JP2007290223A - 基板シートの製造方法および剥離装置 - Google Patents

Abstract

【課題】フレネルレンズ等の基板シートを成形型から剥離する基板シートの剥離製造方法および剥離装置に関する。
【解決手段】
円形状のパターン成形型に樹脂を塗布する塗布工程と、塗布した樹脂の上面に基板を供給し加圧する基板加圧圧着工程と、塗布した樹脂を硬化させる樹脂硬化工程と、硬化した樹脂を基板と共にパターン成形型から剥離する剥離工程と、を備えた円形状のパターンを含む基板シートの製造方法において、
前記基板の上方にパターン成形型の中心部と中心から等位置を加圧する中心押さえ部と外周剥離抑制部を有する加圧部を形成し、
前記中心押さえ部と外周剥離抑制部を基板上面の中心部近傍に当接させ、さらに加圧することにより基板シートを剥離させる剥離工程を具備することを特徴とする基板シートの製造方法および基板シートの製造方法に用いられる剥離装置である。
【選択図】図６

Description

本発明は、フレネルレンズ等の基板シートを成形型から剥離する基板シートの製造方法および剥離装置に関する。

フレネルレンズシートの製造方法として、加熱された金型により熱可塑性樹脂を押圧してフレネルレンズ面を形成する熱プレス法、あるいは溶融軟化された熱可塑性樹脂組成物を金型内に注入し固化させてフレネルレンズ面を形成するキャスティング法等がある。

しかし、前記製造方法は、共に成形サイクルに長時間を要するため、生産性が低く製造コストがかかる。そして、微細形状のレンズ部（凹凸パターン）を再現性良く成形することが難しいという問題がある。

前記問題を解決するため、紫外線硬化型樹脂（以下ＵＶ樹脂とする）を成形型内に注入した後、紫外線照射し、該樹脂液組成物を硬化させることにより、樹脂成形物を得る、フォトポリマープロセス法（２Ｐ法）が提案されている。

そして、前記２Ｐ法を用いた透過型スクリーン用レンズ板の製造方法（例えば、特許文献１参照。）が知られている。

前記透過型スクリーン用レンズ板の製造方法１００は図７に示すようにフレネルレンズ面形状を有する金型１０１に紫外線硬化型又は電子線硬化型樹脂組成物１０２を塗布装置１０３により塗布する。そして、樹脂層を形成する。

次に、少なくとも片面が連続した光学的凹凸加工面１０４からなり、且つ、前記紫外線硬化型又は電子線硬化型樹脂と屈折率の異なる透明又は半透明合成樹脂からなる樹脂基板１０５を、前記樹脂層表面に凹凸加工面１０４を対向させてラミネートする。

そして、該基板側より紫外線又は電子線１０６を照射して樹脂層を硬化させて硬化樹脂層を形成する。

さらに、一体化した樹脂基板及び硬化樹脂層をロール１０７で金型から離型することにより透過型スクリーン用レンズ板を製造する。

前記製造方法は、フレネルレンズシートを金型から剥離する際、成型された樹脂山と型の山が干渉し、レンズ（もしくは成形型）が損傷する。そして、さらにレンズにムラのような欠陥を生じる。

前記のような問題は、フレネルレンズの単位レンズ群が同心円状に配列してなるサーキュラーフレネルにおいても同様な問題が生じる。

さらに、単位レンズ群が一方向に並列してなるリニアフレネルにおいても同様である。そして、特にサーキュラーフレネルの場合に顕著であり、レンズ部を損傷することなく、剥離する方法が要求されている。

前記サーキュラーフレネルにおいては、成形型から剥離する際、意図的にフレネルレンズの中心を最後に剥離することで、レンズ先端と成形型の干渉が無くなるように人手で剥
離する方法が、経験的に好ましいとされている。

前記方法はフレネルレンズの成形型の山形状が中心から外側に傾斜している。また、成形型の傾斜が緩やかな方向（レンズシート周縁）から中心に剥離することによって、成形型とレンズの干渉を避けることができる。そして、損傷がないレンズシートを得ることができる。

しかしながら、この方法で剥離する場合、成形型とレンズシートの離型性のバラつきにより、剥離のコントロールが困難となる。

そして、レンズの中心から外側に剥離されるレンズに損傷が発生し不良が生じ易い。さらに、生産性を低下させるという問題がある。

このため、フレネルレンズシートの剥離工程で、レンズの損傷不良を防ぎ、且つ、高い生産性の得ることが可能なフレネルレンズシートの製造方法及び装置等が多く要求されている。

また、前記フレネルレンズシートの製造において、剥離方法及び剥離装置を改良したレンズシートの剥離方法及び剥離装置（例えば、特許文献２参照。）が知られている。

この剥離方法は、図８に示すように成形型１２１上に付着したレンズシート２００の相対向する二箇所１２２、１２３を同時に又は順に成形型１２１上に持ち上げる。

そして、この上昇と並行し又はこの上昇の終了後に他の相対向する二箇所１２４、１２５を同時に又は順に成形型１２１上に持ち上げる。そして、レンズシ−トの全体を成形型上に持ち上げる。

また、レンズシートを成形型から剥離（持ち上げ）するための優れた機構を有する製造方法及び剥離方法も提案されている（例えば、特許文献３参照。）。

この製造方法は平板状成形型に紫外線硬化型樹脂を塗布する工程と、前記平板状成形型よりも大きい透光性基板を積層して前記紫外線硬化型樹脂を均す工程と、前記紫外線硬化型樹脂に紫外線を照射する工程と、成形されたフレネルレンズを前記成形型から剥離する剥離工程とからなるフレネルレンズの製造工程である。

前記剥離工程は、透光性基板端部の複数箇所を機械的にチャッキングし、さらにチャッキング部を機械的に上昇させる。そして、フレネルレンズ周辺部から中心部にかけて順次剥離する。

以下に先行技術文献を示す。
特公平６−７９８３４号公報 特開２００２−１７２６２６号公報 特開２００３−１８１８５５号公報

しかしながら、特許文献１および特許文献３の製造方法は生産性を向上させることはで
きるが、成形パターンの中心を越えて剥離が進行した場合、成形されたレンズと金型が干渉する。

このため、レンズ（もしくは金型）が損傷しレンズにムラのような欠陥が生じるという問題が残されている。

さらに、機械的な剥離動作においても離型性のバラつきなどによるコントロールが困難であるという問題がある。

また、特許文献２の剥離装置は剥離する際、剥離性のバラつきにより一方向の剥離が極端に早く進行した場合、中心部の外周から中心部に向けて剥離されなくなる部分が生じる。このため、レンズの破損を防ぐことができないという問題がある。

本発明は、上記従来の問題点を解決しようとするものであり、その課題とするところは、成形型から円形状のパターン含む基板シートを剥離する際に、剥離性がバラつく場合でも、基板シートまたは成形型を損傷せず、且つ、安定した生産が可能な基板シートの製造方法および剥離装置を提供することを目的とする。

上記問題点を解決するために、本発明の請求項１に係る発明は、
円形状のパターン成形型に樹脂を塗布する塗布工程と、塗布した樹脂の上面に基板を供給し加圧する基板加圧圧着工程と、塗布した樹脂を硬化させる樹脂硬化工程と、硬化した樹脂を基板と共にパターン成形型から剥離する剥離工程と、を備えた円形状のパターンを含む基板シートの製造方法において、
前記基板の上方にパターン成形型の中心部と中心から等位置を加圧する中心押さえ部と外周剥離抑制部を有する加圧部を形成し、
前記中心押さえ部と外周剥離抑制部を基板上面の中心部近傍に当接させ、さらに加圧することにより基板シートを剥離させる剥離工程を具備することを特徴とする基板シートの製造方法である。

次に、本発明の請求項２に係る発明は、
前記外周剥離抑制部の加圧面形状が中空形状か、または相対向する二箇所以上のパターン形状に形成されていることを特徴する請求項１記載の基板シートの製造方法である。

次に、本発明の請求項３に係る発明は、
円形状のパターン成形型に樹脂を塗布する塗布工程と、塗布した樹脂の上面に基板を供給し加圧する基板加圧圧着工程と、塗布した樹脂を硬化させる樹脂硬化工程と、硬化した樹脂を基板と共にパターン成形型から剥離する剥離工程と、を備えた円形状のパターンを含む基板シートの製造方法に用いられる剥離装置において、
前記基板の上方にパターン成形型の中心部と中心から等位置を加圧する中心押さえ部と外周剥離抑制部を有する加圧部と、
前記中心押さえ部と外周剥離抑制部を基板上面の中心部近傍に当接させ、さらに加圧する加圧調整機能手段と、を備えていることを特徴とする基板シートの剥離装置である。

次に、本発明の請求項４に係る発明は、
前記中心押さえ部と外周剥離抑制部は上下駆動し、加圧調整機能手段に加圧状況をフィードバック制御する加圧制御手段を具備していることを特徴とする請求項３記載の基板シートの剥離装置である。

次に、本発明の請求項５に係る発明は、
前記外周剥離抑制部の、加圧調整機能手段がコイルバネであることを特徴とする請求項３または４記載の基板シートの剥離装置である。

本発明の基板シートの製造方法および剥離装置は、周縁から基板シートを持ち上げて剥離する際、剥離進行がばらついた場合でも、中心部と一定の距離をもった外周剥離抑制部が中心に対して剥離が均等でないと持ち上がり難い。

そして、剥離進行が早い箇所は持ち上がり難く、遅い箇所は持ちあがり易くなる。また、剥離進行が中心部に対して等しくなる。

また、基板シートは周縁から成形パターン中心部に向かって抑制・開放されながら剥離される。そして、結果的に周縁から中心へ等距離に剥離が進行することにより、周辺から中心部に確実に剥離される。

このことにより、中心部を越えて一方から剥離が進行する場合に起きる、基板シートの成形部が成形型に干渉して損傷することが無くなる。そして、成形部分または成形型が損傷することなく、安定してできる。

また、基板シート周縁から基板シートを持ち上げて剥離する際、外周剥離抑制部を加圧しながら剥離進行するため、より外縁から成形パターン中心に向けて剥離が進行する。そして、成形部に損傷の無い基板シートを得ることができる。

さらに、周縁から中心に向けて剥離を進行させることができ、且つ、パターンの中央部を加圧することで、一方からの剥離が中心部に偏って到達した場合でも、中心部を越えて反対側へと進行され難い。そして、基板シートに形成された凹凸部または成形型の損傷を的確に防止することができる。そして、常に安定して生産することができる。

本発明の基板シートの製造方法および剥離装置を実施の形態に沿って以下に図面を参照にしながら詳細に説明する。図１〜図６は本発明の一実施例を示す。

図１（Ａ）〜（Ｄ）は、本発明の基板シートの製造方法および剥離装置が用いられるフレネルレンズシートの製造方法を説明すめための説明図である。

図１に示すように、フレネルレンズシート１の製造工程は成形型２に硬化性樹脂３を全面に塗布する塗布工程（Ａ）、その上面に透光性基板５を積載し、加圧ロール６で透光性基板５上から始点から終点まで加圧する基材供給加圧工程（Ｂ）、硬化性樹脂３に透光性基板５上から紫外線又は加熱処理４を施す樹脂硬化工程（Ｃ）と、硬化性樹脂３と透光性基板５を共に成形型２から剥がし取りフレネルレンズシート１を得る剥離工程（Ｄ）から構成されている。

前記剥離工程（Ｄ）は紫外線又は加熱処理４により硬化した硬化性樹脂３を透光性基板５と共に剥がし取りフレネルレンズシート１を得る工程である。

また、成形型２のフレネルレンズ賦型面において形成溝が鋭角状の凹凸で形成されており、形状が方向性を持っている。このため、剥がしとる方向によって硬化性樹脂３がレンズ成形溝に干渉し、レンズが損傷する。

次に図２（Ａ）は基板シートが成形型から適性に剥離される状態の模式図である。また
、（Ｂ）は基板シートが成形型から好ましくない状態で剥離される模式図である。さらに、（Ｃ）は、フレネルレンズシートの平面を示す模式図である。

図２（Ａ）に示すように、フレネルレンズシート１を成形型から剥がす際、周辺から中心部ａに進行させることにより成形型からフレネルレンズシート１を容易に剥がすことができる。

しかし、（Ｂ）に示すように中心部ａを超えて反対側に進行した場合、硬化性樹脂３が成形型２のレンズ形成溝ｂの凹凸に干渉する。そして、レンズ損傷ｃが発生する。前記レンズ損傷ｃは、成形型２の凹凸に方向性があるためである。

このため、図２（Ｃ）に示すように、フレネルレンズシート１の周縁から中心部ａに向かって剥離し、中心部ａを最後に剥離することが、レンズ損傷ｃを発生させない方法となる。

前記レンズ損傷ｃが発生すると、フレネルレンズシート１の透光性が変化する。そして、レンズ損傷ｃの部分はムラのように白濁しレンズの性能が低下する。

また、人手による剥離においては熟練すれば、この問題を防ぐことができる。さらに、機械的に剥離する場合は、成形型２のもつ剥離性の違い、剥離方の違いなどにより、中心を最後まで剥離させないことが困難である。そして、安定した剥離成形が求められている。

前記成形型２の持つ剥離性の違いとは、例えばフレネルレンズシート１の１辺の周縁を同一箇所まで持ち上げた際にフレネルレンズシート１が剥離されている距離が異なることを示している。また、これがバラつく原因は成形型の特性や温度変化などと考えられている。

本発明の基板シートの製造方法および剥離装置は手作業による剥離あるいは機械的に剥離する場合によらず、且つ、成形型２の持つ剥離性のバラつきや剥離方法の違いによらず、確実に外周辺から中心部ａに向かって剥離し、中心部ａを最後に剥離することができる。そして、安定した剥離成形ができる。

前記フレネルレンズシート１の剥離は手作業または装置によらず基本的にレンズ端面を成形型から引き離しながら進行する。つまり、剥離は成形型２とフレネルレンズシート１の距離に依存して進行する。

また、一般にフレネルレンズシート１の剥離動作はフレネルレンズシート１の周縁から成形型２上に持ち上げる動作を複数回繰り返し、フレネルレンズシート１の持ち上げる高さを増加させることで硬化性樹脂３と透光性基板５とを共に成形型２から完全に剥がしとる。

また、このフレネルレンズの剥離工程は手作業によっても行うことができる。さらに、剥離装置によっても行うことができる。

前記剥離装置では手に代わるものとして吸盤を設け、フレネルレンズ１の周縁を吸着するか、あるいはクランプ爪を設け、レンズの周縁を挟む。そして、上述した動作を繰り返すことにより、機械で剥離することができる。

次に、図３（Ａ）〜（Ｄ）は本発明の剥離装置の一実施例の概略を説明するための説明
図である。

本発明の剥離装置は図３（Ａ）に示すように加圧ｇで中心押さえ部ｅと中心部ａから等距離に位置する外周剥離抑制部ｄが形成されている。また、図３（Ｂ）に示すように通常フレネルレンズシート１の周縁から剥離が進行する。

また、一方の剥離進行が早い場合、通常そのまま剥離が中心部ａを超えて進行する。そして、図２（Ｂ）で上述したようにレンズ損傷ｃを発生させる。

しかし、本発明の剥離装置は図３（Ｂ）に示すように一方の剥離の進行が早い際でも、もう一方の剥離が外周剥離抑制部に達していないため、中心部ａから等距離に当接されている外周剥離抑制部ｄが持ち上がらず剥離進行が早い部分は剥離されない。

そして、図３（Ｃ）に示すように剥離進行が同時に外周剥離抑制部ｄまで達したとき外周剥離抑制部ｄが同時にあげられ、中心部ａに対して剥離が均等に進むことができる。

また、中心押さえ部ｅを中心部ａに設置し、加圧することで、更に剥離が中心部ａに均一に進行し易い。そして、中心部ａを超えて剥離され難くい。

さらに、図３（Ｄ）に示すように中心押さえ部ｅの下の領域が最後に剥離されやすくなる。そして、周辺から中心部ａに向かって確実に剥離されるため、レンズ損傷ｃの発生を抑制することができる。

次に、図４（Ａ）および（Ｂ）は本発明の剥離装置の外周剥離抑制部ｄの形状の一実施例を説明するための概略図である。

本発明の剥離装置１０の外周剥離抑制部ｄの形状は図４（Ａ）に示すように相対する二箇所以上の矩形状パターンが中心部から均等な距離に形成されている。

また、図４（Ｂ）に示すような中空形状を形成することによりレンズ損傷ｃを防ぐことができる。

さらに、剥離装置１０の外周剥離抑制部ｄを加圧することで、より剥離進行を中心部ａに対して均等にすることができる。そして、この加圧調整機能手段として図５（Ａ）〜（Ｅ）に示すようなコイルバネを設けることもできる。

前記加圧調整機能手段としてコイルバネを設けることにより、さらに剥離進行を中心部ａに対して均等に剥離することができる。

次に、図５（Ａ）〜（Ｅ）は上述した加圧調整機能手段としてコイルバネを設ける本発明の剥離装置の一実施例の概略を示す説明図である。

図５（Ａ）に示すように中心押さえ部ｅと外周剥離抑制部ｄの付属したユニットをフレネルレンズシート１上に設ける。そして、図５（Ｂ）に示すようにユニット自体を加圧するユニット加圧ｇによって、フレネルレンズシート１上面に加圧部６の中心押さえ部ｅと外周剥離抑制部ｄが当接される。

前記中心押さえ部ｅと外周剥離抑制部ｄが当接された際、外周剥離抑制部ｄは圧縮ばね力ｈが作用する。そして、中心押さえ部ｅはユニット加圧ｇから圧縮ばね力ｈの差分の圧力が作用している。

次に剥離性がバラつきながらフレネルレンズシート１周縁部から外周部まで剥離が進行した際、一方の剥離が早くなる。そして、図５（Ｃ）に示すような状態になる。

通常、一方の剥離進行が早い場合、剥離の早い側のみが先に中心付近に到達することで、中心を越えて剥離が進行する。そして、レンズの損傷を発生させることが多い。

前記剥離進行は成形型２とフレネルレンズシート１の距離で進行する。そして一方の剥離進行が早い部分は、剥離が遅い部分に比べてフレネルレンズシート１と成形型２との距離が大きくなる。

前記フレネルレンズシート１と成形型２の距離を剥離位置ｊとする。この剥離位置ｊは図５（Ｃ）に示すような状態では、剥離進行が早い部分は大きくなる。

しかし、剥離位置ｊが増加傾向にあるとコイルバネが圧縮される。このため、圧縮ばね力ｈが増加し、外周剥離抑制部ｄ下の基材上面が加圧される。

そして、フレネルレンズシート１に負荷がかけられるため、フレネルレンズシート１が成形型２から離れにくくなり、剥離進行が遅くなる。

また、図５（Ｃ）に示すように剥離進行が早い側に対しては、圧縮ばね力ｈが負荷された状態になり、剥離進行が抑制される。そして、剥離進行が遅い側は負荷がない状態になる。

また、剥離進行が早い部分が抑制されているうちに、剥離進行が遅い部分は追いつき、加圧部６の剥離抑制部ｄ付近の剥離位置ｊが等しくなり、図５（Ｄ）に示すような状態となる。

このとき、全体で剥離位置ｊが増加するため剥離力ｉも大きくなり圧縮バネ力ｈと均衡をとりながら上昇する。

そして、さらにフレネルレンズシート１の周縁を持ち上げることによって、剥離進行が早い部分は抑制される。

また、遅い部分は剥離進行することを繰り返しながら、外周剥離抑制部ｄが中心部から均等な位置に形成されているため、常に中心部ａに対して均等な距離の剥離位置ｉが等しい状態で剥離が進行する。そして、最終的には、図５（Ｅ）に示すように中心に対して均等に剥離が進行する。

また、最後にユニット加圧ｇ＝圧縮バネ力ｈとなるところで中心部に剥離が進行していれば、剥離完了となる。

したがって、本発明の基材シートの剥離方法および剥離装置は確実に周辺から剥離が進行し、中心部が最後に剥離されることになる。そして、レンズの損傷を起こすことなく剥離を進行させることができる。

また、この作業は加圧部６の外周剥離抑制部ｄの剥離位置ｊに応じてフィードバック制御することによって加圧することもできる。そして、同様の効果を得ることができる。

次に、図６（Ａ）〜（Ｅ）は本発明の剥離装置の他の一実施例の概略を示す説明図であ
る。

図６（Ａ）に示すように剥離装置の加圧部に中心押さえ部ｅと外周剥離抑制部ｄ１，ｄ２が形成されている。そして、それらを加圧駆動することができるアクチュエータｌ１，ｌ２，ｌ３が設けられている。

また、剥離装置に、変位計などの測定部ｋ１，ｋ２が設けられている。前記測定部ｋ１，ｋ２はフレネルレンズシート１までの距離を測定する。さらに、前記測定部ｋ１，ｋ２の動作を制御する制御部ｍも設けられている。

また、図６（Ｂ）に示すように剥離動作をさせる前に制御部ｍからの信号でアクチュエータｌ１，ｌ２，ｌ３が駆動し、中心押さえ部ｅと外周剥離抑制部ｄ１，ｄ２をフレネルレンズシート１上面に当接させる。

そして、フレネルレンズシート１の周縁から剥離が開始され、上述したように一方側の剥離進行が早くなった場合、図６（Ｃ）に示すような状態になる。

このとき、フレネルレンズシート１と成形型２の距離が増大していることを測定部ｋ２が検出できる。この測定値はフレネルレンズ１と成形型２の距離、つまり剥離位置ｊと置き換えることができる。そして、一方の剥離進行が早いことを制御部ｍが確認する。

そして、制御部ｍは、剥離進行が早い側のアクチュエータ２を動作させ、外周剥離抑制部ｄ２を印加させるように制御をする。

これにより剥離進行が早い側の剥離進行は抑制される。一方剥離進行が遅い側においては抑制されることなく、剥離が通常とおり進行する。そして、図６（Ｄ）に示すようになる。

また、図６（Ｄ）に示すようになった後、図６（Ｅ）に示すように常にｋ１の測定値＝ｋ２の測定値となるように、制御部ｍは常に外周剥離抑制部ｄ１，ｄ２をフィードバック制御しながら剥離して行く。

そして、剥離進行が中心押さえ部ｅに到達したときにアクチュエータｌ３を減圧することで剥離作業が完了する。

さらに、周辺から中心部が最後に剥離されることになり、レンズの損傷を起こすことなく、剥離を進行させることができる。

本発明の基板シートの製造方法および剥離装置はフレネルレンズ等を製造する剥離工程で使用できる製造方法および剥離装置として優れていることはもとより、建築分野等の装飾部材等の生産ライン等にも使用できる素晴らしい発明である。

（Ａ）〜（Ｄ）は、本発明の基板シートの製造方法および剥離装置が用いられるフレネルレンズシートの製造方法を説明すめための説明図である。（Ａ）は塗布工程の模式図である。（Ｂ）は基板加圧圧着工程の模式図である。（Ｃ）は樹脂硬化工程の模式図である。（Ｄ）は剥離工程の模式図である。 （Ａ）は基板シートが成形型から適性に剥離される状態の模式図である。またに（Ｂ）は基板シートが成形型から好ましくない状態で剥離される模式図である。さらに、（Ｃ）は、フレネルレンズの平面を示す模式図である。 （Ａ）〜（Ｄ）は本発明の剥離装置の一実施例の概略を説明するための説明図である。 （Ａ）および（Ｂ）は本発明の剥離装置の外周剥離抑制部ｄの形状の一実施例を説明するための概略図である。 （Ａ）〜（Ｅ）は加圧調整機能手段としてコイルバネを設けた本発明の剥離装置の加圧部の外周剥離抑制部の一実施例の概略を示す説明図である。 （Ａ）〜（Ｅ）は本発明の剥離装置の他の一実施例の概略を示す説明図である。 従来のフレネルレンズシートの製造方法を説明すめための説明図である。 従来のフレネルレンズシートの製造方法を説明すめための説明図である。

符号の説明

１…基材シート（フレネルレンズシート）
２…成形型
３…硬化性樹脂
４…紫外線又は加熱処理
５…透光性基材
６…加圧ロール
ａ…成形型中心部
ｂ…レンズ成形溝
ｃ…レンズ損傷
ｄ外周剥離抑制部
ｄ１外周剥離抑制部
ｄ２…外周剥離抑制部
ｅ…中心押さえ部
ｆ…外周加圧部
ｇ…ユニット加圧
ｈ…圧縮ばね力
ｉ…剥離力
ｊ…剥離位置
ｋ１、ｋ２…測定部
ｌ１…アクチュエータ
ｌ２…アクチュエータ
１３…アクチュエータ
ｍ…制御部

Claims (5)

1. 円形状のパターン成形型に樹脂を塗布する塗布工程と、塗布した樹脂の上面に基板を供給し加圧する基板加圧圧着工程と、塗布した樹脂を硬化させる樹脂硬化工程と、硬化した樹脂を基板と共にパターン成形型から剥離する剥離工程と、を備えた円形状のパターンを含む基板シートの製造方法において、
   前記基板の上方にパターン成形型の中心部と中心から等位置を加圧する中心押さえ部と外周剥離抑制部を有する加圧部を形成し、
   前記中心押さえ部と外周剥離抑制部を基板上面の中心部近傍に当接させ、さらに加圧することにより基板シートを剥離させる剥離工程を具備することを特徴とする基板シートの製造方法。
2. 前記外周剥離抑制部の加圧面形状が中空形状か、または相対向する二箇所以上のパターン形状に形成されていることを特徴する請求項１記載の基板シートの製造方法。
3. 円形状のパターン成形型に樹脂を塗布する塗布工程と、塗布した樹脂の上面に基板を供給し加圧する基板加圧圧着工程と、塗布した樹脂を硬化させる樹脂硬化工程と、硬化した樹脂を基板と共にパターン成形型から剥離する剥離工程と、を備えた円形状のパターンを含む基板シートの製造方法に用いられる剥離装置において、
   前記基板の上方にパターン成形型の中心部と中心から等位置を加圧する中心押さえ部と外周剥離抑制部を有する加圧部と、
   前記中心押さえ部と外周剥離抑制部を基板上面の中心部近傍に当接させ、さらに加圧する加圧調整機能手段と、を備えていることを特徴とする基板シートの剥離装置。
4. 前記中心押さえ部と外周剥離抑制部は上下駆動し、加圧調整機能手段に加圧状況をフィードバック制御する加圧制御手段を具備していることを特徴とする請求項３記載の基板シートの剥離装置。
5. 前記外周剥離抑制部の、加圧調整機能手段がコイルバネであることを特徴とする請求項３または４記載の基板シートの剥離装置。

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