JP2007043176A - 相変化物質、それを含む相変化ram並びに、その製造及び動作方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】絶縁性の不純物が全体的に均一に分布された、または絶縁性の不純物が局所領域にのみ均一に分布された相変化物質と、このような相変化物質を含む相変化層を備える相変化RAM並びに、その製造及び動作方法を提供する。相変化物質で絶縁性の不純物の含量は、体積を基準に10%以下でありうる。このような物質を形成する過程で、絶縁性の不純物を含むターゲットに印加される電力を調節することによって、相変化物質内の絶縁性の不純物の含量を調節できる。
【選択図】図1
Description
次に、本発明者は、このような本発明のPRAMの相変化層に対して絶縁性の不純物の含量による相変化温度、すなわち、結晶化温度及び非晶質化温度を測定した。この測定の対象としては、相変化層の形成のためのコ・スパッタリング工程で、SiO2ターゲットに120Wの電力を印加して形成した第1相変化層、前記SiO2ターゲットに180Wの電力を印加して形成した第2相変化層、及び前記SiO2ターゲットに300Wの電力を印加して形成した第3相変化層を使用した。
図16の(a)に示すように、全体が結晶状態である相変化層60にリセット電流Irsを所定時間、例えば、数十ナノ秒間印加する。このとき、本発明の下部電極コンタクト層58から、従来に比べてはるかに大きなペルチェ熱が発生するため、リセット電流Irsは、従来のリセット電流より小さい。例えば、16MbPRAMの場合、従来には、1.6mA程度のリセット電流が必要であったが、本発明でリセット電流Irsは、1.6mAより小さい。また、64MbPRAMの場合、従来には、1.1mA程度のリセット電流が必要であったが、本発明のPRAMでリセット電流Irsは、1.1mAより小さい。
読み取りは、相変化層60の相が変わらないほどの電流を相変化層60に印加したとき、測定された抵抗の大小を判断して、相変化層60に記録されたビットデータが1であるか、0であるかを判読する。したがって、読み取り過程で相変化層60に印加される電流は、前記リセット電流Irs及びセット電流Isより低いこともある。
42 ゲート酸化膜
44 ゲート
46 第1層間絶縁層
48 コンタクトホール
50 導電性プラグ
52 下部電極
54 第2層間絶縁層
56 コンタクトホール
58 下部電極コンタクト層
60 相変化層
60p 不純物
62 上部電極
P1 所定領域
S1 第1不純物領域
D1 第2不純物領域
Claims (37)
- スイッチング素子、前記スイッチング素子に連結された下部電極、前記下部電極上に形成された下部電極コンタクト層、前記下部電極コンタクト層上に備えられ、下面の一部の領域が、前記下部電極コンタクト層の上面と接触した相変化層、及び前記相変化層上に形成された上部電極を備えるが、
前記相変化層は、均一に分布された絶縁性の不純物を含むことを特徴とする相変化RAM。 - 前記絶縁性の不純物は、前記相変化層全体に均一に分布されたことを特徴とする請求項1に記載の相変化RAM。
- 前記絶縁性の不純物は、相変化が起こる前記相変化層の所定領域にのみ均一に分布されたことを特徴とする請求項1に記載の相変化RAM。
- 前記絶縁性の不純物は、SiOx(x=1〜4)、SiN、Si3N4、TiOx(x=1〜4)、AlO及びAl2O3からなる群から選択された少なくとも何れか一つであることを特徴とする請求項1に記載の相変化RAM。
- 前記絶縁性の不純物の含量は、体積を基準に前記相変化層の10%未満であることを特徴とする請求項1に記載の相変化RAM。
- 前記下部電極コンタクト層は、TiNまたはTiAlNであるか、TiNやTiAlNよりゼーベック係数の絶対値が大きく、負の符号を有し、TiNやTiAlNより熱伝導度は低く、前記TiNやTiAlNと同じレベルの電気抵抗を有する物質層であることを特徴とする請求項1に記載の相変化RAM。
- 前記下部電極コンタクト層は、コンタクトホールの一部を満たし、前記相変化層は、前記コンタクトホールの残りの部分を満たすことを特徴とする請求項1に記載の相変化RAM。
- スイッチング素子と、
前記スイッチング素子に連結された下部電極と、
前記スイッチング素子及び前記下部電極を覆う層間絶縁層と、
前記層間絶縁層に形成されており、前記下部電極が露出される第1コンタクトホールと、
前記第1コンタクトホールを満たす第1下部電極コンタクト層と、
前記層間絶縁層上に形成されており、前記第1下部電極コンタクト層を覆う第2下部電極コンタクト層と、
前記第2下部電極コンタクト層上に形成されており、前記第2下部電極コンタクト層が露出される第2コンタクトホールを備える絶縁層と、
前記絶縁層の相部面に形成されており、前記第2コンタクトホールを満たす相変化層と、
前記相変化層上に形成された上部電極と、を備えるが、
前記相変化層は、均一に分布された絶縁性の不純物を含むことを特徴とする相変化RAM。 - 前記絶縁性の不純物は、前記相変化層全体に均一に分布されたことを特徴とする請求項8に記載の相変化RAM。
- 前記絶縁性の不純物は、前記下部電極コンタクト層と接触した部分を中心に相変化が起こる前記相変化層の所定領域にのみ均一に分布されたことを特徴とする請求項8に記載の相変化RAM。
- 前記絶縁性の不純物は、SiOx(x=1〜4)、SiN、Si3N4、TiOx(x=1〜4)、AlO及びAl2O3からなる群から選択された少なくとも何れか一つであることを特徴とする請求項8に記載の相変化RAM。
- 前記絶縁性の不純物の含量は、体積を基準に前記相変化層の10%未満であることを特徴とする請求項8に記載の相変化RAM。
- 前記第1下部電極コンタクト層及び第2下部電極コンタクト層は、TiNまたはTiAlNであるか、またはTiNやTiAlNよりゼーベック係数の絶対値が大きく、負の符号を有し、TiNやTiAlNより熱伝導度は低く、前記TiNやTiAlNと同じレベルの電気抵抗を有する物質層であることを特徴とする請求項8に記載の相変化RAM。
- スイッチング素子、前記スイッチング素子に連結された下部電極、前記下部電極上に形成された下部電極コンタクト層、前記下部電極コンタクト層上に備えられ、下面の一部の領域が、前記下部電極コンタクト層の上面と接触した相変化層、及び前記相変化層上に形成された上部電極を備えるが、前記相変化層は、均一に分布された絶縁性の不純物を含む相変化RAMの動作方法において、
前記相変化層及び前記下部電極コンタクト層を通過するリセット電流を印加して、前記相変化層の前記下部電極コンタクト層に接触した部分を非晶質状態に変えることを特徴とする相変化RAMの動作方法。 - 前記リセット電流は、前記下部電極コンタクト層としてTiNやTiAlNが使用されるときのリセット電流より小さいことを特徴とする請求項14に記載の相変化RAMの動作方法。
- 前記下部電極コンタクト層は、コンタクトホールの一部を満たし、前記相変化層は、前記コンタクトホールの残りの部分を満たすことを特徴とする請求項14に記載の相変化RAMの動作方法。
- 前記リセット電流を印加した後、前記相変化層および前記下部電極コンタクト層を通過するセット電流を前記リセット電流より長時間印加することを特徴とする請求項14に記載の相変化RAMの動作方法。
- 前記絶縁性の不純物は、前記相変化層の全体に分布されたことを特徴とする請求項14に記載の相変化RAMの動作方法。
- 前記絶縁性の不純物は、前記下部電極コンタクト層と接触する相変化層の一部の領域にのみ分布されたことを特徴とする請求項14に記載の相変化RAMの動作方法。
- 前記相変化層は、T字型であり、
前記下部電極コンタクト層は、前記スイッチング素子に連結される第1下部電極コンタクト層、及び前記T字型相変化層と前記第1下部電極コンタクト層とを連結する第2下部電極コンタクト層を備えることを特徴とする請求項14に記載の相変化RAMの動作方法。 - 前記下部電極コンタクト層の側面は、スペーサで取り囲まれたことを特徴とする請求項14に記載の相変化RAMの動作方法。
- 基板に形成されたスイッチング素子、前記スイッチング素子に連結された下部電極、前記下部電極上に形成された下部電極コンタクト層、前記下部電極コンタクト層上に備えられ、下面の一部の領域が前記下部電極コンタクト層の上面と接触した相変化層、及び前記相変化層上に形成された上部電極を備えるが、前記相変化層は、均一に分布された絶縁性の不純物を含む相変化RAMの製造方法において、
前記下部電極コンタクト層が形成された結果物の上面上に、前記絶縁性の不純物が除外された相変化層の構成物と前記絶縁性の不純物とが均一に混合された物質を形成して、前記絶縁性の不純物が均一に分布された相変化層を形成することを特徴とする相変化RAMの製造方法。 - 前記絶縁性の不純物が除外された前記相変化層の構成物は、前記構成物の一部を含むターゲットと、前記構成物の残りを含む他のターゲットとを同時にスパッタリングさせて形成することを特徴とする請求項22に記載の相変化RAMの製造方法。
- 前記絶縁性の不純物は、前記絶縁性の不純物を含むターゲットをスパッタリングさせて形成することを特徴とする請求項22に記載の相変化RAMの製造方法。
- 前記相変化層内の前記絶縁性の不純物の含量は、体積を基準に10%以下になるように前記絶縁性の不純物を含むターゲットに電力を印加し、必要に応じて印加電力を可変させることを特徴とする請求項24に記載の相変化RAMの製造方法。
- 前記絶縁性の不純物を含むターゲットに、30W〜500Wの電力を印加することを特徴とする請求項25に記載の相変化RAMの製造方法。
- 前記絶縁性の不純物は、SiOx(x=1〜4)、SiN、Si3N4、TiOx(x=1〜4)、AlO及びAl2O3からなる群から選択された少なくとも何れか一つであることを特徴とする請求項22に記載の相変化RAMの製造方法。
- 前記相変化層は、T字型に形成し、前記下部電極コンタクト層は、前記スイッチング素子に連結される第1下部電極コンタクト層及び、前記T字型相変化層と前記第1下部電極コンタクト層とを連結する第2下部電極コンタクト層で形成することを特徴とする請求項22に記載の相変化RAMの製造方法。
- 前記下部電極コンタクト層の側面をスペーサで取り囲むことを特徴とする請求項22に記載の相変化RAMの製造方法。
- 前記下部電極コンタクト層は、TiNまたはTiAlNであるか、またはTiNやTiAlNよりゼーベック係数の絶対値が大きく、負の符号を有し、TiNやTiAlNより熱伝導度は低く、前記TiNやTiAlNと同じレベルの電気抵抗を有する物質層で形成することを特徴とする請求項22に記載の相変化RAMの製造方法。
- 前記下部電極コンタクト層は、コンタクトホールの一部を満たし、前記相変化層は、前記コンタクトホールの残りの部分を満たすことを特徴とする請求項22に記載の相変化RAMの製造方法。
- 前記絶縁性の不純物は、前記絶縁性の不純物を含むターゲットをスパッタリングさせて形成することを特徴とする請求項23に記載の相変化RAMの製造方法。
- 結晶化と非晶質化との温度が異なる第1物質と、
前記第1物質に均一に分布された絶縁性の不純物と、を含むことを特徴とする相変化物質。 - 前記絶縁性の不純物は、前記第1物質の全体領域または局所領域にのみ均一に分布されたことを特徴とする請求項33に記載の相変化物質。
- 前記絶縁性の不純物は、SiOx(x=1〜4)、SiN、Si3N4、TiOx(x=1〜4)、AlO及びAl2O3からなる群から選択された少なくとも何れか一つであることを特徴とする請求項33に記載の相変化物質。
- 前記絶縁性の不純物の含量は、体積を基準に前記第1物質の10%未満であることを特徴とする請求項33に記載の相変化物質。
- 前記絶縁性の不純物は、前記第1物質の内部の格子空間または格子間サイトに存在することを特徴とする請求項33に記載の相変化物質。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008235904A (ja) * | 2007-03-21 | 2008-10-02 | Samsung Electronics Co Ltd | 相変化物質層の形成方法及びこれを用いるメモリ装置の製造方法 |
WO2009122570A1 (ja) * | 2008-04-01 | 2009-10-08 | 株式会社 東芝 | 情報記録再生装置 |
Families Citing this family (29)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7425735B2 (en) * | 2003-02-24 | 2008-09-16 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Multi-layer phase-changeable memory devices |
US7459717B2 (en) * | 2005-11-28 | 2008-12-02 | Macronix International Co., Ltd. | Phase change memory cell and manufacturing method |
US7688619B2 (en) | 2005-11-28 | 2010-03-30 | Macronix International Co., Ltd. | Phase change memory cell and manufacturing method |
KR100919692B1 (ko) * | 2006-04-27 | 2009-10-06 | 재단법인서울대학교산학협력재단 | 상변화 메모리 셀 및 그의 제조 방법 |
KR101469831B1 (ko) * | 2007-04-30 | 2014-12-09 | 삼성전자주식회사 | 향상된 읽기 성능을 갖는 멀티-레벨 상변환 메모리 장치 및그것의 읽기 방법 |
US7940552B2 (en) * | 2007-04-30 | 2011-05-10 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Multiple level cell phase-change memory device having pre-reading operation resistance drift recovery, memory systems employing such devices and methods of reading memory devices |
KR100914267B1 (ko) | 2007-06-20 | 2009-08-27 | 삼성전자주식회사 | 가변저항 메모리 장치 및 그것의 형성방법 |
KR101308549B1 (ko) * | 2007-07-12 | 2013-09-13 | 삼성전자주식회사 | 멀티-레벨 상변환 메모리 장치 및 그것의 쓰기 방법 |
KR101010169B1 (ko) * | 2007-11-21 | 2011-01-20 | 주식회사 하이닉스반도체 | 상변화 메모리 장치 및 그 형성 방법 |
US8324605B2 (en) * | 2008-10-02 | 2012-12-04 | Macronix International Co., Ltd. | Dielectric mesh isolated phase change structure for phase change memory |
US8363463B2 (en) * | 2009-06-25 | 2013-01-29 | Macronix International Co., Ltd. | Phase change memory having one or more non-constant doping profiles |
US8283650B2 (en) * | 2009-08-28 | 2012-10-09 | International Business Machines Corporation | Flat lower bottom electrode for phase change memory cell |
US8283202B2 (en) | 2009-08-28 | 2012-10-09 | International Business Machines Corporation | Single mask adder phase change memory element |
US8012790B2 (en) * | 2009-08-28 | 2011-09-06 | International Business Machines Corporation | Chemical mechanical polishing stop layer for fully amorphous phase change memory pore cell |
US20110049456A1 (en) * | 2009-09-03 | 2011-03-03 | Macronix International Co., Ltd. | Phase change structure with composite doping for phase change memory |
US8129268B2 (en) * | 2009-11-16 | 2012-03-06 | International Business Machines Corporation | Self-aligned lower bottom electrode |
US8233317B2 (en) * | 2009-11-16 | 2012-07-31 | International Business Machines Corporation | Phase change memory device suitable for high temperature operation |
US7943420B1 (en) * | 2009-11-25 | 2011-05-17 | International Business Machines Corporation | Single mask adder phase change memory element |
US8283198B2 (en) * | 2010-05-10 | 2012-10-09 | Micron Technology, Inc. | Resistive memory and methods of processing resistive memory |
US8426242B2 (en) | 2011-02-01 | 2013-04-23 | Macronix International Co., Ltd. | Composite target sputtering for forming doped phase change materials |
US8946666B2 (en) | 2011-06-23 | 2015-02-03 | Macronix International Co., Ltd. | Ge-Rich GST-212 phase change memory materials |
US8932901B2 (en) | 2011-10-31 | 2015-01-13 | Macronix International Co., Ltd. | Stressed phase change materials |
TWI549229B (zh) | 2014-01-24 | 2016-09-11 | 旺宏電子股份有限公司 | 應用於系統單晶片之記憶體裝置內的多相變化材料 |
CN104347800B (zh) * | 2014-09-17 | 2018-03-30 | 曲阜师范大学 | 一种相变存储器选通管及其存储单元 |
US9672906B2 (en) | 2015-06-19 | 2017-06-06 | Macronix International Co., Ltd. | Phase change memory with inter-granular switching |
CN105742490B (zh) * | 2016-03-11 | 2018-09-07 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 一种提高相变存储器数据保持力的相变材料层结构 |
KR102463036B1 (ko) * | 2016-03-15 | 2022-11-03 | 삼성전자주식회사 | 반도체 메모리 소자 및 이의 제조 방법 |
KR102653147B1 (ko) | 2018-08-21 | 2024-04-02 | 삼성전자주식회사 | 반도체 메모리 장치, 반도체 메모리 모듈 및 불휘발성 메모리를 액세스하는 방법 |
WO2022151182A1 (en) * | 2021-01-14 | 2022-07-21 | Yangtze Advanced Memory Industrial Innovation Center Co., Ltd | Phase-change memory cell and method for fabricating the same |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001502848A (ja) * | 1996-10-28 | 2001-02-27 | エナージー コンバーション デバイセス インコーポレイテッド | 相変化性メモリ材料と誘電材料との混合物から成る複合メモリ材料 |
JP2004311015A (ja) * | 2003-04-04 | 2004-11-04 | Samsung Electronics Co Ltd | 低電流高速相変化メモリ素子及びその駆動方法 |
JP2004349709A (ja) * | 2003-05-23 | 2004-12-09 | Samsung Electronics Co Ltd | 半導体メモリ素子およびその製造方法 |
WO2005053047A1 (de) * | 2003-11-28 | 2005-06-09 | Infineon Technologies Ag | Integrierter halbleiterspeicher und verfahren zum herstellen eines integrierten halbleiterspeichers |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6709958B2 (en) * | 2001-08-30 | 2004-03-23 | Micron Technology, Inc. | Integrated circuit device and fabrication using metal-doped chalcogenide materials |
US6856536B2 (en) * | 2002-08-02 | 2005-02-15 | Unity Semiconductor Corporation | Non-volatile memory with a single transistor and resistive memory element |
KR100448893B1 (ko) * | 2002-08-23 | 2004-09-16 | 삼성전자주식회사 | 상전이 기억 소자 구조 및 그 제조 방법 |
US7893419B2 (en) * | 2003-08-04 | 2011-02-22 | Intel Corporation | Processing phase change material to improve programming speed |
US7009694B2 (en) * | 2004-05-28 | 2006-03-07 | International Business Machines Corporation | Indirect switching and sensing of phase change memory cells |
DE102004037450B4 (de) * | 2004-08-02 | 2009-04-16 | Qimonda Ag | Verfahren zum Betrieb eines Schalt-Bauelements |
KR100568543B1 (ko) * | 2004-08-31 | 2006-04-07 | 삼성전자주식회사 | 작은 접점을 갖는 상변화 기억 소자의 제조방법 |
CN1326137C (zh) * | 2004-11-10 | 2007-07-11 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 可用于相变存储器多级存储的相变材料 |
US20070267620A1 (en) * | 2006-05-18 | 2007-11-22 | Thomas Happ | Memory cell including doped phase change material |
US7453081B2 (en) * | 2006-07-20 | 2008-11-18 | Qimonda North America Corp. | Phase change memory cell including nanocomposite insulator |
-
2005
- 2005-08-04 KR KR1020050071482A patent/KR100682969B1/ko active IP Right Grant
-
2006
- 2006-08-02 JP JP2006211302A patent/JP5101061B2/ja active Active
- 2006-08-04 CN CN2006101212489A patent/CN1909239B/zh active Active
- 2006-08-04 US US11/498,796 patent/US7956342B2/en active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001502848A (ja) * | 1996-10-28 | 2001-02-27 | エナージー コンバーション デバイセス インコーポレイテッド | 相変化性メモリ材料と誘電材料との混合物から成る複合メモリ材料 |
JP2004311015A (ja) * | 2003-04-04 | 2004-11-04 | Samsung Electronics Co Ltd | 低電流高速相変化メモリ素子及びその駆動方法 |
JP2004349709A (ja) * | 2003-05-23 | 2004-12-09 | Samsung Electronics Co Ltd | 半導体メモリ素子およびその製造方法 |
WO2005053047A1 (de) * | 2003-11-28 | 2005-06-09 | Infineon Technologies Ag | Integrierter halbleiterspeicher und verfahren zum herstellen eines integrierten halbleiterspeichers |
JP2007512691A (ja) * | 2003-11-28 | 2007-05-17 | インフィネオン テクノロジーズ アクチエンゲゼルシャフト | 半導体集積メモリーおよび半導体集積メモリーの製造方法 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008235904A (ja) * | 2007-03-21 | 2008-10-02 | Samsung Electronics Co Ltd | 相変化物質層の形成方法及びこれを用いるメモリ装置の製造方法 |
WO2009122570A1 (ja) * | 2008-04-01 | 2009-10-08 | 株式会社 東芝 | 情報記録再生装置 |
JP5225372B2 (ja) * | 2008-04-01 | 2013-07-03 | 株式会社東芝 | 情報記録再生装置 |
US8487345B2 (en) | 2008-04-01 | 2013-07-16 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Information recording and reproducing device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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KR100682969B1 (ko) | 2007-02-15 |
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US7956342B2 (en) | 2011-06-07 |
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