JP2007027524A - 有機絶縁膜の形成方法、有機絶縁膜、半導体装置の製造方法、および半導体装置 - Google Patents
有機絶縁膜の形成方法、有機絶縁膜、半導体装置の製造方法、および半導体装置 Download PDFInfo
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先ず、ポリマー材料と架橋剤とを、ポリマー材料に対する架橋剤の割合を100wt%〜300wt%、好ましくは150wt%〜200wt%割合で溶剤に溶解、混合させた塗布溶媒を調整する。
ここでは、半導体装置の製造方法として、上述した有機絶縁膜の形成方法を適用してボトムゲート型の薄膜トランジスタを半導体装置として作製する場合の手順を説明する。
Claims (7)
- 半導体装置に用いる有機絶縁膜の形成方法であって、
ポリマー材料と架橋剤とを、ポリマー材料に対する架橋剤の割合を100wt%〜300wt%として溶剤中に混合させた塗布溶媒を調整し、前記塗布溶媒を基板上に塗布成膜した後、加熱して硬化させる
ことを特徴とする有機絶縁膜の形成方法。 - 請求項1記載の有機絶縁膜の形成方法において、
前記塗布溶媒を調整する際には、前記ポリマー材料に対する架橋剤の割合を150wt%〜200wt%とする
ことを特徴とする有機絶縁膜の形成方法。 - 半導体装置に用いる有機絶縁膜であって、
ポリマー材料と架橋剤とが、ポリマー材料に対する架橋剤の割合が100wt%〜300wt%で含有されている
ことを特徴とする有機絶縁膜。 - ゲート絶縁膜として有機材料を用いた半導体装置の製造方法であって、
ポリマー材料と架橋剤とを、ポリマー材料に対する架橋剤の割合を100wt%〜300wt%として溶剤中に混合させた塗布溶媒を調整し、前記塗布溶媒を基板上に塗布成膜した後、加熱して硬化させることにより、前記ゲート絶縁膜を形成する工程を有する
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項5記載の半導体装置の製造方法において、
前記ゲート絶縁膜を形成した後、当該ゲート絶縁膜に接して有機半導体層を形成する工程を行う
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - ゲート絶縁膜として有機材料を用いた半導体装置であって、
前記ゲート絶縁膜には、ポリマー材料と架橋剤とが、ポリマー材料に対する架橋剤の割合が100wt%〜300wt%で含有されている
ことを特徴とする半導体装置。
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