JP2007066924A - 薄膜サーミスタ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】絶縁基板上に形成された感熱膜の電極として用いられている端子電極及び感熱膜全体をガラス保護膜によって被覆して外気雰囲気と遮断できる構造とし、前記一対の端子電極に接続する一対の外部接続用電極を前記ガラス保護膜の外側に延在するように形成したことを特徴とする薄膜サーミスタ。
【選択図】 図1
Description
2、3 金属薄膜層
2a、2b 第1金属下地膜
3a、3b 第1電極薄膜
4a、4b 電極パッド
5a 絶縁膜
6a、6b 端子電極
7a 感熱膜
8、9 金属薄膜層
8a、8b 第2金属下地膜
9a、9b 第2電極薄膜
10a、10b 外部接続用電極パッド
11 絶縁保護膜
12 ガラス保護膜
Claims (4)
- 絶縁基板と、前記絶縁基板上に形成された一対の電極パッドと、前記電極パッド間の絶縁基板面上に形成した絶縁膜と、前記絶縁膜に接して前記電極パッド上にパターン形成された金属薄膜層からなる一対の端子電極と、前記絶縁膜を下地とし前記端子電極間に形成された感熱膜と、前記感熱膜を保護する絶縁保護膜と、前記感熱膜と前記端子電極上を被覆するガラス保護膜とからなる薄膜サーミスタであって、前記端子電極から一対の外部接続用電極パッドが延在形成さていることを特徴とする薄膜サーミスタ。
- 前記絶縁基板上に形成された前記一対の電極パッドが、チタン(Ti)、クロム(Cr)、ニッケル(Ni)、タングステン(W)、タンタル(Ta)、Ni−Cr合金の少なくとも一種からなる第1金属下地膜と、前記第1金属下地膜上に形成された白金(Pt)、金(Au)、パラジウム(Pd)、パラジウム合金の少なくとも一種の第1電極薄膜とからなり、前記電極パッド上に白金(Pt)、金(Au)、パラジウム(Pd)、パラジウム合金の少なくとも一種の金属薄膜層からなる前記端子電極が形成されていることを特徴とする請求項1に記載の薄膜サーミスタ。
- 前記端子電極から延在する外部接続用電極パッドが、チタン(Ti)、クロム(Cr)、銅(Cu)、ニッケル(Ni)、モリブデン(Mo)、タンタル(Ta)、タングステン(W)、金(Au)、Ni−Cr合金、Ni−Ti合金の少なくとも一種からなる第2金属下地膜と、前記第2金属下地膜上に形成された第2電極薄膜が金(Au)、ニッケル(Ni)またはNi−Cr合金の少なくとも一種とからなることを特徴とする請求項1、2に記載の薄膜サーミスタ。
- 前記第1、第2金属下地膜がチタン(Ti)、前記第1電極薄膜及び前記端子電極が白金(Pt)、前記第2電極薄膜がニッケル(Ni)または金(Au)で形成されていることを特徴とする請求項1乃至3に記載の薄膜サーミスタ。
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