JP2007033094A - チップ型電子部品の電気的特性測定装置 - Google Patents

チップ型電子部品の電気的特性測定装置 Download PDF

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Abstract

【課題】チップ型電子部品が咬み込まれにくいチップ型電子部品の電気的特性測定装置を提供することである。
【解決手段】チップ型電子部品の電気的特性測定装置10は、測定装置本体12を含む。測定装置本体12のテーブル14の略垂直な主面上には、チップ型電子部品Cを搬送するための円板状の搬送テーブル16が回転自在に設けられる。搬送テーブル16には、複数のキャビティ18、18、・・が形成される。キャビティ18は、開口部の長手方向が搬送テーブル16によるチップ型電子部品Cの搬送方向に沿うように形成される。搬送テーブル16の一部分の近傍には、チップ型電子部品Cをキャビティ18に供給するためのチップ型電子部品供給部20が設けられる。搬送テーブル16の他の部分の近傍には、キャビティ18内のチップ型電子部品Cの電気的特性を測定するための測定部30が設けられる。
【選択図】図1

Description

この発明はチップ型電子部品の電気的特性測定装置に関し、特に、長さ寸法より幅寸法が短くかつ幅寸法より厚さ寸法が短い直方体状に形成され、長手方向における長方形状の両端面に外部電極をそれぞれ有する、たとえばチップ型積層コンデンサの静電容量値などのチップ型電子部品の電気的特性を測定するためのチップ型電子部品の電気的特性測定装置に関する。
図8はこの発明が適用されるチップ型電子部品の一例を示す斜視図である。図8に示すチップ型電子部品Cは、長さ寸法Lより幅寸法Wが短くかつ幅寸法Wより厚さ寸法Tが短い直方体状に形成され、長手方向における長方形状の両端面を含む両端部に外部電極E、Eをそれぞれ有する。
従来、このようなチップ型電子部品の電気的特性を測定する装置があった(例えば特許文献1参照)。
図9はこのような従来のチップ型電子部品の電気的特性測定装置の一例を示す要部正面図解図であり、図10はその電気的特性測定装置の要部底面図解図であり、図11は図9の線XI−XIにおける断面図解図である。
図9に示すチップ型電子部品の電気的特性測定装置1は、略垂直な主面を有するテーブル2を含む。テーブル2の略垂直な主面上には、円板状の搬送テーブル3が、略水平方向に配置される中心軸を回転軸として回転可能に設けられる。この搬送テーブル3には、多数のキャビティ4、4、・・が、搬送テーブル3の回転軸を中心とする円周上に間隔を隔てて形成される。これらのキャビティ4、4、・・は、それぞれ、電気的特性を測定すべきチップ型電子部品Cを収納して保持するためのものである。キャビティ4の深さは、搬送テーブル3の厚みに相当するが、キャビティ4内のチップ型電子部品Cの外部電極E、Eが搬送テーブル3の両主面側で露出するように、チップ型電子部品Cの長さ寸法Lより若干短い寸法を有する。また、キャビティ4は、搬送テーブル3の径方向における寸法が、チップ型電子部品Cの幅寸法Wより若干長い寸法を有し、搬送テーブル3による搬送方向における寸法が、チップ型電子部品Cの厚さ寸法Tより若干長い寸法を有する。
搬送テーブル3の一部分の近傍には、ワーク供給部5が設けられる。ワーク供給部5は、搬送テーブル3のキャビティ4にチップ型電子部品Cを供給するためのものである。
また、搬送テーブル3の他の部分の近傍には、測定部6が設けられる。測定部6は、搬送テーブル3のキャビティ4内のチップ型電子部品Cの電気的特性を測定するためのものである。測定部6は、図11に示すように、ローラ形状の第1の測定端子6aと、ブロック状の第2の測定端子6bとを含む。第1の測定端子6aは、テーブル2に形成した端子用孔2aを介して搬送テーブル3のキャビティ4内のチップ型電子部品Cの一方の外部電極Eに接触するように、テーブル2側に設けられる。この場合、第1の測定端子6aは、搬送テーブル3の径方向にのびる軸を中心として回転するように、テーブル2に回転可能に設けられる。また、第2の測定端子6bは、搬送テーブル3のキャビティ4内のチップ型電子部品Cの他方の外部電極Eに接触するように、第1の測定端子6aに対向するように設けられる。
図9に示すチップ型電子部品の電気的特性測定装置1では、チップ型電子部品Cがワーク供給部5によって搬送テーブル3のキャビティ4に供給され、キャビティ4に供給されたチップ型電子部品Cは搬送テーブル3によって測定部6側に搬送され、チップ型電子部品Cの電気的特性が測定部6の第1の測定端子6aおよび第2の測定端子6bを介して測定される。
特開2004−315227号公報
ところが、図9に示すチップ型電子部品の電気的特性測定装置1では、扁平形状のチップ型電子部品Cの幅方向が搬送テーブル3の径方向に平行するようにチップ型電子部品Cが搬送テーブル3のキャビティ4内に収納される構造なので、図11に示すように、チップ型電子部品Cの長手方向における一端部が、搬送テーブル3による搬送方向において短く、測定部6のローラ形状の第1の測定端子6aとテーブル2の端子用孔2aを規定する部分との間で咬み込まれてしまい、チップ型電子部品Cが損傷したり、搬送テーブル3が停止したりしてしまうおそれがある。
それゆえに、この発明の主たる目的は、チップ型電子部品が咬み込まれにくいチップ型電子部品の電気的特性測定装置を提供することである。
この発明にかかるチップ型電子部品の電気的特性測定装置は、長さ寸法より幅寸法が短くかつ幅寸法より厚さ寸法が短い直方体状に形成され、長手方向における長方形状の両端面に外部電極をそれぞれ有するチップ型電子部品の電気的特性を測定するためのチップ型電子部品の電気的特性測定装置であって、測定装置本体と、測定装置本体に回転自在に保持され、チップ型電子部品を収納するためのキャビティを有する搬送テーブルと、キャビティ内のチップ型電子部品の一方の外部電極に接触するように、搬送テーブルによるチップ型電子部品の搬送方向に沿って回転するように測定装置本体に設けられているローラ形状の第1の測定端子と、キャビティ内のチップ型電子部品の他方の外部電極に接触するように、第1の測定端子に対向する位置に設けられている第2の測定端子とを備え、キャビティは、チップ型電子部品の長手方向における両端面に対応した長方形状の開口部を有し、外部電極が搬送テーブルの両主面側で露出するようにチップ型電子部品を長手方向に受け入れて収納するように形成され、開口部の長手方向が搬送テーブルの径方向以外の方向となるように形成されている、チップ型電子部品の電気的特性測定装置である。なお、この発明において、電気的特性が測定されるチップ型電子部品は、直方体状に形成されたチップ型電子部品であるが、稜線部分に丸みを帯びていない直方体のチップ型電子部品だけでなく、直方体の稜線部分に多少の丸みを帯びた形状のチップ型電子部品も含まれる。また、この発明においては、長方形状の両端面とは、丸みを帯びていない長方形の両端面だけでなく、長方形の角部に多少の丸みを帯びた形状の両端面も含まれる。
この発明にかかるチップ型電子部品の電気的特性測定装置では、キャビティは、キャビティ内のチップ型電子部品の寸法であって搬送テーブルによるチップ型電子部品の搬送方向における寸法が、第1の測定端子と測定装置本体との間の隙間より大きくなるように形成されていることが好ましい。
また、この発明にかかるチップ型電子部品の電気的特性測定装置では、キャビティは、開口部の長手方向が搬送テーブルによる搬送方向に実質的に沿うように形成されていることが好ましい。なお、この発明において、搬送方向に実質的に沿うように形成されているとは、搬送方向に沿うように形成されていることだけでなく、搬送方向に略沿うように形成されていることも含まれる。
さらに、この発明にかかるチップ型電子部品の電気的特性測定装置では、搬送テーブルは回転軸が実質的に水平方向にあり、キャビティは真空吸引によってチップ型電子部品を吸引保持するキャビティであり、チップ型電子部品をキャビティの近傍に浮上させるチップ型電子部品供給部を備え、チップ型電子部品供給部で浮上したチップ型電子部品をキャビティ内からの真空吸引によってキャビティ内に収容するようにすることが好ましい。なお、この発明において、回転軸が実質的に水平方向にあるとは、回転軸が水平方向にあることだけでなく、回転軸が略水平方向にあることも含まれる。
この発明にかかるチップ型電子部品の電気的特性測定装置では、搬送テーブルに形成されたキャビティの開口部の長手方向が搬送テーブルの径方向以外の方向となるようにキャビティが形成されているので、キャビティ内のチップ型電子部品の長手方向における一端部が、搬送テーブルによる搬送方向において長くなり、ローラ形状の第1の測定端子と測定装置本体との間で咬み込まれにくくなる。
また、この発明にかかるチップ型電子部品の電気的特性測定装置において、キャビティは、キャビティ内のチップ型電子部品の寸法であって搬送テーブルによるチップ型電子部品の搬送方向における寸法が、第1の測定端子と測定装置本体との間の隙間より大きくなるように形成されていると、キャビティ内のチップ型電子部品の長手方向における一端部が、ローラ形状の第1の測定端子と測定装置本体との間でさらに咬み込まれにくくなる。
さらに、この発明にかかるチップ型電子部品の電気的特性測定装置において、キャビティは、開口部の長手方向が搬送テーブルによる搬送方向に実質的に沿うように形成されていると、キャビティ内のチップ型電子部品の長手方向における一端部が、搬送テーブルによる搬送方向において非常に長くなり、ローラ形状の第1の測定端子と測定装置本体との間で非常に咬み込まれにくくなる。
また、この発明にかかるチップ型電子部品の電気的特性測定装置において、搬送テーブルは回転軸が実質的に水平方向にあり、キャビティは真空吸引によってチップ型電子部品を吸引保持するキャビティであり、チップ型電子部品をキャビティの近傍に浮上させるチップ型電子部品供給部を備え、チップ型電子部品供給部で浮上したチップ型電子部品をキャビティ内からの真空吸引によってキャビティ内に収容するようにすると、チップ型電子部品をキャビティ内に収納しやすくなる。
この発明によれば、チップ型電子部品が咬み込まれにくいチップ型電子部品の電気的特性測定装置が得られる。
この発明の上述の目的、その他の目的、特徴および利点は、図面を参照して行う以下の発明を実施するための最良の形態の説明から一層明らかとなろう。
図1はこの発明にかかるチップ型電子部品の電気的特性測定装置の一例を示す要部正面図解図であり、図2はその電気的特性測定装置の要部側面図解図であり、図3はその電気的特性測定装置の要部側面図解図であり、図4は図1の線IV−IVにおける断面図解図である。
図1に示すチップ型電子部品の電気的特性測定装置10は測定装置本体12を含み、測定装置本体12は固定的に設けられるテーブル14を含む。テーブル14は、略垂直な主面を有する。
テーブル14の略垂直な主面上には、円板状のターンテーブルないし搬送テーブル16が、略水平方向に配置される中心軸を回転軸として回転自在に保持されている。すなわち、搬送テーブル16は、測定装置本体12に回転自在に保持されている。また、搬送テーブル16は、ロータ(図示せず)で回転することができるように構成されている。この場合、搬送テーブル16は、搬送テーブル16の回転方向における角度であって後述のキャビティ18、18、・・が隔てられている等角度ごとに、間欠的に回転することができるように構成されている。
搬送テーブル16は、たとえば13個のキャビティ18、18、・・を有する。これらのキャビティ18、18、・・は、搬送テーブル16の回転軸を中心とする円周上に、等間隔を隔ててすなわち搬送テーブル16の回転軸を中心として等角度を隔てて形成されている。これらのキャビティ18、18、・・は、それぞれ、電気的特性を測定すべきたとえばチップ型電子部品Cを収納して保持するためのものである。
キャビティ18の深さは、搬送テーブル16の厚みに相当し、キャビティ18内のチップ型電子部品Cの外部電極E、Eが搬送テーブル16の両主面側で露出するように、チップ型電子部品Cの長さ寸法Lに対応して、その長さ寸法Lより若干短い寸法を有する。
また、キャビティ18は、搬送テーブル16の径方向における寸法が、チップ型電子部品Cの厚さ寸法Tに対応して、その厚さ寸法Tより若干長い寸法を有する。
さらに、キャビティ18は、搬送テーブル16によるチップ型電子部品Cの搬送方向における寸法が、チップ型電子部品Cの幅寸法Wに対応して、その幅寸法Wより若干長い寸法を有する。
すなわち、キャビティ18は、チップ型電子部品Cの長手方向における両端面に対応した長方形状の開口部を有する。また、キャビティ18は、チップ型電子部品Cの外部電極E、Eが搬送テーブル16の両主面側で露出するように、チップ型電子部品Cを長手方向にのみ受け入れて収納するように形成されている。さらに、キャビティ18は、開口部の長手方向が搬送テーブル18による搬送方向に沿うように形成されている。
また、キャビティ18は、キャビティ18内のチップ型電子部品Cの寸法であって搬送テーブル16によるチップ型電子部品Cの搬送方向における寸法が、後述の第1の測定端子32と測定装置本体12のテーブル14の端子用孔14aを規定する部分との間の隙間より大きくなるように形成されており、0.02mm以下であることが望ましい。
さらに、キャビティ18は、図2の矢印で示すように真空吸引手段(図示せず)によるキャビティ18内からの真空吸引によってチップ型電子部品Cをキャビティ18内に収容して吸引保持するように構成されている。
搬送テーブル16の一部分の近傍、特に、高さ方向において中間に位置するキャビティ18の近傍には、図1に示すように、チップ型電子部品供給部20が設けられる。チップ型電子部品供給部20は、搬送テーブル16のキャビティ18にチップ型電子部品Cを供給するためのものである。
チップ型電子部品供給部20は、図2に示すように、振動部を有する供給部本体22を含む。供給部本体22の上部には、収容部24が設けられる。収容部24は、多数のチップ型電子部品Cを収容するためのものであり、水平方向に配置される底板24aを有する。底板24aにおいて、搬送テーブル16側の端部以外の端部には、チップ型電子部品Cが不用意に落下しないようにするために、側壁(図示せず)が設けられている。
収容部24の横、特に、搬送テーブル16側の横には、案内部26が設けられる。案内部26は、収容部24に収容されているチップ型電子部品Cを搬送テーブル16のキャビティ18側に案内するためのものである。案内部26は、収容部24の底板24aから搬送テーブル16のキャビティ18の近傍にのびる底板26aを有する。底板26aは、収容部24側の部分よりキャビティ18側の部分が下方になるように傾斜して配置される。なお、底板26aにおいて、収容部24および搬送テーブル16側の端部以外の両側端部にも、チップ型電子部品Cが不用意に落下しないようにするために、側壁(図示せず)が設けられている。
このチップ型電子部品供給部20は、供給部本体22の振動部で収容部24および案内部26が図2の矢印で示す横方向に振動し、それによって、収容部24に収容されているチップ型電子部品Cが案内部26を介して搬送テーブル16のキャビティ18側に徐々に移動されるように構成されている。
搬送テーブル16の他の部分の近傍、特に、高さ方向において上方から中央に位置するキャビティ18の近傍には、図1に示すように、測定部30が設けられる。測定部30は、搬送テーブル16のキャビティ18内のチップ型電子部品Cの電気的特性を測定するためのものである。
測定部30は、図4に示すように、ローラ形状の第1の測定端子32を含む。第1の測定端子32は、テーブル14に形成した端子用孔14aを介して搬送テーブル16のキャビティ18内のチップ型電子部品Cの一方の外部電極Eに接触するように、テーブル14側に設けられる。この場合、第1の測定端子32は、搬送テーブル16の径方向にのびる軸を中心として、搬送テーブル16によるチップ型電子部品Cの搬送方向に沿って回転するように、テーブル14に回転可能に設けられる。
さらに、測定部30は、ブロック状の第2の測定端子34を含む。第2の測定端子34は、搬送テーブル16のキャビティ18内のチップ型電子部品Cの他方の外部電極Eに接触するように、第1の測定端子32に対向する位置に設けられる。
また、第1の測定端子32および第2の測定端子34は、チップ型電子部品Cの電気的特性を測定するための測定機器(図示せず)に電気的に接続される。この測定機器としては、たとえば、チップ型電子部品Cがチップ型積層コンデンサである場合には静電容量値、誘電体損失、絶縁抵抗値などの電気的特性を測定するための機器が用いられ、チップ型電子部品Cがチップ型抵抗器である場合には抵抗値などの電気的特性を測定するための機器が用いられ、チップ型電子部品Cがチップ型インダクタである場合にはインダクタンス値などの電気的特性を測定するための機器が用いられる。
なお、チップ型電子部品Cの異なった複数の電気的特性を測定するためには、複数組の第1の測定端子32、第2の測定端子34およびそれらに電気的に接続される所望の測定機器が、搬送テーブル16のキャビティ18、18、・・の近傍において、搬送テーブル16の回転方向に沿って並べて設けられてもよい。
図1に示すチップ型電子部品の電気的特性測定装置10では、チップ型電子部品供給部20によってチップ型電子部品Cが搬送テーブル16のキャビティ18に供給される。
そして、キャビティ18に供給されたチップ型電子部品Cは、搬送テーブル16の回転によって、測定部30側に搬送される。
それから、測定部30側に搬送されたキャビティ18内のチップ型電子部品Cは、その電気的特性が測定部30の第1の測定端子32および第2の測定端子34を介して測定機器で測定される。
上述の電気的特性測定装置10では、キャビティ18の開口部の長手方向が搬送テーブル16によるチップ型電子部品Cの搬送方向に沿うようにキャビティ18が形成されているので、キャビティ18内のチップ型電子部品Cの搬送方向における長さが長くなり、チップ型電子部品Cが第1の測定端子32およびテーブル14との間で咬み込まれにくくなる。
また、上述の電気的特性測定装置10では、チップ型電子部品Cをキャビティ18内に吸引保持するので、チップ型電子部品Cを予め整列しておかなくても、チップ型電子部品Cをキャビティ18に収納することができる。
さらに、上述の電気的特性測定装置10では、キャビティ18の開口部が、チップ型電子部品Cの幅寸法および厚さ寸法に対応し、すなわち、チップ型電子部品Cの一番小さい面に対応するので、キャビティ18に収納されるチップ型電子部品Cの方向が一定の方向に決まる。この場合、チップ型電子部品Cの外部電極E、Eが搬送テーブル16の両主面で露出するようにチップ型電子部品Cの収納される方向が決まるので、チップ型電子部品Cの外部電極E、Eに測定部30の第1の測定端子32および第2の測定端子34を接触して、チップ型電子部品Cの電気的特性を測定することができる。
なお、図1に示す電気的特性測定装置10では、搬送テーブル16に13個のキャビティ18、18、・・が1つの円周上に一列に形成されているが、図5に示すように、多数のキャビティ18、18、・・が、4つの同心円の円周上に4列に形成されてもよい。この場合、4列のキャビティ18、18、・・に対応してチップ型電子部品供給部が設けられるとともに、各列のキャビティ18、18、・・に対応して第1の測定端子、第2の測定端子および測定機器がそれぞれ設けられる。このように、キャビティ18などの数や配列を変えても、チップ型電子部品Cが第1の測定端子32およびテーブル14との間で咬み込まれにくくなるという効果が得られる。また、このようにキャビティ18などを複数列に形成すると、1つ当たりのチップ型電子部品Cの電気的特性を測定する平均速度を速くすることができる。
また、図1に示す電気的特性測定装置10の搬送テーブル16や図5に示す搬送テーブル16では、キャビティ18の開口部の長手方向が搬送テーブル16によるチップ型電子部品Cの搬送方向に沿うようにキャビティ18が形成されているが、図6に示すように、キャビティ18は、開口部の長手方向が搬送テーブル16によるチップ型電子部品Cの搬送方向に対して斜めの方向になるように形成されてもよい。このようにしても、チップ型電子部品Cの搬送方向における長さが長くなるので、チップ型電子部品Cが第1の測定端子32およびテーブル14との間で咬み込まれにくくなる。
図7はこの発明にかかるチップ型電子部品の電気的特性測定装置の他の例を示す要部側面図解図である。図7に示す電気的特性測定装置10は、図1に示す電気的特性測定装置10と比べて、チップ型電子部品供給部20の案内部26の底板26aに複数の吹出用孔26b、26b、・・が形成されるとともに、それらの吹出用孔26b、26b、・・から上方に気体が吹き出され、それによって、底板26a上のチップ型電子部品Cを搬送テーブル16のキャビティ18の近傍に浮上させるように構成されている。
図7に示す電気的特性測定装置10では、図1に示す電気的特性測定装置10と同様に、チップ型電子部品Cが咬み込まれにくくなるが、さらに、チップ型電子部品Cを搬送テーブル16のキャビティ18の近傍に浮上させるように構成されているので、チップ型電子部品Cを搬送テーブル16のキャビティ18内に収納しやすくなる。
なお、上述の各電気的特性測定装置10には、搬送テーブル16のキャビティ18の近傍において、チップ型電子部品供給部20の下流側に測定部30が設けられているが、測定部30の下流側には、測定部30によるチップ型電子部品Cの電気的特性の測定結果に基づいてチップ型電子部品Cを良品と不良品とに分別するための分別部が設けられてもよい。
また、上述の各電気的特性測定装置10では、測定装置本体12のテーブル14が略垂直な主面を有し、テーブル14の略垂直な主面上に搬送テーブル16が略垂直に設けられているが、テーブル14の主面および搬送テーブル16は、略垂直な面以外に垂直面、斜面または水平面に平行するように形成されてもよい。
この発明にかかるチップ型電子部品の電気的特性測定装置は、たとえば、チップ型積層コンデンサの静電容量値、誘電体損失、絶縁抵抗値、チップ型抵抗器の抵抗値、およびチップインダクタのインダクタンス値などのチップ型電子部品の電気的特性を測定するために利用される。
この発明にかかるチップ型電子部品の電気的特性測定装置の一例を示す要部正面図解図である。 図1に示す電気的特性測定装置の要部側面図解図である。 図1に示す電気的特性測定装置の要部側面図解図である。 図1の線IV−IVにおける断面図解図である。 搬送テーブルの他の例を示す正面図である。 搬送テーブルのさらに他の例を示す正面図である。 この発明にかかるチップ型電子部品の電気的特性測定装置の他の例を示す要部側面図解図である。 この発明が適用されるチップ型電子部品の一例を示す斜視図である。 従来のチップ型電子部品の電気的特性測定装置の一例を示す要部正面図解図である。 図9に示す電気的特性測定装置の要部底面図解図である。 図9の線XI−XIにおける断面図解図である。
符号の説明
10 チップ型電子部品の電気的特性測定装置
12 測定装置本体
14 テーブル
14a 端子用孔
16 搬送テーブル
18 キャビティ
20 チップ型電子部品供給部
22 供給部本体
24 収容部
24a 底板
26 案内部
26a 底板
26b 吹出用孔
30 測定部
32 第1の測定端子
34 第2の測定端子
C チップ型電子部品
E 外部電極
L、W、T 長さ、幅、厚さ

Claims (4)

  1. 長さ寸法より幅寸法が短くかつ幅寸法より厚さ寸法が短い直方体状に形成され、長手方向における長方形状の両端面に外部電極をそれぞれ有するチップ型電子部品の電気的特性を測定するためのチップ型電子部品の電気的特性測定装置であって、
    測定装置本体、
    前記測定装置本体に回転自在に保持され、前記チップ型電子部品を収納するためのキャビティを有する搬送テーブル、
    前記キャビティ内の前記チップ型電子部品の一方の外部電極に接触するように、前記搬送テーブルによる前記チップ型電子部品の搬送方向に沿って回転するように前記測定装置本体に設けられているローラ形状の第1の測定端子、および
    前記キャビティ内の前記チップ型電子部品の他方の外部電極に接触するように、前記第1の測定端子に対向する位置に設けられている第2の測定端子を備え、
    前記キャビティは、
    前記チップ型電子部品の長手方向における両端面に対応した長方形状の開口部を有し、
    前記外部電極が前記搬送テーブルの両主面側で露出するように前記チップ型電子部品を長手方向に受け入れて収納するように形成され、
    前記開口部の長手方向が前記搬送テーブルの径方向以外の方向となるように形成されている、チップ型電子部品の電気的特性測定装置。
  2. 前記キャビティは、前記キャビティ内の前記チップ型電子部品の寸法であって前記搬送テーブルによる前記チップ型電子部品の搬送方向における寸法が、前記第1の測定端子と前記測定装置本体との間の隙間より大きくなるように形成されている、請求項1に記載のチップ型電子部品の電気的特性測定装置。
  3. 前記キャビティは、前記開口部の長手方向が前記搬送テーブルによる搬送方向に実質的に沿うように形成されている、請求項1または請求項2に記載のチップ型電子部品の電気的特性測定装置。
  4. 前記搬送テーブルは回転軸が実質的に水平方向にあり、
    前記キャビティは真空吸引によって前記チップ型電子部品を吸引保持するキャビティであり、
    前記チップ型電子部品を前記キャビティの近傍に浮上させるチップ型電子部品供給部を備え、
    前記チップ型電子部品供給部で浮上した前記チップ型電子部品を前記キャビティ内からの真空吸引によって前記キャビティ内に収容する、請求項1ないし請求項3のいずれかに記載のチップ型電子部品の電気的特性測定装置。
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