JP2018506022A - 光学測定システムのための展開機構 - Google Patents
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Abstract
Description
・光軸を有する対物レンズと、レンズハウジングとを含む光学センサアッセンブリ。
・上記光学センサアッセンブリの下方に位置して測定すべき対象物を載置するためのステージ。このステージと上記光学センサアッセンブリは、互いに相対移動可能である。
・上記光学センサアッセンブリに対して回動可能に連結され、二次測定補助具を展開位置と後退位置との間で移動させる展開機構。
種々の実施形態によれば、二次測定補助具はタッチセンサであり、展開位置にあるとき、タッチセンサが光軸に位置合わせされ、後退位置にあるとき、タッチセンサはレンズハウジングの最下部より低くない。 タッチセンサは、スタイラスを含むことができる。 後退位置にあるとき、タッチセンサの長手方向軸は、ほぼ水平にしてもよい、
種々の実施形態によれば、二次測定補助具はミラーを含む。 ミラーが展開位置にあるとき、ミラーは調節可能に傾くことができる。
Claims (81)
- 光軸を有する対物レンズと、レンズハウジングとを含む光学センサアッセンブリと、
上記光学センサアッセンブリの下方に位置して測定すべき対象物を載置するためのステージと、
上記光学センサアッセンブリに対して回動可能に連結され、二次測定補助具を展開位置と後退位置との間で移動させる展開機構と、
を備え、
上記ステージと上記光学センサアッセンブリは、x軸、y軸及びz軸の各々に沿って互いに相対移動可能であり、
上記展開機構は取付マウントを含み、この取付マウントには少なくとも2つの異なる二次測定補助具を交換可能に取り付けることができ、
上記二次測定補助具は、上記展開位置にあるとき、上記光軸に位置合わせされ、
上記二次測定補助具は、上記後退位置にあるとき、上記光学センサアッセンブリの上記測定すべき対象物に対するx、y、z軸の各々に沿う相対的移動を妨げないことを特徴とする光学測定システム。 - 上記光学センサアッセンブリがカメラを含む、請求項1に記載の光学測定システム。
- 上記光学センサアッセンブリがビデオカメラを含む、請求項2に記載の光学測定システム。
- 上記光学センサアッセンブリが走査センサを含む、請求項1に記載の光学測定システム。
- 上記展開機構の回動軸がほぼ水平である、請求項1に記載の光学測定システム。
- 上記ステージと上記光学センサアッセンブリは、上記x、y及びz軸の各々に沿って互いに相対移動可能である、請求項1に記載の光学測定システム。
- 上記ステージは、上記x軸及びy軸に沿って移動可能であり、上記光学センサアッセンブリは、上記z軸に沿って移動可能である、請求項6に記載の光学測定システム。
- 上記二次測定補助具がタッチセンサを含む、請求項1に記載の光学測定システム。
- 上記タッチセンサがスタイラスを有する、請求項8に記載の光学測定システム。
- 上記タッチセンサが前記展開位置にあるとき、その長手方向軸が上記光軸と一致し、上記タッチセンサが上記後退位置にあるとき、その長手方向軸はほぼ水平である、請求項8に記載の光学測定システム。
- 上記二次測定補助具がミラーを含む、請求項1に記載の光学測定システム。
- 上記ミラーが上記展開位置にあるとき、上記ミラーは調節可能に傾くことができる、請求項11に記載の光学測定システム。
- 上記展開機構はピボットアームを備え、このピボットアームは一端にピボット接続部を有し、他端に上記取付マウントを有する、請求項1に記載の光学測定システム。
- 上記ピボットアームのすべての移動自由度が、上記後退位置と上記展開位置との間の弧状の経路に沿った移動を除いて除去され、
さらに、上記ピボットアームを正確に上記展開位置に到達させるための経路終端ストップを備え、この経路終端ストップが上記ピボットアームの移動の最後の自由度を除去する、請求項13に記載の光学測定システム。 - 上記ピボットアームが、アクチュエータによって上記展開位置と上記後退位置との間で移動可能である、請求項13に記載の光学測定システム。
- 上記アクチュエータがエアシリンダを含む、請求項15に記載の光学測定システム。
- 上記二次測定補助具がレーザーを含む、請求項1に記載の光学測定システム。
- タッチセンサおよびミラーが上記取付マウントに交換可能に取り付け可能である、請求項1に記載の光学測定システム。
- 上記二次測定補助具は、上記対物レンズの倍率を変更する二次レンズを含む、請求項1に記載の光学測定システム。
- 上記展開位置と上記後退位置が約90度変化する、請求項1に記載の光学測定システム。
- 上記展開機構が上記後退位置にあるとき、いかなる測定補助具も、上記ステージ上の測定されるべき対象物に対する前記光学センサアッセンブリの相対的移動を妨げない、請求項1に記載の光学測定システム。
- 上記少なくとも2つの異なるタイプの二次測定補助具を、上記取付マウントに自動的に交換可能に取り付けることができる、請求項1に記載の光学測定システム。
- 上記二次測定補助具は、上記取付マウントに取り付けられた回転テーブルに設置される、請求項1に記載の光学測定システム。
- 光軸を有する対物レンズと、レンズハウジングとを含む光学センサアッセンブリと、
上記光学センサアッセンブリの下方に位置して測定すべき対象物を載置するためのステージと、
上記光学センサアッセンブリに対して回動可能に連結され、二次測定補助具を展開位置と後退位置との間で移動させる展開機構と、
を備え、
上記ステージと上記光学センサアッセンブリは互いに相対移動可能であり、
上記展開機構は取付マウントを含み、この取付マウントには少なくとも2つの異なる二次測定補助具を交換可能に取り付けることができ、
上記二次測定補助具は、上記展開位置にあるとき、上記光軸に位置合わせされ、
上記二次測定補助具は、上記後退位置にあるとき、上記二次測定補助具はレンズハウジングの最下部よりも低くないことを特徴とする光学測定システム。 - 上記光学センサアッセンブリがカメラを含む、請求項24に記載の光学測定システム。
- 上記光学センサアッセンブリがビデオカメラを含む、請求項25に記載の光学測定システム。
- 上記光学センサアッセンブリが走査センサを含む、請求項24に記載の光学測定システム。
- 上記展開機構の回動軸がほぼ水平である、請求項24に記載の光学測定システム。
- 上記ステージと上記光学センサアッセンブリは、上記x、y及びz軸の各々に沿って互いに相対移動可能である、請求項24に記載の光学測定システム。
- 上記ステージは、上記x軸及びy軸に沿って移動可能であり、上記光学センサアッセンブリは、上記z軸に沿って移動可能である、請求項29に記載の光学測定システム。
- 上記二次測定補助具がタッチセンサを含む、請求項24に記載の光学測定システム。
- 上記タッチセンサがスタイラスを有する、請求項31に記載の光学測定システム。
- 上記タッチセンサが前記展開位置にあるとき、その長手方向軸が上記光軸と一致し、上記タッチセンサが上記後退位置にあるとき、その長手方向軸はほぼ水平である、請求項31に記載の光学測定システム。
- 上記二次測定補助具がミラーを含む、請求項24に記載の光学測定システム。
- 上記ミラーが上記展開位置にあるとき、上記ミラーは調節可能に傾くことができる、請求項34に記載の光学測定システム。
- 上記展開機構はピボットアームを備え、このピボットアームは一端にピボット接続部を有し、他端に上記取付マウントを有する、請求項24に記載の光学測定システム。
- 上記ピボットアームのすべての移動自由度が、上記後退位置と上記展開位置との間の弧状の経路に沿った移動を除いて除去され、
さらに、上記ピボットアームを正確に上記展開位置に到達させるための経路終端ストップを備え、この経路終端ストップが上記ピボットアームの移動の最後の自由度を除去する、請求項36に記載の光学測定システム。 - 上記ピボットアームが、アクチュエータによって上記展開位置と上記後退位置との間で移動可能である、請求項36に記載の光学測定システム。
- 上記アクチュエータがエアシリンダを含む、請求項38に記載の光学測定システム。
- 上記二次測定補助具がレーザーを含む、請求項24に記載の光学測定システム。
- タッチセンサおよびミラーが上記取付マウントに交換可能に取り付け可能である、請求項24に記載の光学測定システム。
- 上記二次測定補助具は、上記対物レンズの倍率を変更する二次レンズを含む、請求項24に記載の光学測定システム。
- 上記展開位置と上記後退位置が約90度変化する、請求項24に記載の光学測定システム。
- 上記展開機構が上記後退位置にあるとき、いかなる測定補助具も、上記ステージ上の測定されるべき対象物に対する前記光学センサアッセンブリの相対的移動を妨げない、請求項24に記載の光学測定システム。
- 上記少なくとも2つの異なるタイプの二次測定補助具を、上記取付マウントに自動的に交換可能に取り付けることができる、請求項24に記載の光学測定システム。
- 光軸を有する対物レンズと、レンズハウジングとを含む光学センサアッセンブリと、
上記光学センサアッセンブリの下方に位置して測定すべき対象物を載置するためのステージと、
上記光学センサアッセンブリに対して回動可能に連結された二次測定補助具と、
を備え、
上記ステージと上記光学センサアッセンブリが互いに相対移動可能であり、
上記二次測定補助具が展開位置と後退位置との間で弧状の経路に沿って移動可能であり、上記二次測定補助具の回動軸が略水平で上記対物レンズより下方ではなく、上記展開位置にあるとき、上記二次測定補助具が上記光軸と位置合わせされていることを特徴とする光学測定システム。 - 上記光学センサアッセンブリがカメラを含む、請求項46に記載の光学測定システム。
- 上記光学センサアッセンブリがビデオカメラを含む、請求項46に記載の光学測定システム。
- 上記光学センサアッセンブリが走査センサを含む、請求項46に記載の光学測定システム。
- 上記ステージと上記光学センサアッセンブリは、上記x、y及びz軸の各々に沿って互いに相対移動可能である、請求項46に記載の光学測定システム。
- 上記ステージは、上記x軸及びy軸に沿って移動可能であり、上記光学センサアッセンブリは、上記z軸に沿って移動可能である、請求項50に記載の光学測定システム。
- 上記二次測定補助具がタッチセンサを含む、請求項46に記載の光学測定システム。
- 上記タッチセンサがスタイラスを有する、請求項52に記載の光学測定システム。
- 上記タッチセンサが前記展開位置にあるとき、その長手方向軸が上記光軸と一致し、上記タッチセンサが上記後退位置にあるとき、その長手方向軸はほぼ水平である、請求項52に記載の光学測定システム。
- 上記二次測定補助具がミラーを含む、請求項46に記載の光学測定システム。
- 上記ミラーが上記展開位置にあるとき、上記ミラーは調節可能に傾くことができる、請求項55に記載の光学測定システム。
- 上記展開機構はピボットアームを備え、このピボットアームは一端にピボット接続部を有し、他端に上記取付マウントを有する、請求項46に記載の光学測定システム。
- 上記ピボットアームのすべての移動自由度が、上記後退位置と上記展開位置との間の弧状の経路に沿った移動を除いて除去され、
さらに、上記ピボットアームを正確に上記展開位置に到達させるための経路終端ストップを備え、この経路終端ストップが上記ピボットアームの移動の最後の自由度を除去する、請求項57に記載の光学測定システム。 - 上記ピボットアームが、アクチュエータによって上記展開位置と上記後退位置との間で移動可能である、請求項57に記載の光学測定システム。
- 上記アクチュエータがエアシリンダを含む、請求項59に記載の光学測定システム。
- 上記二次測定補助具がレーザーを含む、請求項46に記載の光学測定システム。
- タッチセンサおよびミラーが上記取付マウントに交換可能に取り付け可能である、請求項46に記載の光学測定システム。
- 上記二次測定補助具は、上記対物レンズの倍率を変更する二次レンズを含む、請求項46に記載の光学測定システム。
- 上記展開位置と上記後退位置が約90度変化する、請求項46に記載の光学測定システム。
- 上記展開機構が上記後退位置にあるとき、いかなる測定補助具も、上記ステージ上の測定されるべき対象物に対する前記光学センサアッセンブリの相対的移動を妨げない、請求項46に記載の光学測定システム。
- 光軸を有する対物レンズと、レンズハウジングとを含む光学センサアッセンブリと、
上記光学センサアッセンブリの下方に位置して測定すべき対象物を載置するためのステージと、
上記光学センサアッセンブリに対して回動可能に連結され、タッチセンサを展開位置と後退位置との間で移動させる展開機構と、
を備え、
上記ステージと上記光学センサアッセンブリは互いに相対移動可能であり、
上記タッチセンサは、上記展開位置にあるとき、上記光軸に位置合わせされ、
上記タッチセンサは、上記後退位置にあるとき、上記レンズハウジングの最下部よりも低くないことを特徴とする光学測定システム。 - 上記光学センサアッセンブリがカメラを含む、請求項66に記載の光学測定システム。
- 上記光学センサアッセンブリがビデオカメラを含む、請求項66に記載の光学測定システム。
- 上記光学センサアッセンブリが走査センサを含む、請求項66に記載の光学測定システム。
- 上記展開機構の回動軸がほぼ水平である、請求項66に記載の光学測定システム。
- 上記ステージと上記光学センサアッセンブリは、上記x、y及びz軸の各々に沿って互いに相対移動可能である、請求項66に記載の光学測定システム。
- 上記ステージは、上記x軸及びy軸に沿って移動可能であり、上記光学センサアッセンブリは、上記z軸に沿って移動可能である、請求項71に記載の光学測定システム。
- 上記タッチセンサがスタイラスを有する、請求項66に記載の光学測定システム。
- 上記タッチセンサが前記展開位置にあるとき、その長手方向軸が上記光軸と一致し、上記タッチセンサが上記後退位置にあるとき、その長手方向軸はほぼ水平である、請求項66に記載の光学測定システム。
- 上記展開機構はピボットアームを備え、このピボットアームは一端にピボット接続部を有し、他端に取付マウントを有する、請求項66に記載の光学測定システム。
- 上記ピボットアームのすべての移動自由度が、上記後退位置と上記展開位置との間の弧状の経路に沿った移動を除いて除去され、
さらに、上記ピボットアームを正確に上記展開位置に到達させるための経路終端ストップを備え、この経路終端ストップが上記ピボットアームの移動の最後の自由度を除去する、請求項75に記載の光学測定システム。 - 上記ピボットアームが、アクチュエータによって上記展開位置と上記後退位置との間で移動可能である、請求項75に記載の光学測定システム。
- 上記アクチュエータがエアシリンダを含む、請求項77に記載の光学測定システム。
- 上記展開位置と上記後退位置が約90度変化する、請求項66に記載の光学測定システム。
- 上記タッチセンサが上記後退位置にあるとき、上記ステージ上の測定すべき対象物に対する上記光学センサアッセンブリの相対的移動が、いかなる測定補助具によって妨げられない、請求項66に記載の光学測定システム。
- 光軸を有する対物レンズと、レンズハウジングとを含む光学センサアッセンブリと、
上記光学センサアッセンブリの下方に位置して測定すべき対象物を載置するためのステージと、
上記光学センサアッセンブリに対して回動可能に連結され、二次測定補助具を展開位置と後退位置との間で移動させる展開機構と、
を備え、
上記ステージと上記光学センサアッセンブリは互いに相対移動可能であり、
上記二次測定補助具は、回転テーブルに設置され、
上記展開位置にあるとき、上記回転テーブルの回転軸は上記光軸と一致し、
上記後退位置にあるとき、上記二次測定補助具は、x、y、z軸の各々に沿う測定対象物に対する上記光学センサアッセンブリの相対的移動を妨げないことを特徴とする光学測定システム。
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