JP2007062066A - 微細な凹凸形状を有する光学素子の作製方法および光学素子 - Google Patents
微細な凹凸形状を有する光学素子の作製方法および光学素子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007062066A JP2007062066A JP2005248877A JP2005248877A JP2007062066A JP 2007062066 A JP2007062066 A JP 2007062066A JP 2005248877 A JP2005248877 A JP 2005248877A JP 2005248877 A JP2005248877 A JP 2005248877A JP 2007062066 A JP2007062066 A JP 2007062066A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- original plate
- resin layer
- optical element
- cured resin
- convex
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
Abstract
【解決手段】ある領域の表面における凹凸形状を付与するための成形用原版を使用した凹凸形状の付与を、隣接する他の凹凸形成領域においても順次繰り返して行い、同様な凹凸形状が各凹凸形成領域に渡って連続して表面に配列されている光学素子を作製する際、予め透明基板上に光硬化性樹脂を硬化させてなる分割下部硬化樹脂層を設けてから、その上に表面に凹凸形状を有する分割上部硬化樹脂層を設ける。
【選択図】図1
Description
ズパターン等に係る微細な凹凸形状の付与部分を有する凹凸成形用原版62や平面状の押圧部分を有する平板状の成形用原版21が取付られるようになっている。
、続いて、この分割下部硬化樹脂層41の形成領域に隣接する他の形成領域に昇降ヘッド14の成形用原版取付部分が位置するようにガラス基板11を平行移動させ、まず、次に形成しようとする分割下部硬化樹脂層の形成領域とその周辺部に渡って硬化性樹脂を塗布する。そして、前述した工程、すなわち、塗布された光硬化性樹脂に対して成形用原版の平面状の押圧部分を圧着させ、ガラス基板表面と平板状の成形用原版の押圧部分との間隔が均一になるようにそれらを近接配置する工程と、近接配置された前記ガラス基板と成形用原版の部分に対してガラス基板側から硬化させるための光を照射し、その間に挟まれている光硬化性樹脂を硬化させることにより、もう一つの分割下部硬化樹脂層をガラス基板上に設ける工程とを実施する。
層を分割下部硬化樹脂層上に積層する工程とを、繰り返し行うことにより、薄膜状で均一な厚みの下部硬化樹脂層51を、薄膜状でその表面に微細な凹凸形状を有する上部硬化樹脂層91で一体的に被覆する(図9参照)。
12、61・・光硬化性樹脂
13・・成形用原版
14・・昇降ヘッド
15・・照射装置
16・・ミラー
17・・シャッター
18・・Xスキャナー
19・・Yスキャナー
21・・凹凸成形用原版
31、71・・光
41、42、43・・分割下部硬化樹脂層
51・・下部硬化樹脂層
81、82、83・・分割上部硬化樹脂層
91・・上部硬化樹脂層
Claims (7)
- 平板状の透明基板表面の一部に光硬化性樹脂を塗布する工程と、塗布された光硬化性樹脂に対して平面状の成形用原版の平面状の押圧部分を圧着させて透明基板表面と成形原版の押圧部分との間隔が均一になるように前記透明基板と成形用原版とを近接配置する工程と、近接配置された前記透明基板と成形用原版の部分に対して透明基板側から光を照射し、その間に挟まれている光硬化性樹脂を硬化させて分割下部硬化樹脂層を透明基板表面の一部に設ける工程とを、透明基板上で順次繰り返して行い、透明基板表面に各分割下部硬化樹脂層が連設されてなる薄膜状で均一な厚みの下部硬化樹脂層を形成した後、下部硬化樹脂層を構成する分割下部硬化樹脂層に対し、その表面に光硬化性樹脂を塗布する工程と、塗布された光硬化性樹脂に対して凹凸成形用原版を圧着させて分割下部硬化樹脂層表面と凹凸成形用原版の成形部分との間隔が均一になるように分割下部硬化樹脂層と凹凸成形用原版とを近接配置する工程と、近接配置された前記透明基板と凹凸成形用原版の部分に対して透明基板側から光を照射し、凹凸成形用原版と分割下部硬化樹脂層の間に挟まれている光硬化性樹脂を硬化させ、分割上部硬化樹脂層を分割下部硬化樹脂層上に積層する工程とを、それぞれの分割下部硬化樹脂層面に対して順次繰り返して行うことにより、薄膜状で均一な厚みの下部硬化樹脂層上に薄膜状でその表面に微細な凹凸形状を有する上部硬化樹脂層を被覆して一体化することを特徴とする、微細な凹凸形状を有する光学素子の作製方法。
- 前記凹凸成形用原版は、その凹凸形状を付与するための成形領域が光硬化性樹脂を硬化させる領域とほぼ等しくなるように設定されていることを特徴とする請求項1記載の微細な凹凸形状を有する光学素子の作製方法。
- 前記平板状の成形用原版は、その平面状の成形部分が光硬化性樹脂を硬化させる領域とほぼ等しくなるように設定されていることを特徴とする請求項1または2に記載の微細な凹凸形状を有する光学素子の作製方法。
- ビーム状の光を走査して移動させながら前記光硬化樹脂を順次硬化させるようにしたことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の微細な凹凸形状を有する光学素子の作製方法。
- 請求項1〜4のいずれかに記載の作製方法より作製されたことを特徴とする微細な凹凸形状を有する光学素子。
- 前記微細な凹凸形状が、回折格子形状であることを特徴とする請求項5に記載の光学素子。
- 前記微細な凹凸形状が、ブレーズド回折格子形状であることを特徴とする請求項6に記載の光学素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005248877A JP4779505B2 (ja) | 2005-08-30 | 2005-08-30 | 微細な凹凸形状を有する光学素子の作製方法および光学素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005248877A JP4779505B2 (ja) | 2005-08-30 | 2005-08-30 | 微細な凹凸形状を有する光学素子の作製方法および光学素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007062066A true JP2007062066A (ja) | 2007-03-15 |
JP4779505B2 JP4779505B2 (ja) | 2011-09-28 |
Family
ID=37924847
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005248877A Expired - Fee Related JP4779505B2 (ja) | 2005-08-30 | 2005-08-30 | 微細な凹凸形状を有する光学素子の作製方法および光学素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4779505B2 (ja) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004205924A (ja) * | 2002-12-26 | 2004-07-22 | Toppan Printing Co Ltd | 微細形状の転写方法 |
JP2005001319A (ja) * | 2003-06-13 | 2005-01-06 | Canon Inc | 多層複合光学素子の成形方法 |
-
2005
- 2005-08-30 JP JP2005248877A patent/JP4779505B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004205924A (ja) * | 2002-12-26 | 2004-07-22 | Toppan Printing Co Ltd | 微細形状の転写方法 |
JP2005001319A (ja) * | 2003-06-13 | 2005-01-06 | Canon Inc | 多層複合光学素子の成形方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4779505B2 (ja) | 2011-09-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4401383B2 (ja) | 構造化された素子の製造 | |
JP2003094445A (ja) | 微細構造体の製造方法、該微細構造体を備えた装置の製造方法、該製造方法による微細構造体、該微細構造体製造用装置並びに該微細構造体を備えた装置製造用装置 | |
JP2006337985A (ja) | ハイサグレンズの製作方法及びこれを利用し製作されたレンズ | |
JP2005173597A (ja) | 回折レンズアレイモールドの製造方法、及びそれに用いられるuv照射器 | |
TWI421629B (zh) | 製造複製工具,副母模或複製品的方法 | |
JP4779505B2 (ja) | 微細な凹凸形状を有する光学素子の作製方法および光学素子 | |
TWI430879B (zh) | 導光板及其製作方法 | |
JP4192597B2 (ja) | 微細形状の転写方法 | |
KR20090098470A (ko) | 웨이퍼 스케일 렌즈 어레이, 그 성형장치 및 그 제조방법 | |
KR100236617B1 (ko) | 자외선경화성도료를 이용한 홀로그램 필름의 제조방법 | |
JP4423908B2 (ja) | 微細形状の画像合成方法及びそれを用いた画像形成体 | |
KR102259818B1 (ko) | Dlp 방식 기반 3d 프린팅의 경화층 접착력 평가 방법 | |
JP6651716B2 (ja) | モールド成形品の製造方法及びモールド成形品の製造装置 | |
JP2006154185A (ja) | 微細な凹凸パターンからなる導光板の作製方法及びその導光板 | |
JP2960924B1 (ja) | 樹脂成形型用元型の製造方法 | |
KR101609196B1 (ko) | 단차가 형성된 도광판 및 그 제조 방법 | |
JP5359624B2 (ja) | 回折光学素子の製造方法および製造装置 | |
JP4407228B2 (ja) | ホログラフィック記録媒体の製造方法 | |
KR101844973B1 (ko) | Uv 금형의 편집 방법 | |
JP2005001319A (ja) | 多層複合光学素子の成形方法 | |
JP4279772B2 (ja) | 光導波路の製造方法 | |
KR100337809B1 (ko) | 광폭 홀로그램 플라스틱 심 제조방법 | |
JP2007290223A (ja) | 基板シートの製造方法および剥離装置 | |
JPH04329503A (ja) | 光学素子及びその製造方法 | |
JP2004042493A (ja) | 成形用型及び光学素子 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080725 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110218 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110222 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110607 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110620 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140715 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |