JP2007057344A - 検査装置及び検査方法並びにそれを用いたシリンダブロックの製造方法 - Google Patents
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Abstract
精密な検査を短時間で行うことができる検査装置及び検査方法並びにそれを用いたシリンダブロックの製造方法を提供すること。
【解決手段】
本発明の一態様にかかる検査装置は、試料に設けられた孔に対して挿入可能に設けられた外筒35を備え、外筒35を孔に挿入して検査する検査装置であって、光源41と、光源41からの光をライン状の光に変換するシリンドリカルレンズ42と、対物レンズ33と、光を内壁面の方向に反射する曲げミラー34と、対物レンズの焦点位置を走査する対物レンズ焦点合わせモータ31と、外筒35を回転させるθ回転モータと、内壁面で反射された反射光をコンフォーカル光学系を介して検出する検出器46と、曲げミラー34と試料との相対位置を移動して、軸方向に走査を行うステージ13とを備えたものである。
【選択図】図3
Description
本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであって、精密な検査を短時間で行うことができる検査装置及び検査方法並びにそれを用いたシリンダブロックの製造方法を提供することを目的とする。
本発明における検査装置に用いられているコンフォーカル顕微鏡は、例えば、本件出願人による特開平10−104523号公報に示されているように、ライン照明を走査ミラー等を用いてライン照明の長手方向と直交する方向に試料上で走査し、これを1次元イメージセンサで同期検出することにより、1視野分の2次元コンフォーカル画像(スライス画像)を得るものである。さらに、焦点を光軸方向に移動しながら、各焦点位置とスライス画像を焦点移動メモリに記録し、これらを画像処理することによって3次元構造や断面形状、体積等を計算、表示することが出来る。言い換えれば、表面の高さはスライス画像のピークを示す画素に対応する焦点位置から求まる。
本実施の形態にかかる検査装置について図9を用いて説明する。図9は、本実施の形態にかかる検査装置の構成を示す側面図である。本実施の形態にかかる検査装置の基本的構成は、実施の形態1と同様であるため説明を省略する。従って、本実施の形態では、実施の形態1と異なる構成について説明する。本実施の形態では、光源からの照明光が曲げミラー34によって曲げられた後、対物レンズ33で集光される構成を有している。具体的には、外筒35の先端側に曲げミラー用筐体39が取り付けられている。曲げミラー用筐体39の内部には、曲げミラー34が内包されている。曲げミラー34は実施の形態と同様に光ビームを90°曲げるよう光軸から傾いて配置されている。従って、図3に示すように、コンフォーカル光学ヘッド12から出射された光ビームは、鉛直下方に反射される。
14 台座ブロック、21 シリンダブロック、22 シリンダ、
31 θ回転モータ、32 対物レンズ焦点合わせモータ、33 対物レンズ
34 曲げミラー、35 外筒、36 内筒、37 軸受、38、リニア軸受、
41 光源、42 シリンドリカルレンズ、43 PBS、44 ミラー、
46 検出器、47 レンズ、48 レンズ、49 リレーレンズ、50 照明領域
60 シリンダ内壁、61 突出物質、70 処理装置、71 データ記憶部、
72 合焦点位置算出部、73 分布算出部、74 体積算出部、75 良否判定部、
76 制御部、100 検査装置
Claims (9)
- 試料に設けられた孔に対して鏡筒を挿入して前記孔の内壁面を検査する検査装置であって、
光源と、
前記光源からの光をライン状の光に変換する光変換手段と、
前記ライン状の光を前記鏡筒に入射させる光学系と、
前記鏡筒に入射したライン状の光を集光する対物レンズと、
前記対物レンズの焦点位置を変化させる焦点位置変化手段と、
前記鏡筒に設けられ、前記ライン状に変換された光を前記内壁面の方向に反射するミラーと、
前記ミラーの反射方向を変化させるよう前記鏡筒を回転させ、前記ライン状の光を前記鏡筒の周方向に走査する周方向走査手段と、
前記内壁面で反射された反射光をコンフォーカル光学系を介して検出する検出器であって、前記反射光の方向に対応した設けられた検出画素を有する検出器と、
前記ライン状の光を前記鏡筒の軸方向に走査する軸方向走査手段とを備えた検査装置。 - 前記ライン状の光が前記鏡筒の軸方向と略垂直な方向に沿って前記内壁面に照射されている請求項1に記載の検査装置。
- 前記対物レンズが前記鏡筒の軸上に配置され、
前記ミラーが前記対物レンズよりも前記鏡筒の先端側に設けられている請求項1又は2に記載の検査装置。 - 試料に設けられた孔に対して鏡筒を挿入し、
ライン状の光を、前記鏡筒に入射させ、
前記ライン状の光を前記孔の内壁面の方向に反射し、
前記鏡筒に入射したライン状の光を前記内壁面に集光する対物レンズの焦点位置を変化させ、
前記ライン状の光の方向に対応して配列された検出画素を有する検出器によって、前記内壁面で反射された反射光をコンフォーカル光学系を介して検出し、
前記ライン上の光を前記鏡筒の軸方向に走査し、
前記対物レンズの焦点位置を変化させた時の前記検出器からの検出データに基づいて前記対物レンズの合焦点位置を算出し、
前記合焦点位置における前記検出データに基づいて前記試料の内壁面を検査する検査方法。 - 前記前記ライン状の光を反射する方向を前記鏡筒の周方向に走査して、検査を行う請求項4に記載の検査方法。
- 前記ライン状の光が前記鏡筒の軸方向と略垂直な方向に沿って前記内壁面に照射されることを特徴とする請求項4又は5に記載の検査方法。
- 前記試料に設けられた孔がエンジン用シリンダブロックに設けられたシリンダであり、
前記シリンダブロックの内壁面から突出した突出物質の分布及び体積を前記合焦点位置の変化及び前記検出データに基づいて算出して前記シリンダブロックの検査を行う請求項4、5又は6に記載の検査方法。 - 前記検出データをしきい値と比較した結果に基づいて突出物質であるか否かを判定して前記突出物質の分布を算出し、
前記突出物質であると判定された箇所における前記合焦点位置の変化に基づいて前記突出物質の体積を算出する請求項7に記載の検査方法。 - 請求項7又は8に記載の検査方法によってシリンダブロックの検査を行い、
前記検査の結果により良否判定を行なうシリンダブロックの製造方法。
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