JP2005173597A - 回折レンズアレイモールドの製造方法、及びそれに用いられるuv照射器 - Google Patents
回折レンズアレイモールドの製造方法、及びそれに用いられるuv照射器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005173597A JP2005173597A JP2004353104A JP2004353104A JP2005173597A JP 2005173597 A JP2005173597 A JP 2005173597A JP 2004353104 A JP2004353104 A JP 2004353104A JP 2004353104 A JP2004353104 A JP 2004353104A JP 2005173597 A JP2005173597 A JP 2005173597A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diffractive lens
- lens array
- mold
- manufacturing
- reactive polymer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/18—Diffraction gratings
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/18—Diffraction gratings
- G02B5/1876—Diffractive Fresnel lenses; Zone plates; Kinoforms
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B3/00—Simple or compound lenses
- G02B3/0006—Arrays
- G02B3/0012—Arrays characterised by the manufacturing method
- G02B3/0031—Replication or moulding, e.g. hot embossing, UV-casting, injection moulding
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B3/00—Simple or compound lenses
- G02B3/02—Simple or compound lenses with non-spherical faces
- G02B3/08—Simple or compound lenses with non-spherical faces with discontinuous faces, e.g. Fresnel lens
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/18—Diffraction gratings
- G02B5/1876—Diffractive Fresnel lenses; Zone plates; Kinoforms
- G02B5/188—Plurality of such optical elements formed in or on a supporting substrate
- G02B5/1885—Arranged as a periodic array
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
- Casting Or Compression Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
Abstract
【解決手段】(a)Niシムを利用して単一回折レンズモールドを製造する段階と、(b)前記単一回折レンズモールドを装着したUV照射器を用いて、第1回折レンズアレイモールドを製造する段階と、(c)前記第1回折レンズアレイモールドと逆像を有する第2回折レンズアレイモールドを製造する段階と、を含む回折レンズアレイモールドの製造方法である。
【選択図】図2
Description
本発明による回折レンズアレイ製造工程は3つの段階よりなる。
このようなNiシム32を、少数アレイパターン(例えば、縦3個×横3個、縦5個×横5個)の回折レンズモールドの製造に用いて大量生産を行うことも可能である。
22 回折レンズアレイ
23 回折レンズアレイモールド
54 第1の回折レンズアレイモールド
57 第2の回折レンズアレイモールド
33 透過フィルム
34 第1UV反応ポリマー
53 第2UV反応ポリマー
56 第3UV反応ポリマー
41 UV光源
42 UV密閉カバー
Claims (13)
- 回折レンズアレイの模様を型どる回折レンズアレイモールドの製造方法において、
(a)Niシムを用いて、単一の回折レンズモールドを製造する段階と、
(b)前記単一の回折レンズモールドを装着し、UVを照射するUV照射器を用いて、第1の回折レンズアレイモールドを製造する段階と、
(c)前記第1の回折レンズアレイモールド、及び前記第1の回折レンズアレイモールドの逆像を有する第2の回折レンズアレイモールドを製造する段階と、を含むことを特徴とする回折レンズアレイモールドの製造方法。 - 前記(a)段階は、
電子ビームリソグラフィにより、回折レンズの逆像を有する微細な模様の種型を形成する段階と、
前記種型に対してNiによる電気メッキをして、回折レンズのNiシムを形成する段階と、
前記Niシムと逆像の単一の回折レンズモールドを製造する段階と、を含むことを特徴とする請求項1に記載の回折レンズアレイモールドの製造方法。 - 前記単一の回折レンズモールドを製造する段階は、
透明フィルム上に第1のUV反応性ポリマーを塗布する段階と、
前記第1のUV反応性ポリマーに対して前記Niシムを圧着させる段階と、
前記透明フィルム方向にUVを照射して、前記第1の反応性ポリマーを硬化させて前記Niシムを分離して単一の回折レンズモールドを形成する段階と、を含むことを特徴とする請求項2に記載の回折レンズアレイモールドの製造方法。 - 前記単一の回折レンズモールドを所定温度に加熱し、常温でエージングして前記単一の回折レンズモールド及び前記透明フィルムとの接着性を向上させる段階をさらに含むことを特徴とする請求項3に記載の回折レンズアレイモールドの製造方法。
- 前記第1のUV反応性ポリマーは、前記透明フィルム上にスピンコーティングにより塗布されることを特徴とする請求項3に記載の回折レンズアレイモールドの製造方法。
- 前記(b)段階は、
Si基板上に所定深さを有する多数の溝を形成させるために、前記Si基板表面をエッチングする段階と、
前記Si基板上に第2のUV反応性ポリマーを塗布する段階と、
前記単一の回折レンズモールドを装着したUV照射器を、前記Si基板表面のそれぞれの溝部位に圧着し、UVを照射して前記第2のUV反応性ポリマーを硬化させて第1の回折レンズアレイモールドを製造する段階と、を含むことを特徴とする請求項1に記載の回折レンズアレイモールドの製造方法。 - 前記第2のUV反応性ポリマーは前記Si基板上に、スピンコーティングにより塗布されることを特徴とする請求項6に記載の回折レンズアレイモールドの製造方法。
- 前記 UV照射器は、
UVを通さないハウジング、及びこのハウジングの下部に開口部を有するUV密閉カバーと、
前記UV密閉カバー内の上部に形成されたUV光源と、
前記UV密閉カバーの開口部に装着された単一回折レンズモールドと、を含む
ことを特徴とする請求項6に記載の回折レンズアレイモールドの製造方法。 - 前記第1の回折レンズアレイモールドを所定温度に加熱し、常温でエージングして前記Si基板と前記第1の回折レンズアレイモールドとの接着性を向上させることを特徴とする請求項6に記載の回折レンズアレイモールドの製造方法。
- 前記(c)段階は、
透明フィルム上に第3のUV反応性ポリマーを塗布する段階と、
前記第3のUV反応性ポリマーに、前記第1の回折レンズアレイモールドを圧着
させ、UVを照射して前記第3のUV反応性ポリマーを硬化させて、第2の回折レンズアレイモールドを製造する段階と、を含むことを特徴とする請求項1に記載の回折レンズアレイモールドの製造方法。 - 前記第3のUV反応性ポリマーは、スピンコーティングにより前記透明板上に塗布されることを特徴とする請求項10に記載の回折レンズアレイモールドの製造方法。
- 第3のUV反応性ポリマーを所定温度に加熱し、常温でエージングを実施して、前記透明フィルムと第3のUV反応性ポリマー間との接着性を強化させることを特徴とする請求項10に記載の回折レンズアレイモールドの製造方法。
- UVエンボシング工程に用いられるUV照射器において、
前記UV照射器は、
UVを通さないハウジング、及びこのハウジングの下部に開口部を有するUV密閉カバーと、
前記UV密閉カバー内の上部に形成されたUV光源と、
前記UV密閉カバーの開口された下部に装着された単一回折レンズモールドと、を含むことを特徴とする請求項1〜12に記載の回折レンズアレイモールドの製造方法に使用されるUV照射器。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020030088414A KR100624414B1 (ko) | 2003-12-06 | 2003-12-06 | 회절 렌즈 어레이 몰드의 제조 방법 및 uv 디스펜서 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005173597A true JP2005173597A (ja) | 2005-06-30 |
JP4210257B2 JP4210257B2 (ja) | 2009-01-14 |
Family
ID=34737860
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004353104A Expired - Fee Related JP4210257B2 (ja) | 2003-12-06 | 2004-12-06 | 回折レンズアレイモールドの製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20050162733A1 (ja) |
JP (1) | JP4210257B2 (ja) |
KR (1) | KR100624414B1 (ja) |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007118326A (ja) * | 2005-10-27 | 2007-05-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 型の製造方法 |
JP2008046580A (ja) * | 2006-08-16 | 2008-02-28 | Samsung Electronics Co Ltd | ワイヤーグリッド偏光子製造システム及びその製造方法 |
WO2008153102A1 (ja) * | 2007-06-14 | 2008-12-18 | Aji Co., Ltd. | 造形方法、レンズの製造方法、造形装置、スタンパの製造方法、マスタ製造装置、スタンパ製造システム、及びスタンパ製造装置 |
WO2009093382A1 (ja) * | 2008-01-21 | 2009-07-30 | Aji Co., Ltd. | 光学部品の製造方法、型の製造方法、光学部品製造装置、及び型製造装置 |
JP2009279774A (ja) * | 2008-05-20 | 2009-12-03 | Aji Kk | 造形物の製造方法、スタンパの製造方法、マスタ製造装置、スタンパ製造システム、及びスタンパ製造装置 |
WO2010032511A1 (ja) * | 2008-09-22 | 2010-03-25 | コニカミノルタオプト株式会社 | ウエハレンズの製造方法 |
JP2012063764A (ja) * | 2010-08-20 | 2012-03-29 | Citizen Holdings Co Ltd | 光学構造を備えた基板及びそれを用いた光学素子 |
JP2012128444A (ja) * | 2012-02-08 | 2012-07-05 | Sumitomo Electric Hardmetal Corp | レーザ用マイクロレンズ |
WO2012108457A1 (ja) | 2011-02-08 | 2012-08-16 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光学素子及びその製造方法 |
WO2014024565A1 (ja) | 2012-08-06 | 2014-02-13 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光学素子及びその製造方法 |
US9341944B2 (en) | 2004-12-30 | 2016-05-17 | Asml Netherlands B.V. | Imprint lithography |
Families Citing this family (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7595515B2 (en) | 2005-10-24 | 2009-09-29 | 3M Innovative Properties Company | Method of making light emitting device having a molded encapsulant |
WO2007085044A1 (en) * | 2006-01-24 | 2007-08-02 | Mycrolab Pty Ltd | Stamping methods and devices |
US8092735B2 (en) * | 2006-08-17 | 2012-01-10 | 3M Innovative Properties Company | Method of making a light emitting device having a molded encapsulant |
US20080084592A1 (en) * | 2006-10-09 | 2008-04-10 | General Electric Company | Molded Article Incorporating Volume Hologram |
US20080137032A1 (en) * | 2006-12-06 | 2008-06-12 | General Electric Company | Optical lens and method of manufacturing |
US9944031B2 (en) * | 2007-02-13 | 2018-04-17 | 3M Innovative Properties Company | Molded optical articles and methods of making same |
TWI481064B (zh) | 2007-02-13 | 2015-04-11 | 3M Innovative Properties Co | 具有透鏡之發光二極體裝置及其製造方法 |
US7920342B2 (en) * | 2008-07-01 | 2011-04-05 | Aptina Imaging Corporation | Over-molded glass lenses and method of forming the same |
SG171862A1 (en) * | 2008-12-01 | 2011-07-28 | Showa Denko Kk | Method of moulding |
KR101711646B1 (ko) * | 2009-12-11 | 2017-03-03 | 엘지디스플레이 주식회사 | 임프린트용 몰드의 제조방법 및 임프린트용 몰드를 이용한 패턴 형성방법 |
DE102012023025A1 (de) * | 2012-11-23 | 2014-05-28 | Rodenstock Gmbh | Erzeugung mikrostrukturierter Brillengläser mittels Transferschicht |
WO2015144990A1 (en) * | 2014-03-28 | 2015-10-01 | Ledil Oy | A lens for modifying a light distribution pattern |
US11367959B2 (en) | 2015-10-28 | 2022-06-21 | Rogers Corporation | Broadband multiple layer dielectric resonator antenna and method of making the same |
US10476164B2 (en) | 2015-10-28 | 2019-11-12 | Rogers Corporation | Broadband multiple layer dielectric resonator antenna and method of making the same |
US11876295B2 (en) | 2017-05-02 | 2024-01-16 | Rogers Corporation | Electromagnetic reflector for use in a dielectric resonator antenna system |
US11283189B2 (en) | 2017-05-02 | 2022-03-22 | Rogers Corporation | Connected dielectric resonator antenna array and method of making the same |
US11616302B2 (en) | 2018-01-15 | 2023-03-28 | Rogers Corporation | Dielectric resonator antenna having first and second dielectric portions |
US11552390B2 (en) | 2018-09-11 | 2023-01-10 | Rogers Corporation | Dielectric resonator antenna system |
WO2020117489A1 (en) * | 2018-12-04 | 2020-06-11 | Rogers Corporation | Dielectric electromagnetic structure and method of making the same |
US11482790B2 (en) | 2020-04-08 | 2022-10-25 | Rogers Corporation | Dielectric lens and electromagnetic device with same |
CN111474610B (zh) * | 2020-05-19 | 2021-09-21 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种制备连续面形菲涅尔透镜的方法 |
NL1044355B1 (nl) * | 2022-06-13 | 2023-12-20 | Eric Kreuning Holding Bv | Lenticulair-stempelmechaniek voor vloeibare polymeren met een gestuurde LED Ultra Violet lichtbron voor het aanbrengen van een gedoseerde hoeveelheid polymeer op een substraat en deze in een vorm te dwingen van een lenticulaire lens en de polymeer uit te harden door middel van een Ultra Violet lichtbron. |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5983110A (ja) * | 1982-11-02 | 1984-05-14 | Dainippon Printing Co Ltd | パタ−ン状回折格子の複製方法 |
US6201037B1 (en) * | 1986-01-28 | 2001-03-13 | Ophthalmic Research Group International, Inc. | Plastic lens composition and method for the production thereof |
JPS6349702A (ja) * | 1986-08-20 | 1988-03-02 | Toshiba Corp | グレ−テイングレンズの製造方法 |
JP2570402B2 (ja) * | 1988-09-30 | 1997-01-08 | 日本ビクター株式会社 | 光学式情報記録媒体成型装置 |
JPH02188235A (ja) * | 1989-01-17 | 1990-07-24 | Omron Tateisi Electron Co | 2p法による複数の光学素子の作製方法 |
JPH02257102A (ja) * | 1989-03-30 | 1990-10-17 | Seiko Epson Corp | レンズアレイの製造方法 |
JP2001201609A (ja) * | 2000-01-19 | 2001-07-27 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 平板状マイクロレンズの製造方法及びこの方法で製造された平板状マイクロレンズ |
KR100561844B1 (ko) * | 2003-10-07 | 2006-03-16 | 삼성전자주식회사 | 마이크로 렌즈 어레이 및 그 제조 방법 |
-
2003
- 2003-12-06 KR KR1020030088414A patent/KR100624414B1/ko not_active IP Right Cessation
-
2004
- 2004-12-06 US US11/003,353 patent/US20050162733A1/en not_active Abandoned
- 2004-12-06 JP JP2004353104A patent/JP4210257B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9341944B2 (en) | 2004-12-30 | 2016-05-17 | Asml Netherlands B.V. | Imprint lithography |
US7561333B2 (en) | 2005-10-27 | 2009-07-14 | Panasonic Corporation | Method for manufacturing mold |
JP2007118326A (ja) * | 2005-10-27 | 2007-05-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 型の製造方法 |
JP2008046580A (ja) * | 2006-08-16 | 2008-02-28 | Samsung Electronics Co Ltd | ワイヤーグリッド偏光子製造システム及びその製造方法 |
US8540906B2 (en) | 2007-06-14 | 2013-09-24 | Aji Co., Ltd. | Method of molding, process for producing lens, molding apparatus, process for producing stamper, master production apparatus, stamper production system, and stamper production apparatus |
WO2008153102A1 (ja) * | 2007-06-14 | 2008-12-18 | Aji Co., Ltd. | 造形方法、レンズの製造方法、造形装置、スタンパの製造方法、マスタ製造装置、スタンパ製造システム、及びスタンパ製造装置 |
US9149964B2 (en) | 2007-06-14 | 2015-10-06 | Aji Co., Ltd. | Method of molding, process for producing lens, molding apparatus, process for producing stamper, master production apparatus, stamper production system, and stamper production apparatus |
WO2009093382A1 (ja) * | 2008-01-21 | 2009-07-30 | Aji Co., Ltd. | 光学部品の製造方法、型の製造方法、光学部品製造装置、及び型製造装置 |
EP2241428A1 (en) * | 2008-01-21 | 2010-10-20 | Aji Co., Ltd. | Process for producing optical part, process for producing mold, apparatus for producing optical part, and apparatus for producing mold |
EP2241428A4 (en) * | 2008-01-21 | 2014-08-06 | Aji Co Ltd | PROCESS FOR PRODUCING OPTICAL PART, METHOD FOR PRODUCING MOLD, APPARATUS FOR PRODUCING OPTICAL PART, AND APPARATUS FOR PRODUCING MOLD |
JP2009279774A (ja) * | 2008-05-20 | 2009-12-03 | Aji Kk | 造形物の製造方法、スタンパの製造方法、マスタ製造装置、スタンパ製造システム、及びスタンパ製造装置 |
JP5617636B2 (ja) * | 2008-09-22 | 2014-11-05 | コニカミノルタ株式会社 | ウエハレンズの製造方法 |
WO2010032511A1 (ja) * | 2008-09-22 | 2010-03-25 | コニカミノルタオプト株式会社 | ウエハレンズの製造方法 |
JP2012063764A (ja) * | 2010-08-20 | 2012-03-29 | Citizen Holdings Co Ltd | 光学構造を備えた基板及びそれを用いた光学素子 |
WO2012108457A1 (ja) | 2011-02-08 | 2012-08-16 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光学素子及びその製造方法 |
US9360599B2 (en) | 2011-02-08 | 2016-06-07 | Hamamatsu Photonics K.K. | Optical element and method of manufacturing same |
JP2012128444A (ja) * | 2012-02-08 | 2012-07-05 | Sumitomo Electric Hardmetal Corp | レーザ用マイクロレンズ |
WO2014024565A1 (ja) | 2012-08-06 | 2014-02-13 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光学素子及びその製造方法 |
JP2014032368A (ja) * | 2012-08-06 | 2014-02-20 | Hamamatsu Photonics Kk | 光学素子及びその製造方法 |
US9594197B2 (en) | 2012-08-06 | 2017-03-14 | Hamamatsu Photonics K.K. | Optical element, and method for producing same |
US10386552B2 (en) | 2012-08-06 | 2019-08-20 | Hamamatsu Photonics K.K. | Optical element, and method for producing same |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR100624414B1 (ko) | 2006-09-18 |
US20050162733A1 (en) | 2005-07-28 |
JP4210257B2 (ja) | 2009-01-14 |
KR20050054779A (ko) | 2005-06-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4210257B2 (ja) | 回折レンズアレイモールドの製造方法 | |
JP4401383B2 (ja) | 構造化された素子の製造 | |
CN101313234B (zh) | 制造衍射光栅元件的方法 | |
US7717696B2 (en) | Apparatus for double-sided imprint lithography | |
KR101020634B1 (ko) | 기능성 나노패턴을 갖는 렌즈의 제조방법 | |
JP2006337985A (ja) | ハイサグレンズの製作方法及びこれを利用し製作されたレンズ | |
JP5744590B2 (ja) | インプリント方法、型、それらを用いた物品の製造方法 | |
JP5633744B2 (ja) | 基材作製方法、ナノインプリントリソグラフィ方法及び型複製方法 | |
JP2010240928A (ja) | 微細構造転写スタンパ及び微細構造転写装置 | |
JP2000194142A (ja) | パタ―ン形成方法及び半導体装置の製造方法 | |
WO2020119469A1 (zh) | 一种曲面光栅的加工装置及加工方法 | |
JP2005043897A (ja) | マイクロレンズの製造方法 | |
KR20100033560A (ko) | 나노 임프린트용 몰드 제작방법과 나노 임프린트용 몰드를 이용한 패턴 성형방법 | |
JP4307040B2 (ja) | 微細表面構造をもつ物品の製造方法 | |
JP3922338B2 (ja) | 基板の製造方法及び製造装置 | |
JP3731017B2 (ja) | 光学デバイス製造方法 | |
JP5349777B2 (ja) | 光学素子の製造方法 | |
JP2015037087A (ja) | マスクブランク用基板、マスクブランク、インプリントモールド、およびそれらの製造方法 | |
JP2016002665A (ja) | モールド製造用構造体の製造方法、およびモールドの製造方法 | |
JP2679454B2 (ja) | 樹脂スタンパの製造方法およびその樹脂スタンパを用いたパターン転写方法 | |
KR100647283B1 (ko) | 마이크로 렌즈 제조 방법 | |
JP5376930B2 (ja) | 液体吐出ヘッドの製造方法 | |
KR20060118949A (ko) | 마이크로렌즈 어레이 및 이 마이크로렌즈 어레이의 복제용음각틀의 제작방법 | |
JPH09274425A (ja) | ホログラム素子およびその製造方法 | |
KR101703952B1 (ko) | 개구부가 포함된 템플릿을 이용한 금속나노패턴 제조방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050926 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080610 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080617 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080917 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20081014 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20081024 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111031 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |