JP2019168284A - 感知センサ - Google Patents

Abstract

【課題】より簡易な構造の感知センサを提供すること【解決手段】吸着層４２が形成された上面側の励振電極４４に試料液を供給するにあたって、圧電振動子４の上面側の励振電極４４に接触するように多孔質部材５を設けている。そのため注入口２３から供給された試料液が多孔質部材５の内部を広がることで、励振電極４４に試料液を供給することができる。従って圧電振動子４の表面に流路を形成するために従来、設けられていたシリコン製の部材や細管などの構成部品の点数を減らすことができ、簡易な構造の感知センサ２とすることができる。【選択図】図２

Description

本発明は、圧電振動子の発振周波数に基づいて、試料液に含まれる感知対象物を感知するための感知センサに関する。

試料液中の感知対象物、例えば血液中あるいは血清中の微量なタンパク質を感知する方法として、特許文献１に示すようなＱＣＭ（Quartz Crystal Microbalance）を利用した感知センサが知られている。ＱＣＭは励振電極の表面に、例えば抗体で構成され抗原抗体反応により抗原である感知対象物を吸着する吸着層が設けられた水晶振動子を用い、試料液中の感知対象物の吸着による質量負荷を、水晶振動子の周波数の変化として捉えて、感知対象物の定量を行うものである。このＱＣＭは小型化が可能であるため、医療現場での診断や食品工場における食品検査といった、大型の分析機器を使用することが困難な現場における簡易計測の手段としても利用することができる。

簡易型の感知装置においては、測定方法の簡便化や、多数の試料液サンプルを測定する際の作業の効率化のため、試料液サンプルごとに感知センサを取り換え測定が行われる場合がある。

この点、特許文献１に記載されている感知センサは、少量の試料液を安定して励振電極の表面に供給するため、水晶振動子の表面に流路を形成するシリコン製の流路形成部材や、基板や水晶振動子、さらには流路形成部材を収納するケース、あるいは、水晶振動子の表面を流れた試料液を排液するための排液管などが設けられている。このように、多数の部材を用いた感知センサは、より精度の高い感知対象物の測定ができる一方で、現場での簡易測定では、多少の精度は犠牲にしても、多数の試料液サンプルに対して手軽に利用可能な感知センサが必要となる場合もある。

特開２０１７−１１６５０２号公報

本発明はこのような事情の下になされたものであり、その目的は、より簡易な構造の感知センサを提供することにある。

本発明の感知センサは、試料液中の感知対象物を感知する感知センサにおいて、
発振周波数を測定するための測定器に接続される接続端子を備え、孔部が形成された配線基板と、
圧電片を上面側及び下面側から挟んで互いに対向する位置に形成されると共に、前記接続端子と電気的に接続された励振電極を設けて構成され、下面側の励振電極が前記孔部に臨むように前記配線基板上に配置されると共に、上面側の励振電極の表面に、前記感知対象物を吸着する吸着層が形成された圧電振動子と、
前記試料液を吸収可能な多孔質体により構成され、その下面が前記吸着層を上方側から覆うように配置された多孔質部材と、を備え、
前記多孔質部材に供給された試料液を、その下面から滲出させて前記吸着層へ供給することを特徴とする。

本発明は、圧電振動子の上面側に設けられ、吸着層が形成された励振電極に試料液を供給するにあたって、当該励振電極の上方位置に多孔質部材を設けている。そして多孔質部材に試料液を供給してその内部に浸透させ、さらに試料液を多孔質部材の下面から滲出させることで、上面側の励振電極に形成された吸着層に試料液を供給することができる。この結果、簡易な構成で圧電振動子の表面に試料液を供給することができる。

本発明に係る感知センサを備えた感知装置の斜視図である。 感知センサを上面側から見た分解斜視図である。 配線基板の上面側及び下面側を示す平面図である。 水晶振動子の上面側及び下面側を示す平面図である。 前記感知センサの縦断側面図である。 前記感知センサの一部を拡大した縦断側面図である。 前記感知センサの平面図である。 前記感知センサの縦断正面図である。 前記感知装置の概略構成図である。 前記感知センサの第１の作用図である。 前記感知センサの第２の作用図である。 前記感知センサの第３の作用図である。

以下、本発明の実施の形態に係る感知センサを用いた感知装置について説明する。ここでは、例えば人間の鼻腔の拭い液から得られた試料液中のウイルスなどの抗原の有無を検出し、人間のウイルスの感染の有無を判定することができるように構成されている感知装置の例について説明する。
図１の外観斜視図に示すように、感知装置は本体部１２と、感知センサ２と、を備えている。感知センサ２は、本体部１２に設けられたコネクタ１０に対して着脱自在に構成されている。本体部１２の上面には、例えば液晶表示画面により構成される表示部１１が設けられており、表示部１１は、例えば本体部１２内に設けられた後述する発振回路の出力周波数あるいは、周波数の変化分等の測定結果もしくは、ウイルスの検出の有無等を表示する。

続いて感知センサ２について説明する。図２に示すように感知センサ２は、底板部となる配線基板３を備え、配線基板３の上方の領域を枠部２１及び天板部２２により覆った構成となっている。枠部２１及び天板部２２は、本実施の形態のケース体に相当する。なお以下明細書中では、感知センサ２における本体部１２に接続される側を前方として説明する。

配線基板３について、図３（ａ）、（ｂ）も参照して説明すると、配線基板３は略矩形の細長い板状に構成されており、前方寄りの部位に貫通孔３２が設けられている。図３（ａ）に示すように、配線基板３の表面側における貫通孔３２の周囲には後述する水晶振動子４の周縁に対応する位置に、貫通孔３２を中心として周方向等間隔に６か所の電極端子３４ａ〜３９ａが形成されている。各電極端子３４ａ〜３９ａには各々配線基板３の周縁に向けて伸びる導電路３４〜３９が接続され、各導電路３４〜３９は、スルーホール３４ｂ〜３９ｂを介して、配線基板３の裏面側に引き回されている。また図３（ｂ）に記載のように、配線基板３の裏面側には、貫通孔３２の前方側と後方側とに夫々左右に３つ並べて端子部３４ｃ、３５ｃ、３９ｃ及び端子部３６ｃ、３７ｃ、３８ｃが形成されており、配線基板３の裏面側にスルーホール３４ｂ〜３９ｂを介して、表面側から引き回された導電路３４〜３９は、端子部３４ｃ〜３９ｃに夫々接続されている。

後述するように配線基板３の表面側における、図３（ａ）中、一点鎖線で示す位置には、水晶振動子４が固定されるが、端子部３４ｃ〜３９ｃは、端子部３４ｃ及び端子部３７ｃ、端子部３９ｃ及び端子部３６ｃ、端子部３５ｃ及び端子部３８ｃが夫々水晶振動子４の中心部から見て対称に配置されている。

図２に示すように配線基板３の上面側には、水晶振動子（圧電振動子）４が配置される。図４（ａ）、（ｂ）に示すように水晶振動子４は、圧電片として例えばＡＴカットの円板状の水晶片４１を備えている。図４（ｂ）に示すように水晶片４１の裏面側（配線基板３上に配置したときの下面側）には、前後方向に伸びる帯状の励振電極４５、４６、４８及び４９が設けられている。各励振電極４５、４６、４８及び４９は、励振電極４５、４９を左右に並べた電極対と、励振電極４６、４８を左右に並べた電極対とが前後に並べて配置され、４つの励振電極４５、４６、４８及び４９は、互いに隙間を介して離間して設けられている。

また図４（ａ）に示すように水晶片４１の表面側（配線基板３上に配置したときの上面側）には、例えば金（Ａｕ）により構成され、前後方向に伸びる楕円形の共通電極４４が設けられている。共通電極４４は、裏面側の４つの励振電極４５、４６、４８及び４９と水晶片４１を介して対向する領域にまたがるように設けられている。共通電極４４は、本実施の形態における、水晶片４１の上面側の励振電極に相当する。この共通電極４４には、裏面側の励振電極４５、４６、４８及び４９と対向する４つの領域に振動領域１０１〜１０４を形成する。言い替えると、各振動領域１０１〜１０４は、独立した水晶振動子を形成しているということができる。

前記共通電極４４を表面側から見て、前方側（図４（ａ）を正面に見て上方側）の右側の領域であって、励振電極４５と対向する領域には、抗原である感知対象物を吸着するための抗体からなる吸着層４２が前後方向に伸びる帯状に形成されている。また共通電極４４における後方側の左側の領域であって、励振電極４８と対向する領域にも同様に吸着層４２が前後方向に伸びる帯状に形成されている。図４（ａ）中では、吸着層４２が形成される領域に斜線を付して示している。

また共通電極４４における前方側の左側の領域、即ち励振電極４９と対向する領域と、後方側の右側の領域、即ち励振電極４６と対向する領域と、の表面は吸着層４２が形成されずに剥き出しの状態となっている。この水晶振動子４において、共通電極４４と励振電極４５とで挟まれた振動領域１０１と、共通電極４４と励振電極４８とで挟まれた振動領域１０３と、は共通電極４４の表面に吸着層４２が形成され、試料液中の感知対象物が吸着する吸着領域となる。また共通電極４４と励振電極４９とで挟まれた振動領域１０２と、共通電極４４と励振電極４６とで挟まれた振動領域１０４と、は共通電極４４の表面に吸着層４２が形成されておらず感知対象物が吸着しない。そのため振動領域１０２及び振動領域１０４は、夫々吸着領域である振動領域１０１、振動領域１０３に個別に対応した参照領域となる。

共通電極４４には水晶片４１の前方側周縁に向けて伸びる配線４４ａの一端が接続されており、配線４４ａの他端側は、水晶片４１の前方側の側面を介して裏面側に引き回され、水晶片４１の裏面の前方側の周縁に形成された電極４４ｂと接続されている。また水晶振動子４の裏面側に設けられた励振電極４５、４６、４８及び４９には、夫々水晶振動子４の周縁に伸びる配線４５ａ、４６ａ、４８ａ及び４９ａの一端が接続され、各配線４５ａ、４６ａ、４８ａ及び４９ａの他端側は水晶振動子４の下面側の周縁へ向けて引き回され、各々、電極４５ｂ、４６ｂ、４８ｂ及び４９ｂに接続されている。なお水晶片４１の裏面側後方に形成されている電極４７ｂは水晶振動子４を配線基板３に固定したときに水晶片４１の前後の高さを揃えるためのダミー電極である。電極４４ｂ、４５ｂ、４６ｂ、４８ｂ及び４９ｂと、ダミー電極４７ｂと、は夫々配線基板３側の電極端子３４ａ、３５ａ、３６ａ、３８ａ及び３９ａと、電極端子３７ａとに対応するように配置されている。

水晶振動子４は、図４（ａ）、図５、図６に示すように裏面側の励振電極４５、４６、４８及び４９が配線基板３の貫通孔３２に臨むように配置される。この時図６に示すように電極４４ｂ〜４９ｂが夫々電極端子３４ａ〜３９ａと導電性接着剤により接続される（図示の便宜上、図６には、電極４４ｂ、４７ｂ、及び電極端子３４ａ、３７ａのみが示されている）。

図２、図５、図６に示すように水晶振動子４の上方には、試料液を吸収可能な多孔質体であるスポンジにより構成されたスポンジ部材（多孔質部材）５が設けられる。スポンジ部材５は、例えば厚さ０．５ｍｍ以上、例えば１ｍｍの矩形板状のポリビニルアルコール（ＰＶＡ）で構成され、その平均細孔径は、２０〜２００μｍの範囲内の、例えば８０μｍのものを用いている。

図５〜図７に示すように配線基板３に固定された水晶振動子４の前方側及び後方側の周縁におけるスポンジ部材５の下方に位置する部位においては、粘着テープ６１を用いて、水晶振動子４の端部から配線基板３に跨る領域が覆われている。これによりスポンジ部材５の下方における水晶振動子４の周縁と配線基板３との隙間が封止され、水晶片４１と配線基板３との段差に、スポンジ部材５が直接、載置されない構成となっている。なお図２では、粘着テープ６１の記載は省略している。また配線基板３の表面における水晶振動子４の後方には、配線基板３に対してスポンジ部材５を固定するための両面テープ６０が設けられている。

そして両面テープ６０により、スポンジ部材５を配線基板３に固定すると、図７、図８に示すようにスポンジ部材５は、その前方側の領域の下面が、水晶振動子４に設けられた共通電極４４を上方側から覆うように当該共通電極４４の上面（表面）と接触し、後方側に向かって伸びるように配置された状態となる。

スポンジ部材５及び水晶振動子４を含む配線基板３の上方は、既述のように枠部２１及び天板部２２により覆われる。枠部２１は、例えばポリエチレンテレフタラート（ＰＥＴ）で構成され、図３（ａ）、図５、図７及び図８に示すように配線基板３の上面側の周縁に沿った環状に構成されている。また天板部２２は、概略平板状のＰＥＴで構成されている。
図５、図６に示すように、接着剤２４により、配線基板３の上面に枠部２１を固定し、当該枠部２１の上面に、接着剤２４により天板部２２を固定すると、天板部２２により、スポンジ部材５が下方に押し下げられ、スポンジ部材５の下面が水晶振動子４の表面に密着する。

また図５〜図７に示すように天板部２２前方寄りであって、表面側の共通電極４４の上方領域よりも前方側、即ち振動領域１０１〜１０４よりも前方側には、スポンジ部材５に試料液を供給するための注入口２３が天板部２２を貫通するように形成されている。従って注入口２３は、ケース体２０を上面側から見たときに共通電極４４の上方領域から、横方向に外れた位置に形成されていると言える。

続いて本体部１２について説明する。図１に戻って本体部１２は、後述の発振回路９などを収容した筐体１２０を備え、当該筐体１２０の上面における後方側の側面部には、感知センサ２と接続するためのコネクタ１０が設けられている。コネクタ１０は後端面が開口した概略箱型に構成され、この開口部分に感知センサ２の前方側端部が挿入されるように構成されている。またコネクタ１０の天井部分の一部には、コネクタ１０に感知センサ２を挿入したときに、感知センサ２側の注入口２３を露出させるための切欠き１３が形成されている。またコネクタ１０の底面には、感知センサ２の６つの端子部３４ｃ〜３９ｃに夫々対応するように図示しない端子部が設けられ、感知センサ２がコネクタ１０に挿入されると、感知センサ２側の端子部３４ｃ〜３９ｃとコネクタ１０側の端子部とが電気的に接続される。

続いて感知センサ２を本体部１２に接続したときの全体構成について説明する。図９に示すように本体部１２は、３つのスイッチ９０ａ〜９０ｃにより構成されたスイッチ部９０、発振回路９、周波数測定部９１及びデータ処理部９２を備えている。

感知センサ２をコネクタ１０に接続すると、水晶振動子４の共通電極４４及び各励振電極４５〜４９がスイッチ部９０に接続される。スイッチ部９０について説明すると、水晶振動子４の振動領域（詳しくは各領域における水晶片４１）１０１、１０２と発振回路９との間には、第１のスイッチ９０ａと第２のスイッチ９０ｂとが水晶振動子４側からこの順番で配置されており、第１のスイッチ９０ａは、発振回路９と、振動領域１０１、１０２のいずれか一方とを接続するように構成されている。

第２のスイッチ９０ｂは、これら振動領域１０１、１０２側の接続点と、振動領域１０３、１０４側の接続点との間で切り替え自在に配置されている。また、振動領域１０３、１０４と第２のスイッチ９０ｂとの間には、発振回路９に対して振動領域１０３、１０４のいずれか一方を接続できるように構成された第３のスイッチ９０ｃが配置されている。

そして３つのスイッチ９０ａ〜９０ｃを夫々切り換えることにより共通電極４４と、励振電極４９、４５とに夫々挟まれた振動領域１０１、１０２及び共通電極４４と、励振電極４８及び４６とに夫々挟まれた振動領域１０３、１０４のいずれか１つの領域を発振回路９に接続して発振させ、当該１つの領域における発振出力（周波数信号）を発振回路９の後段側に取り込むように構成されている。また発振回路９の後段には、周波数測定部９１が設けられ、周波数測定部９１にて発振回路から出力される周波数信号の周波数が測定され、測定された周波数信号は、データ処理部９２に入力される。

本発明の感知装置では、スイッチ部９０を高速で切り替えられながら各振動領域１０１〜１０４における各周波数ｆｍ１、ｆｒ１、ｆｍ２及びｆｒ２の時系列データを順次取得する。そしてデータ処理部９２において、振動領域１０１及び１０２における発振周波数の差分Δｆ１（Δｆ１＝ｆｍ１−ｆｒ１）と振動領域１０３及び１０４における発振周波数の差分Δｆ２（Δｆ２＝ｆｍ２−ｆｒ２）とを夫々計算し、これら差分Δｆ１、Δｆ２の合計値Δｆｓｕｍ（Δｆｓｕｍ＝Δｆ１＋Δｆ２）を算出する。そして例えば得られた計算結果（合計値Δｆｓｕｍ）と、に基づいて感知対象物の有無を判断したり、あるいは前記計算結果に対応する濃度を検量線から読み取って感知対象物の濃度を表示したりする機能を持っている。

上述の構成を備える実施の形態に係る感知装置の作用について説明する。なお図１１〜１３においては、スポンジ部材５内における試料液が含まれている領域をグレースケールで塗りつぶして示している。
感知センサ２を本体部１２に接続し、例えばインジェクタ１００を用いて、注入口２３に感知対象物を含む試料液を滴下する。この時、図１０に示すように試料液は毛細管現象によりスポンジ部材５に吸収される。さらに試料液の滴下を続けるとスポンジ部材５内における試料液を含んだ領域は、試料液の滴下位置からスポンジ部材５内を放射状に広がっていく。

試料液の滴下位置は、スポンジ部材５の前方寄りの位置の上方であるため、スポンジ部材５内における試料液が含まれた領域は、図１０〜図１２に示すようにスポンジ部材５の前方側から後方側に向かって徐々に広がって行くことになる。この時スポンジ部材５は、水晶振動子４の表面側の共通電極４４に押し付けられているため、スポンジ部材５の内部に広がった試料液が水晶振動子４の配置位置に到達すると、スポンジ部材５から試料液が滲出し、水晶振動子４に供給される。
このとき、試料液の供給量が多い場合には、必要量以上の試料液は、水晶振動子４と接触する位置から、後方側へ向けて伸びるスポンジ部材５に向けて排出される。

前方側の振動領域１０１及び１０２と、振動領域１０３及び１０４と、は、各々左右方向に並べて配置されているため、図１１、図１２に示すようにスポンジ部材５内における試料液が含まれた領域が、スポンジ部材５の前方側から後方側に向かって徐々に広がることにより、試料液は、先ず前方側の振動領域１０１及び１０２にほぼ同時に供給され、次いで振動領域１０３及び１０４にほぼ同時に供給される。

各振動領域１０１〜１０４においては、各々試料液が供給されたことによる粘度変化などによって発振周波数がほぼ揃って変化する。さらに試料液中に感知対象物が含まれる場合には、共通電極４４における振動領域１０１及び１０３上の吸着層４２に当該感知対象物が吸着する。一方振動領域１０２及び１０４上には、感知対象物が吸着されない。このため吸着層４２への感知対象物の吸着量に応じて周波数が下降し、Δｆｓｕｍが変化する。この結果、Δｆｓｕｍの変化に基づいて感知対象物の有無を判定することができる。

上述の実施の形態によれば、吸着層４２が形成された上面側の水晶振動子４に試料液を供給するにあたって、水晶振動子４の上面側の共通電極４４に接触するようにスポンジ部材５を設けている。そのため注入口２３から供給された試料液がスポンジ部材５の内部を広がることで、共通電極４４やその上面に形成された吸着層４２に試料液を供給することができる。従って水晶振動子４の表面に流路を形成するシリコン製の部材や細管などを配置した感知センサ２と比較して、部品の点数を減らすことができ、簡易な構造の安価な感知センサ２を提供することができる。
また測定対象の試料液をスポンジ部材５により保持することができるため、界面活性剤などを含む濡れ性が高い試料液を測定する場合においても、流路を形成する部品の隙間から試料液が漏れ出すおそれが少ない。

また多孔質部材を構成する多孔質体としては、例えば露紙などを用いることができる。ここで多孔質部材により十分に試料液を保持する観点から、多孔質部材を構成する多孔質体の細孔径は、２０〜２００μｍであることが好ましい。
このほか、多孔質部材の厚みが薄くなると試料液を保持する力が弱まる。そのため多孔質部材の厚さは、０．５ｍｍ以上、３ｍｍ以下より好ましくは１ｍｍ以上、２ｍｍ以下の範囲内の厚さであることが好ましい。

さらに既述のように本実施の形態では、スポンジ部材５の下方に位置する水晶振動子４の周縁と配線基板３との隙間を粘着テープ６１で塞いでいる。これにより、スポンジ部材５から流れ出る試料液が水晶振動子４の周縁と配線基板３との隙間に進入し、水晶振動子４の裏面に回り込むことを抑制することができる。発明者は、界面活性剤である２％Ｔｒｉｔｏｎ（登録商標）溶液中の感知対象物を本発明の実施の形態に示した感知センサ２を用いて測定を行ったところ液漏れが起こらなかったことを確認している。

さらに上述の実施の形態においては、スポンジ部材５の周囲を配線基板３、枠部２１、及び天板部２２で構成されたケースで囲っている。そのためスポンジ部材５に保持された試料液の蒸発や、感知センサ２を落としたときなどにおける水晶振動子４及びスポンジ部材５への衝撃の負荷を抑制することができる。
さらに多孔質部材を水晶振動子４の表面に接触させることで、水晶振動子４に多孔質部材の内部を流れる試料液を供給している。そのため水晶振動子４の表面に気泡等が発生しにくく、気泡等の混入による、発振周波数の乱れを抑制することができる。

また本発明は、多孔質部材と、水晶振動子（圧電振動子）の吸着層と、の間に隙間が空いていてもよい。このように構成した場合にも、試料液は、多孔質部材の内部に広がり、水晶振動子の上方にて多孔質部材の下面から滲出し、隙間を介して水晶振動子に供給されるため同様の効果を得ることができる。また多孔質部材と、水晶振動子と、の間の隙間から空気が逃げ出しにくい場合には、多孔質部材から隙間に試料液が滲出しようとしたときに、隙間に残る空気により多孔質部材からの試料液の滲出が阻害されるおそれがある。そのため多孔質部材と、水晶振動子と、の間に隙間を設けるにあたっては、当該隙間の空気を逃がしやすくするための気体流路を設けてもよい。このような構成の例としては、例えば多孔質部材の下面に吸着層の上方から多孔質部材の周縁まで伸びる溝部を形成した構成を挙げることができる。

また多孔質部材の内部を一方から試料液を供給して、多孔質部材内における試料液を含む領域を、多孔質部材の一方から他方に広げるように構成している。そのため、例えば一つ目の試料液の測定を行った後、続けて、２番目の試料液を供給することにより、一つ目の試料液を他方側に押し流し、水晶振動子４に接する試料液を２つ目の試料液に入れ替えることができる。このように構成することで一つの感知センサ２で複数の試料液の測定を行うことができる。また多孔質部材における振動領域１０１〜１０４の上方よりも他方側の領域の部位の長さを変えることにより、多孔質部材に保持することができる試料液の量を簡単に変えることができる。
また上述の実施の形態に係る感知センサ２は、枠部２１及び天板部２２をＰＥＴで構成し、多孔質部材をＰＶＡで構成している。そのため加工がしやすく、水晶振動子４の形状や電極の形状を変更する場合にも、対応がしやすい利点がある。

また本発明は、図４等を用いて説明した水晶振動子（圧電振動子）に４つの振動領域（２つの吸着領域と、２つの吸着領域に夫々対応する参照領域）を設ける構成に限定されない。例えば吸着層を設けた吸着領域と、参照領域と、を１つづつ設けた構成でも良い。あるいは、水晶振動子の表面側に、吸着層を設けた電極のみを設けた構成でも良い。

２ 感知センサ
３ 配線基板
４ 水晶振動子
５ スポンジ部材
１０ コネクタ
１２ 本体部
２１ 枠部
２２ 天板部
２３ 注入口

Claims (7)

1. 試料液中の感知対象物を感知する感知センサにおいて、
   発振周波数を測定するための測定器に接続される接続端子を備え、孔部が形成された配線基板と、
   圧電片を上面側及び下面側から挟んで互いに対向する位置に形成されると共に、前記接続端子と電気的に接続された励振電極を設けて構成され、下面側の励振電極が前記孔部に臨むように前記配線基板上に配置されると共に、上面側の励振電極の表面に、前記感知対象物を吸着する吸着層が形成された圧電振動子と、
   前記試料液を吸収可能な多孔質体により構成され、その下面が前記吸着層を上方側から覆うように配置された多孔質部材と、を備え、
   前記多孔質部材に供給された試料液を、その下面から滲出させて前記吸着層へ供給することを特徴とする感知センサ。
2. 前記配線基板と、前記圧電振動子と、前記多孔質部材と、を収容するケース体を備え、前記ケース体には、前記多孔質部材の上面側から試料液を注入するための注入口が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の感知センサ。
3. 前記ケース体を上面側から見たとき、前記注入口は、前記励振電極の上方領域から、横方向に外れた位置に設けられていることを特徴とする請求項２に記載の感知センサ。
4. 前記多孔質部材の下面は、前記上面側の励振電極の表面と接触していることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか一項に記載の感知センサ。
5. 前記多孔質部材の厚さが０．５ｍｍ以上、３ｍｍ以下の範囲内であることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか一項に記載の感知センサ。
6. 前記多孔質体の平均細孔径は、２０〜２００μｍであることを特徴とする請求項１ないし５のいずれか一項に記載の感知センサ。
7. 前記多孔質体は、ポリビニルアルコールであることを特徴とする請求項１ないし６のいずれか一項に記載の感知センサ。

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