JP2007064970A - 濃度センサー及び濃度検出装置。 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】圧電片に対して並列にインダクタを接続し、そのインダクタンス値は、圧電片の共振周波数において電極間容量をキャンセルするインダクタンス値Lmaxと圧電片を被測定流体中に浸漬した状態で発振可能なインダクタンス値の最小値であると評価したインダクタンス値Lminとの間における、インダクタンス値と発振ループゲインとの関係に基づいて決定される。
【選択図】図3
Description
なお特許文献2には、水晶振動子に並列にインダクタンスを接続して電極間容量を打ち消す必要があることが記載されているが、技術分野が全く異なる上、本発明の課題を解決できるものでもない。
感知対象物を吸着するための吸着層がその表面に形成され、感知対象物の吸着により固有振動数が変わる圧電片と、この圧電片の両面に夫々設けられた電極と、を含む圧電振動子と、
前記圧電振動子に対して並列に接続されたインダクタと、
を備えたことを特徴とする濃度センサーである。
他の発明は、発振回路を備えた測定器本体に着脱自在に接続され、感知対象物の濃度を検出するための濃度センサーにおいて、
前記測定器本体に着脱自在に接続され、その一端側が測定器本体側の端子に接続される端子をなす一対の導電路を備えた配線基板と、
感知対象物を吸着するための吸着層がその表面に形成され、感知対象物の吸着により固有振動数が変わる圧電片と、この圧電片の両面に夫々設けられた電極と、を含み、前記配線基板上に設けられた圧電振動子と、
この圧電振動子との間に流体の収容空間を形成し、この収容空間に連通する流体注入口を有する上蓋ケースと、
前記圧電振動子に対して並列に接続され、前記配線基板の一対の導電路の間に設けられたインダクタと、を備えたことを特徴とする濃度センサーである。
また前記配線基板には開口部が設けられ、前記圧電振動子は、前記開口部側に形成された凹部に下面側が面している構造を採用することが好ましい。
本発明の濃度センサーは、例えば圧電片として水晶片を用いたランジュバン型の水晶センサーとして構成され、基板上に水晶振動子を装着すると共に水晶振動子の電極に例えば導電性接着剤を介して基板上の導電路をなすプリント配線を接続し、プリント配線間にインダクタを接続して構成される。
なお、濃度センサー1の構造としては、水晶振動子24を、前記開口部23aを塞ぐようにプリント基板21の表面に載置するように設け、水晶振動子24の周縁部をゴムシート22により押さえつける構造であってもよい。
このインダクタ3のインダクタンス値の決定方法について説明する。濃度センサーは、特殊な吸着膜に付着する感知物質の質量に応じた発振周波数の変化量に基づいて、被測定流体例えば被測定溶液中の感知物質の濃度を検出するものであるから、被測定流体中において発振停止してはならない。しかしながら実験によれば、水晶片20を液体試料中に浸漬すると、水晶片20の等価直列抵抗R1が飛躍的に増大し、31MHzで水晶片20を駆動させる場合を例にとると、水晶片20を気体中に置いたときには10Ωであるのに対して500Ωにもなり、非常に発振しにくい状態となる。
図5は、インダクタ3のインダクタンス値とループゲインとの関係を計算により求めた関係図である。ここでは水晶片3の等価直列抵抗R1を6.8Ω、100Ω及び500Ωの3通りに設定している。このように3通り設定した理由は、インダクタンス値と発振ループゲインとの関係が等価直列抵抗R1をパラメータとしてどのように変化するかを調べるためであり、また濃度センサーの被測定溶液の中で粘性が最も大きい溶液を想定し、その溶液に水晶片3を浸漬したときの等価直列抵抗R1を500Ωと見積もって、過酷条件下における上記関係を把握するためである。この例では、水晶片20の共振周波数Frが31MHz、電極間容量C0が7.05pFであるため、水晶片20の直列共振点Frにて電極間容量C0をキャンセルするインダクタンス値はおよそ3、8μHとなる。このインダクタンス値は、前記共振周波数Frの角速度をωとすると、1/(C0・ω2 )で表される。
これら条件の求め方について具体例を挙げると、意図した発振ループの一箇所を切断し、接点Aと接点Bとを形成する。そして回路が線形で動作する程度の小信号の信号源を接点Aに接続し、ドライブする。このとき接点Bの信号を観測し、接点Aと接点Bとにおける信号の比を取り、発振ループを一巡したときのゲインと位相とを調べる。従ってインダクタのインダクタンス値を変えていったときに、位相条件を満足しなくなるインダクタンス値の最小値を得ることができる。そして水晶振動子に並列に接続されるインダクタのインダクタンス値をパラメータとしてゲインをプロットすると、図5に示す結果が得られる。
測定部6は、発振回路4の発振出力の周波数に関する信号を測定する例えば周波数カウンタ、そのカウント数の変化分を演算する演算部などを備えている。
なおこの例では濃度センサー1が8個取り付けられる8チャンネル構成になっていて、図6に示す回路が8チャンネル用意され、各チャンネルの出力が切り替えられて測定部6に接続される構成となっている。
更に上述の濃度センサー1によれば、測定器本体100に対してプリント基板21を着脱することにより濃度センサー1を交換できるので、交換作業が容易である。またプリント基板21に形成した開口部23aを利用して水晶振動子24の下面側に気密空間を形成してランジュバン型の濃度センサーを構成しているので、前記気密空間を形成する構造が簡単である。
20 水晶片
24 水晶振動子
24a、24b 電極
27a、27b 導電路をなすプリント配線
3 インダクタ
4 発振回路
49 端子部
5 バッファアンプ
6 測定部
100 測定器本体
Claims (5)
- 発振回路を備えた測定器本体に着脱自在に接続され、感知対象物の濃度を検出するための濃度センサーにおいて、
感知対象物を吸着するための吸着層がその表面に形成され、感知対象物の吸着により固有振動数が変わる圧電片と、この圧電片の両面に夫々設けられた電極と、を含む圧電振動子と、
前記圧電振動子に対して並列に接続されたインダクタと、
を備えたことを特徴とする濃度センサー。 - 発振回路を備えた測定器本体に着脱自在に接続され、感知対象物の濃度を検出するための濃度センサーにおいて、
前記測定器本体に着脱自在に接続され、その一端側が測定器本体側の端子に接続される端子をなす一対の導電路を備えた配線基板と、
感知対象物を吸着するための吸着層が設けられ、感知対象物の吸着により固有振動数が変わる圧電片と、この圧電片の両面に夫々設けられた電極と、を含み、前記配線基板上に設けられた圧電振動子と、
この圧電振動子との間に流体の収容空間を形成し、この収容空間に連通する流体注入口を有する上蓋ケースと、
前記圧電振動子に対して並列に接続され、前記配線基板の一対の導電路の間に設けられたインダクタと、を備えたことを特徴とする濃度センサー。 - 前記インダクタのインダクタンス値は、前記圧電振動子の共振周波数にて当該圧電振動子の電極間容量をキャンセルするインダクタンス値と圧電振動子を被測定流体中に浸漬した状態で発振可能なインダクタンス値の最小値との平均値を中心値とし、この中心値に対して±20%の値に設定されていることを特徴とする請求項1または2記載の濃度センサー。
- 前記配線基板には開口部が設けられ、前記圧電振動子は、前記開口部側に形成された凹部に下面側が面していることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一つに記載の濃度センサー。
- 請求項1ないし4のいずれ一つに記載された濃度センサーと、この濃度センサーが着脱自在に接続される端子部、前記圧電振動子を発振させるための発振回路及び発振回路からの発振出力に基づいて感知対象物の濃度を検出する測定部と、を備えたことを特徴とする濃度検出装置。
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JP2012013534A (ja) * | 2010-06-30 | 2012-01-19 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 感知装置 |
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