JP2007058199A - 観察装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】工作機械保持部110は、工作機械の基準軸と光学系(対物レンズG12)の光軸180とが一致するように、工作機械の基準軸に装着される。絞り移動機構120は絞り50を光軸180に対し垂直方向に移動させる。撮像装置130は、絞り50を通過して入射してくる観察対象としての加工物10の穴の側壁や溝の側壁の加工状態に対応する光学的な情報を電気信号に光電変換する。
【選択図】図2
Description
11 穴
12 壁面
20 物点
21 結像点
22 結像点
25 交点
30 物点
31 結像点
32 結像点
35 交点
40 対物レンズ(レンズ)
40a レンズ鏡筒
40−1 主点
40−2 主平面
50 絞り
51 絞りの開口部の中心
60 光学系の光軸
60a 仮想光軸
70 像面
80 物点
81 結像点
82 結像点
85 交点
90 方眼紙
100 観察装置
110 工作機械保持部
120 絞り移動機構(絞り移動手段)
130 撮像装置(光電変換装置)
140 光源
150 筐体
160 発電コイル
170 弾性体カバー
180 光学系の光軸
210 電源制御部
220 蓄電池
230 通信装置(通信手段)
240,260 外部通信装置
250 コンピュータ
270 表示装置(表示手段)
F 像側の焦点
F’ 物体側の焦点
G1,G2 レンズ
G3 ハーフミラー
G4 反射鏡
G5 集光レンズ
G12 対物レンズ
P 黒点
Claims (10)
- 観察物における所定の観察部位を観察する観察装置であって、
前記観察部位に対応する光学像を得るための光学系と、
開口部の中心が前記光学系の光軸から離芯して配置され、前記光学像の光量を調節する絞りと、
前記絞りを前記光学系の光軸に対し垂直方向に移動させる絞り移動手段と、
を有することを特徴とする観察装置。 - 観察物における所定の観察部位を観察する観察装置であって、
前記観察部位に対応する光学像を得るための光学系と、
前記光学系の像側の焦点を通り当該光学系の光軸に対して垂直な平面である焦平面上に配置されるとともに開口部の中心が前記光学系の光軸から離芯して配置され、前記光学像の光量を調節する絞りと、
前記絞りを前記光学系の光軸に対し垂直方向に移動させる絞り移動手段と、
を有することを特徴とする観察装置。 - 前記絞りに対し前記観察物側に設けられ、前記観察部位に向けて照明する同軸落射照明手段を更に備えた
ことを特徴とする請求項1または2記載の観察装置。 - 前記光学系、および前記絞り移動手段によって前記光軸に対し垂直方向に移動された前記絞りを介して光学的に得られる情報を電気信号に変換する光電変換装置を更に備えた
ことを特徴とする請求項1〜3の何れか一項に記載の観察装置。 - 前記光電変換装置によって変換された電気信号に対応する画像データを外部装置へ送信する通信手段を更に備えた
ことを特徴とする請求項4記載の観察装置。 - 前記外部装置は、前記通信手段からの画像データをデータ処理し、少なくとも前記観察部位の位置または寸法を算出するコンピュータである
ことを特徴とする請求項5記載の観察装置。 - 前記観察部位の観察対象は光軸に平行な面である
ことを特徴とする請求項1〜6の何れか一項に記載の観察装置。 - 観察物における所定の観察部位を観察する観察装置であって、
前記観察部位に対応する光学像を得るための光学系と、
開口部の中心が前記光学系の光軸から離芯して配置され、前記光学像の光量を調節する絞りと、
前記絞りを前記光学系の光軸に対し垂直方向に移動させる絞り移動手段と、
前記絞りに対し前記観察物側に設けられ、前記観察部位に向けて照明する同軸落射照明手段と、
前記光学系、および前記絞り移動手段によって前記光軸に対し垂直方向に移動された前記絞りを介して光学的に得られる情報を電気信号に変換する光電変換装置と、
前記光電変換装置によって変換された電気信号に対応する画像データを外部装置へ送信する通信手段と、
前記光学系、前記絞り、前記同軸落射照明手段、前記光電変換装置および前記通信手段を収容する筐体と、
前記筐体の略全体を覆う弾性体カバーと、
を有し、
前記絞り移動手段によって前記絞りを前記光軸に対し垂直方向に移動させることにより、前記観察部位が穴であった場合には当該穴の側壁を観察し、前記観察部位が溝であった場合は当該溝の側壁を観察することを特徴とする観察装置。 - 観察物における所定の観察部位を観察する観察装置であって、
前記観察部位に対応する光学像を得るための光学系と、
前記光学系の像側の焦点を通り当該光学系の光軸に対して垂直な平面である焦平面上に配置されるとともに開口部の中心が前記光学系の光軸から離芯して配置され、前記光学像の光量を調節する絞りと、
前記絞りを前記光学系の光軸に対し垂直方向に移動させる絞り移動手段と、
前記絞りに対し前記観察物側に設けられ、前記観察部位に向けて照明する同軸落射照明手段と、
前記光学系、および前記絞り移動手段によって前記光軸に対し垂直方向に移動された前記絞りを介して光学的に得られる情報を電気信号に変換する光電変換装置と、
前記光電変換装置によって変換された電気信号に対応する画像データを外部装置へ送信する通信手段と、
前記光学系、前記絞り、前記同軸落射照明手段、前記光電変換装置および前記通信手段を収容する筐体と、
前記筐体の略全体を覆う弾性体カバーと、
を有し、
前記絞り移動手段によって前記絞りを前記光軸に対し垂直方向に移動させることにより、前記観察部位が穴であった場合には当該穴の側壁を観察し、前記観察部位が溝であった場合は当該溝の側壁を観察することを特徴とする観察装置。 - 前記観察装置は、
工作機械の基準軸に着脱可能に装着され、前記工作機械の所定の位置に固定されている加工物における前記工作機械により加工された加工部位を観察する、
ことを特徴とする請求項1〜9の何れか一項に記載の観察装置。
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