜(8)に対して、前記半導体基板(4)のうち、前記第1半導体領域(15)、前記第2半導体領域(3)、前記第3半導体領域(2)および前記ゲート電極(7)によって、トランジスタが構成されているトランジスタ領域内に位置する前記トレンチ(5)の上方に、コンタクトホール(18)を形成する工程と、
前記層間絶縁膜(8)の表面上に、前記コンタクトホール(18)を介して、前記ゲート電極(7)と電気的に接続されたゲート配線(10)を形成する工程とを備えることを特徴とする半導体装置の製造方法。
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