JP2006110661A - 研削装置における機上ワ−クの撮像装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】 研削装置の機上ワ−クの垂直面(YZ軸面)および水平面(XZ軸面)を1台のCCDカメラ使用で撮像できる撮像装置の提供。。
【解決手段】 撮像素子を備えるCCDカメラ136に第2アダプタ210を介して顕微鏡レンズ筒137を結合し、該顕微鏡レンズ筒に内在させるテレセントリック系光学レンズの光軸に沿う光を照射する照明機器141および、前記レンズ筒137の前部にプリズム201を内部に固定する筒状アダプタ200を取り外し自在に備え、前記CCDカメラの撮像素子に結像された映像信号を画像処理装置122を介して結合されたコンピュ−タ131の映像情報に変換する処理部に送信し、この処理部からの情報を表示器133に映し出す研削装置用ワ−クの撮像装置30。ワ−クの垂直面(YZ軸面)を撮像するときは、筒状アダプタ200を外して使用し、ワ−クの水平面(XZ軸面)を撮像するときは、筒状アダプタ200を顕微鏡レンズ筒137前部に取り付けて使用する。
【選択図】 図1

Description

本発明は、研削装置に備えられている砥石車を用いて研削加工中のワ−クの加工状況を、あるいは、研削加工後の機上のワ−ク画像を表示器に投映できる撮像装置に関するものである。
研削装置はワ−ク表面を平坦にしたり、ワ−クに溝を設ける等の機械加工に用いられている。図8に示すNC研削装置1において、3は砥石車、4は左右方向に往復移動可能なワ−クテ−ブル、5は作業台部、6はフレ−ム、7は前後方向に往復移動可能なサドル、8は操作盤、9はコラム、10は砥石頭、11は研削液供給ノズルである。ワ−クテ−ブル4上に電磁チャックを介して固定されたワ−クの加工は、ワ−クテ−ブル4の左右方向の移動と、回転する砥石車3を備える砥石頭10を支持するコラム6を起立して固定するサドル7の前後方向移動、および砥石頭10の上下方向移動の相対的な組み合わせにより実施される(例えば、特許文献1参照。)。
研削装置で加工されているワ−クやツ−ルの画像を撮影し、これをCTRやテレビブラウン管等の表示器に投影する撮影装置として、CCDカメラと画像処理装置を備えた撮像装置が用いられている。例えば、図7に示す機台111上に前後方向に移動可能に配置されたコラム112にモ−タ−115の駆動により昇降可能に取り付けられた砥石頭114に備えられた砥石車116を有し、左右方向に移動可能なテ−ブル上に載置されたワ−クwを前記砥石車とワ−クの相対的な移動により研削加工できる研削装置100を用い、研削加工中のワ−クの加工状況を撮像するCCDカメラ136を砥石頭114側面に固定配置し、左右往復移動するテ−ブル118上のワ−クがCCDカメラ136の焦点レンジに入った時期を検出するタイミング検出手段139のタイミングで前記CCDカメラの撮像素子CCDの映像信号をコンピュ−タ121の画像メモリ−132に取り込み、表示器133に画像を映し出すことが提案されている(例えば、特許文献2参照。)。
また、研削加工中にワ−クの画像チェックおよび寸法測定を行える研削装置として、図5および図6に示すようにX軸リニアスケ−ル、Y軸リニアスケ−ル、Z軸リニアスケ−ルを備えた株式会社岡本工作機械製作所のNC成形研削装置PFG−500(商品名)の砥石頭10に、ユアサテクノ株式会社のCCDカメラ136と拡大顕微鏡(レンズ)137を結合した撮像装置を設け、この撮像装置より送信される画像イメ−ジ信号を処理する株式会社ミツトヨの画像ユニットデ−タ処理ソフトQSPAK(商品名)を搭載した画像処理装置121を備えた成形研削装置を用い、ワ−クテ−ブル4のT−溝に固定された電磁チャック4a上にワ−クwを固定し、テ−ブルの左右方向(X軸方向)移動と回転する砥石車3の上下方向(Y軸方向)および前後方向(Z軸方向)の移動により研削加工されるワ−クの画像をレンズ137で拡大し、CCDカメラ136で撮像し、これを画像処理装置121で処理し、画像を表示器133に投映する研削装置が提案された(例えば、非特許文献1参照。)。
この非特許文献1に記載される撮像装置は、拡大顕微鏡(レンズ)137の筒部分を支持する支持棹138を回転ア−ム139で固定し、ロックハンドル140軸回りに回動するように固定されている。また、光源も、反射光源141および透過光源142いずれでも使用できるようになっている。
更に、本件特許出願人は、特許文献2に記載の撮像装置はCCDカメラのレンズ径が大きいことと、CCDカメラのレンズが研削液の付着で汚されることを嫌うためにワ−クと砥石車が接する加工点近傍までカメラを近づけることができず、更に、レンズの拡大倍率にも制限があるために映像画像の鮮明さを向上させることができる撮像装置を提案した。具体的には、左右方向(X軸方向)に移動可能なX軸テ−ブル上に載置されたワ−クと、前後方向(Y軸方向)に移動可能で、かつ、上下方向(Z軸方向)に昇降可能に備えられた砥石頭に保持された砥石車の相対的な移動によりワ−クを削加工する研削装置の砥石頭近傍に据え付けられるワ−クの撮像装置であって、該撮像装置は、撮像素子を備えるCCDカメラにアダプタを介してボアスコ−プまたはファイバ−スコ−プを結合し、該ボアスコ−プまたはファイバ−スコ−プの光軸に沿う光を照射する照明機器を備え、前記CCDカメラの撮像素子に結像された映像信号をカメラ制御ユニットCCUを介して結合されたコンピュ−タの映像情報に変換する処理部に送信され、この処理部からの情報を映し出す表示器を備える研削装置用ワ−クの撮像装置である(例えば、特許文献3参照。)。
上記特許文献2、特許文献3および非特許文献1に記載の撮像装置は、ワ−クテ−ブル上に固定された研削加工ワ−クの垂直面(YZ平面)側を撮像するものであるが、研削加工ワ−クの水平面(XZ平面)側を撮像するために、テレセントリック光学系を用いたCCDカメラをワ−クテ−ブル上に固定されたワ−クに対向して砥石頭に設置し、ワ−クの溝加工後に撮像された信号を画像処理装置で処理して加工位置および溝幅を検出し、これらの位置デ−タおよび溝幅デ−タから砥石軸方向(Z軸方向)の加工位置ずれを算出し、ワ−ク目標寸法に切断溝幅を加算することにより次回砥石送り量を得る研削装置が提案されている(例えば、特許文献4参照。)。
特開2000−317829号公報 特開2000−79539号公報 ユアサテクノ株式会社、"機上画像計測システム"、〔online〕、2004年7月3日、〔平成16年10月5日検索〕、インタ−ネット<URL:http://www.yuasa-techno.co.jp/03/200407/main.html> 特願2003−373868号明細書 特開2004−50347号公報
NC研削装置の機上のワ−クの加工状態を観察するには、前記特許文献2、特許文献3および非特許文献1に記載の撮像装置のように、ワ−クテ−ブル上に固定された研削加工ワ−クの垂直面(YZ平面)側を撮像する場合もあれば、前記特許文献4に記載の撮像装置のように研削加工ワ−クの水平面(XZ平面)側を撮像する場合もある。両方の撮像装置を砥石頭に備えさせて画像処理装置で3次元画像を表示器に投映させることも可能であるが、両者の撮像装置を砥石頭に設置することは、研削加工作業現場を狭くすることとなるし、2台のCCDカメラが必要となり、撮像装置設置コストが高くなる。ワ−クの研削加工によっては、2次元画像の撮像で十分であることが多い。本発明は、前記特許文献3および非特許文献1に記載のXY面撮像装置のCCDカメラに結合するテレセントリック系光学レンズ(顕微鏡レンズ、ボアスコ−プまたはファイバ−スコ−プ)先端にプリズムを固定したアダプタを連結することにより1台のCCDカメラでワ−クのXZ面も撮像可能となる撮像装置を設置したNC研削装置の提供を目的とする。
請求項1の発明は、左右方向(X軸方向)に移動可能なワ−クテ−ブル上に載置されたワ−クと、前後方向(Y軸方向)に移動可能で、かつ、上下方向(Z軸方向)に昇降可能に備えられた砥石頭に保持された砥石車の相対的な移動によりワ−クを削加工する研削装置の砥石頭近傍にCCDカメラに結合するテレセントリック系光学レンズを内在させる筒を支持体に回動自在に据え付けたワ−クの撮像装置であって、
該撮像装置は、撮像素子を備えるCCDカメラに第2アダプタを介して顕微鏡レンズ筒、ボアスコ−プまたはファイバ−スコ−プを結合し、該顕微鏡レンズ筒、ボアスコ−プまたはファイバ−スコ−プに内在させるテレセントリック系光学レンズの光軸に沿う光を照射する照明機器および、前記顕微鏡レンズ筒、ボアスコ−プまたはファイバ−スコ−プの前部にプリズムを内部に固定する筒状アダプタを取り外し自在に備え、前記CCDカメラの撮像素子に結像された映像信号を画像処理装置を介して結合されたコンピュ−タの映像情報に変換する処理部に送信し、この処理部からの情報を映し出す表示器を備えることを特徴とする、研削装置用ワ−クの撮像装置を提供するものである。
請求項2の発明は、請求項1に記載の撮像装置に使用するプリズムを内部に固定する筒状アダプタは、ワ−クのXZ面を撮像する際には前記顕微鏡レンズ筒、ボアスコ−プまたはファイバ−スコ−プの前部に取り付けられるものであり、ワ−クのYZ面を撮像する際には前記顕微鏡レンズ筒、ボアスコ−プまたはファイバ−スコ−プの前部より取り外されて使用するものであり、該筒状アダプタ内に固定されたプリズムがワ−ク面に対向する筒状アダプタ下面側には光が行き来できる穴部が設けられており、前記プリズムは、入射光が該プリズムで屈折され、前記穴部を通過し、ワ−ク面で反射された光が前記顕微鏡レンズ筒、ボアスコ−プまたはファイバ−スコ−プのテレセントリック系光学レンズの光軸に沿ってCCDカメラ側に戻る位置に固定される筒状アダプタであることを特徴とする。
プリズムを内部に固定する筒状アダプタを1台のCCDカメラに結合している顕微鏡レンズ筒、ボアスコ−プまたはファイバ−スコ−プのテレセントリック系光学レンズ前部に取り付けることにより、ワ−クの水平面(XZ面)の画像を撮影できる。筒状アダプタの結合側と反対側の後部面を蓋することにより研削液が筒状アダプタ内に侵入するのが妨げられる。また、ワ−クの研削中、この撮像装置が邪魔となるときは、CCDカメラの支持体を回動させて砥石頭近傍にレンズ、筒状アダプタを避難させる。ワ−クの垂直面(YZ面)の画像を撮影するときは、プリズムを内部に固定する筒状アダプタを前記顕微鏡レンズ筒、ボアスコ−プまたはファイバ−スコ−プより取り外して使用する。
以下、図を用いて本発明をさらに詳細に説明する。
図1は撮像装置のCCDカメラ、顕微鏡レンズ筒、およびプリズムを内部に固定して内蔵する筒状アダプタを結合した状態を示す一部を切り欠いた正面図、図2はCCDカメラおよび顕微鏡レンズ筒を結合した状態を示す側面図、図3はプリズムを内部に固定して内蔵する筒状アダプタの斜視図、図4はプリズムを内部に固定して内蔵する筒状アダプタを顕微鏡レンズ筒に結合した状態を示す一部を切り欠いた下面図、図9は撮像装置を備えた研削装置の平面図である。
図1および図2に示す撮像装置30において、wはワ−ク、3は砥石車、4はワ−クテ−ブル、4aは電磁チャック、136はCCDカメラ、137は顕微鏡レンズ筒、138は顕微鏡レンズ筒部分を支持する支持棹、139は回転ア−ムで前記支持棹にボルト締めされている。140はロックハンドル、141は反射光源、200は筒状アダプタで、内部にプリズム201を内蔵する。筒状アダプタ200の顕微鏡レンズ筒137と結合された反対側背面(砥石車側前面)は、蓋202でビス203止めされており、研削液が筒状アダプタ内へ侵入するのを妨げている。筒状アダプタ200と顕微鏡レンズ筒137と結合された部分はO−リングシ−ル205されている。筒状アダプタ200の下側面には光が通過する穴部204が設けられている。210は第2アダプタで、プリズム211を内蔵し、CCDカメラ136と顕微鏡レンズ筒137を連結する。
撮像装置の顕微鏡レンズ筒137に光源141より入射した光300は、筒状アダプタ200内のプリズム201により屈折されてワ−クw面で反射され、プリズム201により再び反射光は屈折されて顕微鏡レンズ筒のレンズ光軸400に沿って進み、第2アダプタ210内のプリズム211で屈折されCCDカメラ136のレンズの光軸401側に進行し、CCDカメラ136の対物レンズを入射した光像をコリメ−トレンズに通した後、荷電結合素子(CCD)に結像する。CCDカメラ136は、荷電結合素子(撮像素子:CCD)に結像された映像信号を図6または図9に示すカメラ制御ユニット(CCU)121に送信する。カメラ制御ユニット(CCU)121はコンピュ−タ131の画像記録部に(RAM)結ばれており、この画像記録部に送信されてきた映像信号をCCUの画像処理部が処理し、テレビジョン表示器133に画像を映像する。コンピュ−タ131のメモリ−部(ROM)には画像処理プログラミングソフト、例えば、株式会社ミツトヨの画像ユニットデ−タ処理ソフトQSPAK(商品名)が搭載されており、画面外、画面内を計測可能となっており、検査結果をEXCEL表にして表示器133に表示可能となっている。
図3および図4に示すように、プリズム201を筒内部に固定する筒状アダプタ200は、顕微鏡レンズ筒137の筒状フランジ部137aを挿入できる略環状の端面206を有し、その環状断面は、プリズムが固定される中程の位置で段部208を設けて環の直径を小さくしている。この環状端面の4箇所に切り込み207を設けてプリズム201の挿入を容易とするとともに、顕微鏡レンズ筒137のフランジ部から筒状アダプタ200を取り外すのを容易としている。また、その反対側の端面209も略環状の端面で、蓋202をビス203で締め付けて塞いでいる。筒状アダプタ200の下面には、穴部204が設けられ、プリズム201の屈折面がワ−クに対向するようになっている。また、筒状アダプタ200を顕微鏡レンズ筒137の筒状フランジ部137aに固定する位置決めピン211が設けられている。
アダプタ200の筒体の上面側209は、砥石車3と筒状アダプタ200間の距離をできるだけ広くするため、円弧を削ってフラット平面にするのが好ましい。砥石車3とアダプタ200間の距離が十分でなく、ワ−ク研削中、筒状アダプタ200が砥石車3に衝突のおそれがあるときは、衝突しない距離のワ−ク研削が終えるまでは、図5に示されるロックハンドル140を回動させて筒状アダプタ200を砥石車3より遠ざけておく。衝突しない距離のワ−ク研削が終えたらロックハンドル140を回動させてワ−クが撮像できる位置に筒状アダプタ200を戻す。
筒状アダプタ200の筒体および蓋体202の素材は、アルミニウム、アルミニウム・マグネシウム合金、ハステロイ、合成樹脂等の軽量素材で形成されるのが望ましい。また、表面をアルマイト処理またはフッ化炭素樹脂コ−トして腐食性を向上させるのが望ましい。
図9に示す研削装置1は、CCDカメラ136を第2アダプタ211により結合し、この第2アダプタにボアスコ−プ137を装着し、さらにプリズムを内部に固定して備える筒状アダプタ200をボアスコ−プ前部に結合して設置した撮像装置30を備える研削装置1である。図中、3は砥石車、4は水平方向(X軸方向)に往復移動可能なワ−クテ−ブル、5は作業台、8は研削装置の制御ユニット、7はサドル、9はコラム、10は砥石頭、13はサ−ボモ−タで砥石頭10を垂直方向(Z軸方向)に移動する。25はX軸リニアスケ−ル、および、30は撮像装置である。
撮像装置30は、画像処理装置(カメラ制御ユニットCCU)121、画像処理部を有するパ−ソナルコンピュ−タ(CPU)131、テレビジョン表示器133、マウス134、キィボ−ド135、照明機器(反射光源:図示されていない)、撮像素子CCDを備えるCCDカメラ136、ボアスコ−プ137および、第2アダプタ210、プリズムを内蔵する筒状アダプタ200より構成される。
この撮像装置30の第2アダプタ210は、支持棹に把持固定され、支持棹は回動ア−ムに固定され、更に、下面にガイド38を備える前後移動用スライダ−39に保持され、研削装置1のコラム9側壁にボルトで固定された支持軸37に水平に保持された一対のレ−ル38a上をガイド38が前後方向に移動可能に設置されている。また、前記スライダ−39は前面に垂直方向にガイド40aを起立させ、このガイド前面に昇降用スライダ41を固定し、ガイド40aをレ−ル40上で滑走させる構造を採る。よって、CCDカメラ36は、ワ−クに対し上下方向に昇降可能に、かつ、ワ−クに対し前後方向に移動可能な構造となっており、焦点深度を高めることが可能である。
ボアスコ−プは、例えば、株式会社側モリテックス、株式会社キ−エンスより入手できる。第2アダプタ210は、CCDカメラにボアスコ−プまたはファイバ−スコ−プ137を結合させるものであり、株式会社モリテックス、株式会社キ−エンス、株式会社ミツトヨより入手できる。顕微鏡レンズ筒137は、ユアサテクノ株式会社、株式会社キ−エンスより購入できる。顕微鏡レンズ筒の倍率は種々のものがあるので、撮像の目的に応じて選択する。ボアスコ−プまたはファイバ−スコ−プ137に散り付ける光源141はハロゲンランプが好ましい。
CCDカメラ136は、対物レンズを入射した光像をコリメ−トレンズに通した後、荷電結合素子(CCD)に結像する。CCDカメラ136はカメラ制御ユニット(CCU)121を介してコンピュ−タ131の画像記録部に(RAM)結ばれており、この画像記録部に送信されてきた映像信号を画像処理部が処理し、テレビジョン表示器133に画像を映像する。コンピュ−タ131のメモリ−部(ROM)には画像処理プログラミングソフト、例えば、株式会社ミツトヨの画像ユニットデ−タ処理ソフトQSPAK(商品名)が搭載されており、画面外、画面内を計測可能となっており、検査結果をEXCEL表にして表示器133に表示可能となっている。
以上、撮像装置30のCCDカメラ136、第2アダプタ、テレセントリック系光学レンズを内蔵するレンズ内蔵筒137、プリズムを内蔵する筒状アダプタ200の組み合わせの光軸をL字型に設置した例を示したが、第2アダプタ210を使用しないで、CCDカメラ136、テレセントリック系光学レンズを内蔵するレンズ内蔵筒137、およびプリズムを内蔵する筒状アダプタ200を直線的に配列して設置することができることは勿論のことである。
本発明の研削装置の機上ワ−クの撮像装置30は、1台のCCDカメラ136、第2アダプタ、テレセントリック系光学レンズを内蔵するレンズ内蔵筒137、プリズムを内蔵する筒状アダプタ200の組み合わせたものである。プリズムを内蔵する筒状アダプタ200をレンズ筒137に取り付けることによりワ−クの研削加工中にワ−ク水平面の画像チェックや寸法測定を行うことができる。ワ−クの研削加工中にワ−ク垂直面の画像チェックや寸法測定を行う際は、プリズムを内蔵する筒状アダプタ200を取り外して使用する。
撮像装置のCCDカメラ、顕微鏡レンズ筒、およびプリズムを内蔵する筒状アダプタを結合した状態を示す一部を切り欠いた正面図である。 CCDカメラおよび顕微鏡レンズ筒を結合した状態を示す側面図である。 プリズムを内蔵する筒状アダプタの斜視図である。 プリズムを内蔵する筒状アダプタを顕微鏡レンズ筒に結合した状態を示す一部を切り欠いた下面図である。 ワ−クの垂直面を撮像する撮像装置の構成図である。(公知) ワ−クの垂直面を撮像する撮像装置のシステム図である。(公知) ワ−クの垂直面を撮像する撮像装置のを備えた研削装置の斜視図である。(公知) 研削装置の斜視図である。(公知) 撮像装置を備えたNC研削装置の平面図である。
符号の説明
1 NC研削装置
w ワ−ク
3 砥石車
4 ワ−クテ−ブル
8 制御盤
9 コラム
30 撮像装置
121 画像処理装置
131 コンピュ−タ(CPU)
133 表示器
136 CCDカメラ
137 顕微鏡レンズ筒
140 ロックハンドル
141 反射光源(照明機器)
200 プリズムを内蔵する筒状アダプタ
210 第2アダプタ

Claims (2)

  1. 左右方向(X軸方向)に移動可能なワ−クテ−ブル上に載置されたワ−クと、前後方向(Y軸方向)に移動可能で、かつ、上下方向(Z軸方向)に昇降可能に備えられた砥石頭に保持された砥石車の相対的な移動によりワ−クを削加工する研削装置の砥石頭近傍にCCDカメラに結合するテレセントリック系光学レンズを内在させる筒を支持体に回動自在に据え付けたワ−クの撮像装置であって、
    該撮像装置は、撮像素子を備えるCCDカメラに第2アダプタを介して顕微鏡レンズ筒、ボアスコ−プまたはファイバ−スコ−プを結合し、該顕微鏡レンズ筒、ボアスコ−プまたはファイバ−スコ−プに内在させるテレセントリック系光学レンズの光軸に沿う光を照射する照明機器および、前記顕微鏡レンズ筒、ボアスコ−プまたはファイバ−スコ−プの前部にプリズムを内部に固定する筒状アダプタを取り外し自在に備え、前記CCDカメラの撮像素子に結像された映像信号を画像処理装置を介して結合されたコンピュ−タの映像情報に変換する処理部に送信し、この処理部からの情報を映し出す表示器を備えることを特徴とする、研削装置用ワ−クの撮像装置。
  2. プリズムを内部に固定する筒状アダプタは、ワ−クのXZ面を撮像する際には前記顕微鏡レンズ筒、ボアスコ−プまたはファイバ−スコ−プの前部に取り付けられるものであり、ワ−クのYZ面を撮像する際には前記顕微鏡レンズ筒、ボアスコ−プまたはファイバ−スコ−プの前部より取り外されて使用するものであり、該筒状アダプタ内に固定されたプリズムがワ−ク面に対向する筒状アダプタ下面側には光が行き来できる穴部が設けられており、前記プリズムは、入射光が該プリズムで屈折され、前記穴部を通過し、ワ−ク面で反射された光が前記顕微鏡レンズ筒、ボアスコ−プまたはファイバ−スコ−プのテレセントリック系光学レンズの光軸に沿ってCCDカメラ側に戻る位置に固定される筒状アダプタであることを特徴とする請求項1に記載の撮像装置。
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011031371A (ja) * 2009-08-06 2011-02-17 Okamoto Machine Tool Works Ltd 複合平面研削装置
JP2011224755A (ja) * 2010-04-22 2011-11-10 Toshiba Mach Co Ltd 観察点特定機能付きの工作機械
JP2012088375A (ja) * 2010-10-15 2012-05-10 Toshiba Mach Co Ltd 観察点焦点合わせ支援機能付きの工作機械
CN104972147A (zh) * 2015-06-24 2015-10-14 中国科学院西安光学精密机械研究所 一种柱面镜光学定轴系统及方法
CN108453508A (zh) * 2018-02-27 2018-08-28 重庆市妙果商贸有限公司 管材切割打磨装置
JP7449709B2 (ja) 2020-02-14 2024-03-14 株式会社ディスコ プリズム機構、撮像装置、保持機構、及び、加工装置

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0493150A (ja) * 1990-08-01 1992-03-25 Matsushita Electric Ind Co Ltd Nc工作機械
JPH07311019A (ja) * 1994-03-22 1995-11-28 Mitsubishi Materials Corp ウェーハ膜厚測定装置、ウェーハ膜厚測定方法およびウェーハ研磨装置
JPH08122659A (ja) * 1994-10-20 1996-05-17 Moritetsukusu:Kk 側視型画像入力装置
JP2000079539A (ja) * 1998-09-02 2000-03-21 Nagase Integrex:Kk 加工機に適用される撮像装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0493150A (ja) * 1990-08-01 1992-03-25 Matsushita Electric Ind Co Ltd Nc工作機械
JPH07311019A (ja) * 1994-03-22 1995-11-28 Mitsubishi Materials Corp ウェーハ膜厚測定装置、ウェーハ膜厚測定方法およびウェーハ研磨装置
JPH08122659A (ja) * 1994-10-20 1996-05-17 Moritetsukusu:Kk 側視型画像入力装置
JP2000079539A (ja) * 1998-09-02 2000-03-21 Nagase Integrex:Kk 加工機に適用される撮像装置

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011031371A (ja) * 2009-08-06 2011-02-17 Okamoto Machine Tool Works Ltd 複合平面研削装置
JP2011224755A (ja) * 2010-04-22 2011-11-10 Toshiba Mach Co Ltd 観察点特定機能付きの工作機械
JP2012088375A (ja) * 2010-10-15 2012-05-10 Toshiba Mach Co Ltd 観察点焦点合わせ支援機能付きの工作機械
CN104972147A (zh) * 2015-06-24 2015-10-14 中国科学院西安光学精密机械研究所 一种柱面镜光学定轴系统及方法
CN108453508A (zh) * 2018-02-27 2018-08-28 重庆市妙果商贸有限公司 管材切割打磨装置
CN108453508B (zh) * 2018-02-27 2020-04-21 重庆市妙果商贸有限公司 管材切割打磨装置
JP7449709B2 (ja) 2020-02-14 2024-03-14 株式会社ディスコ プリズム機構、撮像装置、保持機構、及び、加工装置

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