JP6731409B2 - 光学測定システムのための展開機構 - Google Patents
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Description
・光軸を有する対物レンズと、レンズハウジングとを含む光学センサアッセンブリ。
・上記光学センサアッセンブリの下方に位置して測定すべき対象物を載置するためのステージ。このステージと上記光学センサアッセンブリは、互いに相対移動可能である。
・上記光学センサアッセンブリに対して回動可能に連結され、二次測定補助具を展開位置と後退位置との間で移動させる展開機構。
種々の実施形態によれば、二次測定補助具はタッチセンサであり、展開位置にあるとき、タッチセンサが光軸に位置合わせされ、後退位置にあるとき、タッチセンサはレンズハウジングの最下部より低くない。 タッチセンサは、スタイラスを含むことができる。 後退位置にあるとき、タッチセンサの長手方向軸は、ほぼ水平にしてもよい、
種々の実施形態によれば、二次測定補助具はミラーを含む。 ミラーが展開位置にあるとき、ミラーは調節可能に傾くことができる。
Claims (14)
- 光軸(4)を有する対物レンズ(3)と、レンズハウジング(20)とを含む光学センサアッセンブリと、
上記光学センサアッセンブリの下方に位置して測定すべき対象物(5)を載置するためのステージ(6)と、
上記光学センサアッセンブリに対して回動可能に連結された展開機構(10)と、
を備え、
上記ステージと上記光学センサアッセンブリは、x、y、z軸の各軸に沿って互いに相対移動可能であり、
上記展開機構が、二次測定補助具(14,35,41)を、上記光学センサアッセンブリに対して、展開位置と後退位置との間で弧状の経路に沿って回動させ、上記展開機構(10)の回動軸(12)が略水平で上記対物レンズ(3)より下方ではなく、
上記二次測定補助具(14,35,41)が、上記展開位置にあるとき、上記光軸(4)と位置合わせされており、上記二次測定補助具が上記後退位置にあるとき上記z軸方向における上記レンズハウジングの最下部より下方ではなく、
上記ステージ(6)は上記x軸と上記y軸に沿って移動可能であり、
上記二次測定補助具は上記後退位置にあるとき、測定されるべき上記対象物(5)に対する上記光学センサアッセンブリの上記x、y、z軸の各軸に沿う相対移動を、妨げないことを特徴とする光学測定システム。 - 上記光学センサアッセンブリが、カメラ,ビデオカメラ(2)または走査センサを含む、請求項1に記載の光学測定システム。
- 上記光学センサアッセンブリは、上記z軸に沿って移動可能である、請求項1または2に記載の光学測定シス
テム。 - 上記二次測定補助具が、タッチセンサ(14)、ミラー(35)、または対物レンズ(3)の倍率を変えるための二次レンズを含む、請求項1に記載の光学測定システム。
- 上記二次測定治具がタッチセンサ(14)を含み、上記タッチセンサ(14)が上記展開位置にあるとき、その長手方向軸が上記光軸(4)と一致し、上記タッチセンサ(14)が上記後退位置にあるとき、その長手方向軸はほぼ水平である、請求項1に記載の光学測定システム。
- 上記二次測定治具がミラー(35)を含み、上記ミラーが上記展開位置にあるとき、上記ミラーは調節可能に傾くことができる、請求項1に記載の光学測定システム。
- 上記展開機構(10)はピボットアーム(11)を備え、このピボットアームは一端にピボット接続部を有し、他端に取付マウント(23)を有する、請求項1に記載の光学測定システム。
- 上記ピボットアーム(11)のすべての移動自由度が、上記後退位置と上記展開位置との間の弧状の経路に沿った移動を除いて除去され、
さらに、上記ピボットアーム(11)を正確に上記展開位置に到達させるための経路終端ストップを備え、この経路終端ストップが上記ピボットアーム(11)の移動の最後の自由度を除去する、請求項7に記載の光学測定システム。 - 上記二次測定補助具がタッチセンサ(14)を含む、請求項8に記載の高額測定システム。
- 上記ピボットアーム(11)が、アクチュエータ(30)によって上記展開位置と上記後退位置との間で移動可能である、請求項7に記載の光学測定システム。
- 上記アクチュエータ(30)がエアシリンダ(32)を含む、請求項10に記載の光学測定システム。
- 少なくとも2つの異なるタイプの二次測定補助具(14,35,41)が、上記取付マウント(23)に交換可能に取り付けられる、請求項7に記載の光学測定システム。
- 上記二次測定補助具(41)は、上記取付マウント(23)に取り付けられた回転テーブル(40)に設置される、請求項7に記載の光学測定システム。
- 上記展開位置にある時、上記回転テーブル(40)の回転軸が上記対物レンズ(3)の上記光軸(4)と一致する、請求項13に記載の光学測定システム。
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