JP2006352377A - 弾性表面波デバイスとその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 酸素還元処理を施したタンタル酸リチウム等の圧電基板の焦電抑制効果を保持する手段を得る。
【解決手段】 結晶構造がシェーンフリース記号で C1,C2,CS,C2V,C4,C4V,C3,C3V,C6,C6V の何れかの点群に属した圧電基板を用いて構成したSAWデバイスの製造方法であって、前記圧電基板の体積抵抗率が1.00×109Ω・cm〜9.0×1011Ω・cmの範囲となるように酸素還元処理を施す工程と、該圧電基板上に金属膜を成膜する工程と、酸素濃度が2.8%以下の雰囲気中で前記金属薄膜を成膜する際の基板温度以上、400℃未満の所定の温度にて加熱処理する工程と、を備えているSAWデバイスの製造方法である。
【選択図】 図1
Description
特開昭56−80912号公報には、圧電基板(LiTaO3)上に電極パターンを形成した後、窒素雰囲気中において300℃〜400℃の温度で30分〜60分間の加熱処理を行うことにより、圧電基板と電極材料のアルミニウム(Al)膜との密着性を改善し、弾性表面波の音速のばらつき、即ち周波数ばらつきを低減したことが開示されている。
デバイスシンポジウム2005講演論文集p.9−14には、静電スパークのため電極破壊やウエハ破損を引き起こす焦電性を、還元処理により改善し、焦電効果を抑制したLiTaO3ウエハについての記述がある。
また、再酸化はLiTaO3基板のみではなく、還元処理されたLiNbO3基板の場合でも同様であり、シェーンフリース記号で C1,C2,CS,C2V,C4,C4V,C3,C3V,C6,C6V の何れかの点群に属した圧電結晶(焦電性を有する圧電基板)では、圧電基板に酸素還元処理を施しても、加熱処理により焦電抑制効果が劣化するという問題があった。
第2の発明は、結晶構造がシェーンフリース記号で C1,C2,CS,C2V,C4,C4V,C3,C3V,C6,C6V の何れかの点群に属した圧電基板を用いて構成したSAWデバイスの製造方法において、前記圧電基板の体積抵抗率を1.00×109Ω・cm〜9.0×1011Ω・cmの範囲となるように酸素還元処理を施す工程と、該圧電基板上に金属膜を成膜する工程と、酸素濃度が2.8%以下の雰囲気中で前記金属膜を成膜する際の基板温度以上、且つ400℃未満の所定の温度にて加熱処理する工程と、を備えていることを特徴とするSAWデバイスの製造方法である。
第3の発明は、前記加熱処理の温度を酸素濃度が2.8%以下になるまでは雰囲気の温度を100℃以下に保持し、酸素濃度が2.8%以下に達した後で100℃〜400℃未満の所定温度としたことを特徴とする請求項1に記載のSAWデバイスである。
第4の発明は、酸素濃度が2.8%以下になるまでは雰囲気の温度を100℃以下に保持し、酸素濃度が2.8%以下に達した後で100℃〜400℃未満の所定温度の加熱処理を行う工程を備えていることを特徴とする請求項2に記載のSAWデバイスの製造方法である。
第5の発明は、実装基板を複数連結した実装基板母材上に複数のSAWチップをフリップチップ実装した状態で、前記加熱処理を施すことを特徴とする請求項2あるいは4に記載のSAWデバイスの製造方法である。
例えば、装置を用いて加熱処理を行う場合、該装置は装置内の酸素濃度(大気中の約21%)を2.8%以下に低減する機能と、400℃まで昇温する機能とを有することが必要である。この装置を用い、装置内の酸素濃度が2.8%以下に達する前に150℃〜400℃の加熱処理を行うと、還元処理した圧電基板が再酸化され、焦電効果の抑制が劣化することになる。従って、雰囲気を100℃以下に保持しつつ、酸素濃度を2.8%以下に低減した後、雰囲気の温度を次第に上げ、100℃〜400℃の所定の温度での加熱処理を行うことが重要である。雰囲気温度が100℃以下であれば、大気中(酸素濃度約21%)で加熱しても、圧電基板の再酸化は僅かであり、焦電抑制効果の劣化は無視できる。
2、3 IDT電極
4 電極(ベタ電極)
5 パッケージ
6、6’、7、7’ 端子電極
8 接地電極
9 接着剤
10 ボンディングワイヤ
11 吸音材
12 金属蓋
Claims (5)
- 結晶構造がシェーンフリース記号で C1,C2,CS,C2V,C4,C4V,C3,C3V,C6,C6V の何れかの点群に属した圧電基板を用い、該基板の主面上に金属薄膜を成膜して構成したSAWデバイスにおいて、
前記圧電基板に酸素還元処理を施して体積抵抗率を1.00×109Ω・cm〜9.0×1011Ω・cmの範囲とし、且つ前記金属薄膜の成膜後の加熱処理工程の温度を酸素濃度が2.8%以下の雰囲気中で、前記金属薄膜を成膜する際の基板温度以上、且つ400℃未満の所定の温度としたことを特徴とするSAWデバイス。 - 結晶構造がシェーンフリース記号で C1,C2,CS,C2V,C4,C4V,C3,C3V,C6,C6V の何れかの点群に属した圧電基板を用いて構成したSAWデバイスの製造方法において、
前記圧電基板の体積抵抗率を1.00×109Ω・cm〜9.0×1011Ω・cmの範囲となるように酸素還元処理を施す工程と、該圧電基板上に金属膜を成膜する工程と、酸素濃度が2.8%以下の雰囲気中で前記金属膜を成膜する際の基板温度以上、且つ400℃未満の所定の温度にて加熱処理する工程と、を備えていることを特徴とするSAWデバイスの製造方法。 - 前記加熱処理の温度を酸素濃度が2.8%以下になるまでは雰囲気の温度を100℃以下に保持し、酸素濃度が2.8%以下に達した後で100℃〜400℃未満の所定温度としたことを特徴とする請求項1に記載のSAWデバイス。
- 酸素濃度が2.8%以下になるまでは雰囲気の温度を100℃以下に保持し、酸素濃度が2.8%以下に達した後で100℃〜400℃未満の所定温度の加熱処理を行う工程を備えていることを特徴とする請求項2に記載のSAWデバイスの製造方法。
- 実装基板を複数連結した実装基板母材上に複数のSAWチップをフリップチップ実装した状態で、前記加熱処理を施すことを特徴とする請求項2あるいは4に記載のSAWデバイスの製造方法。
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