JP2003149202A - 複合センサ素子 - Google Patents

複合センサ素子

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JP2003149202A
JP2003149202A JP2001350549A JP2001350549A JP2003149202A JP 2003149202 A JP2003149202 A JP 2003149202A JP 2001350549 A JP2001350549 A JP 2001350549A JP 2001350549 A JP2001350549 A JP 2001350549A JP 2003149202 A JP2003149202 A JP 2003149202A
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Japan
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terminals
sensor element
terminal
composite sensor
electrochemical cell
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Application number
JP2001350549A
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English (en)
Inventor
Akio Tanaka
章夫 田中
Tasuke Makino
太輔 牧野
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Denso Corp
Soken Inc
Original Assignee
Denso Corp
Nippon Soken Inc
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 端子間の絶縁を確保し,より正確なガス濃度
の検出を行うことができる複合センサ素子を提供するこ
と。 【解決手段】 複数の電気化学セル2,3,4,6を備
え,該電気化学セル2,3,4,6の出力を取り出す端
子および/または上記電気化学セル2,3,4,6に電
力を付与する端子を有し,端子間距離は0.5ミリ以上
である。また,隣接する端子を複合センサ素子の長手方
向にずらして配置することが好ましい。また,検出側を
幅細に構成することが好ましい。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【技術分野】本発明は,被測定ガス中の複数種類の特定
ガス濃度を検出可能な複合ガスセンサ素子に関する。
【0002】
【従来技術】自動車エンジンの排気系に,酸素濃度,N
Ox濃度,エンジン燃焼室の空燃比等を測定可能に構成
したガスセンサを設置することがある。その際に,設置
スペースの節約,故障確率の削減等を目的として,一本
で複数種類の特定ガス濃度等を測定可能な複合ガスセン
サ素子を上記ガスセンサに用いることがある。複合セン
サ素子は各特定ガス濃度検出に対応した電気化学セルを
備えており,各電気化学セルに対する出力取出用の端
子,各電気化学セルを作動させるための入力を行う端子
が設けてある。
【0003】
【解決しようとする課題】各電気化学セルの出力電流や
電圧,入力電流や電圧はセルの種類によって大きく異な
る。そのため,端子間に発生するリーク電流が問題とな
ることがある。
【0004】本発明は,かかる従来の問題点に鑑みてな
されたもので,端子間の絶縁を確保し,より正確なガス
濃度の検出を行うことができる複合センサ素子を提供し
ようとするものである。
【0005】
【課題の解決手段】第1の発明は,複数の電気化学セル
を備え,該電気化学セルの出力を取り出す端子および/
または上記電気化学セルに電力を付与する端子を有し,
端子間距離は0.5ミリ以上であることを特徴とする複
合センサ素子にある(請求項1)。第2の発明は,複数
の電気化学セルを備え,該電気化学セルの出力を取り出
す端子および/または上記電気化学セルに電力を付与す
る端子を有し,また,発熱体と該発熱体に電力を付与す
る端子を有し,端子間距離は0.5ミリ以上であること
を特徴とする複合センサ素子にある(請求項2)。
【0006】第1及び第2の発明における複合センサ素
子において,(発熱体の端子も含めて)各端子間の間隔
を0.5ミリ以上離す。よって,各端子間の十分な絶縁
性を確保し,各端子間に生じるリーク電流を防止して,
正確なガス濃度の検出を実現することができる。
【0007】以上,本発明によれば,端子間の絶縁を確
保し,より正確なガス濃度の検出を行うことができる複
合センサ素子を提供することができる。
【0008】
【発明の実施の形態】第1及び第2の発明に記載された
電気化学セルは,固体電解質体と該固体電解質体に設け
た一対の電極よりなる。各セルは濃淡起電力式や限界電
流式の検出セルとして機能する。例えば,被測定ガス中
の酸素濃度を測定できる電気化学セル,被測定ガス中の
HC,CO,NOx等の各種ガス濃度を測定できる電気
化学セル,素子内部に設けた被測定ガス室等に対しガス
のポンピング(ガスの出し入れ)ができる電気化学セル
等が第1及び第2の発明における電気化学セルの具体例
である。
【0009】また,特に内燃機関の排気系で利用される
複合センサ素子の場合は,内燃機関の燃焼室における空
燃比を測定可能な電気化学セルを持つことがある。さら
に,上記電気化学セルの作動を制御するために被測定ガ
スの状態を監視する電気化学セルも上記具体例として挙
げることができる。なお,各電気化学セルは一般にセン
サセル,モニタセル,ポンプセルなどと呼ばれることが
ある。
【0010】また,上記固体電解質体は一般に電解質と
して利用される各種の材料を使用することができる。ま
た,上記電極は一般に電極として利用される各種の導電
材料よりなるものを使用することができる。後述する実
施例では,酸素イオン導電性のジルコニアセラミックと
貴金属電極を使用したが,これに限定されずに公知の材
料を使用することができる。また,各電気化学セルと各
電気化学セルに対応する端子との間は導電性のリード部
や導電性スルーホール等によって電気的に接続される。
【0011】また,第2発明にかかる複合センサ素子は
発熱体を備えているが,この発熱体はヒータとして機能
する。一部の電気化学セルは活性化温度以上に加熱しな
ければ正常に作動しないため,低温環境で使用する場
合,ヒータで電気化学セルを強制加熱する構成を採用す
ることがある。この場合,発熱体に電力を付与する端子
が必要であり,第2の発明に記載した端子は通電用の端
子である。この端子についても,電気化学セルの端子と
同様に,0.5ミリ以上の端子間距離を確保する。
【0012】特に発熱体に付与する電圧,電流は電気化
学セルに入出力される電圧や電流と比較して大であるこ
とが多いため,発熱体の端子は他の端子より特に離れた
位置に設置することが好ましい。
【0013】各端子間の距離が0.5ミリ未満の場合
は,次のような問題が生じる。隣接する端子間で,一方
の端子(仮に端子xとする)が高電位に保持され,大電
流が流れ,他方の端子(仮に端子yとする)が低電位に
保持され,微小電流が流れる場合,端子xから端子yに
向けてリーク電流が発生する。そのため,端子yの電位
は端子xが存在しなかった場合と比較して高くなり,よ
り大電流が流れるようになる。
【0014】また,一方の端子(仮に端子uとする)の
電位や電流が時間的に大きく変動し,他方の端子(仮に
端子vとする)の電位や電流が定常状態にある場合,端
子uでの電圧,電流の時間変動がリーク電流を通じて端
子vに影響し,端子v側の電圧,電流が時間変動を起こ
すようになる。従って,端子yや端子vと電気的に導通
した状態にある電気化学セルによる測定が不正確にな
る。
【0015】また,各端子間距離は特に1ミリ以上とす
ることで,より確実に端子間の絶縁を確保して,正確な
検出を行うことができる。
【0016】また,端子からの出力を素子の外部に取出
すため,端子に外部から入力するために接触させるコネ
クタ等に製造バラツキから位置ズレ等が生じることがあ
るが,この位置ズレを原因とする短絡を防止することが
できる。そして,端子間距離の上限は素子体格の大型化
防止のために素子短辺方向を10ミリ,素子長辺方向を
20ミリとすることが好ましい。
【0017】また,端子間距離は,電流の流れる経路長
を考慮して定義される。後述する実施例1に示されるよ
うな単純に素子の同一平面上に隣接して端子が配置され
る場合は,端子の最短の端部間距離である。しかし,後
述する実施例4等のように例えば素子側面に端子を設け
る場合等は,図7に示すように,素子の表面をなぞって
ある端子から異なる端子へと到達する経路長を端子間距
離とする。
【0018】また,隣接する端子を複合センサ素子の長
手方向にずらして配置することが好ましい(請求項
3)。幅の細い体格の小さな素子であっても,隣接する
端子を長手方向にずらして配置することで,隣接する端
子間の距離を離して充分に両端子を絶縁することができ
る。
【0019】また,隣接する端子の間に溝部を設けるこ
とが好ましい。(請求項4)。端子間に生じるリーク電
流は素子表面をつたって流れるため,溝部を設けること
で端子間の経路長をより長くすることができると共に,
素子の体格を大型化することなく,端子間の絶縁を確保
することができる。なお,上記溝部は,端子間の素子表
面を凹部に加工して形成することが好ましい。または,
素子表面に端子を形成すべき凸部を設けて,凸部間が溝
部状態となるよう構成することもできる(図5(a),
(b)参照)。
【0020】なお,上記溝部は溝幅を0.5ミリ以上,
溝部の深さを0.1ミリ以上とすることが好ましい。こ
れにより,絶縁性の確保と素子の小型化を実現すること
ができる。溝幅や溝部の深さが上述の範囲より小さい場
合は,絶縁性が低下するおそれがある。
【0021】また,上記複合センサ素子における検出側
を幅細に構成することが好ましい(請求項5)。複合セ
ンサ素子において,その他の部分よりも検出側を幅細に
構成することで,検出側近傍を小型化することができ,
発熱体への投入電力を小さくして,小電力の素子を得る
ことができる。なお,複合ガスセンサ素子における検出
側とは,電気化学セルが設けてある箇所,また特に電気
化学セルを構成する電極が設けてある箇所をさしてい
る。通常は図3や図6に示すごとく,素子の先端側とな
る。
【0022】また,上記複合センサ素子における素子幅
は4ミリ以上であることが好ましい(請求項6)。この
場合には,本請求項にかかる複合センサ素子を設置する
空燃比センサ,O 2センサ,A/Fセンサ等を,既に実
用化されている空燃比センサ,O2センサ,A/Fセン
サ等とアッシー構造を類似化でき,これらのセンサと多
くの部品を共通化できる。また,既に実用化されている
空燃比センサ,O2センサ,A/Fセンサ等にそのまま
本請求項にかかる複合センサ素子を置き換えて設置する
こともできる。また,素子の強度を高めることができ
る。素子幅が4ミリ未満である場合は,複合センサ素子
の体格が細くなり,強度が脆弱となって耐久性が低下す
るおそれがある。
【0023】また,素子幅の上限は10ミリとすること
が好ましい。これより素子が大きくなると,素子の体格
が大型化して,素子を組みつけるセンサ等の体格も大き
くなり,車両搭載性が悪化するおそれがある。また素子
が大きくなった分,素子の熱容量も大きくなり,ヒータ
の電力を増加させなければ充分に素子を加熱することが
できなくなるおそれがある。
【0024】また,上記端子は複合センサ素子の側面に
設けてあることが好ましい(請求項7)。側面にも端子
を配置することで,より多くの端子を所定の間隔をあけ
て配列することが容易となる。
【0025】また,上記端子の幅は0.5ミリ以上であ
ることが好ましい(請求項8)。端子からの出力を素子
の外部に取出したり,端子に外部から入力してやるため
に接触させるコネクタ等との間の接触抵抗を小さくする
ことができるので,両者の導通不良が生じ難くなる。
【0026】なお端子の幅とは,素子の長手方向と直行
する幅方向と平行な方向に沿った端子の長さである。上
記端子の幅が0.5ミリ未満である場合は,端子からの
出力を素子の外部に取出すため,端子に外部から入力し
てやるために接触させるコネクタ等との間に導通不良が
生じやすくなり,端子での電気抵抗が増大するおそれが
ある。また,素子の幅の上限は,該素子の体格大型化を
防ぐために2ミリとすることが好ましい。
【0027】また,上記端子の長さは1ミリ以上である
ことが好ましい(請求項9)。端子からの出力を素子の
外部に取出したり,端子に外部から入力するために接触
させるコネクタ等との間の接触抵抗を小さくすることが
できるので,両者の導通不良が生じ難くなる。なお端子
の長さとは,素子の長手方向と平行な方向に沿った端子
の長さである。
【0028】上記端子の長さが1ミリ未満である場合
は,端子からの出力を素子の外部に取出すため,端子に
外部から入力してやるために接触させるコネクタ等との
間に導通不良が生じやすくなり,端子での電気抵抗が増
大するおそれがある。また,端子の長さの上限は,該素
子の体格大型化を防ぐために10ミリとすることが好ま
しい。
【0029】また,上記発熱体の表面を含むヒータ面よ
りもっとも離れた複合センサ素子の表面には上記端子を
4個以上設けてあることが好ましい(請求項10)。発
熱体からのリーク電流の影響の受け難い離れた位置に多
くの端子が設けてあるため,より正確な検出を行うこと
ができる複合センサ素子を得ることができる。4個未満
の場合は,リーク電流の影響を受ける端子が増えるた
め,複合センサ素子の検出精度が低下するおそれがあ
る。
【0030】
【実施例】以下に,図面を用いて本発明の実施例につい
て説明する。 (実施例1)本発明にかかる複合センサ素子について,
図1〜図3を用いて説明する。図1〜図3に示すごと
く,本例のガスセンサ素子1は,複数の電気化学セルを
備え,該電気化学セルの出力を取り出す端子,上記電気
化学セルに電力を付与する端子を有し,また,発熱体と
該発熱体に電力を付与する端子を有し,端子間距離は
0.5ミリ以上である。
【0031】以下,詳細に説明する。本例の複合センサ
素子は自動車エンジンの排気系に取付けて排ガス中の大
気汚染物質となるNOx濃度の測定,エンジンにおける
λ特性と空燃比の検出を兼用する素子である。
【0032】複合センサ素子1は,図1に示すごとく,
ヒータ15,スペーサ56,第2固体電解質板55,ス
ペーサ54,第1固体電解質板53,多孔質板51,ス
ペーサ52よりなる。各スペーサ52,54,56はア
ルミナセラミック板,第1及び第2固体電解質板53,
55は酸素イオン導電性のジルコニアセラミックよりな
る。また,上記ヒータ15は絶縁性のアルミナセラミッ
クよりなるヒータ基板151と被覆板152の間に発熱
体150を内蔵したセラミックヒータである。なお,発
熱体150の表面のヒータ面159は,ほぼヒータ基板
151と被覆板152との境目付近に位置する。
【0033】第1固体電解質板53には第1拡散抵抗通
路110となる貫通孔が設けてあり,多孔質板51はこ
の拡散通路110を覆うよう設けてある。多孔質板51
に隣接してスペーサ52が設けてあり,このスペーサ5
2と第1固体電解質板53とによって,第1基準ガス室
13を形成する。
【0034】第1被測定ガス室11,第2被測定ガス室
12は第1固体電解質板53,スペーサ54,第2固体
電解質板55により囲まれた空間よりなる。第2基準ガ
ス室14は第2固体電解質板55とスペーサ56により
囲まれた空間よりなる。図1及び図2に示すごとく,第
1被測定ガス室11と第2被測定ガス室12との間は細
い第2拡散抵抗通路120により連通する。
【0035】本例の第3電気化学セル4は酸素濃淡起電
力式電池として機能する。第3電気化学セル4を構成す
る被測定ガス側酸素センサ電極41は第1固体電解質板
53と多孔質板51との間に配置し,基準酸素センサ電
極42は第1基準ガス室13と対面して設ける。第3電
気化学セル4は電圧計451を有する酸素センサ回路4
5に接続する。電圧計451は両電極41及び42の間
の起電力(この起電力は,複合センサ素子外部の被測定
ガス雰囲気と第1基準ガス室雰囲気との酸素濃淡によっ
て発生する。)を測定する。この起電力が第3電気化学
セル4の出力である。
【0036】本例の第1電気化学セル2はポンプセルと
して機能する。第4電気化学セル6の電流計651の電
流値によってフィードバック制御された電源252から
電圧を印加し,この印加電圧に対応した酸素を第1被測
定ガス室11と第2基準ガス室14との間で出し入れす
るよう機能する。また,ポンプ電流に応じて予め設定さ
れたマップからフィードバック制御してもよい。
【0037】第1電気化学セル2は第2固体電解質板5
5に設け,第1被測定ガス室11と対面した被測定ガス
側ポンプ電極21と第2基準ガス室14と対面した基準
ポンプ電極22とより構成し,両電極21,22との間
には電流計251,電源252が接続されたポンプ回路
25を設ける。また,後述する電流計651と電源25
2との間はフィードバック回路655を設ける。
【0038】ポンプ電流は第1被測定ガス室11内の酸
素濃度に対応しており,フィードバック回路655を利
用して第4電気化学セル6の電流が常に一定値をとるよ
うに電源252を制御する。この制御で第1電気化学セ
ル2は第1被測定ガス室11内,ひいては第1被測定ガ
ス室11と連通する第2被測定ガス室12の酸素濃度を
一定に保持することができる。なお,被測定ガス側ポン
プ電極21はNOxを分解しない,NOxに対して不活
性な電極である。
【0039】本例の第2電気化学セル3は定電圧(時間
的に変動しない)が加えられ,該定電圧によって発生す
る酸素イオン電流を利用してNOx濃度を測定する。第
2電気化学セル3は第1固体電解質板53に設け第2被
測定ガス室12と対面した被測定ガス側センサ電極31
と第1基準ガス室13とに対面した基準センサ電極32
とより構成する。両電極31,32との間には電流計3
51と電源352とを有するセンサ回路35を設ける。
なお,上記基準センサ電極32は,後述する基準酸素セ
ンサ電極42及び62と一体的に設ける。
【0040】被測定ガス側センサ電極31はNOxを窒
素と酸素とに分解可能な活性電極である。第2電気化学
セル3に電圧を印加することで,酸素イオンが被測定ガ
ス側センサ電極31表面で発生し,該酸素イオンは第1
固体電解質板53をイオン電流となって流通する。電流
計351がイオン電流を測定する。このイオン電流は第
1電気化学セル3の被測定ガス側ポンプ電極21がNO
xを分解しなければ,被測定ガス中のNOx濃度に比例
するため,電流計351から読み取れる値がNOx濃度
となる。
【0041】なお,被測定ガス側センサ電極31上では
被測定ガス中の酸素も分解するが,被測定ガス中の酸素
濃度は第1電気化学セル2によって略一定に保たれてい
るので,あらかじめNOx濃度が0の際の電流計351
の値を測定しておくことで,正しくNOx由来のイオン
電流の大きさを測定することができる。または,第4電
気化学セル6の電流値,すなわちチャンバ12内の残留
酸素濃度の補正を引き算することで正しく測定できる。
【0042】また,本例の第4電気化学セル6は酸素ポ
ンプセルとして機能し,第2被測定ガス室12内の酸素
濃度を測定する。第4電気化学セル6は第1固体電解質
板53に設けられ,第2被測定ガス室12と対面した被
測定ガス側センサ電極61と第1基準ガス室13と対面
した基準センサ電極62とより構成し,両電極61,6
2との間には電流計651,電源652が接続されたセ
ンサ回路65を設ける。また,電流計651と前述した
電源252との間はフィードバック回路655を設け
る。
【0043】被測定ガス側センサ電極61はNOxに対
する不活性電極である。第4電気化学セル6は,第2被
測定ガス室12の酸素濃度に対応した電流が生じ,この
電流を電流計651において検知することで,フィード
バック回路655を利用し,第1電気化学セル2のポン
ピングを制御する。
【0044】このように構成された複合センサ素子1の
第1〜第4の電気化学セル2,3,4,6にかかる端子
は,図2,図3に示すごとく,複合センサ素子1の表面
109や該表面109の反対面108に露出形成する。
【0045】特に第2と第3の電気化学セル3,4にか
かる端子711〜714は,図3に示すような位置関係
で複合センサ素子1の表面109に設ける。図4に示す
ごとく,他のセル2,6及びヒータ15の発熱体150
と電気的に接続された端子721〜726は表面109
の反対面108に設ける。
【0046】つまり,図3(a),(b)に示すごと
く,端子711及び712は,複合センサ素子1の取出
側の端部に設け,該端子711,712と素子長手方向
に距離をおいて端子713,714を設ける。
【0047】図3(a)に示すごとく,端子711,7
12が設けられた取出側の端部における素子の幅はAで
ある。端子712と端子714との素子の長手方向に沿
った距離,つまり両端子の端部間の距離がBである。ま
た,端子713と端子714との幅方向に沿った距離が
Cである。なお,反対面108に設けた端子721から
726についても同様の寸法関係が成立する(図4参
照)。
【0048】本例にかかる複合センサ素子1は,A=
4.8ミリ,B=3.6ミリ,C=3.6ミリに構成す
る。また,各端子711〜714,721〜726はす
べて同形状で,幅E=1.2ミリ,長さD=3.2ミリ
である。また,各端子711〜714を設けた表面10
9はヒータ面159よりもっとも離れた面である。
【0049】本例の作用効果について説明する。本例の
複合センサ素子1において,第1〜第4の電気化学セル
2,3,4,6及び発熱体150に導通する端子711
〜714,721〜726の端子間は間隔を0.5ミリ
以上離す。よって,各端子間の十分な絶縁性を確保し,
各端子間に生じるリーク電流を防止して,正確なガス濃
度の検出を実現することができる。
【0050】以上,本例によれば,端子間の絶縁を確保
し,より正確なガス濃度の検出を行うことができる複合
センサ素子を提供することができる。
【0051】また,本例は,端子711と713,端子
712と714等のように複合センサ素子1の長手方向
にずらして端子を配置することで,端子間に充分な距離
を確保して端子間に高い絶縁性を確保することができ
る。
【0052】また,本例は素子幅Aが4ミリ以上とした
ため,素子の強度を高めることができる。また,各端子
の幅Eは0.5ミリ以上,各端子の長さDは1ミリ以上
であるため,各端子からの出力を取出したり,各端子に
入力するために接触させるコネクタ等との間の接触抵抗
を小さくし,該コネクタと安定した導通を確保できる。
【0053】実施例2 本例の複合センサ素子1における端子711,712間
には,図5に示すごとく,溝部75を設ける。図5
(a)に示すごとく,端子711,712間における複
合ガスセンサ素子1の表面109に凹部を設ける。この
凹部が溝部75となる。または,図5(b)に示すごと
く,複合ガスセンサ素子1の表面109に端子711,
712形成用の凸部710を設ける。この上に端子71
1,712が形成されるため,端子711と712との
間に溝部75が形成される。その他詳細は実施例1と同
様である。
【0054】本例にかかる複合センサ素子1は,端子7
11,712の間に溝部75が設けてある。矢線Rに示
すごとく,端子711,712間に生じるリーク電流は
素子表面を経由して流れるため,溝部75を設けること
で端子間の経路長をより長くすることができる。また,
素子の体格を大型化することなく,端子間の絶縁を確保
することができる。その他詳細は実施例1と同様の作用
効果を有する。
【0055】実施例3 本例の複合センサ素子1は,実施例1と同様の構成を有
する複合センサ素子である。ただし,図6に示すごと
く,第1〜第4電気化学セル(図示略)を設けた検出側
を幅細に構成する。同図にかかる複合センサ素子1の取
出側における素子の幅Mは4.8ミリ,検出側における
素子の幅Nは4ミリである。
【0056】この複合センサ素子1は,ヒータへの投入
電力を小さくすることができる。従って,ヒータに内蔵
された発熱体へ投入する電力を小さくすることができ,
発熱体に接続された端子にからのリーク電流をより小さ
くすることができる。その他詳細は実施例1と同様の作
用効果を有する。
【0057】実施例4 本例の複合センサ素子1は,図7に示すごとく,素子表
面109,108以外に側面107に対しても端子76
4,768を設ける。この複合センサ素子1は全部で8
個の端子761〜768を有し,表面109に3個づつ
端子761〜763,765〜767を,側面107に
1個づつ端子764,768を設ける。側面107まで
端子の形成箇所を拡大することで,所定の間隔を開けて
より多くの端子の配置が可能となる。その他詳細は実施
例1と同様の作用効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施例1における,複合センサ素子の検出側近
傍の断面説明図。
【図2】実施例1における,複合センサ素子における第
1被測定ガス室及び第2被測定ガス室の平面図。
【図3】実施例1における,(a)複合センサ素子の表
面の検出側近傍の平面図,(b)複合センサ素子の斜視
図。
【図4】実施例1における,図3と反対側の表面の検出
側近傍の平面図。
【図5】実施例2における,隣接する端子の間に溝部を
設けた複合センサ素子の説明図。
【図6】実施例3における,検出側が幅細となった複合
センサ素子の平面図。
【図7】実施例4における,側面に対しても端子が設け
られた複合センサ素子の説明図。
【符号の説明】
1...複合センサ素子, 109,108...表面, 150...発熱体, 2,3,4,6...第1〜第4電気化学セル, 711〜714...端子,
フロントページの続き (72)発明者 牧野 太輔 愛知県西尾市下羽角町岩谷14番地 株式会 社日本自動車部品総合研究所内 Fターム(参考) 2G004 BB04 BD14 BJ03

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数の電気化学セルを備え,該電気化学
    セルの出力を取り出す端子および/または上記電気化学
    セルに電力を付与する端子を有し,端子間距離は0.5
    ミリ以上であることを特徴とする複合センサ素子。
  2. 【請求項2】 複数の電気化学セルを備え,該電気化学
    セルの出力を取り出す端子および/または上記電気化学
    セルに電力を付与する端子を有し,また,発熱体と該発
    熱体に電力を付与する端子を有し,端子間距離は0.5
    ミリ以上であることを特徴とする複合センサ素子。
  3. 【請求項3】 請求項1または2において,隣接する端
    子を複合センサ素子の長手方向にずらして配置すること
    を特徴とする複合センサ素子。
  4. 【請求項4】 請求項1〜3のいずれか1項において,
    隣接する端子の間に溝部を設けることを特徴とする複合
    センサ素子。
  5. 【請求項5】 請求項1〜4のいずれか1項において,
    上記複合センサ素子における検出側を幅細に構成するこ
    とを特徴とする複合センサ素子。
  6. 【請求項6】 請求項1〜5のいずれか1項において,
    上記複合センサ素子における素子幅は4ミリ以上である
    ことを特徴とする複合センサ素子。
  7. 【請求項7】 請求項1〜6のいずれか一項において,
    上記端子は複合センサ素子の側面に設けてあることを特
    徴とする複合センサ素子。
  8. 【請求項8】 請求項1〜7のいずれか一項において,
    上記端子の幅は0.5ミリ以上であることを特徴とする
    複合センサ素子。
  9. 【請求項9】 請求項1〜8のいずれか一項において,
    上記端子の長さは1ミリ以上であることを特徴とする複
    合センサ素子。
  10. 【請求項10】 請求項2〜9のいずれか一項におい
    て,上記発熱体の表面を含むヒータ面よりもっとも離れ
    た複合センサ素子の表面には上記端子を4個以上設けて
    あることを特徴とする複合センサ素子。
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