JP2007027632A - 光学装置及び露光装置、並びにデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】光学部材の温度変化を抑えることができる光学装置を提供する。
【解決手段】光学装置30は、照射光が照射される光学部材を備えている。光学部材の表面の少なくとも一部は、所定の熱量を吸収するために相変化する媒体35で覆われている。
【選択図】 図1
Description
本発明は、照射光が照射される光学部材を備えた光学装置、及び基板を露光する露光装置、並びにデバイス製造方法に関するものである。
半導体デバイス等のマイクロデバイスの製造工程の一つであるフォトリソグラフィ工程では、マスク上に形成されたパターンを投影光学系を介して感光性の基板上に露光する露光装置が用いられる。露光装置においては、良好な結像特性を維持することが重要であるが、その結像特性に影響を与える要因の一つとして、露光光の照射による投影光学系の光学部材の熱変形がある。そのため、良好な結像特性を維持するために、例えば下記特許文献1に開示されているような、光学部材を駆動することによって投影光学系の光学部材の熱変形に起因する結像特性の変化を補正する技術が案出されている。
特開平11−195602号公報
ところで、露光光の照射による光学部材の熱変形に起因する結像特性の変化を抑えるためには、光学部材の温度変化を抑えることが望ましい。そのため、簡易な構成で光学部材の温度変化を抑えることができる技術の案出が望まれる。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、光学部材の温度変化を抑えることができる光学装置を提供することを目的とする。また、その光学装置を備えた露光装置、並びにその露光装置を用いるデバイス製造方法を提供することを目的とする。
上記の課題を解決するため、本発明は実施の形態に示す各図に対応付けした以下の構成を採用している。但し、各要素に付した括弧付き符号はその要素の例示に過ぎず、各要素を限定するものではない。
本発明の第1の態様に従えば、照射光(Lu)が照射される光学部材(31)を備えた光学装置において、光学部材(31)の表面の少なくとも一部が、所定の熱量を吸収するために相変化する媒体(35)で覆われている光学装置(30)が提供される。
本発明の第1の態様によれば、光学部材の温度変化を抑えることができる。
本発明の第2の態様に従えば、照射光(Lu)が照射される光学部材(31)を備えた光学装置において、光学部材(31)の表面の少なくとも一部が、照射光(Lu)の照射によりその一部が気化することで生じる気化熱によって、照射光(Lu)の照射に起因する光学部材(31)の温度変化を抑える媒体(35)で覆われている光学装置(30)が提供される。
本発明の第2の態様によれば、光学部材の温度変化を抑えることができる。
本発明の第3の態様に従えば、上記態様の光学装置を含み、基板(P)上に露光光(EL)を照射して基板(P)を露光する露光装置(EX)が提供される。
本発明の第3の態様によれば、温度変化が抑えられた光学部材を有する光学装置を用いて基板を良好に露光することができる。
本発明の第4の態様に従えば、上記態様の露光装置(EX)を用いるデバイス製造方法が提供される。
本発明の第4の態様によれば、基板を良好に露光できる露光装置を用いてデバイスを製造することができる。
本発明によれば、光学部材の温度変化を抑えることができる。また、温度変化が抑えられた光学部材を有する光学装置を用いて、基板を良好に露光することができ、所望の性能を有するデバイスを製造することができる。
以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明するが、本発明はこれに限定されない。なお、以下の説明においては、XYZ直交座標系を設定し、このXYZ直交座標系を参照しつつ各部材の位置関係について説明する。そして、水平面内における所定方向をX軸方向、水平面内においてX軸方向と直交する方向をY軸方向、X軸方向及びY軸方向のそれぞれに直交する方向(すなわち鉛直方向)をZ軸方向とする。また、X軸、Y軸、及びZ軸まわりの回転(傾斜)方向をそれぞれ、θX、θY、及びθZ方向とする。
<第1実施形態>
第1実施形態について説明する。図1(A)は第1実施形態に係る光学装置30を示す概略構成図、図1(B)は光学素子(光学部材)31の拡大図である。図1において、光学装置30は、光学素子(光学部材)31と、光学素子31を保持するハウジング33とを備えている。本実施形態においては、光学装置30は、複数の光学素子31(31A〜31E)を有している。本実施形態においては、光学素子31A〜31Eのそれぞれはレンズである。ハウジング33は、複数の光学素子31A〜31EがZ軸方向に並ぶように、各光学素子31A〜31Eのそれぞれを保持する。
第1実施形態について説明する。図1(A)は第1実施形態に係る光学装置30を示す概略構成図、図1(B)は光学素子(光学部材)31の拡大図である。図1において、光学装置30は、光学素子(光学部材)31と、光学素子31を保持するハウジング33とを備えている。本実施形態においては、光学装置30は、複数の光学素子31(31A〜31E)を有している。本実施形態においては、光学素子31A〜31Eのそれぞれはレンズである。ハウジング33は、複数の光学素子31A〜31EがZ軸方向に並ぶように、各光学素子31A〜31Eのそれぞれを保持する。
ハウジング33は筒状部材であり、複数の光学素子31A〜31Eのうち、最も+Z側の第1光学素子31Aはハウジング33の上端で保持され、最も−Z側の第5光学素子31Eはハウジング33の下端で保持されている。最も+Z側に設けられている第1光学素子31Aの上面と、最も−Z側に設けられている第5光学素子31Eの下面とは、ハウジング33の外部に露出している。そして、筒状のハウジング33と、そのハウジング33の上端で保持された第1光学素子31Aと、そのハウジング33の下端で保持された第5光学素子31Eとによって、ほぼ密閉された内部空間32が形成されている。第1光学素子31Aの下面と、第5光学素子31Eの上面とは、内部空間32に面している。そして、第1、第5光学素子31A、31E以外の第2、第3、第4光学素子31B、31C、31Dが内部空間32に収容されている。
内部空間32はほぼ密閉されており、内部空間32に収容された第2、第3、第4光学素子31B、31C、31Dの上面及び下面、第1光学素子31Aの下面、及び第5光学素子31Eの上面のそれぞれは、所定の熱量を吸収するために相変化する媒体35で覆われている。内部空間32に収容された第2、第3、第4光学素子31B、31C、31Dの上面及び下面、第1光学素子31Aの下面、及び第5光学素子31Eの上面のそれぞれを覆う媒体35は液体(液相)状態である。以下の説明では、媒体35で覆われる第2、第3、第4光学素子31B、31C、31Dの上面及び下面、第1光学素子31Aの下面、及び第5光学素子31Eの上面のそれぞれを適宜、光学素子31の表面、と言う。
また、ハウジング33の内面34も、液体(液相)状態の媒体35で覆われている。
媒体35としては、例えばフッ素系不活性液体(例えば住友スリーエム社製の「フロリナート」)などを用いることができる。フロリナート等のフッ素系不活性液体は、化学的に安定しており、濡れ性及び揮発性が高く、ArFエキシマレーザ光やF2レーザ光を含む紫外光を透過可能である。なお、媒体35としては、アウジモント社製の「フォンブリン」を用いることもできる。
媒体35は、液相及び気相として内部空間32に存在している。光学素子31の表面やハウジング33の内面34を覆っている媒体35は液相状態として存在しており、内部空間32には気相状態の媒体35が存在している。液相状態として存在する媒体35は、光学素子31の表面に薄膜を形成している。
また、光学装置30は、ハウジング33の温度を調整する温度調整装置40を備えている。温度調整装置40は、ハウジング33に形成された内部流路36に温度調整された流体を流すことによって、このハウジング33の温度を調整する。本実施形態では、温度調整装置40は、温度調整された液体を内部流路36に流す。温度調整装置40は、内部流路36に供給する液体の温度を調整する液体温度調整器、及び内部流路36を流れた液体を回収する回収器等を備えており、温度調整された液体を内部流路36を含む循環系で循環することによって、ハウジング33の温度を所望値に調整する。温度調整装置40は、光学素子31を保持するとともに、内部空間32を形成するハウジング33の温度を、ほぼ一定値となるように調整する。なお、温度調整装置40は、温度調整された気体を内部流路36に流すようにしてもよい。
図2は光学素子31に照射光Luが照射されている様子を示す図である。図2において、照射光Luを射出する照射装置100は、光学装置30の第1光学素子31Aの上面の所定領域に照射光Luを照射する。第1光学素子31Aの上面に照射された照射光Luは、第1光学素子31Aの下面の所定領域を通過した後、内部空間32に入射され、第2、第3、第4光学素子31B、31C、31Dの上面及び下面のそれぞれの所定領域を順次通過した後、第5光学素子31Eを介して内部空間32より射出される。第5光学素子31Eの下面の所定領域より内部空間32の外部に射出された照射光Luは、第5光学素子31Eの下面と対向する位置に配置された所定の物体101上に照射される。
光学素子31の表面の所定領域に照射光Luが照射されることにより、光学素子31の表面を覆う媒体35は、照射光Luに応じた熱量を吸収するために、液相から気相に相変化する。すなわち、照射光Luが照射されることによって高温領域となる光学素子31の表面を覆っている液相状態の媒体35の一部が気化(蒸発)し、気相に変化する。媒体35が液相から気相へ相変化する際の潜熱によって、すなわち、媒体35の一部が気化することで生じる気化熱によって、照射光Luに応じた熱量が吸収される。したがって、媒体35は、温度上昇を伴わずに光学素子31を冷却することができ、照射光Luの照射に起因する光学素子31の温度変化(温度上昇)を抑えることができる。
このように、媒体35は、照射光Luの照射に起因する光学素子31の温度変化を抑えるために、所定の熱量を吸収し、液相から気相に相変化する。
光学素子31の表面から気化して気相状態となった媒体35や、内部空間32に気相として存在する媒体35は、内部空間32の低温領域で熱量を放出し、気相から液相へと相変化する。ここで、低温領域とは、例えば光学素子31のうち、照射光Luが照射されていない領域や、ハウジング33の内面34を含む。すなわち、気相として存在する媒体35は、凝固熱によって低温領域へ熱量を与え、液相へと相変化する。ここで、照射光Luが照射されている間、ハウジング33の温度は温度調整装置40により調整されている。
このように、内部空間32の内部においては、加熱された高温領域に液相状態として存在する媒体35が熱量を吸収して蒸発(気化)するとともに、気相状態の媒体35が、低温領域で熱量を放出して凝固する現象が生じる。すなわち、内部空間32においてはヒートパイプが構築され、媒体35の蒸発及び凝固、つまり媒体35の気相と液相との相変化によって、光学素子31の温度変化が抑制されるとともに、内部空間32の各位置や、光学素子31の各位置における温度分布(温度むら)の発生が抑制される。
また、照射光Luの照射を停止することにより、光学素子31の温度は低下し、内部空間32に気相状態で存在する媒体35が光学素子31の表面で凝固し、その光学素子31の表面は液相状態の媒体35の薄膜で覆われる。
本実施形態においては、照射光Luの照射に起因する光学素子31の温度変化を抑えるとともに、所望の光学特性を維持するために、内部空間32での媒体35の量(濃度)を含む、内部空間32の状態(環境)が最適化されている。照射光Luの照射に起因する光学素子31の温度変化を媒体35を用いて抑えるためには、露光光Luが照射されている間、液相状態の媒体35で光学素子31の表面を常に覆っている必要がある。一方で、光学素子31の表面を覆う液相状態の媒体35からなる膜の厚さが厚くなりすぎると、光学特性が劣化する可能性がある。
したがって、ハウジング33の温度や照射光Luの照射条件(照射時間、照度、パワーなど)、媒体35の物性(沸点など)などに応じて、内部空間32での媒体35の量、内部空間32の圧力、及び温度調整装置40がハウジング33を温度調整するときの目標温度などが最適化されている。
以上説明したように、光学素子31の表面の少なくとも一部を、所定の熱量を吸収するために相変化する媒体35で覆うことにより、照射光Luが照射された際に媒体35が液相から気相に相変化する際の潜熱(気化熱)によって、照射光Luの照射に起因する光学素子31の温度変化を抑えることができる。また、密閉された内部空間32における、媒体35の液相から気相への相変化、及び気相から液相への相変化によって、光学素子31を含む内部空間32の温度分布(温度むら)の発生を抑制することができる。したがって、光学素子31の熱変形を抑え、光学素子31の温度変化や温度分布による光学装置30の光学特性の劣化を抑制することができる。
<第2実施形態>
次に、第2実施形態について、図3を参照しながら説明する。以下の説明において、上述の第1実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
次に、第2実施形態について、図3を参照しながら説明する。以下の説明において、上述の第1実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
図3において、光学装置30は、光学素子31と、ハウジング33と、ハウジング33の温度を調整する温度調整装置40とを備えている。また、本実施形態の光学装置30は、内部空間32の圧力を調整する圧力調整装置42と、内部空間32での媒体35の量(濃度)を調整する媒体量調整装置44と、内部空間32の媒体35を含む気体を回収可能な回収装置46とを備えている。
内部空間32はほぼ密閉されており、圧力調整装置42は、内部空間32に対して、例えば窒素ガス(ドライ窒素)を供給可能である。また、圧力調整装置42は、内部空間32の気体を回収可能である。圧力調整装置42は、内部空間32に対する気体の供給と内部空間32の気体の回収とを適宜行うことにより、内部空間32の圧力を調整可能である。圧力調整装置42は、内部空間32の圧力を調整することで、光学素子31の表面を覆っている液相の媒体35が気化するときの温度(沸点)を調整することができる。例えば、圧力調整装置42は、内部空間32の圧力を低下することで、光学素子31の表面を覆っている液相状態の媒体35を容易に気化(蒸発)させることができる。
媒体量調整装置44は、媒体35を内部空間32に供給することによって、内部空間32での媒体35の量(濃度)を調整する。媒体量調整装置44は、例えば液相状態の媒体35を液滴状、または霧状にして内部空間32に供給する。液相状態の媒体35を液滴状に供給する場合、例えばスポイト状の部材をハウジング33の内部に挿入し、所定の光学素子31の上面に、液滴状の媒体35を供給するようにしてもよい。媒体35として、フロリナートなどの濡れ性の高いものを用いた場合、液滴状に供給された媒体35は光学素子31の上面で良好に濡れ拡がり、光学素子31の上面に媒体35の薄膜を良好に形成することができる。なお、気相状態の媒体35を内部空間32に供給することもできる。
また、回収装置46は、内部空間32の媒体35や気体(窒素ガス)を回収可能であり、回収装置46によって、内部空間32の圧力や、媒体35の量を調整することもできる。
本実施形態においては、照射光Luが照射されている間、ハウジング33の温度は、温度調整装置40により調整されている。また、照射光Luが照射されている間、内部空間32の圧力や媒体35の量は、圧力調整装置42、媒体量調整装置44、及び回収装置46等によって調整される。
したがって、内部空間32の媒体35の量を含む、内部空間32の状態(環境)を常に調整し、最適化することができ、照射光Luの照射に起因する光学素子31の温度変化を抑えるとともに、所望の光学特性を得ることができる。そして、照射光Luの照射に起因する光学素子31の温度変化を媒体35を用いて抑えるために、露光光Luが照射されている間、所望の厚さを有する液相状態の媒体35の膜で光学素子31の表面を覆うことができる。
なお、上述の実施形態において、例えばハウジング33の内面34を粗面にしておくことにより、その内面34で液相状態の媒体35を良好に保持することができる。また、光学素子31の表面に、光学性能に影響を与えない程度に、ナノオーダーの凹部又は凸部を設けることにより、光学素子31の表面で液相状態の媒体35を良好に保持することができる。
なお、第1、第2実施形態においては、照射光Luが照射される光学部材として、照射光Luが通過するレンズ(光学素子)を例にして説明したが、例えばミラーなど、照射光Luを反射する部材であってもよい。あるいは、照射光Luの光路上に設けられ、照射光Luが照射される例えば金属製の所定の部材であってもよい。
<第3実施形態>
次に、第3実施形態として、上述の第1、第2実施形態で説明したような光学装置を含む露光装置の一例について図4を参照して説明する。
次に、第3実施形態として、上述の第1、第2実施形態で説明したような光学装置を含む露光装置の一例について図4を参照して説明する。
図4において、露光装置EXは、マスクMを保持して移動可能なマスクステージ3と、基板Pを保持して移動可能な基板ステージ4と、マスクステージ3に保持されているマスクMを露光光ELで照明する照明光学系ILと、露光光ELで照明されたマスクMのパターン像を基板P上に投影する投影光学系PLと、露光装置EX全体の動作を制御する制御装置7とを備えている。
本実施形態の露光装置EXは、露光波長を実質的に短くして解像度を向上するとともに焦点深度を実質的に広くするために液浸法を適用した液浸露光装置であって、投影光学系PLの像面側の露光光ELの光路空間Kを液体LQで満たす液浸機構1を備えている。露光装置EXは、少なくともマスクMのパターン像を基板Pに投影している間、液浸機構1を用いて、露光光ELの光路空間Kを液体LQで満たす。露光装置EXは、投影光学系PLと光路空間Kに満たされた液体LQとを介してマスクMを通過した露光光ELを基板P上に照射することによって、マスクMのパターン像を基板Pに露光する。また、本実施形態の露光装置EXは、光路空間Kに満たされた液体LQが、投影光学系PLの投影領域ARを含む基板P上の一部の領域に、投影領域ARよりも大きく且つ基板Pよりも小さい液体LQの液浸領域LRを局所的に形成する局所液浸方式を採用している。
本実施形態では、露光装置EXとしてマスクMと基板Pとを走査方向に同期移動しつつマスクMに形成されたパターンを基板Pに露光する走査型露光装置(所謂スキャニングステッパ)を使用する場合を例にして説明する。以下の説明において、X軸方向をマスクMと基板Pとの同期移動方向(走査方向)、Y軸方向を非走査方向とする。
照明光学系ILは、マスクM上の所定の照明領域を均一な照度分布の露光光ELで照明するものである。照明光学系ILから射出される露光光ELとしては、例えば水銀ランプから射出される輝線(g線、h線、i線)及びKrFエキシマレーザ光(波長248nm)等の遠紫外光(DUV光)や、ArFエキシマレーザ光(波長193nm)及びF2レーザ光(波長157nm)等の真空紫外光(VUV光)などが用いられる。本実施形態においてはArFエキシマレーザ光が用いられる。
本実施形態においては、光路空間Kを満たすための液体LQとして純水が用いられている。純水は、ArFエキシマレーザ光のみならず、例えば、水銀ランプから射出される輝線(g線、h線、i線)及びKrFエキシマレーザ光(波長248nm)等の遠紫外光(DUV光)も透過可能である。なお、液体LQとして、水以外のものを用いてもよい。
マスクステージ3は、マスクステージ駆動装置3Dの駆動により、マスクMを保持した状態で、X軸、Y軸、及びθZ方向に移動可能である。マスクステージ3(ひいてはマスクM)の位置情報はレーザ干渉計3Lによって計測される。レーザ干渉計3Lはマスクステージ3上に設けられた移動鏡3Kを用いてマスクステージ3の位置情報を計測する。制御装置7は、レーザ干渉計3Lの計測結果に基づいてマスクステージ駆動装置3Dを駆動し、マスクステージ3に保持されているマスクMの位置制御を行う。
投影光学系PLは、マスクMのパターン像を所定の投影倍率で基板Pに投影するものであって、複数の光学素子を有しており、それら光学素子は鏡筒(ハウジング)PKで保持されている。本実施形態の投影光学系PLは、その投影倍率が例えば1/4、1/5、1/8等の縮小系である。なお、投影光学系PLは等倍系及び拡大系のいずれでもよい。また、投影光学系PLは、倒立像と正立像とのいずれを形成してもよい。また、投影光学系PLは、反射光学素子を含まない屈折系、屈折光学素子を含まない反射系、反射光学素子と屈折光学素子とを含む反射屈折系のいずれであってもよい。また本実施形態においては、投影光学系PLの複数の光学素子のうち、投影光学系PLの像面に最も近い最終光学素子FLのみが光路空間Kの液体LQと接触する。
基板ステージ4は、基板Pを保持する基板ホルダ4Hを有しており、ベース部材5上で、基板ホルダ4Hに基板Pを保持して移動可能である。基板ホルダ4Hは、基板ステージ4上に設けられた凹部4Rに配置されており、基板ステージ4のうち凹部4R以外の上面4Fは、基板ホルダ4Hに保持された基板Pの表面とほぼ同じ高さ(面一)になるような平坦面となっている。基板ステージ4は、基板ステージ駆動装置4Dの駆動により、基板Pを保持した状態で、X軸、Y軸、Z軸、θX、θY、及びθZ方向の6自由度の方向に移動可能である。基板ステージ4(ひいては基板P)の位置情報はレーザ干渉計4Lによって計測される。レーザ干渉計4Lは基板ステージ4に設けられた移動鏡4Kを用いて基板ステージ4のX軸、Y軸、及びθZ方向に関する位置情報を計測する。また、基板ステージ4に保持されている基板Pの表面の面位置情報(Z軸、θX、及びθY方向に関する位置情報)は、不図示のフォーカス・レベリング検出系によって検出される。制御装置7は、レーザ干渉計4Lの計測結果及びフォーカス・レベリング検出系の検出結果に基づいて基板ステージ駆動装置4Dを駆動し、基板ステージ4に保持されている基板Pの位置制御を行う。
液浸機構1は、基板ステージ4に保持された基板Pと、その基板Pと対向する位置に設けられ、露光光ELが通過する投影光学系PLの最終光学素子FLとの間の光路空間Kを液体LQで満たす。液浸機構1は、光路空間Kの近傍に設けられ、光路空間Kに対して液体LQを供給する供給口12及び液体LQを回収する回収口22を有するノズル部材70と、供給管13、及びノズル部材70の供給口12を介して液体LQを供給する液体供給装置11と、ノズル部材70の回収口22、及び回収管23を介して液体LQを回収する液体回収装置21とを備えている。本実施形態においては、液体LQを供給する供給口12及び液体LQを回収する回収口22はノズル部材70の下面70Aに形成されている。また、ノズル部材70の内部には、供給口12と供給管13とを接続する流路、及び回収口22と回収管23とを接続する流路が形成されている。液体供給装置11及び液体回収装置21の動作は制御装置7に制御される。液体供給装置11は清浄で温度調整された液体LQを送出可能であり、真空系等を含む液体回収装置21は液体LQを回収可能である。制御装置7は、液浸機構1を制御して、液体供給装置11による液体供給動作と液体回収装置21による液体回収動作とを並行して行うことで、光路空間Kを液体LQで満たし、基板P上の一部の領域に液体LQの液浸領域LRを局所的に形成する。
そして、本実施形態においては、光学素子及びその光学素子を保持する鏡筒PKを含む投影光学系PLが、上述の第1、第2実施形態で説明した光学装置(30)を含んでいる。すなわち、鏡筒PKによって形成された内部空間に、上述の第1、第2実施形態で説明したような、露光光ELの照射に起因する光学素子の温度変化を抑えるための媒体35が存在している。そして、露光光ELの照射により媒体35の一部が相変化することによって、投影光学系PLの光学素子の温度変化が抑えられている。
露光光ELの照射により、光学素子には、1cm当たり0.1%程度のエネルギーが吸収される。また、光学素子の表面に例えば反射防止膜等の膜が形成されている場合、その膜によっても0.1%程度のエネルギーが吸収される。すると、光学素子の温度が変化(上昇)し、露光光ELに対する屈折率が変化したり、光学素子が熱変形し、投影光学系PLの結像特性、ひいては露光装置EXの性能が劣化する可能性がある。また、例えばスループットの向上等を目的として、露光光ELのエネルギー(照度)を高くした場合、光学素子の温度変化は顕著となる。
また、本実施形態の投影光学系PLは、反射光学素子を含まない屈折系であるが、屈折光学素子を含まない反射系や、反射光学素子と屈折光学素子とを含む反射屈折系の場合、光軸に対して各光学素子が互いにずれた位置に配置される、所謂オフアクシス光学系となる可能性がある。特に、液浸露光装置の場合、開口数NAが1を越えるような投影光学系PLを用いることが考えられ、そのような投影光学系PLはオフアクシス光学系となる可能性が高い。その場合、各光学素子の位置や姿勢を調整することによって、光学素子の熱変形に起因する収差を補正することは困難である。
本実施形態では、媒体35の相変化によって、露光光ELの照射に起因する光学素子の温度変化や温度分布の発生を抑えることができるので、光学素子の屈折率変化や熱変形を抑え、所望の結像特性を有する投影光学系PLにより、基板Pを精度良く良好に露光することができる。
また、媒体35は、ArFエキシマレーザ光やF2レーザ光を透過可能であるため、光学素子の表面を覆う媒体35によって基板Pの露光は妨げられない。
上述したように、光路空間Kを満たす液体LQは純水により構成されている。純水は、半導体製造工場等で容易に大量に入手できるとともに、基板P上のフォトレジストや光学素子(レンズ)等に対する悪影響がない利点がある。また、純水は環境に対する悪影響がないとともに、不純物の含有量が極めて低いため、基板Pの表面、及び投影光学系PLの先端面に設けられている光学素子の表面を洗浄する作用も期待できる。
そして、波長が193nm程度の露光光ELに対する純水(水)の屈折率nはほぼ1.44程度と言われており、露光光ELの光源としてArFエキシマレーザ光(波長193nm)を用いた場合、基板P上では1/n、すなわち約134nmに短波長化されて高い解像度が得られる。更に、焦点深度は空気中に比べて約n倍、すなわち約1.44倍に拡大されるため、空気中で使用する場合と同程度の焦点深度が確保できればよい場合には、投影光学系PLの開口数をより増加させることができ、この点でも解像度が向上する。
本実施形態では、投影光学系PLの先端に光学素子FLが取り付けられており、この光学素子により投影光学系PLの光学特性、例えば収差(球面収差、コマ収差等)の調整を行うことができる。なお、投影光学系PLの先端に取り付ける光学素子としては、投影光学系PLの光学特性の調整に用いる光学プレートであってもよい。あるいは露光光ELを透過可能な平行平面板であってもよい。
なお、液体LQの流れによって生じる投影光学系PLの先端の光学素子と基板Pとの間の圧力が大きい場合には、その光学素子を交換可能とするのではなく、その圧力によって光学素子が動かないように堅固に固定してもよい。
なお、本実施形態では、投影光学系PLと基板P表面との間は液体LQで満たされている構成であるが、例えば基板Pの表面に平行平面板からなるカバーガラスを取り付けた状態で液体LQを満たす構成であってもよい。
また、上述の実施形態の投影光学系は、先端の光学素子の像面側の光路空間を液体で満たしているが、国際公開第2004/019128号パンフレットに開示されているように、先端の光学素子の物体面側の光路空間も液体で満たす投影光学系を採用することもできる。
なお、本実施形態の液体LQは水であるが、水以外の液体であってもよい、例えば、露光光ELの光源がF2レーザである場合、このF2レーザ光は水を透過しないので、液体LQとしてはF2レーザ光を透過可能な例えば、過フッ化ポリエーテル(PFPE)やフッ素系オイル等のフッ素系流体であってもよい。また、液体LQとしては、その他にも、露光光ELに対する透過性があってできるだけ屈折率が高く、投影光学系PLや基板P表面に塗布されているフォトレジストに対して安定なもの(例えばセダー油)を用いることも可能である。
また、液体LQとしては、屈折率が1.6〜1.8程度のものを使用してもよい。更に、石英や蛍石よりも屈折率が高い(例えば1.6以上)材料で光学素子FLを形成してもよい。
なお、上記各実施形態の基板Pとしては、半導体デバイス製造用の半導体ウエハのみならず、ディスプレイデバイス用のガラス基板や、薄膜磁気ヘッド用のセラミックウエハ、あるいは露光装置で用いられるマスクまたはレチクルの原版(合成石英、シリコンウエハ)等が適用される。
露光装置EXとしては、マスクMと基板Pとを同期移動してマスクMのパターンを走査露光するステップ・アンド・スキャン方式の走査型露光装置(スキャニングステッパ)の他に、マスクMと基板Pとを静止した状態でマスクMのパターンを一括露光し、基板Pを順次ステップ移動させるステップ・アンド・リピート方式の投影露光装置(ステッパ)にも適用することができる。
また、露光装置EXとしては、第1パターンと基板Pとをほぼ静止した状態で第1パターンの縮小像を投影光学系(例えば1/8縮小倍率で反射素子を含まない屈折型投影光学系)を用いて基板P上に一括露光する方式の露光装置にも適用できる。この場合、更にその後に、第2パターンと基板Pとをほぼ静止した状態で第2パターンの縮小像をその投影光学系を用いて、第1パターンと部分的に重ねて基板P上に一括露光するスティッチ方式の一括露光装置にも適用できる。また、スティッチ方式の露光装置としては、基板P上で少なくとも2つのパターンを部分的に重ねて転写し、基板Pを順次移動させるステップ・アンド・スティッチ方式の露光装置にも適用できる。
また、本発明は、特開平10−163099号公報、特開平10−214783号公報、特表2000−505958号公報などに開示されているような複数の基板ステージを備えたツインステージ型の露光装置にも適用できる。
更に、特開平11−135400号公報や特開2000−164504号公報に開示されているように、基板を保持する基板ステージと基準マークが形成された基準部材や各種の光電センサを搭載した計測ステージとを備えた露光装置にも本発明を適用することができる。
また、上述の実施形態においては、投影光学系PLと基板Pとの間に局所的に液体を満たす露光装置を採用しているが、本発明は、特開平6−124873号公報、特開平10−303114号公報、米国特許第5,825,043号などに開示されているような露光対象の基板の表面全体が液体中に浸かっている状態で露光を行う液浸露光装置にも適用可能である。
また、上述の実施形態では、露光光ELの光路空間を液体LQで満たす液浸露光装置の投影光学系に、第1、第2実施形態で説明した光学装置を適用した場合を例にして説明したが、露光光ELの光路空間を液体で満たさない通常のドライ型露光装置の投影光学系に、第1、第2実施形態で説明した光学装置を適用することができる。
露光装置EXの種類としては、基板Pに半導体素子パターンを露光する半導体素子製造用の露光装置に限られず、液晶表示素子製造用又はディスプレイ製造用の露光装置や、薄膜磁気ヘッド、撮像素子(CCD)あるいはレチクル又はマスクなどを製造するための露光装置などにも広く適用できる。
なお、上述の実施形態においては、光透過性の基板上に所定の遮光パターン(又は位相パターン・減光パターン)を形成した光透過型マスクを用いたが、このマスクに代えて、例えば米国特許第6,778,257号公報に開示されているように、露光すべきパターンの電子データに基づいて透過パターン又は反射パターン、あるいは発光パターンを形成する電子マスクを用いてもよい。
また、国際公開第2001/035168号パンフレットに開示されているように、干渉縞を基板P上に形成することによって、基板P上にライン・アンド・スペースパターンを露光する露光装置(リソグラフィシステム)にも本発明を適用することができる。
以上のように、本願実施形態の露光装置EXは、本願特許請求の範囲に挙げられた各構成要素を含む各種サブシステムを、所定の機械的精度、電気的精度、光学的精度を保つように、組み立てることで製造される。これら各種精度を確保するために、この組み立ての前後には、各種光学系については光学的精度を達成するための調整、各種機械系については機械的精度を達成するための調整、各種電気系については電気的精度を達成するための調整が行われる。各種サブシステムから露光装置への組み立て工程は、各種サブシステム相互の、機械的接続、電気回路の配線接続、気圧回路の配管接続等が含まれる。この各種サブシステムから露光装置への組み立て工程の前に、各サブシステム個々の組み立て工程があることはいうまでもない。各種サブシステムの露光装置への組み立て工程が終了したら、総合調整が行われ、露光装置全体としての各種精度が確保される。なお、露光装置の製造は温度およびクリーン度等が管理されたクリーンルームで行うことが望ましい。
半導体デバイス等のマイクロデバイスは、図5に示すように、マイクロデバイスの機能・性能設計を行うステップ201、この設計ステップに基づいたマスク(レチクル)を製作するステップ202、デバイスの基材である基板を製造するステップ203、前述した実施形態の露光装置EXによりマスクのパターンを基板に露光する露光処理ステップ204、デバイス組み立てステップ(ダイシング工程、ボンディング工程、パッケージ工程を含む)205、検査ステップ206等を経て製造される。
1…液浸機構、30…光学装置、31…光学素子(光学部材)、32…内部空間、33…ハウジング、35…媒体、40…温度調整装置、42…圧力調整装置、44…媒体量調整装置、EL…露光光、K…光路空間、LQ…液体、Lu…照射光、PL…投影光学系、PK…鏡筒(ハウジング)
Claims (14)
- 照射光が照射される光学部材を備えた光学装置において、
前記光学部材の表面の少なくとも一部が、所定の熱量を吸収するために相変化する媒体で覆われている光学装置。 - 前記媒体は、前記照射光の照射に起因する前記光学部材の温度変化を抑えるために所定の熱量を吸収する請求項1記載の光学装置。
- 前記媒体は液体であり、所定の熱量を吸収するために液相から気相に変化する請求項1又は2記載の光学装置。
- 照射光が照射される光学部材を備えた光学装置において、
前記光学部材の表面の少なくとも一部が、前記照射光の照射によりその一部が気化することで生じる気化熱によって、前記照射光の照射に起因する前記光学部材の温度変化を抑える媒体で覆われている光学装置。 - 前記照射光が照射されている間、前記媒体で前記光学部材を常に覆う請求項1〜4のいずれか一項記載の光学装置。
- 前記光学部材を収容する内部空間を形成するハウジングを備えた請求項1〜5のいずれか一項記載の光学装置。
- 前記媒体は、液相及び気相として前記内部空間に存在する請求項6記載の光学装置。
- 前記内部空間の圧力を調整する圧力調整装置を備えた請求項6又は7記載の光学装置。
- 前記ハウジングの温度を調整する温度調整装置を備えた請求項6〜8のいずれか一項記載の光学装置。
- 前記内部空間の媒体の量を調整する媒体量調整装置を備えた請求項6〜9のいずれか一項記載の光学装置。
- 請求項1〜請求項10のいずれか一項記載の光学装置を含み、基板上に露光光を照射して前記基板を露光する露光装置。
- 投影光学系を備え、
前記投影光学系は前記光学装置を含む請求項11記載の露光装置。 - 前記露光光の光路空間の少なくとも一部を露光用液体で満たす液浸機構を備えた請求項11又は12記載の露光装置。
- 請求項11〜請求項13のいずれか一項記載の露光装置を用いるデバイス製造方法。
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