JP2007064966A - 光学素子の光学的調整方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】入射光に対して参照面を所定角度傾けた状態で、参照面からの反射光と、被検光学素子群を透過した被検光と、により、空間キャリアを持つ干渉縞を形成する干渉縞形成ステップと、干渉縞形成ステップにおいて形成された干渉縞を実時間に解析する干渉縞解析ステップと、干渉縞解析ステップにおける解析結果に基づいて、光学素子の光学的な調整を連続的に行う光学的調整ステップと、を備える。
【選択図】図3
Description
基準平面板36の光軸を基準平面板36への入射光の進行方向に対して角度θ(半導体レーザ21の波長λに依存した所定の角度)だけ傾斜させると、演算部424による演算により、フレームメモリ422から出力された干渉縞画像データに基づいて、干渉縞のある1周期分に着目すれば、次式Aで表される空間的な信号強度分布I(x)を算出することができる。なお、この式Aでは、1次元の表示のためyを省略してある。
<式A>
I(x)=a+b・cos[φ+2πνx]
ここで、aは平均強度分布、bは振幅、νは空間キャリアの空間周波数、φはある点における初期位相である。
<式B>
この式により被検レンズ80の各点における位相を求めることができ、2次元的にこれを繰り返せば、被検レンズ80の波面収差を定量的に求めることができる。
まず、基準平面板36に垂直に入射した光のうち、基準平面板36を透過し反射基準凹面鏡38により反射し再び基準平面板36を透過した光と、基準平面板36で反射された光と、が同じ光路をたどってCCD41に入射するように、半導体レーザ21、CCD41、及び光学系30の各構成要素を配置して、干渉縞解析及び光学的調整の動作を開始する(ステップS100)。同じ光路をたどって入射したか否かの確認は周知の方法により行うためここではその説明は省略する。
11 保持部
12 調整駆動部
20 干渉縞形成部
21 半導体レーザ
30 光学系
36 基準平面板
36a 参照面
38 反射基準凹面鏡
41 CCD
42 干渉縞解析部
43 制御部
44 出力部
45 入力部
80 被検レンズ(光学素子)
422 フレームメモリ
424 演算部
θ 傾斜角度(所定角度)
Claims (4)
- 入射光に対して参照面を所定角度傾けた状態で、前記参照面からの反射光と、被検光学素子群を透過した被検光と、により、空間キャリアを持つ干渉縞を形成する干渉縞形成ステップと、
前記干渉縞形成ステップにおいて形成された干渉縞を実時間に解析する干渉縞解析ステップと、
前記干渉縞解析ステップにおける解析結果に基づいて、前記光学素子の光学的な調整を連続的に行う光学的調整ステップと、
を備えることを特徴とする光学素子の光学的調整方法。 - 前記干渉縞形成ステップは実時間に実行され、
前記干渉縞解析ステップでは、前記干渉縞形成ステップで形成された干渉縞について解析を行い、
この解析結果に基づいて、前記光学素子の所望の光学性能について調整を連続的に行う請求項1記載の光学素子の光学的調整方法。 - 前記干渉縞形成ステップ及び前記干渉縞解析ステップの少なくとも一方と、前記光学的調整ステップと、は並行して実行される請求項2記載の光学的調整方法。
- 前記解析結果はツェルニケ展開され、展開後の多項式の少なくとも一つの係数に基づいて光学調整を行う請求項1〜4のいずれか1項記載の光学的調整方法。
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