JP2006521702A - ポジ・トーンの二重層インプリント・リソグラフィー法とその組成物 - Google Patents
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Abstract
Description
組成物1
アクリル酸イソボルニル、
アクリル酸n−ヘキシル、
ジアクリル酸エチレングリコール、
2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニル−プロパン−1−オン
組成物1では、アクリル酸イソボルニルがその組成物の約55%を構成し、アクリル酸n−ヘキシルが約27%を構成し、ジアクリル酸エチレングリコールが約15%を構成し、そして開始剤である2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニル−プロパン−1−オンが約3%を構成する。その開始剤は、ニューヨーク、TarrytownのCIBA(登録商標)によりDAROCUR(登録商標)1173という商品名で販売されている。上で確認された組成物には、また、組成物の運用年数を増加させると化学技術でよく知られている安定剤が含まれている。適当なリリース特性を与えるために、組成物1は、疎水性であり、および/または低い表面エネルギー、例えば、先天的なリリース層である型表面を持つように処理されたテンプレートと共に使われるてもよい。
組成物2
アクリル酸イソボルニル
アクリル酸n−ヘキシル
ジアクリル酸エチレングリコール
2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニル−プロパン−1−オン
RfCH2CH2O(CH2CH2O)XH
ZONYL(登録商標)FS0−100添加物は、組成物の1%未満を構成しており、残りの成分の相対量は組成物1に関して上で論じた通りである。しかしながら、ZONYL(登録商標)FSO−100の割合は1%より多くてもよい。
組成物3
水酸基機能性ポリシロキサン
ヘキサメトキシメチルメラミン
トルエンスルホン酸
メチルアミルケトン
組成物4
水酸基機能性ポリシロキサン
ヘキサメトキシメチルメラミン
γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン
トルエンスルホン酸
メチルアミルケトン
組成物3では、水酸基機能性ポリシロキサンが組成物の約4%を構成し、ヘキサメトキシメチルメラミンが約0.95%を構成し、トルエンスルホン酸が約0.05%を構成し、そしてメチルアミルケトンが約95%を構成する。組成物4では、水酸基機能性ポリシロキサンが組成物の約4%を構成し、ヘキサメトキシメチルメラミンが約0.7%を構成し、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシランが約0.25%を構成し、トルエンスルホン酸が約0.05%を構成し、そしてメチルアミルケトンが約95%を構成する。
Claims (25)
- ある形を有する、パターン化された層を基板上に形成すること、および
前記形の逆を前記基板へ転写することを含む、基板をパターニングする方法。 - 転写することが、前記基板上に、突起部と凹所とを有する前記パターン化された層を形成し、前記パターン化された層上に順応層を形成することによって、前記基板から見て外方に向いているクラウン表面を有する多層構造物を作成すること、および前記多層構造物の一部を選択的に取り除いて、前記突起部と重ね合わされている前記基板の領域を露出させる一方で、前記凹所と重ね合わされている前記クラウン表面の領域に固いマスクを形成することをさらに含む請求項1に記載の方法。
- 前記パターン化された層を形成することが、ある頂部とある高さを前記突起部に設けることをさらに含み、前記順応層を形成することが、一方の頂部から最小距離離れ、付加的な頂部から最大距離離れた正規化表面を前記順応層に提供することをさらに含み、前記高さが前記最大距離と前記最小距離離の間の差よりも大きい請求項2に記載の方法。
- 作成することが、実質的にシリコンのない重合可能な有機材料から前記パターン化された層を形成すること、および重合可能なシリコン含有材料から前記順応層を形成することをさらに含む請求項2に記載の方法。
- 作成することが、重合可能な化合物を有する材料、および前記重合可能な化合物の表面エネルギーよりも小さい表面エネルギーを有する界面活性剤から前記パターン化された層を形成することをさらに含む請求項2に記載の方法。
- 作成することが、重合可能な化合物を有する材料、および前記重合可能な化合物の表面エネルギーよりも小さい表面エネルギーを有する界面活性剤で前記順応層を形成することをさらに含む請求項2に記載の方法。
- 作成することが、前記基板上に重合可能な流体組成物を堆積させること、前記重合可能な流体組成物をモールドの表面と接触させることであって、前記表面が前記突起部と前記凹所に補足的な外形を有する接触させること、ならびに前記重合可能な流体組成物を前記重合可能な流体組成物を重合させる条件にかけて重合した層を形成することによって前記パターン化された層を形成することをさらに含む請求項2に記載の方法。
- 作成することが、前記基板上に重合可能な流体組成物を堆積させること、前記重合可能な流体組成物を実質的に平面な表面を有するモールドと接触させること、および前記重合可能な流体組成物を前記重合可能な流体組成物を重合させる条件にかけることによって前記順応層を形成することをさらに含む請求項2に記載の方法。
- 前記順応層を形成することが、前記パターン化された層上に重合可能な流体を回転塗布することをさらに含む請求項2に記載の方法。
- 前記パターン化された層と前記基板の間に下塗り層を堆積させることをさらに含む請求項2に記載の方法。
- 作成することが、前記パターン化された層の反対側に堆積され、前記突起部から間隙を介する前記正規化表面を有する区画を有する前記順応層を形成することをさらに含み、前記方法が、前記区画の一部を取り除いて前記突起部を露出させること、前記クラウン表面を形成すること、および前記クラウン表面をエッチング化学作用にさらすことをさらに含む請求項1に記載の方法。
- 関係のあるシリコン原子を有するシリコーン樹脂成分と、架橋成分と、触媒成分と、溶剤成分とを含む組成物であって、前記シリコーン樹脂成分、前記架橋成分、前記触媒成分、および前記溶剤成分の組成比が、前記組成物に基づいて、リフローし前記組成物内のシリコン原子の割合を変化させるように決められ、所定のシリコン原子の重量割合を得るために液体から固体相へと変化する際にリフローする組成物を含む、表面上に層を形成する材料。
- 前記シリコーン樹脂成分が前記組成物の約4重量%であり、前記架橋成分が前記組成物の約0.95重量%であり、前記触媒成分が前記組成物の約0.05重量%であり、前記溶剤成分が前記組成物の約95重量%である請求項12に記載の組成物。
- 前記組成物が液体状態から固化した状態へと遷移した後、前記シリコン原子の重量割合が10%から20%の範囲内である請求項12に記載の組成物。
- 前記組成物が液体状態から固化した状態へと遷移した後、前記シリコン原子の重量割合が20%よりも大きい請求項12に記載の組成物。
- エポキシ機能性シラン成分をさらに含み、前記シリコーン樹脂成分が前記組成物の約4重量%であり、前記架橋成分が前記組成物の約0.7重量%であり、前記エポキシ機能性シラン成分が前記組成物の約0.25重量%であり、前記触媒成分が前記組成物の約0.05重量%であり、前記溶剤成分が前記組成物の約95重量%である請求項12に記載の組成物。
- 前記シリコーン樹脂成分が、メチル基、フェニル基、およびプロピル基から成る水酸基機能性ポリシロキサンの組から選択される請求項12に記載の組成物。
- 前記架橋成分がアミノ樹脂の架橋剤を含む請求項12に記載の組成物。
- 前記架橋成分がヘキサメトキシメチルメラミンを含む請求項12に記載の組成物。
- 前記触媒成分が酸性化合物を含む請求項12に記載の組成物。
- 前記触媒成分がトルエンスルホン酸を含む請求項12に記載の組成物。
- 前記溶剤成分が、アルコール、エーテル、グリコール、グリコールエーテル、メチルアミルケトン、エステル、およびアセテートから成る組からのものである請求項12に記載の組成物。
- 前記エポキシ機能性シラン成分が、グリシドキシプロピルトリヒドロキシシラン、3−グリシドキシプロピルジメチルヒドロキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、2,3−エポキシプロピルトリメトキシシラン、およびγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシランから成る組から選択される請求項16に記載の組成物。
- 前記組成物が、熱曝露の結果、前記液体状態から前記固化した状態へと変化する請求項12に記載の組成物。
- 前記組成物が、遠心分離と熱曝露の結果、前記液体状態から前記固化した状態へと変化する請求項12に記載の組成物。
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