JP2007041432A - 電気光学装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】TFTアレイ基板10上において、下地絶縁膜520上にエッチング停止層550を形成し、エッチング停止層550の上方に複数の走査線11aと該複数の走査線11aを相互に短絡する共通配線13とを形成し、下地絶縁膜520上に複数のTFT30を形成し、第1層間絶縁膜521を形成し、第1層間絶縁膜521上に複数のデータ線6aを形成した後に、第1層間絶縁膜521にエッチングにより切断用孔507を形成することによって共通配線13を切断する。
【選択図】図5
Description
本発明の電気光学装置に係る実施形態について、図1から図9を参照して説明する。まず、本実施形態の電気光学装置の全体構成について、図1及び図2を参照して説明する。ここで、図1はTFTアレイ基板を、その上に構成された各構成要素と共に対向基板の側から見た電気光学装置の平面図である。図2は、図1のH−H’断面図である。ここでは、電気光学装置の一例である駆動回路内蔵型のTFTアクティブマトリクス駆動方式の液晶装置を例にとる。
次に、図6(c)に示す工程において、第1層間絶縁膜521に、TFT30の高濃度ドレイン領域1e及び高濃度ソース領域1dの表面までそれぞれ第1層間絶縁膜521を貫通するコンタクトホール501及び502を形成する。
次に、図6(d)に示す工程において、第1層間絶縁膜521上全面に、スパッタリング法等により、例えばアルミニウムを含む導電性材料からなる導電膜60を形成する。このとき、導電膜60は、コンタクトホール501及び502の底部から側壁及び第1層間絶縁膜521の表面に連続的に形成されている。
次に、図7(e)に示す工程において、導電膜60上にレジスト65を形成する。この際、走査線11aの短絡部分C上には第1層間絶縁膜521が形成され、さらに第1層間絶縁膜521上に導電膜60及びレジスト65が形成された状態となっている。
次に、図7(f)に示す工程において、フォトリソグラフィ法によりレジスト65をパターニングする。この際、画素部においては、データ線6a及びドレイン電極510に対応するパターンで、レジスト65をパターニングする。これにより、走査線11aの短絡部分Cにおいては、導電膜60上のレジスト65が除去された状態となる。
次に、図7(g)に示す工程において、レジスト65を介して、導電膜60に対して、例えばCl2ガスを用いたドライエッチングを施すことで、レジスト65に対応するパターンとして、データ線6a及びドレイン電極510を形成する。この際、走査線11aの短絡部分Cにおいては、第1層間絶縁膜521上の導電膜60が除去された状態となる。エッチングによりデータ線6a及びドレイン電極510を形成した後、レジスト65を剥離する。
次に、図8(k)に示す工程において、第2層間絶縁膜522に、ドレイン電極510の表面まで貫通するコンタクトホール505を形成する。その後、コンタクトホール505の底部から側壁及び第2層間絶縁膜522の表面に連続的に、ITO膜を形成し、このITO膜をフォトリソグラフィ法及びエッチング法によりパターニングすることによって画素電極9aを形成する。
以上の工程により、図5に示す構造を有する本実施形態に係る電気光学装置が製造される。
Claims (7)
- 基板上に、複数のデータ線と、複数の走査線と、前記複数のデータ線と前記複数の走査線の交差に対応してそれぞれが画素毎に形成された複数の駆動素子と、該駆動素子毎に対応してそれぞれ設けられた複数の画素電極とを備える電気光学装置の製造方法であって、
エッチング停止層を形成する工程と、
前記エッチング停止層の上方に前記複数の走査線と、前記複数の走査線を相互に短絡する共通配線とを形成する工程と、
前記複数のデータ線と前記複数の画素電極を、前記複数の走査線と前記複数の駆動素子に対して層間絶縁する第1層間絶縁膜を形成する工程と、
前記第1層間絶縁膜に、前記複数のデータ線と前記複数の画素電極とを、それぞれ前記複数の駆動素子に電気的に接続するためのコンタクトホールを形成する工程と、
前記複数のデータ線を形成する工程と、
前記第1層間絶縁膜にエッチングにより切断用孔を形成することによって前記共通配線を切断する工程とを含むことを特徴とする電気光学装置の製造方法。 - 前記エッチング停止層を形成する工程は、前記複数の駆動素子を構成する半導体膜を形成する工程と同時に行われることを特徴とする請求項1に記載の電気光学装置の製造方法。
- 前記エッチング停止層を形成する工程は、平面視において前記エッチング停止層を前記切断用孔を包含するように前記切断用孔より広く形成することを特徴とする請求項1又は2に記載の電気光学装置の製造方法。
- 前記共通配線を形成する工程及び前記複数の走査線を形成する工程は、前記複数の駆動素子を構成するゲート電極を形成する工程と同時に行われることを特徴とする請求項1、2又は3に記載の電気光学装置の製造方法。
- 前記エッチング停止層を形成する工程は、前記複数の駆動素子を構成する半導体膜を形成する工程もしくは前記複数の駆動素子を構成するゲート電極を形成する工程と同時に行われることを特徴とする請求項1に記載の電気光学装置の製造方法。
- 前記エッチング停止層を形成する工程は、平面視において前記エッチング停止層を前記切断用孔を包含するように前記切断用孔より広く形成することを特徴とする請求項5に記載の電気光学装置の製造方法。
- 前記共通配線を形成する工程及び前記複数の走査線を形成する工程は、前記複数の駆動素子を構成するゲート電極を形成する工程の後に行われ、かつ前記共通配線を形成する工程及び前記複数の走査線を形成する工程とは同時に行われることを特徴とする請求項5又は6に記載の電気光学装置の製造方法。
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Cited By (1)
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Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5125356B2 (ja) * | 2007-09-27 | 2013-01-23 | ソニー株式会社 | 電子デバイスおよび電子デバイスの製造方法ならびに電子機器 |
US8555150B1 (en) * | 2008-05-29 | 2013-10-08 | Adobe Systems Incorporated | Constraint driven authoring environment |
CN104900633B (zh) * | 2015-03-30 | 2018-04-03 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种阵列基板制造方法、阵列基板和显示装置 |
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05333377A (ja) * | 1992-06-04 | 1993-12-17 | Nec Corp | 液晶表示装置の製造方法 |
JPH06337436A (ja) * | 1993-05-27 | 1994-12-06 | Fujitsu Ltd | 薄膜トランジスタマトリクスの製造方法 |
JPH1195257A (ja) * | 1997-09-25 | 1999-04-09 | Seiko Epson Corp | アクティブマトリクス基板の製造方法および液晶表示パネル |
JP2001255558A (ja) * | 2000-03-13 | 2001-09-21 | Seiko Epson Corp | 半導体装置、電気光学装置用基板、液晶装置用基板とその製造方法、及び液晶装置、並びにこれを用いた投射型液晶表示装置および電子機器 |
JP2001339065A (ja) * | 2000-05-26 | 2001-12-07 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置の製造方法及び電気光学装置 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100239779B1 (ko) * | 1996-12-04 | 2000-01-15 | 구본준 | 액정표시장치 |
JP2002299632A (ja) * | 2001-03-30 | 2002-10-11 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体装置及びアクティブマトリクス型表示装置 |
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05333377A (ja) * | 1992-06-04 | 1993-12-17 | Nec Corp | 液晶表示装置の製造方法 |
JPH06337436A (ja) * | 1993-05-27 | 1994-12-06 | Fujitsu Ltd | 薄膜トランジスタマトリクスの製造方法 |
JPH1195257A (ja) * | 1997-09-25 | 1999-04-09 | Seiko Epson Corp | アクティブマトリクス基板の製造方法および液晶表示パネル |
JP2001255558A (ja) * | 2000-03-13 | 2001-09-21 | Seiko Epson Corp | 半導体装置、電気光学装置用基板、液晶装置用基板とその製造方法、及び液晶装置、並びにこれを用いた投射型液晶表示装置および電子機器 |
JP2001339065A (ja) * | 2000-05-26 | 2001-12-07 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置の製造方法及び電気光学装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013235212A (ja) * | 2012-05-11 | 2013-11-21 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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