JP2007019105A - 電子回路基板の配線補修用積層材および電子回路基板の配線補修方法並びに配線補修装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基材2と基材2に積層した熱溶融層3と熱溶融層3に積層した微粒金属層4からなる配線補修用積層材1の微粒金属層4を電子回路の断線部分に当接して後、
前記断線部分の上方の配線補修用積層材1にレーザ光を照射して、熱溶融層3にレーザ光を吸収させることによって、
基材2から熱溶融層3及び微粒金属層4を溶融離脱させて、熱溶融層3と微粒金属層4を前記断線部分に転写させた後、
前記断線部分に転写させた熱溶融層3にレーザ光を照射して該熱溶融層を熱分解することによって除去してから、微粒金属層4にレーザ光を照射することによって、微粒金属を融解し焼成することを特徴とする配線補修方法
【選択図】図6
Description
また、前記断線部分に微小金属箔を配置し、該断線部分の両端側の配線と該微小金属箔片の重なり部分にレーザ光を照射し、該重なり部分を溶融して接続し、導通させる方法がとられている。(例えば特許文献2)
即ち、請求項1に係る電子回路基板の配線補修用積層材は、基材と熱溶融層と微粒金属層からなることを特徴としている。
請求項1に係る発明では、前記基材と熱溶融層と微粒金属層からなる配線補修用積層材であるため、インクジェットやディスペンサを用いた方式のように目詰まりや、吐出不良等の問題を生じないという優れた効果を有する。
まず、図1は本発明に係る配線補修用積層材1の一実施例の断面を示すものである。
この配線補修用積層材1は耐熱性を有する基材2と、熱溶融層3と、微粒金属層4から構成されており、基材2、熱溶融層3、微粒金属層4の順で積層されている。
そして、微粒金属層4は貴金属の粒径が数ナノメートルないし数十ナノメートルの微粒金属と分散材を揮発性の溶剤に溶かし込んだ後、前記熱溶融層3に塗布し、前記揮発性の溶剤を揮発させることによって前記熱溶融層3表面に形成したものであって、前記貴金属は金、銀、パラジュウム、アルミニウムなどである。
そして、ハーフミラー12Bによって光軸Lから分岐された光軸L1の光軸上には偏向用ミラー12Cが配置され、偏向用ミラー12Cによって光軸L1から偏向された光軸L2上には撮影手段としてのCCDカメラ16が配置されている。
また、可変スリット14は図3に示すように、スリット板14A、14B、14C、14Dを有し、これらスリット板14A、14B、14C、14Dは、制御ユニット10の制御器10Aに電気的に接続されたスリット駆動手段(図示せず)によって図3の矢印(イ)方向に独立して移動可能になっている他、開口部14Eの中心を回転中心として可変スリット14全体が旋回(図3の矢印ホ)できるようになっている。
そして、可変スリット14のスリット駆動手段を作動させることによって、後述の第1のレーザ照射器15からワーク6に照射するレーザ光の形状および位置が調整できるようになっている。
そして、前記ハーフミラー12Dを透過した光軸L3上には後述の配線補修ユニット9によって微粒金属が転写されたワーク6の断線部分の該前記微粒金属を加熱して焼成させるためのレーザ光を照射する第2のレーザ光照射器15Bが設けられており、第2のレーザ光照射器15Bには開閉用シャッター(図示せず)が内蔵されている。
そして、外部入力装置10Bによって制御ユニット10を介して、可変スリット14の旋回および開口部14Eの形状および中心位置の設定が自由に行えるようになっている他、テーブル駆動装置7C、前記第1のレーザ照射器15の開閉スイッチ、前記スリット駆動装置、前記第2のレーザ照射器15Bの開閉用シャッター、修正テープ押圧手段9C、巻き取りリール駆動用モータ9F、進退手段9Dが手動によっても作動させることができるようになっている。
図5は本発明に係る配線補修用積層材1を用いた電子回路基板の配線補修方法の工程を示すものである。
ワーク6を載置台7Aに載置した後、テーブル駆動装置7Cによって、ワーク6の被補修箇所をレーザ光軸Lの直下に移動させる。(ステップ1)
その後、当該被補修箇所をCCDカメラ16によって撮影し、その画像を表示器17に表示する。(ステップ2)
前記被補修箇所の形状(断線部の線幅、断線の長さ)の画像に合わせて、外部入力装置10Bを用いてスリット駆動装置させて、スリット板14A〜14Dをその被補修箇所の断線箇所の形状(線の幅、断線長さ、回転角)に合わせる(ステップ3)。
その際、スリットの開口部14Eの形状(長さ)が、前記被補修箇所の断線の長さより若干長めになるようにスリット板14A〜14Dを調整することによって、前記微粒金属層を溶融焼成した際に、前記断線部分をより確実に電気的に導通状態にできる。
その後、第1のレーザ照射器15の開閉スイッチを開にして、図6(b)のように修正テープ1の所定の箇所に所定の時間、レーザ光を照射し、熱溶融層3を溶融して、熱溶融層3と微粒金属層4を一体的に基材2から離脱させ、図6(c)のように前記被補修箇所に転写させた後、第1のレーザ照射器15の開閉スイッチを閉じる。(ステップ5)
その際、熱溶融層3はレーザ光を吸収してレーザ光が熱に変換されるため、熱溶融層3が熱分解し容易に除去できる(図6(e))。
この場合、レーザ光が照射された微粒金属層の微粒金属粒径は数ナノメートルから数十ナノメートルであるため、融点降下によって、ワーク6の耐熱温度以下の約400℃前後で溶融して金属化し、前記被補修箇所に焼成できる。(図6(e))
その後、その他の補修箇所があれば、上記工程を繰り返し、全ての補修箇所の補修をおこなった後に補修を終了する(図6(e))。(ステップ9)
具体的には、上記レーザ光の走査方法は、いわゆるガルバノミラーを用いた方法や二次元のマトリックス状に配置された微小ミラーの角度を任意に変更可能な機器を用いてレーザ光を走査する方法である。
また、上記実施の形態では、第1のレーザ照射器15と第2のレーザ照射器15Bの2種類のレーザ光を使い分けているが、第1のレーザ照射器15に多波長切替可能なものを用いれば、第1のレーザ照射器15のみでも同様な作用効果が得られることは言うまでもない。
2基材
3熱溶融層
4微粒金属層
5電子回路基板の配線補修装置
6ワーク
7テーブルユニット
8光学系ユニット
9配線補修ユニット
10制御ユニット
11対物レンズ
12表示器
12Aハーフミラー
12Bハーフミラー
12Cミラー
12Dハーフミラー
13結像レンズ
14スリット
15第1のレーザ照射器
15A照明手段
15B第2のレーザ照射器
16CCDカメラ
Claims (4)
- 基材と熱溶融層と微粒金属層からなる配線補修用積層材。
- 前記熱溶融層の溶融温度が、前記基材の耐熱温度より低いことを特徴とする請求項1に記載の積層材。
- 基材と熱溶融層と微粒金属層からなる配線補修用積層材の前記微粒金属層を電子回路の断線部分に押圧して後、
前記断線部分の上方の配線補修用積層材にレーザ光を照射して、前記熱溶融層にレーザ光を吸収させてことによって、
前記基材から前記熱溶融層及び前記微粒金属層を溶融離脱させて、該熱溶融層と微粒金属層を前記断線部分に転写させた後、
前記基材から離脱した熱溶融層にレーザ光を照射して該熱溶融層を熱分解することによって除去してから、前記微粒金属層にレーザ光を照射することによって、微粒金属を融解し焼成することを特徴とする配線補修方法。 - 基材と熱溶融層と微粒金属層からなる配線補修用積層材の前記微粒金属層を電子回路の断線部分に押圧して後、
前記断線部分の上方の配線補修用積層材にレーザ光を照射して、前記熱溶融層にレーザ光を吸収させることによって、
前記基材から前記熱溶融層及び前記微粒金属層を溶融離脱させて、該熱溶融層と微粒金属層を前記断線部分に転写させた後、
前記基材から離脱した熱溶融層にレーザ光を照射して該熱溶融層を熱分解することによって除去してから、前記微粒金属層にレーザ光を照射することによって、微粒金属を融解し焼成することを特徴とする配線補修装置。
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