JP2007048880A - ウェハ移動装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】
効率よく且つ安定してウェハの移動を行えるウェハ移動装置を提供する。
【解決手段】
制御回路CPUが、ウェハホルダ11とピン12の相対位置に応じて、ウェハリフト8の移動速度を変更するように、モータ5を駆動するようになっており、ピン12がウェハホルダ11より離れている場合には、ウェハリフト8の移動速度を高めることで待ち時間を減らし、ピン12がウェハホルダ11に接近した場合には、ウェハリフト8の移動速度を低めることで、ピン12とウェハホルダ11との間におけるウェハWの受け渡し時に、ウェハWの位置ズレが生じたり、ウェハWの落下を招くことを抑制できる。
【選択図】 図1
効率よく且つ安定してウェハの移動を行えるウェハ移動装置を提供する。
【解決手段】
制御回路CPUが、ウェハホルダ11とピン12の相対位置に応じて、ウェハリフト8の移動速度を変更するように、モータ5を駆動するようになっており、ピン12がウェハホルダ11より離れている場合には、ウェハリフト8の移動速度を高めることで待ち時間を減らし、ピン12がウェハホルダ11に接近した場合には、ウェハリフト8の移動速度を低めることで、ピン12とウェハホルダ11との間におけるウェハWの受け渡し時に、ウェハWの位置ズレが生じたり、ウェハWの落下を招くことを抑制できる。
【選択図】 図1
Description
本発明は、ウェハ移動装置の移動技術に関する。
ステージ装置に、半導体用のウェハを搭載して検査や処理を行うことが知られている。ここで、検査や処理が終了した後に、ウェハは交換されることとなるが、効率を上げるために、その自動化が要求されている。
従来は、搬送ロボットを用いて、ステージ上のウェハホルダ上のウェハの周縁を把持して搬送し、また別のウェハを搬送して載置するということが行われている。しかるに、搬送ロボットは高価であり、またウェハホルダに干渉する部位があると、搬送ロボットを用いることができないといった問題がある。これに対し、アクチュエータを用いてウェハホルダよりリフトピンを昇降させる技術が知られている(特許文献1)。かかる技術を用いてウェハホルダからウェハを上昇させれば、ウェハの下面に搬送装置のフォークを差し込むことができ、それによりウェハの周縁を把持しなくても安定して搬送することができる。
特開平10−294287号公報
ところが、リフトピンをウェハに当接させる際に、リフトピンの速度が速すぎると、ウェハの位置ズレが生じたり、場合によってはウェハの落下を招く恐れがある。一方、リフトピンの速度が遅すぎると、搬送に必要な時間が長くなり、検査や処理の効率が低下することとなる。
本発明は、かかる従来技術の問題点に鑑みてなされたものであり、効率よく且つ安定してウェハの移動を行えるウェハ移動装置を提供することを目的とする。
本発明のウェハ移動装置は、ウェハホルダから或いはウェハホルダへ、ウェハを移動させることができるウェハ移動装置において、
ウェハを支持する支持部材と、
前記支持部材を駆動する駆動装置と、
前記駆動装置を制御する制御回路とを有し、
前記制御回路は、前記ウェハホルダと前記支持部材の相対位置に応じて、前記支持部材の移動速度を変更するように、前記駆動装置を駆動することを特徴とする。
ウェハを支持する支持部材と、
前記支持部材を駆動する駆動装置と、
前記駆動装置を制御する制御回路とを有し、
前記制御回路は、前記ウェハホルダと前記支持部材の相対位置に応じて、前記支持部材の移動速度を変更するように、前記駆動装置を駆動することを特徴とする。
本発明のウェハ移動装置によれば、前記制御回路が、前記ウェハホルダと前記支持部材の相対位置に応じて、前記支持部材の移動速度を変更するように、前記駆動装置を駆動するので、例えば前記支持部材が前記ウェハホルダより離れている場合には、前記支持部材の移動速度を高めることで待ち時間を減らし、前記支持部材が前記ウェハホルダに接近した場合には、前記支持部材の移動速度を低めることで、前記支持部材がウェハに当接した際に、ウェハの位置ズレが生じたり、ウェハの落下を招くことを抑制できる。
従って、前記制御回路は、前記支持部材がウェハを支持した前記ウェハホルダに近づくにつれて、前記支持部材の移動速度を遅くするように、前記駆動装置を駆動すると好ましいが、それに限らず、例えば移動範囲の末端に近づくにつれて、前記支持部材の速度を遅くするようにしても良い。
又、前記制御回路は、ウェハを支持した前記支持部材が前記ウェハホルダに近づくにつれて、前記支持部材の移動速度を遅くするように、前記駆動装置を駆動すると、ウェハを前記ウェハホルダに着座させる際のショックを抑制できるので好ましい。
更に、前記制御回路は、ウェハを支持した前記支持部材が前記ウェハホルダから離れるにつれて、前記支持部材の移動速度を速くするように、前記駆動装置を駆動すると、安定した状態で効率の良い移動を実現できる。
前記ウェハ移動装置は、ステージ装置に搭載されていると好ましい。
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。図1は、本実施の形態のウェハ移動装置を搭載したステージ装置の側面図であり、図2は、ウェハ移動装置の正面拡大図である。
図1において、定盤などに対して固定されるベース1上に、一対のガイドレール2、2が配置されている。ガイドレール2,2に沿ってスライダ3,3が移動可能に配置されている。スライダ3,3はステージ4の下面に取り付けられている。
図2において、ステージ4には、ブラケット10を介してモータ5が取り付けられている。駆動装置であるモータ5は、制御回路CPUにより制御されるようになっている。モータ5の回転軸は、ねじ軸7に連結されており、ねじ軸7の先端は軸受部材9によりステージ4に対して支持されている。
ねじ軸7に螺合したナット6は、軸受部材9の一部であって上下方向に延在するガイドレール9a上に、スライダ6a、6aを介して移動自在に配置されている。従って、モータ5を回転駆動すると、ねじ軸7が回転し、その回転運動が軸線運動に変換されて、ナット6が軸線方向(上下方向)に移動するようになっている。ナット6の上端には、ブラケット6b(図1)を介して板状のウェハリフト8が取り付けられている。
ステージ4上には、不図示の脚部を介してウェハホルダ11が配置されている。ウェハWを支持するウェハホルダ11は、上下に貫通する貫通孔11aを有している。ウェハリフト8は、ウェハホルダ11とステージ4との間において移動自在に配置され、その上に植設した支持部材である少なくとも3本のピン12は、ウェハリフト8の移動と共に、貫通孔11aからウェハホルダ11の上面へと突き出し可能に構成されている。
図3は、縦軸にピン12の位置を、横軸に時間をとって示すグラフであり、位置Aは、ウェハホルダ11に支持されたウェハWの下面にピン12が当接する位置であり、位置Bは、ピン12の移動範囲の末端である。図3を用いて、本実施の形態の動作について説明する。まず、ウェハWを上昇させる場合の動作について説明する。制御回路CPUは、図1(a)に示す状態から、モータ5を駆動制御して、ナット6を軸線方向に移動させ、ウェハリフト8を上昇させる。
ここで、図3(a)において、時刻0からt1までの間は、制御回路CPUは、比較的速い速度V1でウェハリフト8を移動させる。続いて、時刻t1からt2までは、ウェハWの下面(位置A)に接近するので、制御回路CPUは、比較的遅い速度V2(<V1)でウェハリフト8を移動させる。速度V2は一定速度でなく、ウェハWに近づくほど遅くなる速度が望ましい。
時刻t2でピン12がウェハWに接触した後、時刻t2からt3までは、制御回路CPUは、ウェハリフト8の速度を徐々に上げるので、安定した状態でウェハWはピン12に支持されつつ上昇する。時刻t3からt4までは、制御回路CPUは、比較的早い速度V1でウェハリフト8を移動させるので、上昇にかかる時間を早めることができる。時刻t4からt5までは、移動範囲の末端(位置B)に接近するので、制御回路CPUは、比較的遅い速度V2(<V1)でウェハリフト8を移動させる。これにより停止の際のショックを弱めることができる。図1(b)に示すように、ウェハリフト8が停止した後、搬送装置のフォークFをウェハWの下面に差し込み上昇させることで、ウェハWの受け渡しをスムーズに行える。
次に、搬送装置のフォークFからピン12上に、新たなウェハWの受け渡しが行われた後は、図3(b)において、時刻0からt6までは、制御回路CPUは、ウェハリフト8の速度を徐々に上げるので、安定した状態でウェハWはピン12に支持されつつ下降する。時刻t6からt7までは、制御回路CPUは、比較的早い速度V1でウェハリフト8を移動させるので、下降にかかる時間を早めることができる。時刻t7からt8までは、ウェハWの着座位置(位置A)に接近するので、制御回路CPUは、比較的遅い速度V2(<V1)でウェハリフト8を移動させる。速度V2は一定速度でなく、位置Aに近づくほど遅くなる速度が望ましい。
ウェハWが着座して受け渡しが終わった後は、制御回路CPUは、比較的早い速度V1でウェハリフト8を移動させることで、迅速に動作を終了できる(時刻t8〜t9)。
本実施の形態によれば、制御回路CPUが、ウェハホルダ11とピン12の相対位置に応じて、ウェハリフト8の移動速度を変更するように、モータ5を駆動するようになっており、ピン12がウェハホルダ11より離れている場合には、ウェハリフト8の移動速度を高めることで待ち時間を減らし、ピン12がウェハホルダ11に接近した場合には、ウェハリフト8の移動速度を低めることで、ピン12とウェハホルダ11との間におけるウェハWの受け渡し時に、ウェハWの位置ズレが生じたり、ウェハWの落下を招くことを抑制できる。
以上、本発明を実施の形態を参照して説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定して解釈されるべきではなく、適宜変更・改良が可能であることはもちろんである。例えば、制御回路CPUは、予めピン12とウェハWとの接触位置(位置A)を記憶し、それによりモータ5の回転速度を調整しているが、これに限らず、不図示のセンサを用いて、ピン12とウェハWとの相対距離を測定し、それに応じてモータ5の回転速度を調整しても良い。
1 ベース
2 ガイドレール
3 スライダ
4 ステージ
5 モータ
6 ナット
7 ねじ軸
8 ウェハリフト
9 連結部材
10 ブラケット
11 ウェハホルダ
11a 貫通孔
12 ピン
CPU 制御回路
F フォーク
W ウェハ
2 ガイドレール
3 スライダ
4 ステージ
5 モータ
6 ナット
7 ねじ軸
8 ウェハリフト
9 連結部材
10 ブラケット
11 ウェハホルダ
11a 貫通孔
12 ピン
CPU 制御回路
F フォーク
W ウェハ
Claims (5)
- ウェハホルダから或いはウェハホルダへ、ウェハを移動させることができるウェハ移動装置において、
ウェハを支持する支持部材と、
前記支持部材を駆動する駆動装置と、
前記駆動装置を制御する制御回路とを有し、
前記制御回路は、前記ウェハホルダと前記支持部材の相対位置に応じて、前記支持部材の移動速度を変更するように、前記駆動装置を駆動することを特徴とするウェハ移動装置。 - 前記制御回路は、前記支持部材が前記ウェハホルダに支持されたウェハに近づくにつれて、前記支持部材の移動速度を遅くするように、前記駆動装置を駆動することを特徴とする請求項1に記載のウェハ移動装置。
- 前記制御回路は、ウェハを支持した前記支持部材が前記ウェハホルダに近づくにつれて、前記支持部材の移動速度を遅くするように、前記駆動装置を駆動することを特徴とする請求項1又は2に記載のウェハ移動装置。
- 前記制御回路は、ウェハを支持した前記支持部材が前記ウェハホルダから離れるにつれて、前記支持部材の移動速度を速くするように、前記駆動装置を駆動することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のウェハ移動装置。
- 前記ウェハ移動装置は、ステージ装置に搭載されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のウェハ移動装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005230762A JP2007048880A (ja) | 2005-08-09 | 2005-08-09 | ウェハ移動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005230762A JP2007048880A (ja) | 2005-08-09 | 2005-08-09 | ウェハ移動装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007048880A true JP2007048880A (ja) | 2007-02-22 |
Family
ID=37851474
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005230762A Pending JP2007048880A (ja) | 2005-08-09 | 2005-08-09 | ウェハ移動装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007048880A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7363713B2 (ja) | 2020-08-07 | 2023-10-18 | 株式会社ダイフク | 物品搬送車 |
-
2005
- 2005-08-09 JP JP2005230762A patent/JP2007048880A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP7363713B2 (ja) | 2020-08-07 | 2023-10-18 | 株式会社ダイフク | 物品搬送車 |
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