JP2006110661A - 研削装置における機上ワ−クの撮像装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 撮像素子を備えるCCDカメラ136に第2アダプタ210を介して顕微鏡レンズ筒137を結合し、該顕微鏡レンズ筒に内在させるテレセントリック系光学レンズの光軸に沿う光を照射する照明機器141および、前記レンズ筒137の前部にプリズム201を内部に固定する筒状アダプタ200を取り外し自在に備え、前記CCDカメラの撮像素子に結像された映像信号を画像処理装置122を介して結合されたコンピュ−タ131の映像情報に変換する処理部に送信し、この処理部からの情報を表示器133に映し出す研削装置用ワ−クの撮像装置30。ワ−クの垂直面(YZ軸面)を撮像するときは、筒状アダプタ200を外して使用し、ワ−クの水平面(XZ軸面)を撮像するときは、筒状アダプタ200を顕微鏡レンズ筒137前部に取り付けて使用する。
【選択図】 図1
Description
該撮像装置は、撮像素子を備えるCCDカメラに第2アダプタを介して顕微鏡レンズ筒、ボアスコ−プまたはファイバ−スコ−プを結合し、該顕微鏡レンズ筒、ボアスコ−プまたはファイバ−スコ−プに内在させるテレセントリック系光学レンズの光軸に沿う光を照射する照明機器および、前記顕微鏡レンズ筒、ボアスコ−プまたはファイバ−スコ−プの前部にプリズムを内部に固定する筒状アダプタを取り外し自在に備え、前記CCDカメラの撮像素子に結像された映像信号を画像処理装置を介して結合されたコンピュ−タの映像情報に変換する処理部に送信し、この処理部からの情報を映し出す表示器を備えることを特徴とする、研削装置用ワ−クの撮像装置を提供するものである。
図1は撮像装置のCCDカメラ、顕微鏡レンズ筒、およびプリズムを内部に固定して内蔵する筒状アダプタを結合した状態を示す一部を切り欠いた正面図、図2はCCDカメラおよび顕微鏡レンズ筒を結合した状態を示す側面図、図3はプリズムを内部に固定して内蔵する筒状アダプタの斜視図、図4はプリズムを内部に固定して内蔵する筒状アダプタを顕微鏡レンズ筒に結合した状態を示す一部を切り欠いた下面図、図9は撮像装置を備えた研削装置の平面図である。
w ワ−ク
3 砥石車
4 ワ−クテ−ブル
8 制御盤
9 コラム
30 撮像装置
121 画像処理装置
131 コンピュ−タ(CPU)
133 表示器
136 CCDカメラ
137 顕微鏡レンズ筒
140 ロックハンドル
141 反射光源(照明機器)
200 プリズムを内蔵する筒状アダプタ
210 第2アダプタ
Claims (2)
- 左右方向(X軸方向)に移動可能なワ−クテ−ブル上に載置されたワ−クと、前後方向(Y軸方向)に移動可能で、かつ、上下方向(Z軸方向)に昇降可能に備えられた砥石頭に保持された砥石車の相対的な移動によりワ−クを削加工する研削装置の砥石頭近傍にCCDカメラに結合するテレセントリック系光学レンズを内在させる筒を支持体に回動自在に据え付けたワ−クの撮像装置であって、
該撮像装置は、撮像素子を備えるCCDカメラに第2アダプタを介して顕微鏡レンズ筒、ボアスコ−プまたはファイバ−スコ−プを結合し、該顕微鏡レンズ筒、ボアスコ−プまたはファイバ−スコ−プに内在させるテレセントリック系光学レンズの光軸に沿う光を照射する照明機器および、前記顕微鏡レンズ筒、ボアスコ−プまたはファイバ−スコ−プの前部にプリズムを内部に固定する筒状アダプタを取り外し自在に備え、前記CCDカメラの撮像素子に結像された映像信号を画像処理装置を介して結合されたコンピュ−タの映像情報に変換する処理部に送信し、この処理部からの情報を映し出す表示器を備えることを特徴とする、研削装置用ワ−クの撮像装置。 - プリズムを内部に固定する筒状アダプタは、ワ−クのXZ面を撮像する際には前記顕微鏡レンズ筒、ボアスコ−プまたはファイバ−スコ−プの前部に取り付けられるものであり、ワ−クのYZ面を撮像する際には前記顕微鏡レンズ筒、ボアスコ−プまたはファイバ−スコ−プの前部より取り外されて使用するものであり、該筒状アダプタ内に固定されたプリズムがワ−ク面に対向する筒状アダプタ下面側には光が行き来できる穴部が設けられており、前記プリズムは、入射光が該プリズムで屈折され、前記穴部を通過し、ワ−ク面で反射された光が前記顕微鏡レンズ筒、ボアスコ−プまたはファイバ−スコ−プのテレセントリック系光学レンズの光軸に沿ってCCDカメラ側に戻る位置に固定される筒状アダプタであることを特徴とする請求項1に記載の撮像装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Family
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Family Applications (1)
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JP2004299475A Pending JP2006110661A (ja) | 2004-10-14 | 2004-10-14 | 研削装置における機上ワ−クの撮像装置 |
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JP (1) | JP2006110661A (ja) |
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- 2004-10-14 JP JP2004299475A patent/JP2006110661A/ja active Pending
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