JP2007019110A - スロットの位置情報作成方法及び載置ユニット - Google Patents
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Abstract
【課題】 半導体ウエハ等の基板収納器について、各スロットの位置情報を得る際に、ノイズによる影響を低減し、より信頼性の高いスロットの位置情報を簡易に得る。
【解決手段】 基板収納器のスロットに基準基板を挿入し、センサが基準基板の位置を検出する。検出した位置と、予め設定されている基板収納器の設計情報から、各スロットの位置情報を作成する。次いでセンサが再度基準基板の位置を検出し、作成した位置情報と照合する。
【選択図】 図8
【解決手段】 基板収納器のスロットに基準基板を挿入し、センサが基準基板の位置を検出する。検出した位置と、予め設定されている基板収納器の設計情報から、各スロットの位置情報を作成する。次いでセンサが再度基準基板の位置を検出し、作成した位置情報と照合する。
【選択図】 図8
Description
本発明は、半導体ウエハやガラス基板等の基板が収納される基板収納器について、そのスロットの位置情報を作成する技術に関するものである。
半導体の製造に用いる半導体ウエハや、液晶表示装置の製造に用いるガラス基板等の基板は薄板であるため、その取扱いが必ずしも容易ではない。このため、各処理装置間における基板の搬送には基板収納器が用いられる。基板収納器には基板が収納されるスロットが複数段設けられており、複数枚の基板が等ピッチで平行に収納される。
複数枚の基板が収納された基板収納器は、処理装置に設けられた載置ユニット上に載置され、その後、処理装置と基板収納器との間で1枚ずつ基板が移載される。一般に基板の移載は処理装置に設けられた、搬送アームを有するロボットにより行われる。基板の移載の際、ロボットが基板収納器内に収納された個々の基板に適切にアクセスできるように、基板収納器や載置ユニットの構成に応じて、基板収納器内における各基板の位置、つまり、各スロットの位置を実際の処理に先立って予め設定しておく必要がある。
特許文献1には、実際の処理に先立って、予め各スロットの位置情報を作成する技術(基準スロット位置の算出工程)が開示されている。特許文献1のものは、所定の要件を満たした調整用カセットを用い、その最上段及び最下段に基板を収納し、光センサによるスキャン動作を1回行って最上段及び最下段の基板の位置を検出する。その上で最上段及び最下段の基板の中心位置をそれぞれのスロット位置とし、2つのスロット間の距離を(カセットのスロット数−1)で割り、各スロットの位置情報を作成している。
しかし、特許文献1のものは前述のように少なくとも2枚の基準基板を必要とし、最上段及び最下段両方のスロットの位置から各スロットの位置情報を算出するため、例え一方でもスロットの位置が不正確になると、全スロットの位置情報の信頼性が失われるという問題があると共に位置情報を得るための演算も複雑化する。また、各スロットの位置情報の作成は、処理装置が設置されている工場内で行われるのが通常であり、センサに対してノイズが混入し易い環境下で行われる。従って、センサの検出信号に対するノイズ混入の影響を考慮する必要がある。
従って、本発明の目的は、ノイズによる影響を低減し、より信頼性の高いスロットの位置情報を簡易に得ることにある。
上記課題を解決するために、本発明のスロットの位置情報作成方法は、載置台上に載置された、基板が収納されるスロットを複数段有する基板収納器に対して、前記スロットに収納された基板を検出するセンサを各々の前記スロットを横断する方向に相対的に移動させるスキャン動作により、予め定めた前記スロットに収納された基板を基準基板として前記基準基板の位置を検出する第1の位置検出工程と、前記第1の位置検出工程で検出した前記基準基板の位置と、前記基板収納器の各々の前記スロットの設計情報と、に基づいて、前記基板収納器の各々の前記スロットの位置情報を作成する作成工程と、再度の前記スキャン動作によって、前記基準基板の位置を再度検出する第2の位置検出工程と、前記第2の位置検出工程で検出した前記基準基板の位置と、前記作成工程で作成した前記スロットの位置情報と、を照合する照合工程と、を備えたことを特徴とする。
この構成によれば、前記設計情報を用いることで、簡易に、しかも、少なくとも1枚の前記基準基板の位置を検出できれば各々のスロットの位置情報を得ることができる。また、前記基準基板の位置検出を再度行い、作成したスロットの位置情報と照合することで、ノイズによる基準基板の誤検出が防止され、ノイズの影響を低減することができる。
また、本発明の載置ユニットは、基板が収納されるスロットを複数段有する基板収納器が載置される載置台と、前記スロットに収納された基板を検出するセンサと、前記載置台上に載置された前記基板収納器に対して、各々の前記スロットを横断するように前記センサを相対的に移動させるスキャン動作を行い、前記センサにより検出された基板の位置を検出する位置検出手段と、前記位置検出手段の前記スキャン動作によって検出された予め定めた前記スロットに収納された基準基板の位置と、前記基板収納器の各々の前記スロットの設計情報と、に基づいて、前記基板収納器の各々の前記スロットの位置情報を作成する作成手段と、前記位置検出手段の再度の前記スキャン動作によって検出された前記基準基板の位置と、前記作成手段によって作成された前記スロットの位置情報と、を照合する照合手段と、を備えたことを特徴とする。
この構成によれば、前記設計情報を用いることで、簡易に、しかも、少なくとも1枚の前記基準基板の位置を検出できれば各々のスロットの位置情報を得ることができる。また、前記基準基板の位置検出を再度行い、作成したスロットの位置情報と照合することで、ノイズによる基準基板の誤検出が防止され、ノイズの影響を低減することができる。
以上の構成により、本発明のスロットの位置情報作成方法及び載置ユニットによれば、ノイズによる影響を低減し、より信頼性の高いスロットの位置情報を簡易に得ることができる。
以下、添付図面を参照して、本発明の好適な実施形態を説明する。
<第1実施形態>
<載置ユニットの構成>
図1は本発明の一実施形態に係る載置ユニットAの外観図、図2は載置ユニットAの構成図である。載置ユニットAは、半導体ウエハ等の基板を処理する処理装置の近傍に配置され、その処理装置で処理される基板を収納した基板収納器Bが一時載置されるユニットである。基板収納器BはFOUP形式の基板収納器であり、中空の本体部100と本体部100の背面に開閉可能に設けられた蓋部101とを備える。本体部100の内壁には基板が収納されるスロットが上下方向に等ピッチで複数段設けられ、複数の基板が略水平に収納される。
<載置ユニットの構成>
図1は本発明の一実施形態に係る載置ユニットAの外観図、図2は載置ユニットAの構成図である。載置ユニットAは、半導体ウエハ等の基板を処理する処理装置の近傍に配置され、その処理装置で処理される基板を収納した基板収納器Bが一時載置されるユニットである。基板収納器BはFOUP形式の基板収納器であり、中空の本体部100と本体部100の背面に開閉可能に設けられた蓋部101とを備える。本体部100の内壁には基板が収納されるスロットが上下方向に等ピッチで複数段設けられ、複数の基板が略水平に収納される。
載置ユニットAは、基板収納器Bが載置される載置台1と、背部2とを備える。背部2には開口部2aが設けられており、処理装置が備える基板搬送用のハンドはこの開口部2aを通して載置台1上に載置された基板収納器B内の基板の受渡しを行なう。
背部2の内部には開閉保持ユニット3が設けられており、基板収納器Bが載置されていない場合、開閉保持ユニット3が開口部2aを閉鎖する。開閉保持ユニット3は、基板収納器Bの蓋部101を開閉し、また、保持するものであり、基板収納器Bの本体部100と蓋部101との係合、解除を行なう機構(不図示)並びに取り外した蓋部101を保持するため、例えば、吸着機構(不図示)等も備える。開閉保持ユニット3は、支持部材4を介してリニアガイド5のスライダ5aに連結されている。リニアガイド5は、エアシリンダ等の付勢によりスライダ5aを図2の左右方向にスライドさせる装置である。
リニアガイド5は、ボールねじ6に螺合するボールナット7に連結されている。ボールナット7は、エンコーダ8aを備えたモータ8の出力軸に連結されたボールねじ6を回転させることにより、図2の上下方向に昇降する。ボールナット7には、レールガイド9が連結されており、レールガイド9を案内するレール10に沿って安定して昇降する。
開閉保持ユニット3の上部には基板収納器Bのスロットに収納された基板を検出するセンサ11が設けられている。センサ11は、例えば、発光部と受光部とを備えた反射型の光センサである。センサ11は基板収納器Bのスロットに収納された基板へ光を照射し、基板の端縁で反射される反射光を受光し、スロットに基板が無い時と収納されている時とで反射光の受光強度が異なることを利用してスロットに基板が収納されているか否かを検出する。無論、基板を検出する他のセンサを用いてもよいことはいうまでもない。また、センサ11は載置ユニットAではなく処理装置側に設けてもよく、例えば、処理装置の基板を搬送するハンドに設けることもできる。
センサ11は、モータ8、ボールネジ6並びにボールナット7による開閉保持ユニット3の昇降により昇降される。昇降位置はエンコーダ8aからの情報により特定される。センサ11の昇降により、載置台1上に載置された基板収納器Bに対して、各々のスロットを横断するようにセンサ11を相対的に移動させるスキャン動作が可能となり、センサ11の検出結果とエンコーダ8aからの情報とにより基板収納器B内に収納されている各スロット毎の基板の有無や適切に収納されているかを検出することができる。エンコーダ8aはセンサ11により検出された基板の位置を検出する位置検出手段として機能する。なお、本実施形態では基板収納器Bに対してセンサ11を移動させることで、スキャン動作を行なうが、センサ11は不動として基板収納器B側を移動させてスキャン動作を行なってもよい。
次に、基板収納器Bの蓋部101の開閉動作について図3乃至図5を参照して説明する。図3乃至図5は基板収納器Bの蓋部101の開放時の載置ユニットAの動作説明図である。まず、図2の態様から、図3に示すように基板収納器Bを載置ユニットAの載置台1上にセットする。そして、開閉保持ユニット3により基板収納器Bの本体部100と蓋部101との係合を解除し、取り外した蓋101を開閉保持ユニット3に保持させる。次に、図4に示すようにリニアガイド5のスライダ5aを移動させ、蓋部101を保持した開閉保持ユニット3を基板収納器Bから後退させる。更に、モータ8によりボールねじ6を回転させ、ボールナット7を介して開閉保持ユニット3を下降させる。これにより基板収納器Bの背面が完全に開放したこととなる。その態様を示したのが図5である。処理装置のハンドは基板収納器B内に収納された基板を受け取ることが可能となる。
開閉保持ユニット3を下降させる際にはセンサ11によるスキャン動作が実行され、基板収納器B内のどのスロットに基板が収納されているか否かがチェックされる。処理装置において基板の処理が終了すると、再び基板収納器B内に基板が返送され、上述した手順と逆の手順により蓋部101が本体部100に取り付けられることとなる。
次に、載置ユニットAの制御部の構成について説明する。図6は載置ユニットAの制御部20のブロック図である。CPU21は載置ユニットA全体を制御する。EEPROM22はCPU302が実行可能なプログラム等を記憶する。また、本実施形態では基板収納器の設計情報を記憶する。設計情報は後述するスロットの位置情報を作成する際に用いられる情報である。図7(a)は設計情報の例を示す図である。本実施形態の場合、設計情報は載置ユニットAで取扱い可能な基板収納器の種類(タイプ)毎にその基板収納器のスロットの数、及び、各スロット間のピッチから構成されている。RAM23はCPU21がプログラムを実行する際の作業領域として使用される。RAM23はまた、後述する処理により作成されたスロットの位置情報を記憶する。なお、EEPROM22、RAM23としては他の記憶手段を採用できることは言うまでもない。
CPU21は出力インターフェース(I/F)24を介して、上述した開閉保持ユニット3、モータ8、リニアガイド5と接続されており、これらに制御信号を送出する。CPU21はまた、入力インターフェース(I/F)25を介してセンサ11、エンコーダ8aと接続されており、センサ11及びエンコーダ8aの検出結果を取得する。CPU21はまた、通信インターフェース(I/F)26を介して載置ユニットAに対応する処理装置、及び、不図示のホストコンピュータに接続されており、これらと情報通信が可能である。ホストコンピュータは載置ユニットAの動作内容の設定等の指示を行う。
<スロットの位置情報の作成>
基板収納器Bの蓋部101を開放して、基板収納器B内に収納されている各スロット毎の基板の有無や適切に収納されているかを検出する際、その前提として基板収納器B内の各スロットの位置情報が必要となる。つまり、スロットの位置情報とセンサ11の検出結果を比較し、スロットの位置情報で示された位置にて基板が検出されれば、基板がそこに収納されていると判断され、検出されなければ空きのスロットであると判断される。また、スロットの位置情報で示された位置以外の位置で基板が検出されれば、基板が適切に収納されていない(例えば、斜めに収納されている)と判断される。
基板収納器Bの蓋部101を開放して、基板収納器B内に収納されている各スロット毎の基板の有無や適切に収納されているかを検出する際、その前提として基板収納器B内の各スロットの位置情報が必要となる。つまり、スロットの位置情報とセンサ11の検出結果を比較し、スロットの位置情報で示された位置にて基板が検出されれば、基板がそこに収納されていると判断され、検出されなければ空きのスロットであると判断される。また、スロットの位置情報で示された位置以外の位置で基板が検出されれば、基板が適切に収納されていない(例えば、斜めに収納されている)と判断される。
各スロットの位置情報は基板収納器の種類毎に異なる場合があり、また、載置ユニットAで用いられている座標系との整合を取る必要もある。そこで、本実施形態の載置ユニットAでは基板収納器の種類が変更される度に、その基板収納器に応じた各スロットの位置情報が作成される。図8は本実施形態におけるスロットの位置情報の作成方法の説明図である。
同図の例では基板収納器Bが18段のスロットを有している場合を想定しており、各スロットには最下段のスロットから最上段のスロットへ順にスロットNo.が付されている。スロットの位置情報を作成する場合、基板収納器Bのスロットのうち、予め定めたスロット(本実施形態では端部(No.1、No.18)のスロットのうち、特に最下段のNo.1のスロット)に基準基板が収納され、他のスロットは空きとする。そして、センサ11のスキャン動作により基準基板の位置を検出し、EEPROM22に記憶された設計情報に基づいてスロットの位置情報を作成する。本実施形態の場合、スロットの位置情報は、各スロットの上下方向(図8のZ座標)の位置とする。以下、スロットの位置情報の作成時の載置ユニットAの処理について説明する。図9はスロットの位置情報の作成時にCPU21が実行する処理のフローチャートである。
始めに作業者は基準基板として処理の対象となる基板を基板収納器BのNo.1のスロットに挿入し、蓋部101が閉じられた状態で基板収納器Bを載置ユニットAにセットする。次に作業者はホストコンピュータから載置ユニットAに対して、セットした基板収納器Bの種類を特定してスロットの位置情報の作成を指示する。当該指示によりCPU21は図9の処理を開始する。
S1では、ホストコンピュータから指示された基板収納器Bの種類に対応する設計情報をEEPROM22から読み出す。また、載置ユニットAにセットされた基板収納器Bの蓋部101を、図3乃至図5を参照して上述した手順により開放する。センサ11は図5に示される最も低い位置に位置する。
S2では1回目のスキャン動作(第1のスキャン動作)を実行する。ここでのスキャン動作は、No.1〜No18の複数段のスロットのうち、その一方の端部に位置するNo.1のスロットから他方の端部に位置するNo.18のスロットへ向かう方向にセンサ11を移動させる動作である。図10は第1のスキャン動作のフローチャートである。
S11ではモータ8を駆動してセンサ11を上昇させる。S12では、エンコーダ8aの検出結果に基づいてセンサ11がスキャン開始位置(図8の第1スキャン開始位置)に到達したか否かを判定する。第1スキャン開始位置は、最下段のスロット(No.1)よりも十分低い位置に設定される。該当する場合はS13へ進み、該当しない場合は待ちとなる。
S13ではセンサ11の発光部の発光を開始し、受光部の検出結果の取得を開始する。S14ではセンサ11により基準基板が検出されたか否かを判定する。該当する場合はS15へ進み、該当しない場合はS16へ進む。S15ではエンコーダ8aの検出結果をセンサ11の検出位置として取得し、RAM23に記憶する。S16ではエンコーダ8aの検出結果に基づいてセンサ11がスキャン終了位置に到達したか否かを判定する。スキャン終了位置は最上位のスロット(No.18)よりも上方に設定される。該当する場合はS17へ進み、該当しない場合はS14へ戻る。S17ではスキャン動作を終了する。ここではセンサ11の移動、発光部の発光を終了する。
図9に戻り、S3では第1のスキャン動作による基準基板のスキャンが成功したか否かを判定する。ここではRAM23に1つの基板の位置が記憶されている場合は成功と判断し、1つも記憶されていない場合、複数記憶されている場合はいずれも失敗と判断する。該当する場合はS4へ進み、該当しない場合はS8のエラー処理を行なう。S8のエラー処理では例えばホストコンピュータに通知して、全ての処理を終了する。
S4ではS2で検出された基準基板の位置と、S1で読み出した設計情報とに基づいて基板収納器Bの各スロットの位置情報を作成する。図7(b)はその例である。基準基板が収納されているNo.1のスロットの位置の情報はS2で検出された基準基板の位置の情報となる。No.2乃至No.18のスロットの位置は、No.1のスロットの位置の情報に、設計情報に含まれるピッチの情報を順次加算していくことで得られる。本実施形態のように、基準基板の収納を、端部のスロット(ここでは最下段のスロット)としておくことで、スロットの位置情報は、基準基板のスロットの位置の情報にピッチの情報を単純に加算(または減算)することで得られるので、演算を簡易化することができる。
図9に戻り、S5では再度のスキャン動作として、2回目のスキャン動作(第2のスキャン動作)を実行し、基準基板の位置を再度検出する。図11は第2のスキャン動作のフローチャートである。S21ではモータ8を駆動して、最上部にあるセンサ11を下降させる。S22では、エンコーダ8aの検出結果に基づいてセンサ11がスキャン開始位置(図8の第2スキャン開始位置)に到達したか否かを判定する。第2スキャン開始位置は、本実施形態では、S4で作成したスロットの位置情報に基づき、No.1のスロットの位置から1ピッチ分下方の位置に設定される。これにより、センサ11のスキャン距離を第1のスキャン動作時よりも短くして処理時間の短縮化を図ることができる。また、スキャン開始位置を第1のスキャン動作時と変えることで、後述するスロット位置の情報の照合(S6)において、スロットの位置情報の正確性をより厳しくチェックできる。該当する場合はS23へ進み、該当しない場合は待ちとなる。
S23ではモータ8を逆転させてセンサ11を上昇させると共に、センサ11の発光部の発光を開始し、受光部の検出結果の取得を開始する。S24ではセンサ11により基準基板が検出されたか否かを判定する。該当する場合はS25へ進み、該当しない場合はS26へ進む。S25ではエンコーダ8aの検出結果をセンサ11の検出位置として取得し、RAM23に記憶する。S26ではエンコーダ8aの検出結果に基づいてセンサ11がスキャン終了位置に到達したか否かを判定する。該当する場合はS27へ進み、該当しない場合はS24へ戻る。S27ではスキャン動作を終了する。ここではセンサ11の移動、発光部の発光を終了する。
図9に戻り、S6ではS4で作成したスロットの位置情報と、S5の第2のスキャンで検出された基準基板の位置とを照合する。ここでは、基準基板が収納されているNo.1のスロットの位置情報とS5の第2のスキャンで検出された基準基板の位置とを照合する。S7では照合に成功したか(両者が許容誤差の範囲で一致しているか)を判定し、該当すれば処理を終了し、S4で作成したスロットの位置情報がその後の処理で利用されることになる。該当しなければS8へ進み上述したエラー処理を行なう。
以上のべた通り、本実施形態では、基板収納器Bの設計情報を用いることで、簡易に、しかも、少なくとも1枚の基準基板の位置を検出できれば各々のスロットの位置情報を得ることができる。また、スキャン動作を2回行なって基準基板の位置検出を再度行い、作成したスロットの位置情報と照合することで、ノイズによる基準基板の誤検出が防止され、ノイズの影響を低減することができる。
<第2実施形態>
上記第1実施形態では基準基板を最下段のスロット(No.1)に収納したが、基準基板を収納するスロットが特定されておれば他のスロットに収納してもよい。また、上記第1実施形態では、センサ11のスキャン動作をセンサ11の上昇時に行なったが下降時に行なってもよい。図12は本発明の第2実施形態におけるスロットの位置情報の作成方法の説明図であり、基準基板を最上段のスロット(No.18)に収納し、かつ、センサ11のスキャン動作をセンサ11の下降時に行なう例である。つまり、ここでのスキャン動作は、No.1〜No18の複数段のスロットのうち、その一方の端部に位置するNo.18のスロットから他方の端部に位置するNo.1のスロットへ向かう方向にセンサ11を移動させる動作である。
上記第1実施形態では基準基板を最下段のスロット(No.1)に収納したが、基準基板を収納するスロットが特定されておれば他のスロットに収納してもよい。また、上記第1実施形態では、センサ11のスキャン動作をセンサ11の上昇時に行なったが下降時に行なってもよい。図12は本発明の第2実施形態におけるスロットの位置情報の作成方法の説明図であり、基準基板を最上段のスロット(No.18)に収納し、かつ、センサ11のスキャン動作をセンサ11の下降時に行なう例である。つまり、ここでのスキャン動作は、No.1〜No18の複数段のスロットのうち、その一方の端部に位置するNo.18のスロットから他方の端部に位置するNo.1のスロットへ向かう方向にセンサ11を移動させる動作である。
図12の実施形態では、上記第1実施形態のS2の1回目のスキャン動作(第1のスキャン動作)をNo.18のスロットよりも十分に高い位置に設定された第1スキャン開始位置から開始し、最下段のスロット(No.1)をセンサ11が通過した位置で終了する(終了位置)。上記第2実施形態のS5の2回目のスキャン動作(第2のスキャン動作)は、第1のスキャン動作後に作成したスロットの位置情報に基づき、No.18のスロットの位置から1ピッチ分上方の位置に設定された第2スキャン開始位置から開始し、終了位置で終了する。その他は上記第1実施形態と同様である。
本実施形態の載置ユニットAは基板収納器Bの蓋部101を取り外した際にセンサ11が上方の位置(図3、図4のセンサ11と同じ高さの位置)にあり、図5に示すように下方へ移動するが、本実施形態ではその下方への移動の際に第1のスキャン動作を行なうことができ、センサ11の移動量を少なくして処理の迅速化が図れるという利点がある。
<第3実施形態>
上記第1及び第2実施形態では基準基板を1枚としたが、複数枚としてもよい。また、基板には厚みがあるため、上記第1実施形態のようにセンサ11を上昇させて基準基板の位置を検出する場合と、上記第2実施形態のようにセンサ11を下降させて基準基板の位置を検出する場合とで、それぞれスロットの位置情報に誤差が生じる場合がある。この誤差は無論、基板の厚みを考慮して修正することが可能であるが、センサ11の上昇時のスロットの位置情報と下降時のスロットの位置情報とをそれぞれ別々に用意しておき、スロットの位置情報を使用する場合に、センサ11の移動方向に応じて使い分けることもできる。
上記第1及び第2実施形態では基準基板を1枚としたが、複数枚としてもよい。また、基板には厚みがあるため、上記第1実施形態のようにセンサ11を上昇させて基準基板の位置を検出する場合と、上記第2実施形態のようにセンサ11を下降させて基準基板の位置を検出する場合とで、それぞれスロットの位置情報に誤差が生じる場合がある。この誤差は無論、基板の厚みを考慮して修正することが可能であるが、センサ11の上昇時のスロットの位置情報と下降時のスロットの位置情報とをそれぞれ別々に用意しておき、スロットの位置情報を使用する場合に、センサ11の移動方向に応じて使い分けることもできる。
図13は本発明の第3実施形態におけるスロットの位置情報の作成方法の説明図であり、最下段のスロット(No.1)と最上段のスロット(No.18)とにそれぞれ基準基板1及び2を収納し、基準基板1を用いてセンサ11の上昇時用のスロットの位置情報を作成し、基準基板2を用いてセンサ11の下降時のスロットの位置情報を作成する例である。
センサ11の上昇時用のスロットの位置情報の作成は上記第1実施形態の処理を、下降時用のスロットの位置情報の作成は上記第2実施形態の処理を、それぞれ連続して行なうことで実現されるが、こうするとセンサ11の往復移動回数が多くなる。そこで、図13に示す本実施形態では、センサ11の往復移動回数をなるべく少なくする。ここでは
詳細には、まず、センサ11をNo.1のスロットよりも十分に低い位置(上昇時第1スキャン開始位置。上記第1実施形態の第1スキャン開始位置に相当。)にセットする。続いてセンサ11を上昇させ、上昇時の位置情報作成のための1回目のスキャン動作を行なう。基準基板1をスキャンし、上昇時終了位置までセンサ11を上昇させる。次に、上記第1実施形態のようにセンサ11を下降させて2回目のスキャン動作を行なわずにセンサ11を更に上昇して、センサ11をNo.18のスロットよりも十分に高い位置(下降時第1スキャン開始位置。上記第2実施形態の第1スキャン開始位置に相当。)にセットする。この際、基準基板1のスキャンの結果に従って、上昇時用の位置情報を作成できる。
詳細には、まず、センサ11をNo.1のスロットよりも十分に低い位置(上昇時第1スキャン開始位置。上記第1実施形態の第1スキャン開始位置に相当。)にセットする。続いてセンサ11を上昇させ、上昇時の位置情報作成のための1回目のスキャン動作を行なう。基準基板1をスキャンし、上昇時終了位置までセンサ11を上昇させる。次に、上記第1実施形態のようにセンサ11を下降させて2回目のスキャン動作を行なわずにセンサ11を更に上昇して、センサ11をNo.18のスロットよりも十分に高い位置(下降時第1スキャン開始位置。上記第2実施形態の第1スキャン開始位置に相当。)にセットする。この際、基準基板1のスキャンの結果に従って、上昇時用の位置情報を作成できる。
次に、センサ11を下降させ、下降時の位置情報作成のための1回目のスキャン動作を行なう。基準基板2をスキャンし、下降時終了位置までセンサ11を下降させる。次に、この場合も上記第2実施形態のようにセンサ11を上昇させて2回目のスキャン動作を行なわずにセンサ11を更に下降して、センサ11を上昇時第2スキャン開始位置にセットする。上昇時第2スキャン開始位置は上記第1実施形態の第2スキャン開始位置に相当する。この際、基準基板2のスキャンの結果に従って、下降時用の位置情報を作成できる。
次に、センサ11を再び上昇させ、上昇時の位置情報の照合のための2回目のスキャン動作を実行し、基準基板1の位置を再度検出する。センサ11は、上昇時終了位置まで上昇させ、更に、下降時第2スキャン開始位置まで上昇させる。下降時第2スキャン開始位置は上記第2実施形態の第2スキャン開始位置に相当する。この際、基準基板1の再スキャンの結果により上昇時の位置情報の照合を行なうことができる。
次に、センサ12を再び下降させ、下降時の位置情報の照合のための2回目のスキャン動作を実行し、基準基板2の位置を再度検出する。センサ11は下降時終了位置まで下降させる。その後、基準基板2の再スキャンの結果により下降時の位置情報の照合を行なうことができる。
このように本実施形態では、上記第1実施形態におけるスキャン動作のセンサ11の移動方向と、上記第2実施形態におけるスキャン動作のセンサ11の移動方向とは相互に逆向きであり、センサ11の往復動(昇降)により、一方がセンサ11の往動時に、他方がセンサ11の復動時に行なわれる。このため、上昇時用のスロットの位置情報の作成が終了した時にセンサ11は下降時用のスロットの位置情報の作成時の第1スキャン開始位置近傍にあり、逆に、下降時用のスロットの位置情報の作成が終了した時にセンサ11は上昇時用のスロットの位置情報の作成時の第1スキャン開始位置近傍にあるため、これらを連続して行なうに際して、センサ11の移動距離を短縮でき、センサ11を2回往復移動させることで上昇時用の位置情報と下降時用の位置情報とが作成できる。
なお、基準基板1または2の検出においては、最初に検出された基準基板の位置のみをRAM23に記憶しておき、それぞれ位置情報の作成、位置情報の照合を行なうことができる。作成された上昇時用のスロットの位置情報と下降時用のスロットの位置情報とはそれぞれ個別にRAM23に記憶しておき、その後の処理で活用することができる。
Claims (6)
- 載置台上に載置された、基板が収納されるスロットを複数段有する基板収納器に対して、前記スロットに収納された基板を検出するセンサを各々の前記スロットを横断する方向に相対的に移動させるスキャン動作により、予め定めた前記スロットに収納された基板を基準基板としてその位置を検出する第1の位置検出工程と、
前記第1の位置検出工程で検出した前記基準基板の位置と、前記基板収納器の設計情報と、に基づいて、前記基板収納器の各々の前記スロットの位置情報を作成する作成工程と、
再度の前記スキャン動作によって、前記基準基板の位置を再度検出する第2の位置検出工程と、
前記第2の位置検出工程で検出した前記基準基板の位置と、前記作成工程で作成した前記スロットの位置情報と、を照合する照合工程と、
を備えたことを特徴とするスロットの位置情報作成方法。 - 前記基準基板は、
複数段の前記スロットのうち、その端部に位置する前記スロットの一方に収納されることを特徴とする請求項1に記載のスロットの位置情報作成方法。 - 前記基準基板は、
複数段の前記スロットのうち、その端部に位置する前記スロットの双方にそれぞれ収納されることを特徴とする請求項1に記載のスロットの位置情報作成方法。 - 前記スキャン動作は、
複数段の前記スロットのうち、その一方の端部に位置する前記スロットから他方の端部に位置する前記スロットへ向かう方向へ前記センサを相対的に移動させる往動時と、前記他方の端部に位置する前記スロットから前記一方の端部に位置する前記スロットへ向かう方向へ前記センサを相対的に移動させる復動時の少なくともいずれかにおいて実行され、
前記第1及び第2の位置検出工程では、
前記センサの往動時に、前記一方の端部に収納された前記基準基板の位置を検出し、前記センサの復動時に、前記他方の端部に収納された前記基準基板の位置を検出することを特徴とする請求項3に記載のスロットの位置情報作成方法。 - 前記第2の位置検出工程では、
前記スキャン動作の開始位置が、前記端部に位置する前記スロットから、前記センサの前記スロットに対する相対的な移動方向と逆方向に、前記スロットのピッチ分だけ間隔を置いた位置に設定されていることを特徴とする請求項2乃至4のいずれかに記載のスロットの位置情報作成方法。 - 基板が収納されるスロットを複数段有する基板収納器が載置される載置台と、
前記スロットに収納された基板を検出するセンサと、
前記載置台上に載置された前記基板収納器に対して、各々の前記スロットを横断するように前記センサを相対的に移動させるスキャン動作を行い、前記センサにより検出された基板の位置を検出する位置検出手段と、
前記位置検出手段の前記スキャン動作によって検出された予め定めた前記スロットに収納された基準基板の位置と、前記基板収納器の各々の前記スロットの設計情報と、に基づいて、前記基板収納器の各々の前記スロットの位置情報を作成する作成手段と、
前記位置検出手段の再度の前記スキャン動作によって検出された前記基準基板の位置と、前記作成手段によって作成された前記スロットの位置情報と、を照合する照合手段と、
を備えたことを特徴とする載置ユニット。
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
JP2005196757A JP2007019110A (ja) | 2005-07-05 | 2005-07-05 | スロットの位置情報作成方法及び載置ユニット |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
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Family Applications (1)
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JP2005196757A Withdrawn JP2007019110A (ja) | 2005-07-05 | 2005-07-05 | スロットの位置情報作成方法及び載置ユニット |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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-
2005
- 2005-07-05 JP JP2005196757A patent/JP2007019110A/ja not_active Withdrawn
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