JP2007010686A

JP2007010686A - 複合センサ素子

Info

Publication number: JP2007010686A
Application number: JP2006251594A
Authority: JP
Inventors: Akio Tanaka; 章夫田中; Tasuke Makino; 太輔牧野
Original assignee: Denso Corp; Nippon Soken Inc
Current assignee: Denso Corp; Soken Inc
Priority date: 2006-09-15
Filing date: 2006-09-15
Publication date: 2007-01-18
Anticipated expiration: 2021-11-15
Also published as: JP4781950B2

Abstract

【課題】端子間の絶縁を確保し，より正確なガス濃度の検出を行うことができる複合センサ素子を提供すること。
【解決手段】複数の電気化学セル２，３，４，６を備え，該電気化学セル２，３，４，６の出力を取り出す端子および／または上記電気化学セル２，３，４，６に電力を付与する端子を有し，端子間距離は０．５ミリ以上である。また，隣接する端子を複合センサ素子の長手方向にずらして配置することが好ましい。また，検出側を幅細に構成することが好ましい。
【選択図】図１

Description

本発明は，被測定ガス中の複数種類の特定ガス濃度を検出可能な複合ガスセンサ素子に関する。

自動車エンジンの排気系に，酸素濃度，ＮＯｘ濃度，エンジン燃焼室の空燃比等を測定可能に構成したガスセンサを設置することがある。その際に，設置スペースの節約，故障確率の削減等を目的として，一本で複数種類の特定ガス濃度等を測定可能な複合ガスセンサ素子を上記ガスセンサに用いることがある。複合センサ素子は各特定ガス濃度検出に対応した電気化学セルを備えており，各電気化学セルに対する出力取出用の端子，各電気化学セルを作動させるための入力を行う端子が設けてある。

各電気化学セルの出力電流や電圧，入力電流や電圧はセルの種類によって大きく異なる。そのため，端子間に発生するリーク電流が問題となることがある。
本発明は，かかる従来の問題点に鑑みてなされたもので，端子間の絶縁を確保し，より正確なガス濃度の検出を行うことができる複合センサ素子を提供しようとするものである。

第１の発明は，複数の電気化学セルを備え，該電気化学セルの出力を取り出す端子および／または上記電気化学セルに電力を付与する端子を有し，隣接する端子を複合センサ素子の同一平面において、長手方向にずらして配置することを特徴とする複合センサ素子にある（請求項１）。第２の発明は，複数の電気化学セルを備え，該電気化学セルの出力を取り出す端子および／または上記電気化学セルに電力を付与する端子を有し，また，発熱体と該発熱体に電力を付与する端子を有し，隣接する端子を複合センサ素子の同一平面において、長手方向にずらして配置することを特徴とする複合センサ素子にある（請求項２）。

第１及び第２の発明における複合センサ素子において，（発熱体の端子も含めて）隣接する端子を複合センサ素子の同一平面において、長手方向にずらして配置する。よって，各端子間の十分な絶縁性を確保し，各端子間に生じるリーク電流を防止して，正確なガス濃度の検出を実現することができる。

以上，本発明によれば，端子間の絶縁を確保し，より正確なガス濃度の検出を行うことができる複合センサ素子を提供することができる。

第１及び第２の発明に記載された電気化学セルは，固体電解質体と該固体電解質体に設けた一対の電極よりなる。各セルは濃淡起電力式や限界電流式の検出セルとして機能する。例えば，被測定ガス中の酸素濃度を測定できる電気化学セル，被測定ガス中のＨＣ，ＣＯ，ＮＯｘ等の各種ガス濃度を測定できる電気化学セル，素子内部に設けた被測定ガス室等に対しガスのポンピング（ガスの出し入れ）ができる電気化学セル等が第１及び第２の発明における電気化学セルの具体例である。

また，特に内燃機関の排気系で利用される複合センサ素子の場合は，内燃機関の燃焼室における空燃比を測定可能な電気化学セルを持つことがある。さらに，上記電気化学セルの作動を制御するために被測定ガスの状態を監視する電気化学セルも上記具体例として挙げることができる。なお，各電気化学セルは一般にセンサセル，モニタセル，ポンプセルなどと呼ばれることがある。

また，上記固体電解質体は一般に電解質として利用される各種の材料を使用することができる。また，上記電極は一般に電極として利用される各種の導電材料よりなるものを使用することができる。後述する実施例では，酸素イオン導電性のジルコニアセラミックと貴金属電極を使用したが，これに限定されずに公知の材料を使用することができる。また，各電気化学セルと各電気化学セルに対応する端子との間は導電性のリード部や導電性スルーホール等によって電気的に接続される。

また，第２発明にかかる複合センサ素子は発熱体を備えているが，この発熱体はヒータとして機能する。一部の電気化学セルは活性化温度以上に加熱しなければ正常に作動しないため，低温環境で使用する場合，ヒータで電気化学セルを強制加熱する構成を採用することがある。この場合，発熱体に電力を付与する端子が必要であり，第２の発明に記載した端子は通電用の端子である。この端子についても，電気化学セルの端子と同様に，０．５ミリ以上の端子間距離を確保する。

特に発熱体に付与する電圧，電流は電気化学セルに入出力される電圧や電流と比較して大であることが多いため，発熱体の端子は他の端子より特に離れた位置に設置することが好ましい。

各端子間の距離が０．５ミリ未満の場合は，次のような問題が生じる。隣接する端子間で，一方の端子（仮に端子ｘとする）が高電位に保持され，大電流が流れ，他方の端子（仮に端子ｙとする）が低電位に保持され，微小電流が流れる場合，端子ｘから端子ｙに向けてリーク電流が発生する。そのため，端子ｙの電位は端子ｘが存在しなかった場合と比較して高くなり，より大電流が流れるようになる。

また，一方の端子（仮に端子ｕとする）の電位や電流が時間的に大きく変動し，他方の端子（仮に端子ｖとする）の電位や電流が定常状態にある場合，端子ｕでの電圧，電流の時間変動がリーク電流を通じて端子ｖに影響し，端子ｖ側の電圧，電流が時間変動を起こすようになる。従って，端子ｙや端子ｖと電気的に導通した状態にある電気化学セルによる測定が不正確になる。

また，各端子間距離は特に１ミリ以上とすることで，より確実に端子間の絶縁を確保して，正確な検出を行うことができる。

また，端子からの出力を素子の外部に取出すため，端子に外部から入力するために接触させるコネクタ等に製造バラツキから位置ズレ等が生じることがあるが，この位置ズレを原因とする短絡を防止することができる。そして，端子間距離の上限は素子体格の大型化防止のために素子短辺方向を１０ミリ，素子長辺方向を２０ミリとすることが好ましい。

また，端子間距離は，電流の流れる経路長を考慮して定義される。後述する実施例１に示されるような単純に素子の同一平面上に隣接して端子が配置される場合は，端子の最短の端部間距離である。しかし，後述する実施例４等のように例えば素子側面に端子を設ける場合等は，図７に示すように，素子の表面をなぞってある端子から異なる端子へと到達する経路長を端子間距離とする。

また，隣接する端子を複合センサ素子の長手方向にずらして配置することが好ましい。幅の細い体格の小さな素子であっても，隣接する端子を長手方向にずらして配置することで，隣接する端子間の距離を離して充分に両端子を絶縁することができる。

また，隣接する端子の間に溝部を設けることが好ましい。（請求項４）。端子間に生じるリーク電流は素子表面をつたって流れるため，溝部を設けることで端子間の経路長をより長くすることができると共に，素子の体格を大型化することなく，端子間の絶縁を確保することができる。なお，上記溝部は，端子間の素子表面を凹部に加工して形成することが好ましい。または，素子表面に端子を形成すべき凸部を設けて，凸部間が溝部状態となるよう構成することもできる（図５（ａ），（ｂ）参照）。

なお，上記溝部は溝幅を０．５ミリ以上，溝部の深さを０．１ミリ以上とすることが好ましい。これにより，絶縁性の確保と素子の小型化を実現することができる。溝幅や溝部の深さが上述の範囲より小さい場合は，絶縁性が低下するおそれがある。

また，上記複合センサ素子における検出側を幅細に構成することが好ましい（請求項５）。複合センサ素子において，その他の部分よりも検出側を幅細に構成することで，検出側近傍を小型化することができ，発熱体への投入電力を小さくして，小電力の素子を得ることができる。なお，複合ガスセンサ素子における検出側とは，電気化学セルが設けてある箇所，また特に電気化学セルを構成する電極が設けてある箇所をさしている。通常は図３や図６に示すごとく，素子の先端側となる。

また，上記複合センサ素子における素子幅は４ミリ以上であることが好ましい（請求項６）。この場合には，本請求項にかかる複合センサ素子を設置する空燃比センサ，Ｏ_２センサ，Ａ／Ｆセンサ等を，既に実用化されている空燃比センサ，Ｏ_２センサ，Ａ／Ｆセンサ等とアッシー構造を類似化でき，これらのセンサと多くの部品を共通化できる。また，既に実用化されている空燃比センサ，Ｏ_２センサ，Ａ／Ｆセンサ等にそのまま本請求項にかかる複合センサ素子を置き換えて設置することもできる。また，素子の強度を高めることができる。素子幅が４ミリ未満である場合は，複合センサ素子の体格が細くなり，強度が脆弱となって耐久性が低下するおそれがある。

また，素子幅の上限は１０ミリとすることが好ましい。これより素子が大きくなると，素子の体格が大型化して，素子を組みつけるセンサ等の体格も大きくなり，車両搭載性が悪化するおそれがある。また素子が大きくなった分，素子の熱容量も大きくなり，ヒータの電力を増加させなければ充分に素子を加熱することができなくなるおそれがある。

また，上記端子は複合センサ素子の側面に設けてあることが好ましい（請求項７）。側面にも端子を配置することで，より多くの端子を所定の間隔をあけて配列することが容易となる。

また，上記端子の幅は０．５ミリ以上であることが好ましい（請求項８）。端子からの出力を素子の外部に取出したり，端子に外部から入力してやるために接触させるコネクタ等との間の接触抵抗を小さくすることができるので，両者の導通不良が生じ難くなる。

なお端子の幅とは，素子の長手方向と直行する幅方向と平行な方向に沿った端子の長さである。上記端子の幅が０．５ミリ未満である場合は，端子からの出力を素子の外部に取出すため，端子に外部から入力してやるために接触させるコネクタ等との間に導通不良が生じやすくなり，端子での電気抵抗が増大するおそれがある。また，素子の幅の上限は，該素子の体格大型化を防ぐために２ミリとすることが好ましい。

また，上記端子の長さは１ミリ以上であることが好ましい（請求項９）。端子からの出力を素子の外部に取出したり，端子に外部から入力するために接触させるコネクタ等との間の接触抵抗を小さくすることができるので，両者の導通不良が生じ難くなる。なお端子の長さとは，素子の長手方向と平行な方向に沿った端子の長さである。

上記端子の長さが１ミリ未満である場合は，端子からの出力を素子の外部に取出すため，端子に外部から入力してやるために接触させるコネクタ等との間に導通不良が生じやすくなり，端子での電気抵抗が増大するおそれがある。また，端子の長さの上限は，該素子の体格大型化を防ぐために１０ミリとすることが好ましい。

また，上記発熱体の表面を含むヒータ面よりもっとも離れた複合センサ素子の表面には上記端子を４個以上設けてあることが好ましい（請求項１０）。発熱体からのリーク電流の影響の受け難い離れた位置に多くの端子が設けてあるため，より正確な検出を行うことができる複合センサ素子を得ることができる。４個未満の場合は，リーク電流の影響を受ける端子が増えるため，複合センサ素子の検出精度が低下するおそれがある。

以下に，図面を用いて本発明の実施例について説明する。

（実施例１）
本発明にかかる複合センサ素子について，図１〜図３を用いて説明する。図１〜図３に示すごとく，本例のガスセンサ素子１は，複数の電気化学セルを備え，該電気化学セルの出力を取り出す端子，上記電気化学セルに電力を付与する端子を有し，また，発熱体と該発熱体に電力を付与する端子を有し，端子間距離は０．５ミリ以上である。

以下，詳細に説明する。本例の複合センサ素子は自動車エンジンの排気系に取付けて排ガス中の大気汚染物質となるＮＯｘ濃度の測定，エンジンにおけるλ特性と空燃比の検出を兼用する素子である。

複合センサ素子１は，図１に示すごとく，ヒータ１５，スペーサ５６，第２固体電解質板５５，スペーサ５４，第１固体電解質板５３，多孔質板５１，スペーサ５２よりなる。各スペーサ５２，５４，５６はアルミナセラミック板，第１及び第２固体電解質板５３，５５は酸素イオン導電性のジルコニアセラミックよりなる。また，上記ヒータ１５は絶縁性のアルミナセラミックよりなるヒータ基板１５１と被覆板１５２の間に発熱体１５０を内蔵したセラミックヒータである。なお，発熱体１５０の表面のヒータ面１５９は，ほぼヒータ基板１５１と被覆板１５２との境目付近に位置する。

第１固体電解質板５３には第１拡散抵抗通路１１０となる貫通孔が設けてあり，多孔質板５１はこの拡散通路１１０を覆うよう設けてある。多孔質板５１に隣接してスペーサ５２が設けてあり，このスペーサ５２と第１固体電解質板５３とによって，第１基準ガス室１３を形成する。

第１被測定ガス室１１，第２被測定ガス室１２は第１固体電解質板５３，スペーサ５４，第２固体電解質板５５により囲まれた空間よりなる。第２基準ガス室１４は第２固体電解質板５５とスペーサ５６により囲まれた空間よりなる。図１及び図２に示すごとく，第１被測定ガス室１１と第２被測定ガス室１２との間は細い第２拡散抵抗通路１２０により連通する。

本例の第３電気化学セル４は酸素濃淡起電力式電池として機能する。第３電気化学セル４を構成する被測定ガス側酸素センサ電極４１は第１固体電解質板５３と多孔質板５１との間に配置し，基準酸素センサ電極４２は第１基準ガス室１３と対面して設ける。第３電気化学セル４は電圧計４５１を有する酸素センサ回路４５に接続する。電圧計４５１は両電極４１及び４２の間の起電力（この起電力は，複合センサ素子外部の被測定ガス雰囲気と第１基準ガス室雰囲気との酸素濃淡によって発生する。）を測定する。この起電力が第３電気化学セル４の出力である。

本例の第１電気化学セル２はポンプセルとして機能する。第４電気化学セル６の電流計６５１の電流値によってフィードバック制御された電源２５２から電圧を印加し，この印加電圧に対応した酸素を第１被測定ガス室１１と第２基準ガス室１４との間で出し入れするよう機能する。また，ポンプ電流に応じて予め設定されたマップからフィードバック制御してもよい。

第１電気化学セル２は第２固体電解質板５５に設け，第１被測定ガス室１１と対面した被測定ガス側ポンプ電極２１と第２基準ガス室１４と対面した基準ポンプ電極２２とより構成し，両電極２１，２２との間には電流計２５１，電源２５２が接続されたポンプ回路２５を設ける。また，後述する電流計６５１と電源２５２との間はフィードバック回路６５５を設ける。

ポンプ電流は第１被測定ガス室１１内の酸素濃度に対応しており，フィードバック回路６５５を利用して第４電気化学セル６の電流が常に一定値をとるように電源２５２を制御する。この制御で第１電気化学セル２は第１被測定ガス室１１内，ひいては第１被測定ガス室１１と連通する第２被測定ガス室１２の酸素濃度を一定に保持することができる。なお，被測定ガス側ポンプ電極２１はＮＯｘを分解しない，ＮＯｘに対して不活性な電極である。

本例の第２電気化学セル３は定電圧（時間的に変動しない）が加えられ，該定電圧によって発生する酸素イオン電流を利用してＮＯｘ濃度を測定する。第２電気化学セル３は第１固体電解質板５３に設け第２被測定ガス室１２と対面した被測定ガス側センサ電極３１と第１基準ガス室１３とに対面した基準センサ電極３２とより構成する。両電極３１，３２との間には電流計３５１と電源３５２とを有するセンサ回路３５を設ける。なお，上記基準センサ電極３２は，後述する基準酸素センサ電極４２及び６２と一体的に設ける。

被測定ガス側センサ電極３１はＮＯｘを窒素と酸素とに分解可能な活性電極である。第２電気化学セル３に電圧を印加することで，酸素イオンが被測定ガス側センサ電極３１表面で発生し，該酸素イオンは第１固体電解質板５３をイオン電流となって流通する。電流計３５１がイオン電流を測定する。このイオン電流は第１電気化学セル３の被測定ガス側ポンプ電極２１がＮＯｘを分解しなければ，被測定ガス中のＮＯｘ濃度に比例するため，電流計３５１から読み取れる値がＮＯｘ濃度となる。

なお，被測定ガス側センサ電極３１上では被測定ガス中の酸素も分解するが，被測定ガス中の酸素濃度は第１電気化学セル２によって略一定に保たれているので，あらかじめＮＯｘ濃度が０の際の電流計３５１の値を測定しておくことで，正しくＮＯｘ由来のイオン電流の大きさを測定することができる。または，第４電気化学セル６の電流値，すなわちチャンバ１２内の残留酸素濃度の補正を引き算することで正しく測定できる。

また，本例の第４電気化学セル６は酸素ポンプセルとして機能し，第２被測定ガス室１２内の酸素濃度を測定する。第４電気化学セル６は第１固体電解質板５３に設けられ，第２被測定ガス室１２と対面した被測定ガス側センサ電極６１と第１基準ガス室１３と対面した基準センサ電極６２とより構成し，両電極６１，６２との間には電流計６５１，電源６５２が接続されたセンサ回路６５を設ける。また，電流計６５１と前述した電源２５２との間はフィードバック回路６５５を設ける。

被測定ガス側センサ電極６１はＮＯｘに対する不活性電極である。第４電気化学セル６は，第２被測定ガス室１２の酸素濃度に対応した電流が生じ，この電流を電流計６５１において検知することで，フィードバック回路６５５を利用し，第１電気化学セル２のポンピングを制御する。

このように構成された複合センサ素子１の第１〜第４の電気化学セル２，３，４，６にかかる端子は，図２，図３に示すごとく，複合センサ素子１の表面１０９や該表面１０９の反対面１０８に露出形成する。

特に第２と第３の電気化学セル３，４にかかる端子７１１〜７１４は，図３に示すような位置関係で複合センサ素子１の表面１０９に設ける。図４に示すごとく，他のセル２，６及びヒータ１５の発熱体１５０と電気的に接続された端子７２１〜７２６は表面１０９の反対面１０８に設ける。

つまり，図３（ａ），（ｂ）に示すごとく，端子７１１及び７１２は，複合センサ素子１の取出側の端部に設け，該端子７１１，７１２と素子長手方向に距離をおいて端子７１３，７１４を設ける。

図３（ａ）に示すごとく，端子７１１，７１２が設けられた取出側の端部における素子の幅はＡである。端子７１２と端子７１４との素子の長手方向に沿った距離，つまり両端子の端部間の距離がＢである。また，端子７１３と端子７１４との幅方向に沿った距離がＣである。なお，反対面１０８に設けた端子７２１から７２６についても同様の寸法関係が成立する（図４参照）。

本例にかかる複合センサ素子１は，Ａ＝４．８ミリ，Ｂ＝３．６ミリ，Ｃ＝３．６ミリに構成する。また，各端子７１１〜７１４，７２１〜７２６はすべて同形状で，幅Ｅ＝１．２ミリ，長さＤ＝３．２ミリである。また，各端子７１１〜７１４を設けた表面１０９はヒータ面１５９よりもっとも離れた面である。

本例の作用効果について説明する。本例の複合センサ素子１において，第１〜第４の電気化学セル２，３，４，６及び発熱体１５０に導通する端子７１１〜７１４，７２１〜７２６の端子間は間隔を０．５ミリ以上離す。よって，各端子間の十分な絶縁性を確保し，各端子間に生じるリーク電流を防止して，正確なガス濃度の検出を実現することができる。

以上，本例によれば，端子間の絶縁を確保し，より正確なガス濃度の検出を行うことができる複合センサ素子を提供することができる。

また，本例は，端子７１１と７１３，端子７１２と７１４等のように複合センサ素子１の長手方向にずらして端子を配置することで，端子間に充分な距離を確保して端子間に高い絶縁性を確保することができる。

また，本例は素子幅Ａが４ミリ以上としたため，素子の強度を高めることができる。また，各端子の幅Ｅは０．５ミリ以上，各端子の長さＤは１ミリ以上であるため，各端子からの出力を取出したり，各端子に入力するために接触させるコネクタ等との間の接触抵抗を小さくし，該コネクタと安定した導通を確保できる。

（実施例２）
本例の複合センサ素子１における端子７１１，７１２間には，図５に示すごとく，溝部７５を設ける。図５（ａ）に示すごとく，端子７１１，７１２間における複合ガスセンサ素子１の表面１０９に凹部を設ける。この凹部が溝部７５となる。または，図５（ｂ）に示すごとく，複合ガスセンサ素子１の表面１０９に端子７１１，７１２形成用の凸部７１０を設ける。この上に端子７１１，７１２が形成されるため，端子７１１と７１２との間に溝部７５が形成される。その他詳細は実施例１と同様である。

本例にかかる複合センサ素子１は，端子７１１，７１２の間に溝部７５が設けてある。矢線Ｒに示すごとく，端子７１１，７１２間に生じるリーク電流は素子表面を経由して流れるため，溝部７５を設けることで端子間の経路長をより長くすることができる。また，素子の体格を大型化することなく，端子間の絶縁を確保することができる。その他詳細は実施例１と同様の作用効果を有する。

（実施例３）
本例の複合センサ素子１は，実施例１と同様の構成を有する複合センサ素子である。ただし，図６に示すごとく，第１〜第４電気化学セル（図示略）を設けた検出側を幅細に構成する。同図にかかる複合センサ素子１の取出側における素子の幅Ｍは４．８ミリ，検出側における素子の幅Ｎは４ミリである。

この複合センサ素子１は，ヒータへの投入電力を小さくすることができる。従って，ヒータに内蔵された発熱体へ投入する電力を小さくすることができ，発熱体に接続された端子にからのリーク電流をより小さくすることができる。その他詳細は実施例１と同様の作用効果を有する。

（実施例４）
本例の複合センサ素子１は，図７に示すごとく，素子表面１０９，１０８以外に側面１０７に対しても端子７６４，７６８を設ける。この複合センサ素子１は全部で８個の端子７６１〜７６８を有し，表面１０９に３個づつ端子７６１〜７６３，７６５〜７６７を，側面１０７に１個づつ端子７６４，７６８を設ける。側面１０７まで端子の形成箇所を拡大することで，所定の間隔を開けてより多くの端子の配置が可能となる。その他詳細は実施例１と同様の作用効果を有する。

実施例１における，複合センサ素子の検出側近傍の断面説明図。実施例１における，複合センサ素子における第１被測定ガス室及び第２被測定ガス室の平面図。実施例１における，（ａ）複合センサ素子の表面の検出側近傍の平面図，（ｂ）複合センサ素子の斜視図。実施例１における，図３と反対側の表面の検出側近傍の平面図。実施例２における，隣接する端子の間に溝部を設けた複合センサ素子の説明図。実施例３における，検出側が幅細となった複合センサ素子の平面図。実施例４における，側面に対しても端子が設けられた複合センサ素子の説明図。

符号の説明

１．．．複合センサ素子，
１０９，１０８．．．表面，
１５０．．．発熱体，
２，３，４，６．．．第１〜第４電気化学セル，
７１１〜７１４．．．端子，

Claims

複数の電気化学セルを備え，該電気化学セルの出力を取り出す端子および／または上記電気化学セルに電力を付与する端子を有し，隣接する端子を複合センサ素子の同一平面において，長手方向にずらして配置することを特徴とする複合センサ素子。
複数の電気化学セルを備え，該電気化学セルの出力を取り出す端子および／または上記電気化学セルに電力を付与する端子を有し，また，発熱体と該発熱体に電力を付与する端子を有し，隣接する端子を複合センサ素子の同一平面において，長手方向にずらして配置することを特徴とする複合センサ素子。
請求項１または２において，端子間距離は０．５ミリ以上であることを特徴とする複合センサ素子。
請求項１〜３のいずれか１項において，隣接する端子の間に溝部を設けることを特徴とする複合センサ素子。
請求項１〜４のいずれか１項において，上記複合センサ素子における検出側を幅細に構成することを特徴とする複合センサ素子。
請求項１〜５のいずれか１項において，上記複合センサ素子における素子幅は４ミリ以上であることを特徴とする複合センサ素子。
請求項１〜６のいずれか一項において，上記端子は複合センサ素子の側面に設けてあることを特徴とする複合センサ素子。
請求項１〜７のいずれか一項において，上記端子の幅は０．５ミリ以上であることを特徴とする複合センサ素子。
請求項１〜８のいずれか一項において，上記端子の長さは１ミリ以上であることを特徴とする複合センサ素子。
請求項２〜９のいずれか一項において，上記発熱体の表面を含むヒータ面よりもっとも離れた複合センサ素子の表面には上記端子を４個以上設けてあることを特徴とする複合センサ素子。
請求項２〜１０のいずれか一項において，上記電気化学セルの端子は、上記発熱体の端子と反対側の面に設けてあることを特徴とする複合センサ素子。
請求項１〜１１のいずれか一項において，上記電気化学セルの端子は、素子内部に設けた被測定ガス室に対してガスのポンピングができるポンプセルを含み，ポンプセル以外の電気化学セルの端子は，ポンプセルの端子と反対側の面に設けてあることを特徴とする複合センサ素子。