JP2007011288A - 光量調整方法、画像記録方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】テストデータメモリ80から供給されるテストデータに基づき、基板Fにテストパターンを形成してその線幅を測定し、光源制御部89により光源ユニット28a〜28jを調整して露光ヘッド24a〜24j間での線幅変化量を補正した光量を設定するとともに、マスクデータ設定部86において、露光ヘッド24a〜24jを構成するDMDの特定のマイクロミラーをオフ状態に制御するマスクデータを設定し、マスクデータを用いて出力データを補正して所望の画像を基板Fに露光記録する。
【選択図】図9
Description
テストデータに基づいて前記各露光ヘッドを制御し、前記画像記録媒体にテストパターンを記録するステップと、
前記画像記録媒体に記録された前記テストパターンの記録状態を前記各露光ヘッド毎に測定するステップと、
前記光ビームの光量変化量に対する前記記録状態の状態変化量の関係に基づき、前記各露光ヘッドにより前記画像記録媒体に記録される画像の前記記録状態を同一にするべく、前記光ビームの光量を補正するステップと、
前記各露光ヘッドを前記画像データに従って制御し、光量の補正された前記各光ビームを用いて前記画像記録媒体に画像を記録するステップと、
からなることを特徴とする。
テストデータに基づいて前記各露光ヘッドを制御し、前記画像記録媒体にテストパターンを記録するステップと、
前記画像記録媒体に記録された前記テストパターンの記録状態を前記各露光ヘッド毎に測定するステップと、
前記光ビームの光量変化量に対する前記記録状態の状態変化量の関係に基づき、前記各露光ヘッドにより前記画像記録媒体に記録される前記記録状態を同一にするべく、前記光ビームの光量を調整するステップと、
からなることを特徴とする。
前記画像記録媒体にテストパターンを記録するためのテストデータを記憶するテストデータ記憶手段と、
前記光ビームの光量変化量に対する前記テストパターンの前記画像記録媒体における記録状態の状態変化量との関係を記憶する関係記憶手段と、
前記関係に基づき、前記各露光ヘッドにより前記画像記録媒体に記録される画像の前記記録状態を同一にするべく、前記光ビームの光量を補正する光量補正手段と、
前記画像データに従って前記各露光ヘッドを制御し、光量の補正された前記各光ビームを用いて前記画像記録媒体に画像を記録する露光ヘッド制御手段と、
を備えることを特徴とする。
前記各露光ヘッドから前記画像記録媒体に導かれる前記各光ビームの波長に対する前記画像記録媒体の感度特性に基づき、前記各露光ヘッドにより前記画像記録媒体に記録される画像の記録状態を調整するべく、前記各光ビームの光量を補正するステップと、
前記各露光ヘッドを前記画像データに従って制御し、光量の補正された前記各光ビームを用いて前記画像記録媒体に画像を記録するステップと、
からなることを特徴とする。
前記各露光ヘッドから前記画像記録媒体に導かれる前記各光ビームの波長に対する前記画像記録媒体の感度特性に基づき、前記各露光ヘッドにより前記画像記録媒体に記録される画像の記録状態を調整するべく、前記各光ビームの光量を調整することを特徴とする。
前記光ビームの波長に対する前記画像記録媒体の感度特性を記憶する感度特性記憶手段と、
前記各露光ヘッドから前記画像記録媒体に導かれる前記各光ビームの波長に対する前記感度特性に基づき、前記各露光ヘッドにより前記画像記録媒体に記録される画像の前記記録状態を調整するべく、前記各光ビームの光量を補正する光量補正手段と、
前記画像データに従って前記各露光ヘッドを制御し、光量の補正された前記各光ビームを用いて前記画像記録媒体に画像を記録する露光ヘッド制御手段と、
を備えることを特徴とする。
前記各露光ヘッドから前記画像記録媒体に導かれる前記各光ビームのビーム径を前記各露光ヘッド毎に取得するステップと、
前記光ビームのビーム径に対する前記画像記録媒体に記録される画像の記録状態の関係に基づき、前記各露光ヘッドにより前記画像記録媒体に記録される画像の記録状態を調整するべく、前記各光ビームの光量を補正するステップと、
前記各露光ヘッドを前記画像データに従って制御し、光量の補正された前記各光ビームを用いて前記画像記録媒体に画像を記録するステップと、
からなることを特徴とする。
前記各露光ヘッドから前記画像記録媒体に導かれる前記各光ビームのビーム径を前記各露光ヘッド毎に取得するステップと、
前記光ビームのビーム径に対する前記画像記録媒体に記録される画像の記録状態の関係に基づき、前記各露光ヘッドにより前記画像記録媒体に記録される画像の記録状態を調整するべく、前記各光ビームの光量を調整することを特徴とする。
前記光ビームのビーム径に対する前記画像記録媒体に記録される画像の記録状態の関係を記憶する関係記憶手段と、
前記各露光ヘッドから前記画像記録媒体に導かれる前記各光ビームのビーム径を前記各露光ヘッド毎に取得し、前記関係に基づき、前記各露光ヘッドにより前記画像記録媒体に記録される画像の前記記録状態を調整するべく、前記各光ビームの光量を補正する光量補正手段と、
前記画像データに従って前記各露光ヘッドを制御し、光量の補正された前記各光ビームを用いて前記画像記録媒体に画像を記録する露光ヘッド制御手段と、
を備えることを特徴とする。
n=N・ΔMk(x)/Ek(x) (k:a〜j)
とし、N枚中のn枚のマイクロミラー40をオフ状態とするように設定すればよい。
18…露光ステージ 22a、22b…CCDカメラ
24a〜24j…露光ヘッド 26…スキャナ
28a〜28j…光源ユニット 36…DMD
42…DMDコントローラ 68…フォトセンサ
78…出力データ補正部 80…テストデータメモリ
82…マスクデータメモリ 86…マスクデータ設定部
87…光量/線幅テーブルメモリ 88…光量ローカリティデータ算出部
89…光源制御部 90、96a、96b…テストパターン
92…グレースケールデータ 94…銅箔パターン
F…基板 L…レーザビーム
Claims (41)
- 光ビームを出力する光源を有し画像記録媒体に沿って配列される複数の露光ヘッドを画像データに応じて制御し、前記画像記録媒体に画像を記録する画像記録方法において、
テストデータに基づいて前記各露光ヘッドを制御し、前記画像記録媒体にテストパターンを記録するステップと、
前記画像記録媒体に記録された前記テストパターンの記録状態を前記各露光ヘッド毎に測定するステップと、
前記光ビームの光量変化量に対する前記記録状態の状態変化量の関係に基づき、前記各露光ヘッドにより前記画像記録媒体に記録される画像の前記記録状態を同一にするべく、前記光ビームの光量を補正するステップと、
前記各露光ヘッドを前記画像データに従って制御し、光量の補正された前記各光ビームを用いて前記画像記録媒体に画像を記録するステップと、
からなることを特徴とする画像記録方法。 - 請求項1記載の方法において、
前記関係は、前記画像記録媒体の感度特性に対応して設定されることを特徴とする画像記録方法。 - 請求項2記載の方法において、
前記画像記録媒体は、前記光ビームの波長に応じて感度が異なる分光感度特性を有することを特徴とする画像記録方法。 - 請求項1記載の方法において、
前記テストデータは、所定幅又は所定間隔からなる前記テストパターンを前記画像記録媒体に記録するデータであり、前記記録状態は、前記テストパターンの幅又は間隔であることを特徴とする画像記録方法。 - 請求項1記載の方法において、
前記テストデータは、所定濃度からなる前記テストパターンを前記画像記録媒体に記録するデータであり、前記記録状態は、前記テストパターンの濃度であることを特徴とする画像記録方法。 - 請求項1記載の方法において、
前記各露光ヘッドが有する前記各光源を調整することで、前記光ビームの光量を補正することを特徴とする画像記録方法。 - 請求項1記載の方法において、
前記各露光ヘッドは、前記光ビームを前記画像データに従って変調して前記画像記録媒体に導く複数の空間光変調要素を有する空間光変調素子を備え、
前記各露光ヘッドが有する前記各空間光変調素子を構成する特定の前記空間光変調要素をオフ状態に制御することで、前記光ビームの光量を補正することを特徴とする画像記録方法。 - 請求項1記載の方法において、
前記関係に基づき、前記露光ヘッドによる画像の記録状態を、前記露光ヘッド内の位置によらず一定にするべく、前記光ビームの光量を補正するステップを含むことを特徴とする画像記録方法。 - 光ビームを出力する光源を有し画像記録媒体に沿って配列される複数の露光ヘッドを画像データに応じて制御し、前記画像記録媒体に画像を記録する際、
テストデータに基づいて前記各露光ヘッドを制御し、前記画像記録媒体にテストパターンを記録するステップと、
前記画像記録媒体に記録された前記テストパターンの記録状態を前記各露光ヘッド毎に測定するステップと、
前記光ビームの光量変化量に対する前記記録状態の状態変化量の関係に基づき、前記各露光ヘッドにより前記画像記録媒体に記録される前記記録状態を同一にするべく、前記光ビームの光量を調整するステップと、
からなることを特徴とする光量調整方法。 - 光ビームを出力する光源を有し画像記録媒体に沿って配列される複数の露光ヘッドを画像データに応じて制御し、前記画像記録媒体に画像を記録する画像記録装置において、
前記画像記録媒体にテストパターンを記録するためのテストデータを記憶するテストデータ記憶手段と、
前記光ビームの光量変化量に対する前記テストパターンの前記画像記録媒体における記録状態の状態変化量との関係を記憶する関係記憶手段と、
前記関係に基づき、前記各露光ヘッドにより前記画像記録媒体に記録される画像の前記記録状態を同一にするべく、前記光ビームの光量を補正する光量補正手段と、
前記画像データに従って前記各露光ヘッドを制御し、光量の補正された前記各光ビームを用いて前記画像記録媒体に画像を記録する露光ヘッド制御手段と、
を備えることを特徴とする画像記録装置。 - 請求項10記載の装置において、
前記関係記憶手段は、前記画像記録媒体の感度特性に応じた前記関係を記憶することを特徴とする画像記録装置。 - 請求項10記載の装置において、
前記画像記録媒体は、前記光ビームの波長に応じて感度が異なる分光感度特性を有することを特徴とする画像記録装置。 - 請求項10記載の装置において、
前記関係記憶手段は、前記光ビームの波長に応じて感度が異なる分光感度特性に従った前記関係を記憶することを特徴とする画像記録装置。 - 請求項10記載の装置において、
前記テストデータは、所定幅又は所定間隔からなる前記テストパターンを前記画像記録媒体に記録するデータであり、前記記録状態は、前記テストパターンの幅又は間隔であることを特徴とする画像記録装置。 - 請求項10記載の装置において、
前記テストデータは、所定濃度からなる前記テストパターンを前記画像記録媒体に記録するデータであり、前記記録状態は、前記テストパターンの濃度であることを特徴とする画像記録装置。 - 請求項10記載の装置において、
前記光量補正手段は、前記各露光ヘッドが有する前記各光源を調整することで、前記光ビームの光量を補正することを特徴とする画像記録装置。 - 請求項10記載の装置において、
前記各露光ヘッドは、前記光ビームを前記画像データに従って変調して前記画像記録媒体に導く複数の空間光変調要素を有する空間光変調素子を備え、
前記光量補正手段は、前記各露光ヘッドが有する前記各空間光変調素子を構成する特定の前記空間光変調要素をオフ状態に制御することで、前記光ビームの前記光量を補正することを特徴とする画像記録装置。 - 請求項17記載の装置において、
前記空間光変調素子は、前記光ビームを反射する反射面の角度が前記画像データに従って変更可能な多数のマイクロミラーを二次元的に配列して構成されるマイクロミラーデバイスであることを特徴とする画像記録装置。 - 請求項10記載の装置において、
前記光源は、半導体レーザであることを特徴とする画像記録装置。 - 請求項10記載の装置において、
前記関係に基づき、前記露光ヘッドによる画像の記録状態を、前記露光ヘッド内の位置によらず一定にするべく、前記光ビームの光量を補正する第2光量補正手段を備えることを特徴とする画像記録装置。 - 光ビームを出力する光源を有し画像記録媒体に沿って配列される複数の露光ヘッドを画像データに応じて制御し、前記画像記録媒体に画像を記録する画像記録方法において、
前記各露光ヘッドから前記画像記録媒体に導かれる前記各光ビームの波長に対する前記画像記録媒体の感度特性に基づき、前記各露光ヘッドにより前記画像記録媒体に記録される画像の記録状態を調整するべく、前記各光ビームの光量を補正するステップと、
前記各露光ヘッドを前記画像データに従って制御し、光量の補正された前記各光ビームを用いて前記画像記録媒体に画像を記録するステップと、
からなることを特徴とする画像記録方法。 - 請求項21記載の方法において、
前記画像記録媒体は、前記光ビームの波長に応じて感度が異なる分光感度特性を有することを特徴とする画像記録方法。 - 請求項21記載の方法において、
前記各露光ヘッドが有する前記各光源を調整することで、前記光ビームの光量を補正することを特徴とする画像記録方法。 - 請求項21記載の方法において、
前記各露光ヘッドは、前記光ビームを前記画像データに従って変調して前記画像記録媒体に導く複数の空間光変調要素を有する空間光変調素子を備え、
前記各露光ヘッドが有する前記各空間光変調素子を構成する特定の前記空間光変調要素をオフ状態に制御することで、前記光ビームの光量を補正することを特徴とする画像記録方法。 - 光ビームを出力する光源を有し画像記録媒体に沿って配列される複数の露光ヘッドを画像データに応じて制御し、前記画像記録媒体に画像を記録する際、
前記各露光ヘッドから前記画像記録媒体に導かれる前記各光ビームの波長に対する前記画像記録媒体の感度特性に基づき、前記各露光ヘッドにより前記画像記録媒体に記録される画像の記録状態を調整するべく、前記各光ビームの光量を調整することを特徴とする光量調整方法。 - 光ビームを出力する光源を有し画像記録媒体に沿って配列される複数の露光ヘッドを画像データに応じて制御し、前記画像記録媒体に画像を記録する画像記録装置において、
前記光ビームの波長に対する前記画像記録媒体の感度特性を記憶する感度特性記憶手段と、
前記各露光ヘッドから前記画像記録媒体に導かれる前記各光ビームの波長に対する前記感度特性に基づき、前記各露光ヘッドにより前記画像記録媒体に記録される画像の前記記録状態を調整するべく、前記各光ビームの光量を補正する光量補正手段と、
前記画像データに従って前記各露光ヘッドを制御し、光量の補正された前記各光ビームを用いて前記画像記録媒体に画像を記録する露光ヘッド制御手段と、
を備えることを特徴とする画像記録装置。 - 請求項26記載の装置において、
前記感度特性記憶手段は、前記光ビームの波長に応じて感度が異なる分光感度特性を記憶することを特徴とする画像記録装置。 - 請求項26記載の装置において、
前記光量補正手段は、前記各露光ヘッドが有する前記各光源を調整することで、前記光ビームの光量を補正することを特徴とする画像記録装置。 - 請求項26記載の装置において、
前記各露光ヘッドは、前記光ビームを前記画像データに従って変調して前記画像記録媒体に導く複数の空間光変調要素を有する空間光変調素子を備え、
前記光量補正手段は、前記各露光ヘッドが有する前記各空間光変調素子を構成する特定の前記空間光変調要素をオフ状態に制御することで、前記光ビームの前記光量を補正することを特徴とする画像記録装置。 - 光ビームを出力する光源を有し画像記録媒体に沿って配列される複数の露光ヘッドを画像データに応じて制御し、前記画像記録媒体に画像を記録する画像記録方法において、
前記各露光ヘッドから前記画像記録媒体に導かれる前記各光ビームのビーム径を前記各露光ヘッド毎に取得するステップと、
前記光ビームのビーム径に対する前記画像記録媒体に記録される画像の記録状態の関係に基づき、前記各露光ヘッドにより前記画像記録媒体に記録される画像の記録状態を調整するべく、前記各光ビームの光量を補正するステップと、
前記各露光ヘッドを前記画像データに従って制御し、光量の補正された前記各光ビームを用いて前記画像記録媒体に画像を記録するステップと、
からなることを特徴とする画像記録方法。 - 請求項30記載の方法において、
前記関係は、前記画像記録媒体の感度特性に対応して設定されることを特徴とする画像記録方法。 - 請求項31記載の方法において、
前記画像記録媒体は、前記光ビームの波長に応じて感度が異なる分光感度特性を有することを特徴とする画像記録方法。 - 請求項30記載の方法において、
前記各露光ヘッドが有する前記各光源を調整することで、前記光ビームの光量を補正することを特徴とする画像記録方法。 - 請求項30記載の方法において、
前記各露光ヘッドは、前記光ビーム)を前記画像データに従って変調して前記画像記録媒体に導く複数の空間光変調要素を有する空間光変調素子を備え、
前記各露光ヘッドが有する前記各空間光変調素子を構成する特定の前記空間光変調要素をオフ状態に制御することで、前記光ビームの光量を補正することを特徴とする画像記録方法。 - 請求項30記載の方法において、
前記関係に基づき、前記露光ヘッドによる画像の記録状態を、前記露光ヘッド内の位置によらず一定にするべく、前記光ビームの光量を補正するステップを含むことを特徴とする画像記録方法。 - 光ビームを出力する光源を有し画像記録媒体に沿って配列される複数の露光ヘッドを画像データに応じて制御し、前記画像記録媒体に画像を記録する際、
前記各露光ヘッドから前記画像記録媒体に導かれる前記各光ビームのビーム径を前記各露光ヘッド毎に取得するステップと、
前記光ビームのビーム径に対する前記画像記録媒体に記録される画像の記録状態の関係に基づき、前記各露光ヘッドにより前記画像記録媒体に記録される画像の記録状態を調整するべく、前記各光ビームの光量を調整することを特徴とする光量調整方法。 - 光ビームを出力する光源を有し画像記録媒体に沿って配列される複数の露光ヘッドを画像データに応じて制御し、前記画像記録媒体に画像を記録する画像記録装置において、
前記光ビームのビーム径に対する前記画像記録媒体に記録される画像の記録状態の関係を記憶する関係記憶手段と、
前記各露光ヘッドから前記画像記録媒体に導かれる前記各光ビームのビーム径を前記各露光ヘッド毎に取得し、前記関係に基づき、前記各露光ヘッドにより前記画像記録媒体に記録される画像の前記記録状態を調整するべく、前記各光ビームの光量を補正する光量補正手段と、
前記画像データに従って前記各露光ヘッドを制御し、光量の補正された前記各光ビームを用いて前記画像記録媒体に画像を記録する露光ヘッド制御手段と、
を備えることを特徴とする画像記録装置。 - 請求項37記載の装置において、
前記関係記憶手段は、前記画像記録媒体の感度特性に対応した前記関係を記憶することを特徴とする画像記録装置。 - 請求項37記載の装置において、
前記光量補正手段は、前記各露光ヘッドが有する前記各光源を調整することで、前記光ビームの光量を補正することを特徴とする画像記録装置。 - 請求項37記載の装置において、
前記各露光ヘッドは、前記光ビームを前記画像データに従って変調して前記画像記録媒体に導く複数の空間光変調要素を有する空間光変調素子を備え、
前記光量補正手段は、前記各露光ヘッドが有する前記各空間光変調素子を構成する特定の前記空間光変調要素をオフ状態に制御することで、前記光ビームの前記光量を補正することを特徴とする画像記録装置。 - 請求項37記載の装置において、
前記関係に基づき、前記露光ヘッドによる画像の記録状態を、前記露光ヘッド内の位置によらず一定にするべく、前記光ビームの光量を補正する第2光量補正手段を備えることを特徴とする画像記録装置。
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