JP4423908B2 - 微細形状の画像合成方法及びそれを用いた画像形成体 - Google Patents
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るという煩雑な工程が必要となり、作業効率が低下するという問題があった。
(a)平面状の透明基板表面に光硬化樹脂を設ける工程と、
(b)微細な凹凸形状を有する平面状の第1の原版を該光硬化樹脂に密着させ、該透明基板と第1の原版を近接配置する工程と、
(c)該透明基板に前記第1の原版と反対側から、光線の断続制御を照射すべきパターンの位置と同期させて、ビーム状の光線を走査して移動させ該光硬化樹脂を順次硬化させ、前記第1の原版を透明基板から剥離せしめる工程と、
(d)第1の凹凸形状とは異なる微細な凹凸形状を有する平面状の第2の原版を該光硬化樹脂の異なる領域に密着させ、該透明基板と第2の原版を近接配置する工程と、
(e)該透明基板に前記第2の原版と反対側から、ビーム状の光線を走査して移動させ該光硬化樹脂を順次硬化させ、前記第2の原版を透明基板から剥離せしめる工程と、を含む微細形状の画像合成方法としたものである。
(a)平面状の透明基板表面に光硬化樹脂を設ける工程と、
(b)微細な凹凸形状を有する平面状の第1の原版を該光硬化樹脂に密着させ、該透明基板と第1の原版を近接配置する工程と、
(c)該透明基板に前記第1の原版と反対側から、光線の断続制御を照射すべきパターンの位置と同期させて、ビーム状の光線を走査して移動させ該光硬化樹脂を順次硬化させ、前記第1の原版を透明基板から剥離せしめる工程と、
(d)前記第1の原版を回転させた後にこれを該光硬化樹脂の異なる領域に密着させ、該透明基板と前記回転させた第1の原版を近接配置する工程と、
(e)該透明基板に前記第1の原版と反対側から、ビーム状の光線を走査して移動させ該光硬化樹脂を順次硬化させ、前記回転させた第1の原版を透明基板から剥離せしめる工程と、を含む微細形状の画像合成方法としたものである。
制御を光線の走査位置と同期させ、前記光硬化樹脂を任意形状で硬化するようにし、表面の微細な凹凸形状が異なる原版を複数枚用意し、各々の原版で異なる領域の光硬化樹脂を硬化するようにしたことによって、画像の形状のマスク板を作製する必要がなくなり、表面が微細な凹凸形状の複数の原版から、複数の任意の形状からなる画像を、効率よく高精度に転写成形し、合成することができる。
、紫外線照射による硬化工程を示す断面図を示す。
12、23‥‥紫外線硬化樹脂
13、24‥‥Ni原版
14、24‥‥昇降ヘッド
15‥‥He−Cdレーザー
16‥‥ミラー
22‥‥シランカップリング処理層
26‥‥紫外線レーザー
27、41‥‥樹脂硬化部分
28‥‥樹脂未硬化部分
51、52、53‥‥パターン
Claims (5)
- 少なくとも、
(a)平面状の透明基板表面に光硬化樹脂を設ける工程と、
(b)微細な凹凸形状を有する平面状の第1の原版を該光硬化樹脂に密着させ、該透明基板と第1の原版を近接配置する工程と、
(c)該透明基板に前記第1の原版と反対側から、光線の断続制御を照射すべきパターンの位置と同期させて、ビーム状の光線を走査して移動させ該光硬化樹脂を順次硬化させ、前記第1の原版を透明基板から剥離せしめる工程と、
(d)第1の凹凸形状とは異なる微細な凹凸形状を有する平面状の第2の原版を該光硬化樹脂の異なる領域に密着させ、該透明基板と第2の原版を近接配置する工程と、
(e)該透明基板に前記第2の原版と反対側から、ビーム状の光線を走査して移動させ該光硬化樹脂を順次硬化させ、前記第2の原版を透明基板から剥離せしめる工程と、を含む微細形状の画像合成方法。 - 少なくとも、
(a)平面状の透明基板表面に光硬化樹脂を設ける工程と、
(b)微細な凹凸形状を有する平面状の第1の原版を該光硬化樹脂に密着させ、該透明基板と第1の原版を近接配置する工程と、
(c)該透明基板に前記第1の原版と反対側から、光線の断続制御を照射すべきパターンの位置と同期させて、ビーム状の光線を走査して移動させ該光硬化樹脂を順次硬化させ、前記第1の原版を透明基板から剥離せしめる工程と、
(d)前記第1の原版を回転させた後にこれを該光硬化樹脂の異なる領域に密着させ、該透明基板と前記回転させた第1の原版を近接配置する工程と、
(e)該透明基板に前記第1の原版と反対側から、ビーム状の光線を走査して移動させ該光硬化樹脂を順次硬化させ、前記回転させた第1の原版を透明基板から剥離せしめる工程と、を含む微細形状の画像合成方法。 - 上記原版の微細な凹凸形状が表面レリーフ型ホログラムであることを特徴とする請求項1乃至2のいずれかに記載の微細形状の画像合成方法。
- 上記原版の微細な凹凸形状が回折格子であることを特徴とする請求項1乃至2のいずれかに記載の微細形状の画像合成方法。
- 上記回折格子が鋸刃状のブレーズド型回折格子であることを特徴とする請求項4記載の微細形状の画像合成方法。
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