JP2007049112A - 基板搬出搬入補助装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 多段構造の基板収納カセットに対して基板を確実に搬出及び搬入することができる基板搬出搬入補助装置を提供する。
【解決手段】 基板１を所定間隔で多段状に積層して収納するとともに、基板１が搬出搬入される開口部を有するカセット１１の基板収納領域に対して、ビ−ム３４に設けられた進出及び後退可能なレバーと、レバーを基板１の配列方向に沿って移動可能に支持する昇降機構３００とを備え、カセット１１に対して基板１を載せるためのハンド２２を有するロボット２１を用いて基板１を搬入し又は搬出する場合に、上記基板収納領域に進出したビ−ム３４に設けられたレバーによって基板１を支承または下降させて、カセット１１内でのハンド２２の進出又は後退のための空間を確保する。
【選択図】 図１

Description

本発明は、基板搬出搬入補助装置に関し、更に詳しくは、薄型テレビ用ガラス基板等の基板を収納カセットに対して搬出及び／又は搬入するための基板搬出搬入補助装置に関するものである。

液晶表示パネルやプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）等の一般的な製造工程では、複数枚のガラス基板がカセットに収納された状態で各工程間を搬送される。例えば、液晶表示パネルの製造工程の場合、ガラス基板はカセットに収納されて工程間を搬送され、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）形成工程や配線形成工程では、ガラス基板はカセットから取り出されて工程に投入される。製造された液晶表示パネルは、再びカセットに収納され、その後、無人搬送車等により検査装置に搬送される。そして、検査装置には、液晶表示パネルがカセットから１枚ずつ取り出されて供給され、さらに検査後の液晶表示パネルは再びカセットに収納される。

上記製造工程においては、ガラス基板を収納カセットから（又は収納カセットへ）確実に搬出及び／又は搬入（以下では、単に搬出搬入という）することができる基板搬出搬入装置が要求され、従来より種々検討されている。例えば、(i)左右から多段状にワイヤーを張ってその上にガラス基板を載せて多段収納するカセットを利用した基板搬出搬入装置（例えば特許文献１を参照）や、(ii)カセットの両側から内方に向かって突出した短尺支持部と、カセットの奥側から手前側に延びる長尺支持部とを多段状に構成し、その上にガラス基板を載せて多段収納するカセットを利用した基板搬出搬入装置（例えば特許文献２を参照）、（iii）カセットの左右に渡した梁部材を多段状に設け、その梁部材に基板を支持するピン状の支承部を設立したカセットを利用した基板搬出搬入装置（特許文献３を参照）等が提案されている。

こうした中、液晶テレビやＰＤＰ等の薄型ディスプレイの大画面化に伴い、ガラス基板も益々大型化が要求されている。ガラス基板のサイズは、最近では、第６世代（１．５ｍ×１．９ｍ）から、第７世代（１．９ｍ×２．２ｍ）や第８世代（２．２ｍ×２．４ｍ）へと進化しており、こうした大型ガラス基板を収納カセットに確実に搬出搬入できる基板搬出搬入装置の開発が要求されている。さらには、薄型ディスプレイの需要増に伴う生産量の増加により、単位空間体積当たりの収納枚数を増すための段ピッチの小さいカセット構造の開発や、そうしたカセットから確実に搬出搬入できる基板搬出搬入装置の開発が要求されている。

特に、(i)のカセット（以下、ワイヤー型カセットという。）は、段ピッチを小さくして単位空間体積当たりの収納枚数を増すには好適であるが、基板の搬出搬入に際してカセットをリフトアップしたり、基板をエアー浮上させたりする必要があり大型で複雑な設備が必要であり、設備投資や設備の運転維持コストが嵩むという問題がある。一方、上記(ii)のカセット（以下、バックサポート型カセットという。）を利用した基板搬出搬入装置は、その構造がワイヤー型カセットを利用した基板搬出搬入装置に比べて複雑ではなく、また、（iii）のカセットに比べて多段構造の各段間のピッチを小さくして単位空間体積当たりの収納枚数を増すことができるという利点がある。

しかしながら、大型のガラス基板用のバックサポート型カセットにガラス基板を収納すると、奥側から手前側（ガラス基板を搬出搬入する開口部側）に延びる長尺支持部の先端側（手前側）が撓み、左右の短尺支持部間でガラス基板が撓んだ形態で収納される。すなわち、収納されたガラス基板は、カセット奥側から手前側にかけて下側に傾斜するように撓み、さらに、左右の短尺支持部から基板の中央に向けて撓みが大きくなってしまう。例えば、第７世代（１．９ｍ×２．２ｍ）のガラス基板を収納する各段毎のピッチを７５ｍｍとし、奥側から手前側に延びる長尺支持部を幅方向に３３０ｍｍピッチで配したバックサポート型カセットを構成した場合でも、手前側の撓み量は約３０ｍｍ程度にもなる。こうした撓みの程度は、カセットの奥側では小さく手前側では大きく、その奥行き方向で異なるので、下記特許文献４で提案されている撓み形態に合わせたハンドアーム構造を有するロボットを利用しても、カセットに進出するロボットのハンド及びそこに載置されるガラス基板が、カセットの支持部や既に収納されているガラス基板と緩衝してしまうので、ガラス基板をカセットから（又は収納カセットへ）確実に搬出搬入することは難しかった。したがって、バックサポート型カセットを用いた場合においては、多段構造の各段間のピッチを小さくして単位空間体積当たりの収納枚数を増すことに対して限界があり、その解決が検討されていた。
特開２００５−６４４３１号公報 特開２０００−１４２８７６号公報 特開平１１−３５０８９号公報 特開２００３−５１５２５号公報

本発明は、上記状況に鑑みてなされたものであって、その目的は、多段構造の基板収納カセットに対して基板を確実に搬出及び搬入することができる基板搬出搬入補助装置を提供することにある。

上記目的を達成するための本発明の基板搬出搬入補助装置は、基板を所定間隔で多段状に積層して収納するとともに、前記基板が搬出搬入される開口を有するカセットの基板収納領域に対して、進出及び後退可能に設けられたレバーと、前記レバーを前記基板の配列方向に沿って移動可能に支持する昇降機構と、を備え、前記カセットに対して前記基板を載せるためのハンドを有するロボットを用いて前記基板を搬入し又は搬出する場合に、前記基板収納領域に進出した前記レバーによって前記基板を支承または下降させて、前記カセット内での前記ハンドの進出又は後退のための空間を確保することを特徴とする。

本発明によれば、昇降機構によって支持されたレバーによって前記カセット内での前記ハンドの進出及び後退のための空間を確保又は拡大するので、基板収納カセットにおける多段構造の各段間のピッチを小さくして単位空間体積当たりの収納枚数を増すことができる。さらに、そのような基板収納カセットに対して、ロボットを用いて基板を確実に搬出・搬入することができる。

本発明の基板搬出搬入補助装置は、前記レバーは、前記昇降機構の駆動によって、前記カセットに対する搬入又は搬出の対象となる対象基板と、前記対象基板の一段上に収納された基板と、前記対象基板の一段下に収納された基板と、から選択される少なくとも１枚の基板を支承または下降させることが好ましい。

本発明によれば、基板のサイズやカセットの基板収納ピッチと、ハンドのサイズに応じて、対象基板又はその一段上に収納された基板又はその一段下に収納された基板のうちの少なくとも１枚の基板を支承又は下降させることにより、ハンドの進出及び後退のために必要な空間を確保又は拡大する。また、支承又は降下させる基板は、基板のサイズやカセットの基板収納ピッチと、ハンドのサイズに応じて、適宜選択することができる。

本発明の基板搬出搬入補助装置は、前記レバーが前記基板に当接して、前記基板を支承又は下降させることが好ましい。

本発明によれば、レバーが基板に当接して、これを支承又は下降させるので、従来のカセットを用いて、これに新たな部品の追加することを必要とせず、簡単な構成によりロボットのハンドを進出及び後退させるための空間を拡大することができる。

本発明の基板搬出搬入補助装置は、前記カセットが、その奥側から前記開口側に延びて前記基板が載置される長尺支持部を有する場合において、前記レバーが前記長尺支持部に当接して、前記長尺支持部を支承または下降させることが好ましい。

本発明によれば、奥側から開口側に延びて基板が載置される長尺支持部を有するバックサポート型のカセットにおいて、バックサポートを支承または下降させるので、基板にキズをつけることなく確実にハンドを進出及び後退させるための空間を確保することができる。

本発明の基板搬出搬入補助装置では、前記昇降機構は、前記カセットに載置された前記基板とほぼ平行なビームを有し、前記レバーは、前記ビームから前記カセットの前記基板の積層方向に突出して設立された垂直支承部と、その先端にから前記積層方向と略平行な方向に延出して設けられた爪部とよりなることが好ましい。

本発明によれば、昇降機構のビームよってレバーを確実に支持することができるとともに、レバーを垂直支承部と爪部で構成したので、基板の搬出搬入の際に、ロボットのハンドがビームに緩衝することを回避して、爪部によって基板を確実に支承又は下降させることができる。

本発明の基板搬出搬入補助装置は、前記ビームに複数の前記レバーを配設したことが好ましい。

本発明によれば、ビームに複数のレバーを配設したので、複数のレバーが複数箇所で略均等に基板に作用してハンドの進出及び後退のための空間を拡大するので、基板に過度の応力をかけることがなく、これを破損せず確実に基板の搬出搬入ができる。

本発明の基板搬出搬入補助装置では、前記垂直支承部は前記ビームに回転可能に設立され、その回転駆動により前記爪部が前記基板収納領域に繰り出されることが好ましい。

本発明の基板搬出搬入補助装置では、前記爪部は前記垂直支承部の先端から前記基板収納領域に向けて延出するように設けられるとともに、前記垂直支承部又は前記爪部が前記基板収納領域に対して直線往復駆動されて、前記爪部が前記基板収納領域に繰り出されることが好ましい。

本発明の基板搬出搬入補助装置では、前記爪部は垂直支承部の先端に前記ビームと平行な軸回りに回転可能に軸支されるとともに、前記爪部が回転駆動されて前記基板収納領域に繰り出されることが好ましい。

本発明の基板搬出搬入補助装置では、前記爪部の先端には、ローラーが設けられていることが好ましい。このようにすれば、基板にキズをつけることなく確実に基板の搬入搬出のための支承及び下降をすることができる。

本発明の基板搬出搬入補助装置では、前記ビームは、前記基板の積層方向に沿って複数段設けられていることが好ましい。

本発明の基板搬出搬入補助装置では、前記複数のビームは、それぞれ独立に昇降駆動されることが好ましい。

本発明の基板搬出搬入補助装置は、前記ロボットの前記カセットに対する基板の搬入及び搬出に対応して、前記昇降機構の昇降及び前記レバーの前記基板収納領域への進出及び後退を制御する制御手段を備えることが好ましい。

本発明の基板搬出搬入補助装置は、前記カセットの前記開口に臨むように門型に設立されていることが好ましい。

本発明の基板搬出搬入補助装置は、前記カセットの前記開口を囲む枠体に取り付けられていることが好ましい。

本発明の基板搬出搬入補助装置は、前記カセットが載置されるカセット台に取り付けられていることが好ましい。

さらに、本発明の基板搬出搬入補助装置を用いるならば、次のような基板搬出搬入方法及び基板搬出搬入システムを実現することができる。

本発明の基板搬出搬入方法は、奥側から手前側に延びる長尺支持部を所定間隔で多段状に配列し、各段毎の長尺支持部の上に基板を載置して多段収納するカセットに対して、前記基板を載せるためのハンドを有するロボットを用いて基板を搬入し及び基板を搬出する基板搬出搬入方法であって、対象基板を載置する長尺支持部又は対象基板が載置された長尺支持部を支承して、カセット内での前記ハンドの進出又は後退のための空間を拡大する支承工程Ａを含み、前記カセットからの対象基板の搬出工程及び前記カセットへの対象基板の搬入工程が、当該支承工程Ａと共に行われることを特徴とする。

この発明によれば、長尺支持部を支承する支承工程Ａにより、カセットでのロボットの進出又は後退のための空間を拡大することができるので、多段構造の各段間のピッチを小さくして単位空間体積当たりの基板の収納枚数を増すことができると共に、多段構造の各段間のピッチが小さい場合においても、対象基板又はこれを載置したハンドが対象基板の上下に収納された基板や上下の基板を載置する支持部（短尺支持部及び長尺支持部など）と緩衝してこれら基板を損傷したりすることなく、これら基板を確実に搬出搬入することができる。

本発明の基板搬出搬入方法は、対象基板の搬出工程が、前記端部を支承した長尺支持部に載置された対象基板の下方にハンドが位置するように、前記ハンドを前記カセットの手前側から奥側に進出させる工程と、前記ハンドを上方に移動して前記長尺支持部よりも上方に対象基板を持ち上げる工程と、対象基板を載せたハンドを奥側から手前側に後退させて対象基板を前記カセット外に取り出す工程とを含むことを特徴とする。

この発明によれば、拡大された空間内から、対象基板を上下に載置された基板や支持部（短尺支持部及び長尺支持部など）に接触させることなく確実に搬出することができる。

本発明の基板搬出搬入方法は、前記対象基板の搬出工程時の支承工程Ａにおいて、前記端部の支承が、対象基板をカセット外に取り出す工程後、又は、対象基板を持ち上げる工程後で対象基板をカセット外に取り出す工程前、に解除されることを特徴とする。

この発明によれば、基板の搬出工程時の支承工程Ａの解除を上記２種類のタイミングで行うことができる。これらのうち、前者は支承工程Ａのタイミングをシンプルにすることができ、後者はハンドによる基板の搬出時の空間をより拡大させることができるという利点がある。

本発明の基板搬出搬入方法は、対象基板の搬入工程が、長尺支持部よりも上に対象基板が位置するように、対象基板が載ったハンドを前記カセットの手前側から奥側に進出させる工程と、前記ハンドを下方に移動して前記長尺支持部上に対象基板を載置する工程と、対象基板の下方にハンドが位置した状態で前記ハンドを奥側から手前側に後退させる工程とを含むことを特徴とする。

この発明によれば、拡大された空間内に、対象基板を上下に載置された基板や基板を支持する支持部（短尺支持部及び長尺支持部など）に接触させることなく確実に搬入することができる。

本発明の基板搬出搬入方法は、前記対象基板の搬入工程時の支承工程Ａにおいて、前記端部の支承が、ハンドをカセットの手前側から奥側に進出させる工程前、又は、ハンドをカセットの手前側から奥側に進出させる工程後でハンドを奥側から手前側に後退させる工程前、に開始することを特徴とする

この発明によれば、基板の搬入工程時の支承工程Ａの開始を上記２種類のタイミングで行うことができる。これらのうち、前者は支承工程Ａのタイミングをシンプルにすることができ、後者はハンドによる基板の搬入時の空間をより拡大させることができる。また、ハンドの後退のための空間を十分に広いものとすることができる。

本発明の基板搬出搬入方法は、前記搬出工程及び搬入工程において、対象基板を載置する長尺支持部又は対象基板が載置された長尺支持部よりも、一段上の長尺支持部を支承する支承工程Ｂをさらに含み、前記カセットからの対象基板の搬出工程又は前記カセットへの対象基板の搬入工程が、当該支承工程Ｂと共に行われることを特徴とする。

この発明によれば、一段上の長尺支持部を支承する支承工程Ｂをさらに含むので、ハンドによる基板の搬出時及び搬入時において、対象基板を載置する長尺支持部又は対象基板が載置された長尺支持部と、そのすぐ上の長尺支持部との空間をより拡大させることができる。その結果、対象基板の搬出時においては、基板を載せたハンドをカセット内から後退させるときの空間が広くなり、対象基板の搬入時においては、基板を載せたハンドをカセット内に進出させるときの空間が広くなり、それらの動作をより一層確実に行うことができる。

本発明の基板搬出搬入方法は、前記搬出工程及び搬入工程において、対象基板を載置する長尺支持部又は対象基板が載置された長尺支持部よりも、一段下の長尺支持部を押し下げる下降工程をさらに含み、前記カセットからの対象基板の搬出工程又は前記カセットへの対象基板の搬入工程が、前記下降工程と共に行われることを特徴とする。

この発明によれば、一段下の長尺支持部を押し下げる下降工程をさらに含むので、ハンドによる基板の搬出時及び搬入時において、対象基板を載置する長尺支持部又は対象基板が載置された長尺支持部と、そのすぐ下の長尺支持部との空間をより拡大させることができる。その結果、対象基板の搬出時においては、基板を載せていない空のハンドをカセット内に進出させるときの空間が広くなり、対象基板の搬入時においては、基板を載せていない空のハンドをカセット内から後退させるときの空間が広くなり、それらの動作をより一層確実に行うことができる。

また、本発明の基板搬出搬入方法は、奥側から手前側に延びる長尺支持部を所定間隔で多段状に配列し、各段毎の長尺支持部の上に基板を載置して多段収納するカセットに対して、前記基板を載せるためのハンドを有するロボットを用いて基板を搬入し及び基板を搬出する基板搬出搬入方法であって、対象基板を載置する長尺支持部又は対象基板が載置された長尺支持部を支承して、カセット内での前記ハンドの進出又は後退のための空間を拡大する支承工程Ａと、対象基板を載置する長尺支持部又は対象基板が載置された長尺支持部よりも、一段上の長尺支持部を支承して、カセット内での前記ハンドの進出又は後退のための空間を拡大する支承工程Ｂと、対象基板を載置する長尺支持部又は対象基板が載置された長尺支持部よりも、一段下の長尺支持部を押し下げて、カセット内での前記ハンドの進出又は後退のための空間を拡大する下降工程と、から選ばれる少なくとも１つの工程を含み、前記カセットからの対象基板の搬出工程又は前記カセットへの対象基板の搬入工程が、当該支承工程Ａ、当該支承工程Ｂ及び当該下降工程から選ばれる少なくとも１つの工程と共に行われることを特徴とする。

この発明によれば、搬出工程及び搬入工程が、支承工程Ａ、支承工程Ｂ及び下降工程から選ばれる少なくとも１つの工程と共に行われるので、カセットでのロボットの進出又は後退のための空間を拡大することができる。その結果、多段構造の各段間のピッチを小さくして単位空間体積当たりの基板の収納枚数を増すことができると共に、多段構造の各段間のピッチが小さい場合においても、対象基板又はこれを載置したハンドが対象基板の上下に収納された基板や上下の基板を載置する支持部（短尺支持部及び長尺支持部など）と緩衝してこれら基板を損傷したりすることなく、これら基板を確実に搬出搬入することができる。

本発明の基板搬出搬入システムは、奥側から手前側に延びる長尺支持部を所定間隔で多段状に配列し、各段毎の長尺支持部の上に基板を載置して多段収納するカセットと、前記基板を載せるためのハンドを有し、前記基板をカセットに搬入し又は前記基板をカセットから搬出するロボットと、前記長尺支持部を支承又は下降させる端部位置調整機構と、を備えた基板搬出搬入システムであって、前記端部位置調整機構が、前記ハンドを前記カセットの手前側から奥側に進出させるための空間又は前記ハンドを前記カセットの奥側から手前側に後退させるための空間を拡大するために、対象基板を載置する長尺支持部、当該長尺支持部よりも一段上の長尺支持部、及び、当該長尺支持部よりも一段下の長尺支持部から選ばれる少なくとも１つの長尺支持部を支承又は下降させることを特徴とする。

この発明によれば、カセットとロボットと端部位置調整機構とによって、ハンドをカセットの手前側から奥側に進出させるための空間又はハンドをカセットの奥側から手前側に後退させるための空間を拡大することができるので、多段構造の各段間のピッチを小さくして単位空間体積当たりの基板の収納枚数を増すことができると共に、多段構造の各段間のピッチが小さい場合においても、対象基板又はこれを載置したハンドが対象基板の上下に収納された基板や上下の基板を載置する支持部（短尺支持部及び長尺支持部など）と緩衝してこれら基板を損傷したりすることなく、これら基板を確実に搬出搬入することができる。また、本発明は、従来のバックサポート型カセットの基本構造に端部位置調整機構を加えることによって達成でき、特殊なアームや機構を有するロボットを必要とせず、また、従来の他の基板搬出搬入方法のような複雑な機構も必要ではないので、低コストで実現することができる。

本発明の基板搬出搬入方法は、支持部を所定間隔で多段状に配列し各段毎の支持部の上に基板を載置して多段収納するとともに前記基板の搬出及び搬入が可能な開口を有するカセットに対して、前記基板を載せるためのハンドを有するロボットを用いて、基板を搬出する搬出又は搬入する基板搬出搬入方法であって、搬出される対象基板又は搬入された対象基板を支承して、カセット内での前記ハンドの進出又は後退のための空間を確保する支承工程Ａを含み、前記対象基板の搬出工程又は搬入工程のいずれかが前記支承工程Ａと共に行なわれることを特徴とする基板搬出搬入方法である。

この発明によれば、基板を支承する支承工程Ａにより、カセットでのロボットの進出又は後退のための空間を確保することができるので、多段構造の各段間のピッチを小さくして単位空間体積当たりの基板の収納枚数を増すことができると共に、多段構造の各段間のピッチが小さい場合においても、対象基板又はこれを載置したハンドが対象基板の上下に収納された基板や上下の基板を載置する支持部と緩衝してこれら基板を損傷したりすることなく、これら基板を確実に搬出搬入することができる。また、本発明は、従来のカセットの基本構造であっても支承工程Ａを加えることによって、特殊なアームや機構を有するロボットや複雑な機構を必要とせず、低コストで確実な基板の搬入及び搬出を実現することができる。

本発明の基板搬出搬入方法では、前記搬出工程は、前記対象基板の下方に前記ハンドが位置するように、前記ハンドを前記カセットの前記開口側から奥側に進出させる工程と、前記ハンドを上方に移動して前記支持部よりも上方に前記対象基板を持ち上げる工程と、前記対象基板を載せたハンドを前記奥側から前記開口側に後退させて前記対象基板を前記カセット外に取り出す工程と、を含み、前記支承工程Ａが前記ハンドを前記カセットの前記開口側から前記奥側に進出させる工程よりも前に開始されることが好ましい。

本発明によれば、支承工程Ａがハンドをカセットの開口側から奥側に進出させる工程よりも前に開始されるので、ハンドの進出の際にその上側に位置することとなる対象基板が支承工程Ａで支承されており、その対象基板と一段下の基板との間にハンドの進入が可能な空間を十分に確保することができる。

本発明の基板搬出搬入方法では、前記搬入工程は、前記支持部よりも上に前記対象基板が位置するように、前記対象基板が載ったハンドを前記カセットの前記開口側から奥側に進出させる工程と、前記ハンドを下方に移動して前記支持部上に前記対象基板を載置する工程と、前記対象基板の下方にハンドが位置した状態で前記ハンドを前記奥側から前記開口側に後退させる工程とを含み、前記支承工程Ａが前記ハンドを前記奥側から前記開口側に後退させる工程よりも前に開始されることが好ましい。

本発明によれば、支承工程Ａがハンドを前記奥側から前記開口側に後退させる工程よりも前に開始されるので、対象基板を支持部に載置した後のハンド後退の際にその上側に位置することとなる対象基板が支承工程Ａで支承されており、その対象基板と一段下の基板との間にハンドの進入が可能な空間を十分に確保することができる。

本発明の基板搬出搬入方法は、前記搬出工程で搬出される前記対象基板が載置されている前記支持部又は前記搬入工程で搬入される前記対象基板が載置される前記支持部のいずれかの前記支持部よりも一段上の支持部に載置された基板を支承する支承工程Ｂをさらに含み、前記対象基板の搬出工程又は前記対象基板の搬入工程が、当該支承工程Ｂと共に行われることが好ましい。

本発明によれば、基板搬出の際には、支承工程Ｂにより対象基板よりも一段上の基板が支承されるので、対象基板と一段上の基板との間に対象基板を持ち上げたハンドが後退するために十分な空間を確保できる。一方、基板搬入の際には、支承工程Ｂにより搬入される対象基板が載置される予定の支持部よりも一段上の支持部に載置された基板が支承されるので、対象基板を載せたハンドと支承された一段上の基板との間にハンドが後退するために十分な空間を確保できる。従って、基板の搬入及び搬出の動作をより一層確実に行うことができる。

本発明の基板搬出搬入方法は、前記搬出工程で搬出される前記対象基板が載置されている前記支持部又は前記搬入工程で搬入される前記対象基板が載置される前記支持部のいずれかの前記支持部よりも一段下の支持部に載置された基板を押し下げる下降工程をさらに含み、前記対象基板の搬出工程又は前記対象基板の搬入工程が、前記下降工程と共に行われることが好ましい。

本発明によれば、基板搬出の際には、下降工程により対象基板よりも一段下の基板が押し下げられるので、対象基板と一段下の基板との間にハンドが進出するために十分な空間を確保できる。一方、基板搬入の際には、下降工程により搬入後の支持部に載置された対象基板よりも一段下の基板が押し下げられるので、対象基板と一段下の基板との間にハンドが後退するために十分な空間を確保できる。従って、基板の搬入及び搬出の動作をより一層確実に行うことができる。

本発明の基板搬出搬入方法は、前記支承工程Ａ、前記支承工程Ｂ及び前記下降工程は、前記カセットの奥側から前記開口側に延びる長尺支持部を支承または下降させることにより実行されることが好ましい。

本発明によれば、支承工程Ａ、支承工程Ｂ及び下降工程が、直接基板を支承したり押し下げたりして行うのではなく、長尺支持部を介して支承又は下降させるので、基板に直接の応力が掛かることがなく、また、基板を全体的に平均的に支承又は降下させることができ支承工程Ａ、支承工程Ｂ及び下降工程の精度があがる。従って、基板の搬入及び搬出の動作をより一層確実に行うことができる。

本発明の基板搬出搬入方法は、支持部を所定間隔で多段状に配列し、各段毎の支持部の上に基板を載置して多段収納するとともに前記基板の搬出及び搬入が可能な開口を有するカセットに対して、前記基板を載せるためのハンドを有するロボットを用いて基板を搬入し又は基板を搬出する基板搬出搬入方法であって、搬出される対象基板又は搬入された対象基板を支承して、カセット内での前記ハンドの進出及び後退のための空間を確保する支承工程Ａと、搬出される前記対象基板又は搬入された前記対象基板が載置される前記支持部よりも一段上の支持部に載置された基板を支承する支承工程Ｂと、搬出される前記対象基板又は搬入された前記対象基板が載置される前記支持部よりも一段下の支持部に載置された基板を押し下げる下降工程と、から選ばれる少なくとも１つの工程を含み、前記カセットからの対象基板の搬出工程又は前記カセットへの対象基板の搬入工程が、当該支承工程Ａ、当該支承工程Ｂ及び当該下降工程から選ばれる少なくとも１つの工程と共に行われることを特徴とする。

この発明によれば、搬出工程及び搬入工程が、支承工程Ａ、支承工程Ｂ及び下降工程から選ばれる少なくとも１つの工程と共に行われるので、カセットでのロボットの進出又は後退のための空間を拡大することができる。その結果、多段構造の各段間のピッチを小さくして単位空間体積当たりの基板の収納枚数を増すことができると共に、多段構造の各段間のピッチが小さい場合においても、対象基板又はこれを載置したハンドが対象基板の上下に収納された基板や上下の基板を載置する支持部と緩衝してこれら基板を損傷したりすることなく、これら基板を確実に搬出搬入することができる。また、本発明は、従来のカセットの基本構造に、支承工程Ａ、支承工程Ｂ及び下降工程から選ばれる少なくとも１つの工程を加えることによって達成でき、特殊なアームや機構を有するロボットを必要とせず、また、複雑な機構も必要ではないので、低コストで確実な基板の搬入搬出を実現することができる。

本発明の基板搬出搬入方法は、前記支承工程Ａ、前記支承工程Ｂ及び前記下降工程は、前記カセットの奥側から前記開口側に延びる長尺支持部を支承または下降させることにより実行されることが好ましい。

本発明によれば、支承工程Ａ、支承工程Ｂ及び下降工程が、直接基板を支承したり押し下げたりして行うのではなく、長尺支持部を介して支承又は下降させるので、基板に直接の応力が掛かることがなく、また、基板を全体的に平均的に支承又は降下させることができ支承工程Ａ、支承工程Ｂ及び下降工程の精度があがる。従って、基板の搬入及び搬出の動作をより一層確実に行うことができる。

本発明の基板搬出搬入システムは、支持部を所定間隔で多段状に配列し、各段毎の支持部の上に基板を載置して多段収納するとともに、前記基板の搬出及び搬入が可能な開口を有するカセットと、前記基板を載せるためのハンドを有し、前記カセットに対して前記基板を搬入し又は搬出するロボットと、前記ロボットの基板搬出又は搬入動作の際に、前記カセットの前記開口側から奥側との間で前記ハンドが進出又は後退するための空間を確保する基板搬出搬入補助装置と、を備えることを特徴とする。

この発明によれば、カセットとロボットと基板搬出搬入補助装置とによって、ハンドをカセットの手前側から開口側に進出させるための空間又はハンドをカセットの奥側から開口側に後退させるための空間を確保することができるので、多段構造カセットの各段間のピッチを小さくして単位空間体積当たりの基板の収納枚数を増すことができると共に、多段構造の各段間のピッチが小さい場合においても、対象基板又はこれを載置したハンドが対象基板の上下に収納された基板や上下の基板を載置する支持部と緩衝してこれら基板を損傷したりすることなく、これら基板を確実に搬出搬入することができる。

また、本発明の基板搬出搬入システムでは、基板搬出搬入補助装置は、前記基板の搬出に際して搬出される対象基板、又は前記基板の搬入に際して搬入される対象基板のいずれかの対象基板を支承して、カセット内での前記ハンドの進出又は後退のための空間を確保することが好ましい。

この発明によれば、従来のカセットの基本構造に対して、対象基板を支承する基板搬出搬入補助装置を加えることによって、カセット内でのロボットの進出又は後退のための空間を確保することができる。また、特殊なアームや機構を有するロボットを必要とせず、また、従来の他の基板搬出搬入方法のような複雑な機構も必要ではないので、低コストで多段構造の各段間のピッチを小さくして単位空間体積当たりの基板の収納枚数を増すことができる。

また、本発明の基板搬出搬入システムでは、基板搬出搬入補助装置は、基板の搬出に際して搬出される対象基板が載置されている支持部、又は前記基板の搬入に際して搬入される対象基板が載置される支持部のいずれかの支持部よりも一段上又は一段下の支持部に収容される基板を支承又は下降させて、カセット内での前記ハンドの進出又は後退のための空間を確保することが好ましい。

この発明によれば、対象基板が載置される支持部より一段上又は一段下の基板を支承又は下降させるので、ハンドによる基板の搬出時及び搬入時において、対象基板とその上下に隣接する基板との空間をより拡大させることができる。その結果、対象基板の搬出時においては、基板を載せたハンドをカセット内から後退させるときの空間が広くなり、対象基板の搬入時においては、基板を載せたハンドをカセット内に進出させるときの空間が広くなり、基板搬出搬入の動作をより一層確実に行うことができる。

さらに、本発明の基板搬出搬入システムは、基板搬出搬入補助装置及びロボットを連動制御する制御装置を備えることが好ましい。

この発明によれば、基板搬出搬入補助装置及びロボットを連動制御する制御装置を備えるので、プログラムに従って所定の対象基板位置にアクセスするロボットのために、基板搬出搬入補助装置によって所定の対象基板を支承してハンドが進出及び後退するための空間を正確に確保することができる。

本発明の基板搬出搬入システムは、基板搬出搬入補助装置が、カセットの開口部の近傍に設けられていることを特徴とする。このとき、基板搬出搬入補助装置が、少なくとも１つの基板を支承又は下降させるための、１軸又は２軸以上のスライド機構を有することが好ましい。

本発明の基板搬出搬入システムは、基板搬出搬入補助装置が、ロボットに設けられていることを特徴とする。

この発明によれば、基板搬出搬入補助装置をロボットに設けられた他のハンドに設けることにより、カセット毎に基板搬出搬入補助装置を設ける必要がなく、コスト的な効果を高めることができる。

なお、本願において、「支承」とは、長尺支持部を下側から支えることであるが、長尺支持部の撓みをキャンセルするようにある程度持ち上げることも含む意味で用いている。このような支承によれば、カセットに収納された上下に隣り合う基板と基板との間の空間を拡大し、又は、基板の撓みをキャンセルして隣り合う基板と基板との間の所定の空間を確保することができる。さらに、本願における「支承」及び「下降」には、必要な幅の空間を確保するために、基板の撓みを所望の方向に操作又は補正するという意味である。

本発明の基板搬出搬入補助装置によれば、昇降機構によって支持されたレバーによって前記カセット内での前記ハンドの進出及び後退のための空間を確保又は拡大するので、基板収納カセットにおける多段構造の各段間のピッチを小さくして単位空間体積当たりの収納枚数を増すことができる。さらに、そのような基板収納カセットに対して、ロボットを用いて基板を確実に搬出・搬入することができる。

本発明の基板搬出搬入方法によれば、カセットでのロボットの進出と後退に係る空間を拡大することができるので、多段構造の各段間のピッチを小さくして単位空間体積当たりの基板の収納枚数を増すことができると共に、その場合においても基板を確実に搬出搬入することができる。また、本発明は、従来のバックサポート型カセットの基本構造に支承工程を加えることによって達成でき、特殊なアームや機構を有するロボットを必要とせず、また、従来の他の基板搬出搬入方法のような複雑な機構も必要ではないので、低コストで実現することができる。

本発明の基板搬出搬入システムによれば、カセットとロボットと端部位置調整機構とによって、ハンドをカセットの手前側から奥側に進出させるための空間又はハンドをカセットの奥側から手前側に後退させるための空間を拡大することができるので、多段構造の各段間のピッチを小さくして単位空間体積当たりの基板の収納枚数を増すことができると共に、その場合においても基板を確実に搬出搬入することができる。また、本発明は、従来のバックサポート型カセットの基本構造に端部位置調整機構を加えることによって達成でき、特殊なアームや機構を有するロボットを必要とせず、また、従来の他の基板搬出搬入方法のような複雑な機構も必要ではないので、低コストで実現することができる。

以下、本発明の基板搬出搬入方法及び基板搬出搬入システムについて、図面に基づいて実施の形態を説明する。なお、以下においては図面を例示して説明するが、本発明の技術的範囲はその記載及び図示例に限定されるものではない。

（基板搬出搬入システムの概要）
図１は、本発明の基板搬出搬入方法及び基板搬出搬入システムの装置構成の一例を示す斜視図である。本発明の基板搬出搬入方法及び基板搬出搬入システムは、図１に示すように、基板１を多段収納するカセット１１と、基板１をカセット１１に搬入し又は基板１をカセット１１から搬出するロボット２１と、カセット１１が有する長尺支持部を支承又は下降させる基板搬出搬入補助装置としての端部位置調整機構３１とを基本構成としたものである。そして、端部位置調整機構３１にはその作動を制御するコントローラ７０が接続される一方、ロボット２１にはロボットコントローラ７１が接続されている。さらに、これらを連動制御するために、シーケンサー７２がコントローラ７０に接続されている。

なお、図１中、矢印Ｘは、ロボット２１のハンド２２が進出・後退（以下、進出及び／又は後退をこのように記載する。）する方向を示し、矢印Ｙは、ロボット２１がカセット１１の積層方向に移動する方向を示している。また、図１の例では、端部位置調整機構３１は、両サイドの支柱４０，４０間に上下に昇降するビーム３４が少なくとも１本設けられた門型構造を呈しており、カセット１１の前面側（ロボット側）に配置され、カセット台２に取り付けられている。カセット１１は、例えば自動搬送車によって、カセット台２上に移載することができる。なお、本実施の形態では、端部位置調整機構３１は、カセット１１の基板１を搬出及び搬入する開口の側（手前側）から長尺支持部の端部を支承又は下降させるものである。

この端部位置調整機構３１では、門型構造の支柱４０，４０とビーム３４とが主に昇降機構３００を構成する。また、昇降機構３００のビーム３４には、長尺支持部の手前側の端部に当接可能なようにカセット１１の基板収納領域に進出・後退可能な支承部材が設けられている。そして、昇降機構３００は、支承部材を基板の積層方向に沿って移動可能に支持しており、昇降機構３００の移動により支承部材に当接した長尺支持部の端部を支承又は下降させ、カセット１１内におけるロボット２１のハンド２２が進出・後退する空間を確保する。さらに、ビーム３４は、１本でもよいが２本又は３本設けられることが好ましく、その場合はロボット２１のハンド２２が進出・後退する空間をより良好に確保することができる。

本実施の形態において、端部位置調整機構３１は、ロボット２１による基板の搬出搬入を補助する基板搬出搬入補助装置として機能するものである。また、このような基板搬出搬入補助装置は、カセット１１の基板収納領域に進出・後退可能な支承部材が設けられているので、長尺支持部の端部を支承又は下降させる構成に限らず、基板１を直接に支承又は下降させる構成とすることもできる。要は、基板１の搬出搬入を確実に補助するために、多段状に配列（積層）されて収納された基板の積層ピッチを拡大したり、基板の撓みを調整したりして、ロボット２１のハンド２２が進出・後退する空間を確保するように基板１に作用するものであればよい。

さらに、基板１に直接作用してこれを支承又は下降させる構成の基板搬出搬入補助装置は、長尺支持部を有するバックサポート型カセットに限らず、特許文献３のカセット及び基板処理加工装置等においても収納又は載置された基板に撓みが発生する場合に適用できる。なお、基板の積層ピッチを拡大したり、基板の撓みを調整したりするにあたっては、撓みが最も大きくなる位置で支持部や基板を支承又は下降させることが好ましい。特に、本実施の形態では長尺支持部の手前（開口）側の端部又は基板の開口側を支承又は下降させている。

次に、本発明の基板搬出搬入システムを構成する各装置について説明する。

（基板収納カセット）
先ず、本発明の基板搬出搬入システムに用いる基板収納カセット（以下、カセットという）の一例について説明する。図２〜図４は、本発明の基板搬出搬入システムを構成するカセットの一例を示す概略図である。より詳しくは、図２は基板を載せる任意の段の構造を示す概略平面図であり、図３は基板が多段収納された形態を示す概略側面図であり、図４は基板が多段収納された形態を示す概略正面図である。

カセット１１は、上下の枠体１７，１８と、手前側の枠体１９と、左右の枠体１２と、奥側の枠体１３とで構成されており、手前側の枠体１９は、基板1を載せる４本のハンドフォーク２３を有するハンド２２を装着したロボット２１がカセット１１内に進出・後退できるように、枠組みされていない開口部１９ａを有している。

基板１を載せる任意の段の構造は、図２中に破線で表した基板１を短尺支持部１４と長尺支持部１５とよりなる支持部で支持して収納するようになっている。短尺支持部１４は、ロボット２１からみてカセット１１の左右両側から内方に向かって延びるように、左右の枠体１２に奥側から手前側の方向に所定のピッチで複数設けられている。短尺支持部１４の長さは特に限定されないが、少なくとも基板１を安定に支持できると共に両サイドのハンドフォーク２３に接触しない長さで設けられていることが好ましい。各短尺支持部１４の間の所定のピッチも特に限定されず、少なくとも基板１を安定に支持できるピッチで設けられていることが好ましい。短尺支持部１４としては、例えば軽量で高強度のアルミニウム合金製又は炭素素材（グラファイトシャフト等）等の棒が好ましく用いられ、その先端には、基板１に接触傷が付かないようにゴム等の弾性材料が設けられていることが好ましい。

長尺支持部１５は、ロボット２１からみてカセット１１の奥側から手前側の開口部１９ａに向かって延びるように、奥側の枠体１３に基板１の左右幅方向に所定のピッチで複数設けられている。長尺支持部１５の長さは、後述する端部位置調整機構３１がこれを支持できる位置まで延びていることが好ましく、通常は、手前側の枠体１９に重なる位置まで延びているように設けることが好ましい。奥側の枠体１３に複数設けられる長尺支持部１５の基板１の左右幅方向におけるピッチは特に限定されないが、図２中に破線で示すハンドフォーク２３と平面視的に交互になるように所定のピッチで設けられていることが好ましい。長尺支持部１５としては、例えば軽量で高強度のアルミニウム合金製又は炭素素材（グラファイトシャフト等）等の棒が好ましく用いられ、少なくとも基板１と接触する側には、基板１に接触傷が付かないようにゴム等の弾性材料が設けられていることが好ましい。この長尺支持部１５は、端部位置調整機構３１で支持される端部１６を有するが、この端部１６は、図２に示すように一回り小さい径からなる部材であってもよいし、同じ径のままであってもよい。さらに、基板１を直接に支承又は下降させる構成の基板搬出搬入装置を用いる場合には、端部１６は省略することができ、長尺支持部１５の長さはカセット１１の開口部に達するほど長く製作する必要はない。この場合、長尺支持部１５のコストを比較的低く抑えることができる。

カセット１１は、図3及び図４に示すように、基板１を載せる短尺支持部１４と長尺支持部１５とで構成される段が多段状に所定のピッチで積層された構造をなすものである。基板１を載置する各段の積層方向のピッチは特に限定されるものではなく、ハンド２２のフォーク２３の進出・後退が許容される間隔に設定されればよい。なお、本実施の形態では、各段（基板積層）のピッチは、後述する端部位置調整機構３１を適用することにより、大型化する基板１に対して相対的に狭いピッチとすることができる。従って、カセット１１は、各段のピッチを小さくして単位空間体積当たりの基板の収納枚数が増すように設計して、基板の生産増への対応が容易にできるものとすることができる。

（基板搬出搬入補助装置）
次に、本実施の形態における基板搬出搬入補助装置としての端部位置調整機構３１の概要を図２から図４を参照して説明する。なお、図３においては、基板１の表示を省略している。端部位置調整機構３１は、支承部材３０と昇降機構３００とより主に構成され、ハンドフォーク２３を有するハンド２２が出入りするカセット１１の手前側の枠体１９の開口部１９ａ近傍に設けられている。

昇降機構３００は、両サイドの支柱４０，４０とその間を橋渡す形態で設けられたビーム３４より主になり、支柱４０，４０内には、例えば、基板１の積層方向に延びるリニアガイド及びスライダーを有する装置をタイミプーリーとタイミングベルトを用いた駆動系で動作する装置が設けられている。

支承部材３０は、昇降機構３００の駆動によって、長尺支持部１５の端部１６を支承又は下降させるために、ビーム３４の長尺支持部１５の端部１６に対応する部分に設けられ、カセット１１の基板収納領域に進出・後退可能とされている。そして、支承部材３０は、カセット１１の基板収納領域に進出した場合には長尺支持部１５に当接して、これを支承又は下降させることができるようになっている。この支承部材３０は、各段毎の長尺支持部１５の端部１６と同じ位置に設けられているように設計され、各段毎の長尺支持部１５の全てを支承又は下降させることができるように、各段毎の長尺支持部１５と同じ数だけ設けられている。支承部材３０の形状や長さは特に限定されないが、図３に示すように、数ｃｍ程度の長さで形成されていることが好ましい。なお、ビーム３４には、さらに、マッピングセンサー４１が設けられており、カセット１１に収納された基板１の位置を検出可能となっている。

このような端部位置調整機構３１は、所定の段を構成する長尺支持部１５の端部１６の位置又はその段に収納される基板１の端部の位置を調整して、ハンドフォーク２３を有するハンド２２をカセット１１の手前側から奥側に進出させるための空間及び／又は奥側から手前側に後退させるための空間を拡大するように動作する。たとえば、図３及び図４に示すように、昇降手段３００のビーム３４及び支承部材３０が、最上段から２段目の基板１ａを載置する長尺支持部１５ａを支承すると、その１段下の基板１ｃは撓んだ状態で長尺支持部１５ｃの上に載置されているので、ハンドフォーク２３の進出・後退が確実にできるよう基板１ａと基板１ｃとの間の空間が十分に拡大されることになる。なお、本実施の形態の端部位置調整機構３１では、図示しない別のビーム及び支承部材が、最上段の基板１ｂの長尺支持部１５ｂを支承しており、基板１ａと基板１ｂとの間の空間も十分に確保されている。

ここで、基板１ｃを載置する長尺支持部１５ｃ以下の段にも基板１（図３では図示省略）が載置収納されて、撓んだ状態となっている。すなわち、収納された基板１及びこれを載置する長尺支持部１５は、カセット１１の奥側から手前側にかけて下側に傾斜するように撓んでおり、さらに、左右の短尺支持部１４から基板の中央に向けて撓みが大きくなっている（図４参照）。このようなカセット１１の各段間の空間は、ハンドフォーク２３の進出・後退するのに十分なものではないが、端部位置調整機構３１の昇降手段３００のビーム３４及び支承部材３０による支承によって、ハンドフォーク２３の進出・後退可能な空間が確保されるようになっている。

このような端部位置調整機構３１は、図１に示すようにカセット台２から設立して設けてもよいし、カセット１１の手前側の枠体１９に設けてもよい。こうした端部位置調整機構３１は、図２〜図４に示すようにカセット１１の開口部近傍に設けられることにより、少なくとも１つの端部１６（１６ａ，１６ｂ，１６ｃ）を支承又は下降させるために、１軸又は２軸以上の昇降機構３００を有している。カセット１１の開口部近傍に設けられた端部位置調整機構３１は、２軸以上の複数のスライド機構を併用することができる点で好ましい。

（基板搬送ロボット）
次に、本発明の基板搬出搬入システムに使用される基板搬送ロボットについて説明する。本発明に使用されるロボットは、本発明の基板搬出搬入方法を実現できるハンドを有するものであれば特に限定されず、各種の形態のロボットを使用することができる。

図５は、本発明に使用されるロボットの駆動形態を示す模式図である。ロボット２１は、１つのハンドを有するものであってもよいが、図５に示すように２つのハンド２２ａ，２２ｂを有するものが好ましく用いられる。図５において、ロボット２１は、４本のハンドフォーク２３ａが取り付けられたハンド支持部２４ａを２つのアーム２５ａ，２６ａで駆動する第１ハンド２２ａと、同じく４本のハンドフォーク２３ｂが取り付けられたハンド支持部２４ｂを２つのアーム２５ｂ，２６ｂで駆動する第２ハンド２２ｂとを有している（以下、ハンドフォークを有するハンドのことを、特にことわらない限り、単に「ハンド」という。）。従来の基板搬出搬入システムと同様、本発明の基板搬出搬入システムにおいても、２つのハンド２２ａ，２２ｂを有するロボット２１が好ましく用いられる。２つのハンド２２ａ，２２ｂを有するロボット２１は、それぞれのハンド２２ａ，２２ｂが独立に動作するので、搬出搬入を効率的に行うことができる。なお、図５中、符号２７は基台を示している。

図６及び図７は、本発明に使用される端部位置調整機構を備えるロボットの具体的な一例を示す右側面図（図６（Ａ））、正面図（図６（Ｂ））及び平面図（図７）である。なお、図５の基板搬送ロボットと同一の構成については、同一の符号を付して詳細な説明を省略する。このロボット２１は、２つのハンド２２ａ，２２ｂを有し、さらに、端部位置調整機構３１を備えている。２つのハンド２２ａ，２２ｂは、昇降シャフト２９に取り付けられて基台２７に装着されている。基台２７は、アンカーボルト等で固定フレーム２８又は固定レールに固定されている。一方、端部位置調整機構３１は、ハンドフォークの先端付近に配置されており、その端部位置調整機構３１を伸縮可能にするスライド部材３５ａを備えている。また、端部位置調整機構３１は、長尺支持部１５の端部１６を支承又は下降させるための昇降部材３５を備えている。そして、昇降部材３５の先端には、支承部材３０が配設されたビーム３４が設けられている。本発明においては、端部位置調整機構３１を伸縮及び昇降可能にする機構（昇降部材３５）を備えるので、長尺支持部１５の端部１６を支承又は下降することができ、ハンド２２ａ，２２ｂが基板を搬出搬入する際に、その搬出搬入を確実に行うことができる。なお、ハンドフォークは、例えばカーボン繊維と樹脂の複合材料等で構成することができ、高い剛性と軽量化を図ることができるが、特に限定されるものではなく、金属などであってもよい。

本発明において、図６及び図７に示すような端部位置調整機構３１を備えるロボット２１を使用する場合には、図１〜図４に示すような端部位置調整機構３１をカセット１１近傍に設ける必要はない。

（基板搬出搬入方法）
次に、上記基板搬出搬入システムを利用した本発明の基板搬出搬入方法について説明する。図８は、本発明の基板搬出搬入方法を説明するための概略平面図である。この図は、基板が収納される一つの段の構成を示す平面図（Ａ）と、その左側面図（基板搬出搬入方向から見た図）であり、カセット１１の奥側の枠体１３から延びる３本の長尺支持部１５が、端部位置調整機構３１が備える３つの支承部材３０で支承又は下降される態様を示したものである。なお、ロボット２１のハンド２２のハンドフォーク２３は、各長尺支持部１５を等間隔で挟むように４本設けられている。以下に示す各形態においては、端部位置調整機構が設けられている部位は特に特定せず、カセットの開口部近傍に設けられていても、ロボットに設けられていてもよい。なお、長尺支持部１５と短尺支持１４上に載置される基板は図示を省略している。

図９〜図１４は、本発明の基板搬出搬入方法の各例を示す概念的な説明図である。なお、上述した基板１がカセット１１に載置された際の撓みについては、図示を省略している。本発明の基板搬出搬入方法は、上述したカセット１１に対して、基板を搬入し及び搬出するためのロボット２１を用いた方法であり、その特徴は、対象基板１ａを載置する長尺支持部１５ａの手前側の端部１６ａ又は対象基板１が載置された長尺支持部１５ａの手前側の端部１６ａを支承して、カセット内でのハンド２２の進出又は後退のための空間を拡大する支承工程Ａを含み、対象基板の搬出工程及び搬入工程が、支承工程Ａと共に行われることにある。こうした特徴を有する基板搬出搬入方法の第１形態〜第６形態を順に説明する。

図９は、第１形態に係る基板搬出搬入方法の説明図である。なお、図中矢印Ｈは、基板搬出時におけるハンド２２の移動方向を示す（以下、図１０〜図１４において同じ）。搬出工程は、対象基板１ａが載置された長尺支持部１５ａの端部１６ａを支承する支承工程Ａと、長尺支持部１５ａに載置された対象基板１ａの下方にハンド２２が位置するように、ハンド２２をカセットの手前側から奥側に進出させる工程（Ｓ１）と、ハンド２２を上方に移動して（Ｓ２）長尺支持部１５ａよりも上方に対象基板１ａを持ち上げる工程（Ｓ３）と、対象基板１ａを載せたハンド２２を奥側から手前側に後退させて（Ｓ４）対象基板１ａをカセット外に取り出す工程（Ｓ５）とを含み、これらの工程がこの順で行われる。この搬出工程においては、支承工程Ａにより、カセット内に空（カラ）のハンド２２が進出する空間を拡大することができるので、ハンド２２が上下の段に載置された基板１ｂ，１ｃや支持部（短尺支持部１４及び長尺支持部１５ｂ，１５ｃ）に接触するのをなくすことができる。その結果、搬出工程を確実に行うことができる。

この搬出工程時での支承工程Ａは、支承部材３０が長尺支持部１５ａの端部１６ａをその位置で保持、又は若干押し上げるように保持する工程であり、図９の第１形態において、搬出工程時での支承工程Ａの開始はハンド２２が手前側から奥側に進出させる工程（Ｓ１）の前であり、搬出工程時での支承工程Ａの解除は対象基板１ａをカセット外に取り出した（Ｓ５）後である。

搬入工程は、上述の搬出工程とは逆の手順により実行され、矢印Ｈとは反対の方向にハンド２２が駆動される。先ず、対象基板１ａを載置する長尺支持部１５ａの端部１６ａを支承する支承工程Ａと、長尺支持部１５ａよりも上に対象基板１ａが位置するように、対象基板１ａが載ったハンド２２をカセットの手前側から奥側に進出させる工程（Ｓ５及びＳ４）と、ハンド２２を下方に移動して長尺支持部１５ａ上に対象基板１ａを載置する工程（Ｓ３）と、対象基板１ａの下方にハンド２２が位置した状態（Ｓ２）でハンド２２を奥側から手前側に後退させる工程（Ｓ１）とを含み、これらの工程がこの順で行われる。この搬入工程においては、支承工程Ａにより、対象基板１ａを載置する長尺支持部１５ａが撓まないので、その長尺支持部１５ａ上に対象基板１ａを確実に載置することができる。また、カセット内の長尺支持部１５ａ及び短尺支持部１４上に対象基板１ａを載せた後の空のハンド２２が後退する空間を拡大すること、又はその空間が狭まることを防止することができるので、ハンド２２が上下の長尺支持部１５ｂ，１５ｃに接触するのをなくすことができる。その結果、搬入工程を確実に行うことができる。

上記搬出工程時と同様、搬入工程時での支承工程Ａは、支承部材３０が長尺支持部１５ａの端部１６ａをその位置で保持、又は若干押し上げるように保持する工程であり、図９の第１形態において、搬入工程時での支承工程Ａの開始は対象基板１ａを載せたハンド２２が手前側から奥側に進出させる工程（Ｓ４）前であり、搬入工程時での支承工程Ａの解除は空のハンド２２をカセット外に取り出した（Ｓ１）後である。

図１０は、第２形態に係る基板搬出搬入方法の説明図である。この第２形態に係る方法の搬出工程は、支承工程Ａが解除されるタイミングが上記第１形態に係る方法の搬出工程と若干異なる点を除いて、第１形態の係る方法と同じであるので、重複する部分についてはその記載を省略する。すなわち、第２形態に係る方法の搬出工程は、対象基板１ａが載置された長尺支持部１５ａの端部１６ａを支承する支承工程Ａと、長尺支持部１５ａに載置された対象基板１ａの下方にハンド２２が位置するように、ハンド２２をカセットの手前側から奥側に進出させる工程（Ｓ１）と、ハンド２２を上方に移動して（Ｓ２）長尺支持部１５ａよりも上方に対象基板１ａを持ち上げる工程（Ｓ３及びＳ４）と、この持ち上げる工程と同時に又は持ち上げる工程後に支承工程Ａを解除する工程と、対象基板１ａを載せたハンド２２を奥側から手前側に後退させて対象基板１ａをカセット外に取り出す工程（Ｓ５）とを含み、これらの工程がこの順で行われる。この搬出工程においては、支承工程Ａが解除されると長尺支持部１５ａの先端側が下方に撓むので、対象基板１ａを載せたハンド２２の後退を確実に行うことができる。

搬入工程においても支承工程Ａが開始されるタイミングが上記第１形態に係る方法の搬入工程と若干異なる点を除いて、第１形態の係る方法と同じであるので、重複する部分についてはその記載を省略する。したがって、第２形態に係る方法の搬入工程は、対象基板１ａが載ったハンド２２をカセットの手前側から奥側に進出させる工程（Ｓ５及びＳ４）と、対象基板１ａを載置する長尺支持部１５ａの端部１６ａを支承する支承工程Ａと、この支承工程Ａと同時に又は支承工程Ａ後に、ハンド２２を下方に移動して長尺支持部１５ａ上に対象基板１ａを載置する工程（Ｓ３）と、対象基板１ａの下方にハンド２２が位置した状態（Ｓ２）でハンド２２を奥側から手前側に後退させる工程（Ｓ１）とを含み、これらの工程がこの順で行われる。この搬入工程においては、対象基板１ａが載ったハンド２２の進出が、上述した第１形態に係る基板搬出搬入方法の場合よりも、より確実に行うことができる。

図１１は、第３形態に係る基板搬出搬入方法の説明図である。この第３形態に係る方法は、上記第１形態及び第２形態に係る方法の搬出工程及び搬入工程において、対象基板１ａを載置する長尺支持部１５ａ又は対象基板１ａが載置された長尺支持部１５ａよりも一段上の長尺支持部１５ｂの手前側の端部１６ｂを支承する支承工程Ｂをさらに含む方法であり、カセットからの対象基板１ａの搬出工程及びカセットへの対象基板１ａの搬入工程が、その支承工程Ｂと共に行われることに特徴がある。

この第３形態に係る方法は、上記支承工程Ｂの開始と解除が支承工程Ａと同時に行われることに特徴があり、その他の点では上記第１形態及び第２形態に係る方法と同じである。この第３形態に係る方法によれば、一段上の長尺支持部１５ｂの手前側の端部１６ｂを支承する支承工程Ｂをさらに含むので、ハンド２２による基板の搬出時及び搬入時において、対象基板を載置する長尺支持部１５ａ又は対象基板が載置された長尺支持部１５と、そのすぐ上の長尺支持部１５ｂとの空間をより拡大させることができる。その結果、対象基板１ａの搬出時においては、基板を載せたハンド２２をカセット内から後退させるときの空間が広くなり、対象基板１ａの搬入時においては、基板を載せたハンド２２をカセット内に進出させるときの空間が広くなり、それらの動作をより一層確実に行うことができる。なお、図１１において、フロー（１）は第１形態と同じタイミングによる。（２）は第２形態と同じタイミングによる。

図１２は、第４形態に係る基板搬出搬入方法の説明図である。この第４形態に係る方法は、図１１に示した第３形態に係る方法の搬出工程及び搬入工程において、対象基板１ａを載置する長尺支持部１５ａ又は対象基板１ａが載置された長尺支持部１５ａよりも一段下の長尺支持部１５ｃの手前側の端部１６ｃを押し下げる下降工程をさらに含む方法であり、カセットからの対象基板１ａの搬出工程及びカセットへの対象基板１ａの搬入工程が、その下降工程と共に行われることに特徴がある。

この第４形態に係る方法は、上記下降工程の開始と解除が支承工程Ａ及び支承工程Ｂと同時に行われることに特徴があり、その他の点では上記第３形態に係る方法と同じである。この第４形態に係る方法によれば、一段下の長尺支持部１５ｃの手前側の端部１６ｃを押し下げる下降工程をさらに含むので、ハンド２２による基板の搬出時及び搬入時において、対象基板１ａを載置する長尺支持部１５ａ又は対象基板１ａが載置された長尺支持部１５と、そのすぐ下の長尺支持部１５ｃとの空間をより拡大させることができる。その結果、対象基板１ａの搬出時においては、基板を載せたハンド２２をカセット内から後退させるときの空間が広くなり、対象基板１ａの搬入時においては、基板を載せたハンド２２をカセット内に進出させるときの空間が広くなり、それらの動作をより一層確実に行うことができる。

図１３は、第５形態に係る基板搬出搬入方法の説明図である。この第５形態に係る方法は、図１２に示した第４形態に係る方法の搬出工程及び搬入工程において、対象基板１ａを載置する長尺支持部１５ａ又は対象基板１ａが載置された長尺支持部１５ａの支承工程Ａの開始及び解除のタイミングを上記第２形態に係る方法と同じにした方法である。

すなわち、第５形態に係る方法の搬出工程は、対象基板１ａが載置された長尺支持部１５ａの端部１６ａを支承する支承工程Ａと、この支承工程Ａと同時にその長尺支持部１５ａより一段上の長尺支持部１５ｂの端部１６ｂを支承する支承工程Ｂと、この支承工程Ａ，Ｂと同時にその長尺支持部１５ａより一段下の長尺支持部１５ｃの端部１６ｃを押し下げる下降工程と、長尺支持部１５ａに載置された対象基板１ａの下方にハンド２２が位置するように、ハンド２２をカセットの手前側から奥側に進出させる工程（Ｓ１〜Ｓ２）と、ハンド２２を上方に移動して長尺支持部１５ａよりも上方に対象基板１ａを持ち上げる工程（Ｓ３及びＳ４）と、この持ち上げる工程と同時に又は持ち上げる工程後に支承工程Ａを解除する工程と、対象基板１ａを載せたハンド２２を奥側から手前側に後退させて対象基板１ａをカセット外に取り出す工程（Ｓ５）とを含み、これらの工程がこの順で行われる。そして、最後に支承工程Ｂと加工工程が解除される。

また、第５形態に係る方法の搬入工程は、対象基板１ａが載置される長尺支持部１５ａより一段上の長尺支持部１５ｂの端部１６ｂを支承する支承工程Ｂと、この支承工程Ｂと同時にその長尺支持部１５ａより一段下の長尺支持部１５ｃの端部１６ｃを押し下げる下降工程と、対象基板１ａが載ったハンド２２を対象基板１ａが載置される長尺支持部１５ａの上方の位置に手前側から奥側に進出させる工程（Ｓ５及びＳ４）と、対象基板１ａを載置する長尺支持部１５ａの端部１６ａを支承する支承工程Ａと、この支承工程Ａと同時に又は支承工程Ａ後に、ハンド２２を下方に移動して長尺支持部１５ａ上に対象基板１ａを載置する工程（Ｓ３）と、対象基板１の下方にハンド２２が位置した状態（Ｓ２）でハンド２２を奥側から手前側に後退させる工程（Ｓ１）とを含み、これらの工程がこの順で行われる。そして、最後に、支承工程Ａ，Ｂと加工工程が解除される。

この第５形態に係る方法は、基板の搬出工程及び搬入工程のいずれの場合においても、ハンド２２の進出時及び後退時の空間を最も広くすることができるので、それらの動作をより一層確実に行うことができる。

図１４は、第６形態に係る基板搬出搬入方法の説明図である。この第６形態に係る方法は、上述した第１〜第５形態に係る方法とは異なり、対象基板１ａを載置する長尺支持部１５ａの端部１６ａ又は対象基板１ａが載置された長尺支持部１５ａよりも一段上の長尺支持部１５ｂの端部１６ｂを支承する支承工程Ｂと、対象基板１ａを載置する長尺支持部１５ａ又は対象基板１ａが載置された長尺支持部１５ａよりも、一段下の長尺支持部１５ｃの端部１６ｃを押し下げる下降工程とを含み、長尺支持部１５ａの端部１６ａを支承又は下降させないことに特徴がある。この第６形態においては、支承工程Ｂと下降工程の両方ではなく、いずれか一方を実施する工程としてもよい。

この第６形態に係る発明は、上述した第１〜第５形態の方法のように対象基板１ａを載置する長尺支持部１５ａ又は対象基板１ａが載置された長尺支持部１５ａを支承するのではなく、その長尺支持部１５ａの一段上の長尺支持部１５ｂを支承すると共に一段下の長尺支持部１５ｃを下降させる。こうした支承工程Ｂ及び／又は下降工程により、長尺支持部１５ａと、そのすぐ上の長尺支持部１５ｂとの空間及びそのすぐ下の長尺支持部１５ｃとの空間をより拡大させることができる。その結果、対象基板１ａの搬出時と搬入時において、ハンド２２の進出又は後退のための空間を広くすることができるので、それらの動作を確実に行うことができる。なお、第５形態においては、支承工程Ｂと下降工程は、Ｓ１の前に実行し、Ｓ４又はＳ５の後に解除することが望ましい。

以上説明したように、本発明の基板搬出搬入方法によれば、各段毎のピッチを小さくして単位空間体積当たりの基板の収納枚数が増すように設計されたカセットを用いた場合であっても、基板の搬出及び搬入を確実に行うことができる。
こうした本発明は、従来のバックサポート型カセットの基本構造に端部位置調整機構を加えることによって達成できるので、特殊なアームや機構を有するロボットを必要とせず、また、従来の他の基板搬出搬入方法のような複雑な機構も必要ではないので、低コストで実現することができる。

（端部位置調整機構）
次に、基板搬出搬入補助装置の一例として、長尺支持部の手前側の端部を支承又は下降させる端部位置調整機構について詳述する。上述したように、端部位置調整機構３１は、ハンド２２をカセット１１の手前側から奥側に進出させるための空間及びハンド２２をカセット１１の奥側から手前側に後退させるための空間を拡大するための装置であり、上記第１形態〜第６形態の係る方法で説明したように、対象基板１ａを載置する長尺支持部１５ａの端部１６ａ、その長尺支持部１５ａよりも一段上の長尺支持部１５ｂの端部１６ｂ、及び、その長尺支持部１５ａよりも一段下の長尺支持部１５ｃの端部１６ｃから選ばれる少なくとも１つの端部を支承又は下降させる装置である。

こうした端部位置調整機構３１は、図１のカセット台２上に設けられた形態のように、カセット１１の手前側の開口部の近傍に設けられていてもよいし、図６及び図７に示した形態のように、ロボットに設けられていてもよい。端部位置調整機構をカセット１１の開口部１９ａの近傍に設ける場合には、１軸はもちろん、２軸以上の複数の昇降機構を設けることができる点で好ましい。また、端部位置調整機構をロボットに設ける場合には、端部位置調整機構をロボットの他のハンドの先端に設けることにより、カセットやカセット毎に端部位置調整機構を設ける必要がなく、コスト的な効果を高めることができる。

図１５は、カセットの開口部近傍に装着された端部位置調整機構３１の一例を示す正面図であり、図１６〜図１８は、端部位置調整機構に各要素の拡大図である。図１６は図１５におけるＡ部の拡大図、図１７は図１６における側面図。図１８は図１５におけるＢ部の拡大図であり、図１８（ａ）は、その平面図、図１８（ｂ）は正面図、図１８（ｃ）は側面図である。なお、これら図１５〜図１８は、透視図であり内部構造を示している。

端部位置調整機構３１は、カセットの手前側の枠体１９に取り付けられるものであり、その基板を搬出搬入する開口部１９ａの近傍に装着されてロボットの動作と連動して長尺支持部１５の端部１６を支承又は下降させるように動作する。なお、端部位置調整機構３１は、カセット１１の枠体１９と対向するようにカセット台２上に設立されていてもよい（図１を参照）。さらに、長尺支持部１５の端部１６に代えて、開口部１９ａの側から基板を支承又は下降させる端部位置調整機構としても機能させることができるものである。なお、符号４１は、マッピングセンサーであり、基板位置を検出するためのものである。

端部位置調整機構３１は、カセットの手前側の枠体１９に取り付けられた左右の支柱４０，４０と、それらの間に差し渡されて基板の積層方向に沿って移動可能であるとともに支承部材としてのレバー３０を複数有するビーム３４とにより門型構造に形成されている。なお、本実施の形態において、ビーム３４は、レバー３０を基板の積層方向に沿って移動可能に支持する昇降機構３００の一部をなすものであり、下側ビーム３４ａと上側ビーム３４ｂとが連結部材３４ｃによって上下方向に一定の距離をもって一体に連結されて構成されている。また、支柱４０及びビーム３４は、中空形状に形成されて、その内部に後述するスライド機構４００やレバー３０の駆動機構を内蔵している。このような機構を内蔵する構成によって、端部位置調整機構３１の駆動による発塵を抑制することができるので、液晶表示パネルやプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）の製造工程で要求される清浄雰囲気を汚染することがない。

左右の支柱４０，４０には、ビーム３４を昇降させるスライド機構４００として、ガイドレール３５と、そのガイドレール３５上をスライドする３つのキャリッジ４８で構成されたスライダー４９とからなる左右一対の直動案内装置（リニアモーションガイドという。）が設けられている。さらに、支柱４０，４０の一端には、昇降駆動源４２からの駆動力が伝達されるプーリー４７ａが設けられ、他端には従動プーリー４７ｂが回転自在に軸支されている。そして、プーリー４７ａと従動プーリー４７ｂとの間には、スライダー４９に両端が連結されることにより無端ベルト状に形成されたタイミングベルト３６が装着されている。従って、スライダー４９は、駆動源によるプーリー４７ａの回転駆動に対応して、基板積層方向である上下方向に移動可能となっている。そして、スライダー４９は、ビーム３４を支持して昇降するようになっている。なお、図１５中の最上部に点線で示すビーム３４は、最上部に上昇したビーム３４を示す。

また、左右の支柱４０，４０内は、ある程度の空間を有するので、一方側の支柱４０の空間には移動可能なケーブルベア５０が挿入されている。なお、ベアケーブル５０は、後述するレバー３０を駆動するエアー供給チューブやマッピングセンサー４１の信号線等のビーム３４を制御するための各種ケーブル等を結束収納するものであり、その一端がスライダー４９に接続され、他端がガイドレール３５と対向する支柱４０の内壁に固定されている。ベアケーブル５０は、スライダー４９の昇降移動に対応して支柱４０内を移動し、その昇降移動を阻害しないように設けられている。

次に、図１６を参照して、スライド機構４００の昇降駆動源４２について説明する。本実施の形態の昇降駆動源４２は、サーボモーター４２である。このサーボモーター４２の駆動回転は、カップリング４３とベアリング（サポートユニット）４４を介して減速機４５に伝えられるようになっている。サーボモーター４２からの回転駆動力は、減速機４５に連結されたシャフト４６を介して、左右の支柱４０，４０のプーリー４７ａに伝達される。そして、プーリー４７ａの回転に対応して、スライダー４９が昇降駆動される。また、図１５中、右側の支柱４０のプーリー４７ａは、シャフト４６の一端に直接連結されて回転駆動するように設けられている。一方、図１５中、左側の支柱４０のプーリー４７ａは、シャフト４６の他端に連結されたベアリング（サポートユニット）５１とジョイント５２とカップリング５３とドライブシャフト５４とを介して、回転駆動するようになっている。なお、減速機４５ベアリング（サポートユニット）５１とジョイント５２とカップリング５３とドライブシャフト５４等は、支柱４０及びビーム３４と同様に中空形状に形成されたフレーム５５に収容されていることが、防塵の点で望ましい。

本実施の形態では、昇降駆動源４２は、支柱４０の外部に設けられているが、支柱４０内の空間に設けるようにしてもよい。また、左右の支柱４０内のスライド機構４００をそれぞれ独立の昇降駆動源によって駆動してもよく、リニアモータにより直接駆動する構成とすることもできる。このように昇降駆動源は、サーボモーターに限定されず、ＤＣモータやリニアモータ等を用いる等種々の変形が可能である。同様に、昇降駆動機構も本実施の形態に限定されるものではない。

図１７は、端部位置調整機構３１の側面の拡大図である。端部位置調整機構３１は、取付治具８１によって、例えばカセットの手前側の枠体１９に固定されている。なお、端部位置調整機構３１の固定方法や固定箇所は特に限定されるものではなく、カセット台２の側面に取り付ける構成としてもよい。

次に、ビーム３４は、図１６に拡大して示すように、下側ビーム３４ａと上側ビーム３４ｂとが連結部材３４ｃによって上下方向に一定の距離をもって一体に連結されている。下側ビーム３４ａと上側ビーム３４ｂには、それぞれ上下に対向するように支承部材３０としてのレバー３０が所定の間隔で同数設けられている（図１５参照）。なお、レバー３０は、端部位置調整機構３１が作動して長尺支持部１５又は基板を支承又は下降させる際に、これらに当接して支承又は下降状態を支持する部材である。

このビーム３４の両端は、ベアリングホルダー８２を介して左右のスライダー４９に連結されている。このようにしてビーム３４は、スライダー４９の昇降によって、基板積層方向に移動可能となっている。なお、左右のベアリングホルダー８２は、左右のスライダー４９の昇降移動量に誤差が生じた場合に、その誤差を補正してビーム３４とスライダー４９との間発生する応力を吸収し、左右のスライダー４９の駆動、すなわちビーム３４の昇降作動をスムースにするためのものである。

また、ビーム３４には、マッピングセンサー４１が取り付けられている。このマッピングセンサー４１は、カセットの基板収納部に向けてレーザー光を射出し、カセットに収納されている基板からの反射光を受光して、基板の収納位置を検出するものである。マッピングセンサー４１からの検出信号を演算することにより、端部位置調整機構３１及びこれに連動するロボット２１の作動を制御することができる。

次に、支承部材としてのレバー３０及びその駆動機構について、図１６及び図１８を参照して説明する。なお、図１８（ａ）（ｂ）（ｃ）は、カセット１１に対して繰り出されていない状態のレバー３０（支承部材）を示している。また、レバー３０は下側ビーム３４ａと上側ビーム３４ｂにそれぞれ設けられているがその構成及び駆動は同一であるので、以下ビーム３４のレバー３０により説明する。

レバー３０は、爪部３２と垂直支承部としての爪延出部６７ａとよりなる。なお、爪延出部６７ａは爪シャフト６７の一部をなし、爪部３２は爪シャフト６７の先端側から基板と略平行な方向に延出する。爪シャフト６７は、基板積層方向と平行な姿勢でビーム３４を貫通してベアリング６９，６９に回動可能に軸支されている。従って、爪部３２は、爪シャフト６７の回動によって、カセットの長尺支持部１５又はカセットに収納された対象基板に当接可能な位置（カセット１１の基板収納領域）に対して進出・後退が可能とされている。なお、爪部３２の先端には、ローラー３３が装着され、支承又は下降させる対象基板１に接触する際の滑りを向上させて傷の発生を防いでいる。すなわち、爪部３２は、ビーム３４の昇降作動に応じて、長尺支持部１５又は対象基板に対してその上側と下側の両方から当接可能となっている。

また、爪延出部６７ａは、垂直支承部として、レバー３０が長尺支持部１５又は対象基板を支承又は下降している場合に、ビーム３４と爪部３２とを十分に離間させて、進出後退するハンド２２がビーム３４と緩衝しない状態での基板の支承又は下降を可能としている。従って、爪延出部６７ａの長さは、下側ビーム３４ａと上側ビーム３４ｂとの間隔、カセット１１の基板１の積層ピッチ、及び端部位置調整機構３１が調整対象とする基板の選択によって、ハンド２２の進出・後退を許容するスペースを確保するように決定される。ここで、ハンド位置の選択とは、搬出搬入の対象とする対象基板を支承するか、対象基板よりも一段上の基板を支承するか、若しくは、対象基板よりも一段下の基板を下降させるか、又はこれら支承及び下降の組合せを選択することをいう。なお、下側ビーム３４ａと上側ビーム３４ｂは、その間にロボットハンド２２の通過を許容する間隔で且つ、各ビームに配置されたレバー３０が隣接する段の基板を支承又は下降できるように設けられている。

次に、爪シャフト６７のベアリング６９，６９に軸支される部分の中間には、リンク部材６６が爪シャフト６７と一体回転するように固定されている。リンク部材６６の爪シャフト６７に固定される側とは反対の端部には、ロッド６３のロッドエンド６５，６５が可動に連結されている。ロッド６３は、エアシリンダ６１によって支柱４０に近づき又は離れる方向に往復運動可能とされている。そして、ロッド６３の往復運動によってロッドエンド６５，６５が図１８中の矢印Ｗの方向に往復移動し、これに押されてリンク部材６６が図１８中の矢印Ｒの方向に９０°往復回動する。これによって、爪シャフト６７も回動して、その先端に設けられたレバー３０は、９０°旋回して、カセットの長尺支持部１５又はカセットに収納された対象基板１に当接可能な位置に対して進出・後退するように構成されている。なお、ロッド６３は、エアシリンダ６１側に配置される場合は一端側がジョイント６２によってエアシリンダ６１と連結されて他端側がロッドエンド６５としてリンク部材６６に連結されており、各レバー３０間に配置される場合はロッドエンド６５を両端に有して両端側がリンク部材６６に連結されている。

本実施の形態においては、レバー３０の駆動源は、エアシリンダ６１としているが、これに限らずソレノイドやリニアモータ等を用いることもできる。また、駆動伝達手段としては、リンク部材６６とロッド６３による他、駆動源に応じてラックアンドピニオンやカム機構を用いることもできる。レバー３０の駆動源及び駆動機構は、本実施の形態に限定されるものではない。

このように構成された端部位置調整機構３１は次のように作動する。例えば、スライド機構４００により対象基板１の近傍の所定位置にまでビーム３４を昇降させた後、エアシリンダ６１を駆動させてレバー３０を旋回しさせる。すなわち、基板収納領域に繰り出す。その後、スライド機構４００を微動させてレバー３０を長尺支持部１５又は対象基板１に当接させて、さらにスライド機構を駆動し、所望の空間が確保されるように対象基板１を支承又は下降させる。このような作動を繰り返すことにより、本発明の基板搬出搬入方法の形態を実施することができる。

（システムの制御）
次に、本発明の基板搬出搬入方法を実行する基板搬出搬入システムの制御について説明する。基板搬出搬入システムは、基板搬出搬入補助装置としての端部位置調整機構３１とロボット２１とを連動駆動させるもので、その制御装置としてコントローラ７０とロボットコントローラ７１とシーケンサー７２とが接続されている（図１参照）。図１９は、本発明の基板搬出搬入システムの制御装置を示すブロック図である。

端部位置調整機構３１のコントローラ７０は、ＣＰＵ（中央処理装置）７０１と、ＲＯＭ７０２と、ＲＡＭ７０３と、ＥＥＰＲＯＭ７０４と通信部７０５と外部入出力Ｉ／Ｆ７０６と、駆動制御部１１０とがバスによって接続されている。

ＣＰＵ７０１は、コントローラ７０の制御中枢を司るものであって、端部位置調整機構３１に対する制御を行うための演算処理を行う。

ＲＯＭ７０２は、端部位置調整機構３１の作動プロログラムを格納しているプログラム記憶部として機能する。また、ＲＡＭ７０３及びＥＥＰＲＯＭ７０４は、ＣＰＵ７０１と互いにインターフェースとている。ＲＡＭ７０３は、変数の書き込み及び読み出しがランダムに行なわれる。ＥＥＰＲＯＭ７０４は、電気的に何度でも記憶の消去・書き込みが可能であって、外部から電力を供給しなくても記憶を保持することができる。例えば、マッピングセンー４１による基板位置の検出データはＥＥＰＲＯＭ７０４に記憶される。

通信部７０５は、複数のＩ／Ｆ（インターフェース）を有し、ロボットコントローラ７１及びシーケンサー７２等がそれぞれ接続され、端部位置調整機構３１（基板搬出搬入システム）の制御のための各種データやプログラムの入出力がなされる。また、外部入出力Ｉ／Ｆ７０６は、端部位置調整機構３１に設けられたマッピングセンサー４１などが接続される。

駆動制御部７０７は、ＣＰＵ７０１による演算処理を経て作成された制御指令を受けて、昇降機構３００及びレバー３０の駆動源（駆動軸）の駆動を制御する。この駆動制御部７０７は、端部位置調整機構３１の駆動軸数に応じて、各駆動軸に対応する同数の駆動制御器を備える。

ロボットコントローラ７１は、端部位置調整機構３１のコントローラ７０と略同様の構成である。すなわち、演算処理を行うＣＰＵ、作動プログラムを格納するＲＯＭと、ワーキングエリアとしてのＲＡＭやＥＥＰＲＯＭ、通信部、外部入出力Ｉ／Ｆ、各駆動軸の駆動を制御する駆動制御部等を備え、ロボット２１の駆動軸を制御するものである。

シーケンサー７２はＣＰＵを搭載し、端部位置調整機構３１のコントローラ７０及びロボットコントローラ７１が接続されて、部位置調整機構３１とロボット２１との駆動が所定のタイミングでなされるように制御するものである。なお、コントローラ７０、ロボットコントローラ７１及びシーケンサー７２の接続は並列接続であり、どのような順番で接続してもよい。また、必要により、シーケンサー７２から一つのコントローラ（コントローラ７０又はロボットコントローラ７１）に接続し、さらにそこから複数の別のコントローラに接続することもできる。すなわち、複数の端部位置調整機構３１と複数のロボット２１とを一のシーケンサー７２に接続して、複雑な基板搬出搬入システムを構成することもできる。また、シーケンサー７２は、通常のパーソナルコンピュータで代替することもできる。

次に、このように制御装置が構成された基板搬出搬入システムの作動について説明する。
その作動は次の順で行なわれる。なお、ここでは、基板を直接に支承する動作を行う基板搬出搬入システムとして説明するが、基板下降動作により基板搬出搬入のための空間を拡大する場合であても、又は基板支承と下降の両動作による場合であっても、さらに、長尺支持部を支承又は下降させる場合であっても、同様の作動によることができる。

（１）シーケンサー７２は、端部位置調整機構３１のコントローラ７０に対して、基板１の有無を調べるマッピング指令を出す。

（２）コントローラ７０は、ＲＯＭ７０２からマッピング作動実行プログラムを呼び出し、このプログラムに基づき駆動制御部７０７から端部位置調整機構３１に対してマッピング動作実行命令を出す。このような命令によって、端部位置調整機構３１は、例えば、昇降機構３００を基板１の積層方向にカセット１１の最下段の位置から最上段の位置まで駆動させて、マッピングセンサー４１による走査を実行して、カセット１１における基板１の載置箇所（各段における基板１の収納の有無）を検出する。

（３）コントローラ７０は、マッピングセンサー４１からの基板１の有無検出の信号を外部入出力Ｉ／Ｆ７０６を経由して受信する。そして、ＣＰＵ７０１での演算処理によって、カセット１１における基板１の収納数や収納段の位置に関する基板収納情報を得る。この基板収納情報は必要により、ＥＥＰＲＯＭ７０４に記憶される。

（４）コントローラ７０は、シーケンサー７２に対して、マッピング作動完了の報告とともに基板収納情報を通知する。

（５）シーケンサー７２は、コントローラ７０に対して、基板収納情報に基づき基板の搬出又は搬入の対象となる所定の収納段へのアクセス指令を出す。

（６）コントローラ７０は、ＲＯＭ７０２から基板支承動作の実行プログラムを呼び出し、このプログラムと基板収納情報に基づき駆動制御部７０７から端部位置調整機構３１に対して基板支承動作の実行命令を出す。そして、上述したように昇降機構３００及びレバー３０が駆動されて、基板１の支承が実行され、支承状態となる。

（７）コントローラ７０は、例えば端部位置調整機構３１からの停止信号によって、基板支承状態となった端部位置調整機構３１の端部調整動作終了情報を得る。

（８）コントローラ７０は、端部調整動作終了情報を受けて、ロボットコントローラ７１に対して、端部調整動作終了情報を通知する。これと同時に又は事前にロボットコントローラ７１には、ロボット２１が対象基板１を搬出搬入する所定の収納段に関する位置情報を含む基板収納情報が通知される。

（９）ロボットコントローラ７１は、端部調整動作終了情報を受けて、ロボット２１に対して所定の収納段に対する対象基板１の搬入又は搬出の動作を指示する実行命令を出す。なお、この命令は、ロボットコントローラ７１のプログラム記憶部に予め格納されている動作プログラムに基づくものである。

（１０）ロボット２１が所定の搬入又は搬出する動作を完了すると、ロボットコントローラ７１にその動作完了情報が通知される。

（１１）ロボットコントローラ７１は、コントローラ７０に対して、ロボット２１の動作完了情報を通知する。さらにその動作完了情報は、コントローラ７０の通信部７０５を介してシーケンサー７２へ通知されて、所定の収納段に対する対象基板１の搬出搬入動作は完了する。

（１２）ロボット２１の動作完了情報を受けたコントローラ７０は、上述の（１１）と同時に又は直後又は直前に、端部位置調整機構３１に対して基板支承動作を解除する動作を実行する命令を出し、基板１の支承が解除される。なお、この解除動作は、（６）同様にＲＯＭ７０２から呼び出された実行プログラムに基づき実行される。

（１３）最後に、引き続き基板搬出搬入を行う必要がある場合は、ロボットの動作完了情報を受けたシーケンサー７２は、次の動作対象となる次の収納段に対する別の基板１の搬出又は搬入のために、コントローラ７０に対して、次の収納段へのアクセス指令を出す。そして、予定の基板搬出搬入が完了するまで、上述の（６）以降の作動が繰り返し実行される。

このように本発明の基板搬出搬入システムは、端部位置調整機構３１のコントローラ７０とロボット２１のロボットコントローラ７１とシーケンサー７２とよりなる制御装置によって制御されているので、基板搬出搬入補助装置としての端部位置調整機構３１とロボット２１とが連動駆動される。すなわち、本発明の基板搬出搬入システムでは、端部位置調整機構３１がロボット２１の駆動に先立って対象基板１が搬出搬入される所定の収納段にアクセスして基板を支承又下降させる。一方、ロボット２１は、制御装置からの命令と情報に基づきカセット１１の所定の収納段に対する対象基板１の搬入及び搬出を実行する。このとき、所定の収納段の位置情報がロボット２１に認識されているとともに、端部位置調整機構３１によって所定の収納段に対するロボット２１のハンド２２の進出・後退が可能な空間が拡大又は確保されているので、確実に基板の搬出及び搬入を行うことができる。

また、ロボット２１の作動において、対象基板１が搬入される所定の収納段又は搬出対象基板１の位置を走査して検知する必要がないので、ロボット２１は所定の収納段に対して、高速で、正確に基板１を搬出搬入することができる。

さらに、マッピングセンサー４１による基板位置走査及び基板の支承又は下降の実行・解除動作並びにその実行・解除のためのビーム３４の昇降動作など端部位置調整機構３１が動作する間に、ロボット２１はカセット１１に対して搬出搬入する対象基板１を処理する別の装置にアクセスし又は別のカセット１１に対する対象基板１の搬出搬入を行うことができる。従って、本発明の基板搬出搬入システムでは、搬送タクトを工程の待ち時間として無駄にすることなく、基板の製造工程の効率を高めることができる。

（変形例）
次に、第３〜第６形態のように、２つ以上の長尺支持部１５の端部１６をそれぞれ独立して支承又は下降させる場合には、２つ又は３つのビームを独立に駆動させることが必要である。その変形例を次に説明する。

例えば、ビームの連結部材３４ｃを基板積層方向である上下に伸縮駆動可能とし、その上下の端部に下側ビーム３４ａ及び上側ビーム３４ｂを支持する構成とすることができる。この場合、スライド機構４００と伸縮駆動する連結部材３４ｃとを順次又は独立に駆動することにより、それぞれ所望の長尺支持部又は基板を支承又は下降させることができる。また、下側ビーム３４ａの下側にさらに別のビームを固定又は上下移動可能に設けてもよい。また、連結部３４ｃの伸縮駆動に代えて、連結部３４ｃに昇降スライド機構を設けてもよい。いずれの場合も、各ビームの駆動に応じて、それぞれに配設されたレバー３０が駆動されることが好ましい。

さらに別の例としては、スライド機構４００を複数設けそれぞれにビーム３４を連結して、複数のビーム３４を昇降させることもできる。この場合、複数のスライド機構とエアシリンダー６１によるレバー３０の旋回動作をそれぞれ独立に行うことが好ましい。

次に、レバー３０の変形例を図２０から図２２に示す。図２０は、レバー３０１をカセット１１に収納された基板の開口部１９ａ側の端部又はその収納領域に対して、直角に直線的に繰り出す変形例の平面図である。図２０において、（ａ）はレバー３０が繰り出された進出状態を示す平面図、（ｂ）は基板収納領域から後退した状態を示す平面図、（ｃ）は正面図である。この変形例では、ビーム３４にレバーの数に対応する複数のソレノイドやエアシリンダー等のリニア駆動装置（図示しない）が内蔵されており、これらによってレバー３０１が図中矢印Ｌ１の方向に直線往復駆動される。このレバー３０１は、垂直支承部（爪延出部）がリニア駆動装置に直接設立されており、ビーム３４に設けたガイド切り欠き部３４ｄから基板積層方向に延出している（図２０（ｃ）参照）。その他の構成は、上述の実施の形態と同様であり、同じ構成には同一の符号を付してその説明は省略する。この変形例によれば、レバー３０１が基板に対して、直線的に進出・後退作動をするので、基板を直接に支承又は下降させる場合でも、基板を傷つけることは殆どない。

次に、図２１に、上述の変形例と同様に、レバー３０２をカセット１１に収納された基板の開口部１９ａ側の端部又はその収納領域に対して、直角に直線的に繰り出す別の変形例示す。この変形例では、ビーム３４に代えて、駆動機構を内蔵しないバー３４０を用いている。バー３４０には、所定間隔でレバー３０２が固定されている。バー３４０は、図中の矢印Ｌ２の方向に往復駆動可能な水平スライダー８３によって左右の両端を支持されている。水平スライダー８３は、例えば、支柱４０内のスライダー４９に連結されたシリンダ装置等により支柱４０に対して、基板搬出搬入方向に沿って離接駆動されるとともに、スライド機構４００により、基板搬送方向に昇降可能に支持されている。従って、レバー３０は、水平スライダー８３によって、カセット１１に収納された基板１及びその収納領域に対して進出・後退が可能となっている。なお、レバー３０２の形状は、上述の実施の形態と同様であるので説明は省略する。この変形例によれば、ビームとしてのバー３４０に駆動機構を備えないので、基板の近傍での塵埃発生を最小に抑制することができる。また、簡単な構成で高精度且つ安価なビームを提供することができる。

図２２にさらに別の変形例を示す。図２２において、（ａ）は本変形例のビームの正面図、（ｂ）は要部を拡大した側面図、（ｃ）は要部の拡大正面図である。この変形例のレバー３０３は、爪部３２０と垂直支承部６７０により構成されている。垂直支承部６７０は、カセット１１の基板積層方向と平行な方向にビーム３４に垂直に設立されている。垂直支承部６７０の先端部には軸３２１を介して、爪部３２０が回動可能に軸支されている。また、軸３２１にはビーム３４に内蔵された駆動伝達機構（図示しない）からベルト３２２により回動のための駆動力が伝達されるようになっている。爪部３２０はベルト３２２からの駆動力を受けて、図中矢印Ｒ２の方向に回動し、基板１の収納領域への進出・後退が可能となる。このよに、本変形例のレバー３０３は、基板１の収容領域に進出・後退する爪部３２０とこれを設けたビーム３４の昇降作動によって、基板又は長尺支持部の支承又は下降が可能となっている。

次に、上述の実施の形態においては、基板収納カセット１１としておもに、奥側から開口部又はその近傍にまで延出して基板を保持する長尺支持部１５を有するものであったが、本発明はそれ以外の基板収納カセットに対しても良好に適用することができる。その基板収納カセットについて説明する。なお、以下の説明において、上述の実施の形態と同様の構成については、同一の符号を付してその説明は省略する。

図２３は、本発明における基板搬出搬入装置を適用するカセットの別の例を示す平面図である。ここで、カセット１１０は、基板１を収納する各段に基板を載置する長尺支持部１５０を有する。この長尺支持部１５０は、カセット１１０の開口部１９ａにまでは延出せず、基板搬出搬入方向の１/５程度までの長さであり、奥側の枠体１３から延出している。このようなカセット１１０においても、開口部１９ａの側に基板搬出搬入補助装置としての端部位置調整機構３１を設けることができる。この場合、レバー３０は基板１の開口１９ａ寄りの部分を支承又は下降させるものとなる。なお、図２３においては、レバー３０が基板収納領域に進出した状態を示している。

図２４は、本発明における基板搬出搬入装置を適用するカセットのさらに別の例を示す平面図である。カセット１１１は、基板１を収納する各段に基板を載置する長尺支持部を有さず、奥側の枠体１３に基板１を支持する突起１５１が設けられている。そして、この突起１５１と短尺支持部１４とにより、基板１を載置して収納する段が構成されている。このカセットは、比較的小型の基板を収納するものであり、液晶表示パネルやプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）等の後半の製造工程で、大型基板が分割切断され加工がある程度進んだ工程で多用される。このようなカセット１１１においても、開口部１９ａの側に基板搬出搬入補助装置としての端部位置調整機構３１を設けることができる。この場合、レバー３０は基板１の開口１９ａ寄りの部分を支承又は下降させるものとなる。なお、図２４においては、レバー３０が基板収納領域に進出した状態を示している。

以上説明したように、本発明の基板搬出搬入方法及び基板搬出搬入システムによれば、カセット１１とロボット２１と基板搬出搬入補助装置としての端部位置調整機構３１とによって、ハンド２２をカセット１１の手前側から奥側に進出させるための空間又はハンド２２をカセット１１の奥側から手前側に後退させるための空間を拡大することができるので、多段構造の各段間のピッチを小さくして単位空間体積当たりの基板の収納枚数を増すことができると共に、その場合においても基板を確実に搬出搬入することができる。また、本発明は、従来のバックサポート型カセットの基本構造に端部位置調整機構を加えることによって達成でき、特殊なアームや機構を有するロボットを必要とせず、また、従来の他の基板搬出搬入方法のような複雑な機構も必要ではないので、低コストで実現することができる。

本発明の基板搬出搬入方法及び基板搬出搬入システムの装置構成の一例を示す斜視図である。 本発明の基板搬出搬入システムを構成するカセットの一例を示す概略平面図である。 本発明の基板搬出搬入システムを構成するカセットの一例を示す概略側面図である。 本発明の基板搬出搬入システムを構成するカセットの一例を示す概略正面図である。 本発明に使用されるロボットの駆動形態を示す模式図である。 本発明に使用されるロボットの具体的な一例を示す右側面図（Ａ）及び正面図（Ｂ）である。 本発明に使用されるロボットの具体的な一例を示す平面図である。 本発明の基板搬出搬入方法を説明するための概略平面図である。 第１形態に係る基板搬出搬入方法の説明図である。 第２形態に係る基板搬出搬入方法の説明図である。 第３形態に係る基板搬出搬入方法の説明図である。 第４形態に係る基板搬出搬入方法の説明図である。 第５形態に係る基板搬出搬入方法の説明図である。 第６形態に係る基板搬出搬入方法の説明図である。 カセットの開口部近傍に装着された端部位置調整機構の一例を示す正面図（透視図）である。 図１５におけるＡ部の各要素の拡大図（透視図）である。 図１６における側面図（透視図）である。 図１５におけるＢ部の各要素の拡大図（透視図）である。（ａ）は、その平面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は側面図である。 本発明の基板搬出搬入システムの制御装置を示すブロック図である。 本発明の基板搬出搬入装置の変形例を示す図である。 本発明の基板搬出搬入装置の変形例を示す図である。 本発明の基板搬出搬入装置の変形例を示す図である。 本発明における基板搬出搬入装置を適用するカセットの別の例を示す平面図である。 本発明における基板搬出搬入装置を適用するカセットのさらに別の例を示す平面図である。

符号の説明

１ 基板（対象基板）
２ カセット台
１１ カセット
１２，１３，１７，１８，１９ 枠体
１４ 短尺支持部
１５，１５ａ，１５ｂ，１５ｃ 長尺支持部
１６，１６ａ，１６ｂ，１６ｃ 端部
２１ ロボット
２２ ハンド
２３ ハンドフォーク
２４ ハンド支持部
２５，２６ アーム
２７ 基台
２８ 固定フレーム
２９ 昇降シャフト
３０ 支承部材（レバー）
３１ 端部位置調整機構（基板搬出搬入補助装置）
３２ 爪部
３３ ローラー
３４ ビーム
３５ リニアガイド
３６ タイミングベルト
４０ 支柱
４１ マッピングセンサー
４２ 昇降駆動源（サーボモーター）
４３ カップリング
４４ ベアリング
４５ 減速機
４６ シャフト
４７ タイミングプーリー
４８ キャリッジ
４９ スライダー
５０ ケーブルベア
５１ ベアリング
５２ ジョイント
５３ カップリング
５４ ドライブシャフト
５５ フレーム
６１ エアシリンダ
６２ ジョイント
６３ ロッド
６５ ロッドエンド
６６ リンク部材
６７ 爪シャフト
６７ａ 爪延出部（垂直支承部）
６９ ベアリング
７０ コントローラ
７１ ロボットコントローラ
７２ シーケンサー
８２ ベアリングホルダー

Claims (16)

1. 基板を所定間隔で多段状に積層して収納するとともに、前記基板が搬出搬入される開口を有するカセットの基板収納領域に対して、進出及び後退可能に設けられたレバーと、
   前記レバーを前記基板の配列方向に沿って移動可能に支持する昇降機構と、を備え、
   前記カセットに対して前記基板を載せるためのハンドを有するロボットを用いて前記基板を搬入し又は搬出する場合に、前記基板収納領域に進出した前記レバーによって前記基板を支承または下降させて、前記カセット内での前記ハンドの進出又は後退のための空間を確保することを特徴とする基板搬出搬入補助装置。
2. 前記レバーは、前記昇降機構の駆動によって、前記カセットに対する搬入又は搬出の対象となる対象基板と、前記対象基板の一段上に収納された基板と、前記対象基板の一段下に収納された基板と、から選択される少なくとも１枚の基板を支承または下降させることを特徴とする請求項１に記載の基板搬出搬入補助装置。
3. 前記レバーが前記基板に当接して、前記基板を支承又は下降させることを特徴とする請求項１又は２に記載の基板搬出搬入補助装置。
4. 前記カセットが、その奥側から前記開口側に延びて前記基板が載置される長尺支持部を有する場合において、前記レバーが前記長尺支持部に当接して、前記長尺支持部を支承または下降させることを特徴とする請求項１又は２に基板搬出搬入補助装置。
5. 前記昇降機構は、前記カセットに載置された前記基板とほぼ平行なビームを有し、
   前記レバーは、前記ビームから前記カセットの前記基板の積層方向に突出して設立された垂直支承部と、その先端にから前記積層方向と略平行な方向に延出して設けられた爪部とよりなることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の基板搬出搬入補助装置。
6. 前記ビームに複数の前記レバーを配設したことを特徴とする請求項５に記載の基板搬出搬入補助装置。
7. 前記垂直支承部は前記ビームに回転可能に設立され、その回転駆動により前記爪部が前記基板収納領域に繰り出されることを特徴とする請求項５又は６に記載の基板搬出搬入補助装置。
8. 前記爪部は前記垂直支承部の先端から前記基板収納領域に向けて延出するように設けられるとともに、前記垂直支承部又は前記爪部が前記基板収納領域に対して直線往復駆動されて、前記爪部が前記基板収納領域に繰り出されることを特徴とする請求項５又は６に記載の基板搬出搬入補助装置。
9. 前記爪部は垂直支承部の先端に前記ビームと平行な軸回りに回転可能に軸支されるとともに、前記爪部が回転駆動されて前記基板収納領域に繰り出されることを特徴とする請求項５又は６に記載の基板搬出搬入補助装置。
10. 前記爪部の先端には、ローラーが設けられていることを特徴とする請求項５から９のいずれかに記載の基板搬出搬入補助装置。
11. 前記ビームは、前記基板の積層方向に沿って複数段設けられていることを特徴とする請求項５から１０のいずれかに記載の基板搬出搬入補助装置。
12. 前記複数のビームは、それぞれ独立に昇降駆動されることを特徴とする請求項１１に記載の基板搬出搬入補助装置。
13. 前記ロボットの前記カセットに対する基板の搬入及び搬出に対応して、前記昇降機構の昇降及び前記レバーの前記基板収納領域への進出及び後退を制御する制御手段を備えることを特徴とする請求項１から１２のいずれかに記載の基板搬出搬入補助装置。
14. 前記カセットの前記開口に臨むように門型に設立されていることを特徴とする請求項１から１３のいずれかに記載の基板搬出搬入補助装置。
15. 前記カセットの前記開口を囲む枠体に取り付けられたことを特徴とする請求項項１から１４のいずれかに記載の基板搬出搬入補助装置。
16. 前記カセットが載置されるカセット台に取り付けられたことを特徴とする請求項項１から１４のいずれかに記載の基板搬出搬入補助装置。

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