JP2006349319A - 空気分離装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】 動力消費量を低減しつつ、酸素と高純窒素を効率よく併産することができる空気分離装置を提供する。
【解決手段】 圧縮、精製、冷却した原料空気を熱交換型蒸留器15の空気蒸留通路15aで蒸留して窒素濃縮物と酸素富化液化空気とに分離し、窒素濃縮物を高純窒素塔16で蒸留して高純窒素と低純液化窒素とに分離し、熱交換型蒸留器の蒸留物及び低純液化窒素を蒸留塔18で蒸留して高純窒素と粗液化酸素とに分離し、粗液化酸素を熱交換型蒸留器15の酸素蒸留通路15bで蒸留して液化酸素を得る。
【選択図】 図1

Description

本発明は、空気分離装置に関し、詳しくは、圧縮、精製、冷却した原料空気を低温蒸留することにより酸素と窒素とを製品として採取する空気分離装置に関する。
空気を低温蒸留して窒素や酸素等を生産するには、高圧塔と低圧塔とからなる複式精留塔が使用されている。空気分離を行う際の動力消費量を抑制し、製造コストを低減するためには、原料空気圧縮機の動力を低減すること、すなわち、原料空気圧縮機の吐出圧力を低くする必要がある。
原料空気圧縮機の動力消費量の低減に関しては、近年、熱交換型蒸留器を利用した空気分離方法が提案されている。例えば、熱交換型蒸留器として2つの通路を熱交換可能となるように配設したプレートフィン熱交換器を使用し、原料空気を熱交換型蒸留器の第1通路で蒸留し、通路上部から低沸点の窒素に富む気相生成物を採取し、通路下部から高沸点の酸素に富む液相生成物を採取するとともに、第2通路では、前記酸素に富む液相生成物を、第1通路内の原料空気と熱交換させつつ蒸留し、通路上部から窒素に富む気相生成物を採取し、通路下部から中純度の製品酸素(酸素濃度85〜99%)を得る空気分離方法が提案されている(例えば、特許文献1参照。)。
また、熱交換型蒸留器の第1通路で原料空気を蒸留して通路上部から窒素に富む気相生成物を導出し、これを凝縮させ、その一部を第2通路に還流液として導入し、第2の通路の下部から酸素濃度70%以上の製品を採取する空気分離方法も提案されている(例えば、特許文献2参照。)。
さらに、空気凝縮通路と窒素蒸留通路と酸素蒸留通路とを備えた熱交換型蒸留器と蒸留塔とを用いて原料空気と窒素富化空気と粗酸素との間の熱交換を効率よく行わせ、これにより、前述の両方法よりも原料空気圧縮機の吐出圧力を更に低く設定できるようにした空気分離方法も提案されている(例えば、特許文献3参照。)。
特開平9−170875号公報 特開平8−247647号公報 特開2003−28568号公報
しかし、熱交換型蒸留器を使用して高純窒素(例えば、酸素含有量1ppm)を製造するためには、酸素蒸留通路との温度差を確保するために原料空気の圧力を高くする必要があり、熱交換型蒸留器による動力削減の効果が失われてしまう。しかも、高純窒素を得るためには、熱交換型蒸留器の大型化を招くという不都合もあった。したがって、酸素と高純窒素とを併産する場合は、複式精留塔を用いたプロセスに比べて動力の削減効果は得られず、装置も大型化するという問題があった。
そこで本発明は、熱交換型蒸留器を使用して動力消費量を低減するとともに、装置の大型化も抑えながら酸素と高純窒素とを効率よく併産することができる空気分離装置を提供することを目的としている。
上記目的を達成するため、本発明の空気分離装置は、原料空気を圧縮する原料空気圧縮機と、圧縮された原料空気を冷却する主熱交換器と、冷却された原料空気を酸素蒸留通路と相互に熱交換する空気蒸留通路で蒸留して上部の窒素濃縮物と下部の酸素富化液化空気とに分離するとともに前記酸素蒸留通路で粗酸素を蒸留して下部に酸素が濃縮された液化酸素を生成する熱交換型蒸留器と、前記熱交換型蒸留器で蒸留された蒸留物を更に蒸留する蒸留塔とを備えた空気液化分離装置において、高純窒素塔と、窒素凝縮器と、前記空気蒸留通路の上部に分離した前記窒素濃縮物を前記高純窒素塔の下部に導入する経路と、高純窒素塔の上部に生成した高純窒素を前記窒素凝縮器に導入する経路と、窒素凝縮器で凝縮された高純液化窒素の一部を前記高純塔の上部に還流液として導入する経路と、高純液化窒素の残部を前記蒸留塔の上部に還流液として導入する経路と、高純窒素塔の下部に生成した低純液化窒素を前記蒸留塔の中部に導入する経路とを備え、前記高純窒素塔は、前記窒素濃縮物と高純液化窒素とを蒸留することによって塔上部に窒素が濃縮された高純窒素を、塔下部に窒素濃度が低い低純液化窒素をそれぞれ生成するものであり、前記窒素凝縮器は、前記高純窒素を凝縮させて高純液化窒素を得るものであり、前記蒸留塔は、前記高純液化窒素と前記低純液化窒素と前記酸素富化液化空気とを蒸留して、上部に窒素が濃縮された低圧高純窒素を、下部に酸素が濃縮された前記粗酸素をそれぞれ生成するものであることを特徴としている。
さらに、本発明の空気分離装置は、前記高純窒素塔の上部に生成した高純窒素を前記主熱交換器を通して回収する経路を備えていること、前記窒素凝縮器は前記酸素富化液化空気の一部を冷却源として導入する経路を備えていること、前記窒素凝縮器は前記粗酸素を冷却源として導入する経路を備えていること、前記原料空気圧縮機で圧縮された原料空気の一部を更に圧縮する二次空気圧縮機と、該二次空気圧縮機で圧縮した二次圧縮原料空気を熱源として前記液化酸素を気化させる液化酸素気化手段とを備えていること、前記液化酸素気化手段は、液化酸素ポンプによって昇圧された液化酸素を気化させるものであることを特徴としている。
また、前記高純窒素塔の上部から導出した窒素の一部を圧縮する窒素圧縮機と、該窒素圧縮機で圧縮された圧縮窒素を断熱膨張させる窒素膨張タービンとを備え、前記窒素圧縮機と前記窒素膨張タービンとが同軸で連結されていること、前記空気蒸留通路で分離した前記窒素濃縮物の一部を圧縮する窒素濃縮物圧縮機と、該窒素濃縮物圧縮機で圧縮された圧縮窒素濃縮物を断熱膨張させる窒素濃縮物膨張タービンとを備え、前記窒素濃縮物圧縮機と前記窒素濃縮物膨張タービンとが同軸で連結されていること、圧縮された原料空気の一部をさらに二次圧縮する二次空気圧縮機と、該二次空気圧縮機で圧縮された二次圧縮原料空気を断熱膨張させる空気膨張タービンとを備え、前記二次空気圧縮機と前記空気膨張タービンとが同軸で連結されていることを特徴としている。
本発明の空気分離装置によれば、熱交換型蒸留器、高純窒素塔、窒素凝縮器及び蒸留塔を用いることにより、熱交換型蒸留器や熱交換型蒸留器と蒸留塔とを用いた従来の装置より少ない動力費で高純度の製品窒素(例えば、酸素含有量1ppm)を採取することができる。また、複式蒸留塔を用いたプロセスと比較して動力を大幅に削減できる。さらに、高純窒素塔上部の高純窒素を回収することにより、中圧の高純窒素を採取することもできる。
図1は本発明の空気分離装置の第1形態例を示す系統図である。この空気分離装置は、原料空気を圧縮する原料空気圧縮機11と、圧縮された原料空気の圧縮熱を取り除く空気予冷器12と、空気予冷器12を経た原料空気中の不純物(水分、二酸化炭素等)を除去する精製器13と、精製器13を経た原料空気を冷却する主熱交換器14と、主熱交換器14を経た原料空気を蒸留する空気蒸留通路15a及び製品酸素を得るための酸素蒸留通路15bを備えた熱交換型蒸留器15と、空気蒸留通路15aを経てその上部から取り出された蒸留物をさらに蒸留するための高純窒素塔16及び窒素凝縮器17と、空気蒸留通路15aの下部から取り出された蒸留物をさらに蒸留する蒸留塔18と、温流体を冷流体によって過冷却状態にする過冷器19と、装置の運転に必要な寒冷を得るための膨張タービン20及び窒素圧縮機21とを主要構成機器とするものであって、低温流体が流れる機器及び経路は保冷槽22に収納されている。
前記熱交換型蒸留器15は、前記空気蒸留通路15aと前記酸素蒸留通路15bとを備えており、両通路間で互いに熱交換可能な構造となっている。この熱交換型蒸留器15の構造は任意であるが、プレートフィン式熱交換器を使用することができる。
大気等の原料空気RAが原料空気圧縮機11で所定圧力、例えば約360kPaに圧縮され、空気予冷器12で常温まで冷却された後、精製器13において、原料空気中の水分や二酸化炭素等の不純物が吸着除去される。精製された原料空気は、経路51を通って主熱交換器14で製品低圧窒素、液化酸素等の低温流体と熱交換を行うことによって約−179℃に冷却され、経路52を経て空気蒸留通路15aの下部に導入される。この原料空気は、空気蒸留通路15a内を上昇する過程で酸素蒸留通路15b内の流体(粗酸素)と熱交換して冷却されつつ蒸留され、気相中に窒素が濃縮される。
空気蒸留通路15a上部の窒素濃縮物(例えば、窒素濃度が約95%、酸素含有率約5%)は、空気蒸留通路15aから経路53に導出されて高純窒素塔16の下部に導入され、窒素凝縮器17で液化して経路54から導入される高純液化窒素を還流液として蒸留され、上部に高純窒素(例えば酸素含有率1ppm)が濃縮される。また、窒素凝縮器17で液化した高純液化窒素の一部は、経路55を経て過冷器19に導入され、冷却された後に経路56の減圧弁56Vで減圧され、蒸留塔18の上部に還流液として導入される。
高純窒素塔16での蒸留により、塔内を下降する液相中の窒素濃度が低くなり、下部に低純液化窒素(例えば酸素含有率7%)が得られる。この低純液化窒素は、高純窒素塔16の下部から導出され、経路57を経て過冷器19を通過し、経路58の減圧弁58Vで減圧されて蒸留塔18の中上部に供給される。
一方、空気蒸留通路15aでの蒸留により、流路を下降する液相中の窒素濃度が低くなり、下部に酸素富化液化空気が得られる。この酸素富化液化空気は、空気蒸留通路15aの下部から導出され、経路59を経て過冷器19を通過した後、経路60と経路61とに分岐する。経路60に分岐した酸素富化液化空気は、減圧弁60Vで減圧されて蒸留塔18の中下部に導入される。経路61に分岐した酸素富化液化空気は、減圧弁61Vで減圧された後、窒素凝縮器17に冷却源として導入され、前述の高純窒素を液化させるとともに自らは蒸発して経路62に導出され、酸素蒸留通路15bの上部から経路63に導出された粗酸素ガスと合流し、蒸留塔18の下部に上昇ガスとして導入される。
前記蒸留塔18では、上部から導入された高純液化窒素と、中上部から導入された低純液化窒素と、中下部から導入された酸素富化液化空気と、下部から導入された粗酸素ガスとが蒸留され、その過程で気相中に窒素が濃縮されるとともに、液相中に酸素が濃縮される。上部に濃縮された窒素ガス(例えば酸素含有率1ppm)は、蒸留塔18から経路64に導出され、過冷器19、経路65を通って主熱交換器14に導入され、ここで加熱された後、製品低圧高純窒素GNとして回収される。また、蒸留塔18の中上部からは、低純窒素ガスが経路66に導出され、過冷器19、経路67を通って主熱交換器14に導入され、ここで加熱された後、製品低圧低純窒素WG1として回収される。
一方、蒸留塔18の下部からは、粗液化酸素が経路68に導出されて酸素蒸留通路15bに導入される。この粗液化酸素は、酸素蒸留通路15bを下降する過程で、空気蒸留通路15aの原料空気と熱交換し、加熱されつつ蒸留されることによって気相中の窒素濃度が高くなり、液相中の酸素濃度が高くなる。これにより、上部の粗酸素ガスと、下部の液化酸素(例えば酸素濃度95%)とが得られる。粗酸素ガスは、酸素蒸留通路15bの上部から前記経路63に導出され、経路62の酸素富化空気と合流して蒸留塔18の下部に導入される。液化酸素は、酸素蒸留通路15bの下部から経路69に導出され、主熱交換器14で加熱された後に製品酸素GOとして回収される。
また、高純窒素塔16の中上部からは、中圧窒素ガスが経路70に導出され、主熱交換器14で加熱された後に製品中圧窒素MGN(例えば圧力300kPa、窒素濃度99%)として回収される。この製品中圧窒素MGNの一部は、経路71に分岐して窒素圧縮機21で所定圧力に昇圧され、主熱交換器14で中間温度まで冷却されてから膨張タービン20で膨張することにより、装置の運転に必要な寒冷を発生するとともに、このとき発生した動力によって同軸に連結した前記窒素圧縮機21を駆動している。膨張後の窒素ガスは経路72を通って主熱交換器14で加熱された後、製品低圧低純窒素WG2として回収される。
このように形成された空気分離装置は、熱交換型蒸留器15を使用することにより、空気蒸留通路15aと酸素蒸留通路15bとの熱交換を効率的に行わせることができるため、原料空気圧縮機11の吐出圧力を低く設定できる。例えば、複式精留塔を用いた場合の約540kPaを、本形態例では約360kPaとすることができ、約19%の省エネルギー化が可能となり、装置の運転コストを大幅に低減できる。さらに、高純窒素塔16を設けたことにより、動力消費量を低減しながら酸素と同時に高純窒素を製品として回収することができる。
前記製品酸素GOを高圧で回収する場合には、経路69に液化酸素ポンプ23を設置し、酸素蒸留通路15bから経路69に導出した液化酸素を液化酸素ポンプ23で加圧することにより、主熱交換器14から高圧の製品酸素GOを回収することができる。
このとき、主熱交換器14における加圧液化酸素の加熱源として、精製器13で精製された原料空気の一部を経路51から経路73に分岐し、二次空気圧縮機24で昇圧した昇圧空気を用いることにより、原料空気の全量を加圧液化酸素を加熱するために必要な圧力に圧縮する場合に比べて動力費を削減できる。この場合、昇圧空気と加圧液化酸素との熱交換は、主熱交換器14とは別の熱交換器で行うこともできる。加圧液化酸素との熱交換によって冷却された昇圧空気は、経路74の減圧弁74Vで減圧させた後、前記経路59の酸素富化液化空気に合流させることができる。
また、製品中圧窒素MGNや空気膨張タービン32で膨張させるガスは、空気蒸留通路15aから経路53に導出した窒素濃縮物の一部を経路75に分岐したものであってもよい。さらに、高純窒素塔16の上部から高純窒素を導出して窒素凝縮器17に導入する経路76から経路70aを分岐させて前記経路70に接続することにより、高純窒素塔16上部の高純窒素を経路70から主熱交換器14を通して中圧高純窒素として回収することができる。また、高純窒素塔16の下部から経路57に導出された低純液化窒素の一部を、経路77に分岐して空気蒸留通路15aの上部に導入することもできる。
なお、高純窒素塔16は、空気蒸留通路15aと一体的に形成し、所定の位置に前記各経路をそれぞれ接続して高純窒素蒸留通路を形成することにより、該通路の上部から中圧高純窒素を得ることができる。同様に、蒸留塔18は、酸素蒸留通路15bと一体的に形成し、所定の位置に前記各経路をそれぞれ接続して蒸留通路を形成することにより、該通路の上部から低圧高純窒素を、該通路の下部から粗液化酸素をそれぞれ得ることができる。
図2は本発明の空気分離装置の第2形態例を示す系統図である。なお、以下の説明において、前記第1形態例で示した空気分離装置における構成要素と同一の構成要素には、それぞれ同一符号を付して詳細な説明は省略する。
本形態例に示す空気分離装置は、前記第1形態例に示した空気分離装置と同様の、原料空気圧縮機11、空気予冷器12、精製器13、主熱交換器14、高純窒素塔16、窒素凝縮器17、蒸留塔18、過冷器19を備えており、前記熱交換型蒸留器15に代えて、空気凝縮通路31a、空気蒸留通路31b及び酸素蒸留通路31cを有する熱交換型蒸留器31を設置しており、寒冷を発生させる空気膨張タービン32は、原料空気を空気膨張タービン32で駆動される第1二次空気圧縮機33で昇圧した昇圧空気を駆動源としている。さらに、熱交換型蒸留器31から導出した液化酸素を主熱交換器14に導入する前に蒸発させる液化酸素気化手段としての酸素蒸発器34を備えるとともに、この酸素蒸発器34の液化酸素蒸発用加熱源となる昇圧空気を得るための第2二次空気圧縮機35を備えている。
大気等の原料空気RAが原料空気圧縮機11で所定圧力、例えば約350kPaに圧縮され、空気予冷器12で常温まで冷却された後、精製器13で原料空気中の水分や二酸化炭素等の不純物が吸着除去される。精製器13から経路51に導出された原料空気の一部は、経路81に分岐して第1二次空気圧縮機33で昇圧され、主熱交換器14を経て空気膨張タービン32で膨張し、装置の運転に必要な寒冷を発生させた後、経路82を通って蒸留塔18の中下部に導入される。経路51の原料空気は、更にその一部が経路83に分岐し、第2二次空気圧縮機35で昇圧されて主熱交換器14で約ー177℃に冷却された後、経路84を通って酸素蒸発器34に液化酸素の加熱源として導入され、液化酸素を蒸発させるとともに全量が液化する。
経路51の原料空気の残部は、主熱交換器14で約−180℃に冷却された後、経路52を経て空気凝縮通路31aの上部に導入され、空気凝縮通路31a内を下降しながら酸素蒸留通路31c内の流体(粗酸素)と熱交換して冷却されることにより一部が凝縮する。空気凝縮通路31a下部の気液二相の空気は、経路85を通って気液分離器36に入り、分離した液相部は経路86に導出され、気相部は経路87を通って空気蒸留通路31bの下部に導入される。
空気蒸留通路31bに導入された空気は、酸素蒸留通路31c内の粗酸素と熱交換して冷却されつつ蒸留され、気相中に窒素が濃縮される。空気蒸留通路31b上部の窒素濃縮物(例えば窒素濃度が約96%、酸素含有率約4%)は、経路53に導出されて高純窒素塔16の下部に導入される。高純窒素塔16では、窒素凝縮器17で液化して経路54から導入される高純液化窒素を還流液として窒素濃縮物の蒸留が行われ、上部に高純窒素(例えば酸素含有率1ppm)が濃縮される。
高純窒素塔16の上部から経路76に導出された高純窒素は、その一部が経路70に分岐し、主熱交換器14で加熱された後に製品中圧窒素MGNとして回収され、残りの高純窒素は窒素凝縮器17に導入されて液化する。窒素凝縮器17で液化した高純液化窒素の一部は、経路55を経て過冷器19に導入され、冷却された後に経路56の減圧弁56Vで減圧され、蒸留塔18の上部に還流液として導入される。
また、高純窒素塔16での蒸留過程で下降する液相中の窒素濃度が低くなり、下部に低純液化窒素(例えば酸素含有率6%)が得られる。この低純液化窒素は、高純窒素塔16の下部から導出され、経路57を経て過冷器19を通過し、経路58の減圧弁58Vで減圧されて蒸留塔18の中上部に供給される。
空気蒸留通路31bの下部から経路88に導出された酸素富化液化空気は、前記酸素蒸発器34で液化して経路89に導出され、減圧弁89Vで減圧した液化空気、及び、前記気液分離器36で分離して経路86に導出された酸素富化液化空気と合流し、経路90を通って過冷器19を通過した後、経路60と経路61とに分岐する。経路60に分岐した酸素富化液化空気は、減圧弁60Vで減圧されて蒸留塔18の中下部に供給される。経路61に分岐した酸素富化液化空気は、減圧弁61Vで減圧された後、窒素凝縮器17に冷却源として導入され、高純窒素を液化させるとともに自らは蒸発して経路62に導出され、酸素蒸留通路31cの上部から経路63に導出された粗酸素ガスと合流し、蒸留塔18の下部に上昇ガスとして導入される。
蒸留塔18では、上部から導入された高純液化窒素と、中上部から導入された低純液化窒素と、中下部から導入された空気と、中下部から導入された酸素富化液化空気と、下部から導入された粗酸素ガスとが蒸留され、その過程で気相中に窒素が濃縮されるとともに、液相中に酸素が濃縮される。上部に濃縮された窒素ガス(例えば酸素含有率1ppm)は、蒸留塔18から経路64に導出され、過冷器19、経路65、主熱交換器14を通って製品低圧高純窒素GNとして回収される。また、蒸留塔18の中上部からは、低純窒素ガスが経路66に導出され、過冷器19、経路67、主熱交換器14を通って製品低圧低純窒素WG1として回収される。
さらに、蒸留塔18の下部からは、粗液化酸素が経路68に導出されて酸素蒸留通路31cに導入される。この粗液化酸素は、酸素蒸留通路31cを下降する過程で、空気凝縮通路31a及び空気蒸留通路31b内の空気と熱交換し、加熱されつつ蒸留されることによって気相中の窒素濃度が高くなり、液相中の酸素濃度が高くなる。これにより、上部の粗酸素ガスと、下部の液化酸素(例えば酸素濃度95%)とが得られる。粗酸素ガスは、酸素蒸留通路31cの上部から前記経路63に導出され、経路62の酸素富化空気と合流して蒸留塔18の下部に導入される。
液化酸素は、酸素蒸留通路31cの下部から経路69に導出され、酸素蒸発器34で蒸発した後、主熱交換器14で加熱されて製品酸素GOとして回収される。また、経路69に液化酸素ポンプ23を設置し、液化酸素を加圧してから酸素蒸発器34に導入することにより、製品酸素GOを高圧で回収することができる。
本形態例に示す空気分離装置においても、熱交換型蒸留器31を用いて原料空気及び窒素富化空気と粗酸素との間の熱交換を効率よく行わせることにより、原料空気圧縮機11で圧縮する原料空気の圧力を低く設定して製品酸素を回収することができるとともに、空気蒸留通路31bから導出した窒素濃縮物を高純窒素塔16で更に蒸留することにより、高純窒素を併せて回収することができる。原料空気圧力は、例えば、複式精留塔を用いた場合の約540kPaに対して本形態例では約350kPaとすることができ、約20%の省エネルギー化が可能となる。
図3及び図4は、本発明の空気分離装置における窒素凝縮器の他の設置例をそれぞれ示す要部の系統図である。図3に示す窒素凝縮器41は、経路76から導入される高純窒素を冷却して液化させるための冷却源として、蒸留塔18の下部から経路68に導出した粗液化酸素を使用した例を示している。図4に示す窒素凝縮器42は、経路76の高純窒素が導入される熱交換器を蒸留塔18の下部に収納し、蒸留塔18の下部に濃縮された粗液化酸素を冷却源として使用した例を示している。
本発明の空気分離装置の第1形態例を示す系統図である。 本発明の空気分離装置の第2形態例を示す系統図である。 本発明の空気分離装置における窒素凝縮器の他の設置例を示す要部の系統図である。 本発明の空気分離装置における窒素凝縮器の更に他の設置例を示す要部の系統図である。
符号の説明
11…原料空気圧縮機、12…空気予冷器、13…精製器、14…主熱交換器、15…熱交換型蒸留器、15a…空気蒸留通路、15b…酸素蒸留通路、16…高純窒素塔、17…窒素凝縮器、18…蒸留塔、19…過冷器、20…膨張タービン、21…窒素圧縮機、22…保冷槽、23…液化酸素ポンプ、24…二次空気圧縮機、31…熱交換型蒸留器、31a…空気凝縮通路、31b…空気蒸留通路、31c…酸素蒸留通路、32…空気膨張タービン、33…第1二次空気圧縮機、34…酸素蒸発器、35…第2二次空気圧縮機、36…気液分離器

Claims (9)

  1. 原料空気を圧縮する原料空気圧縮機と、圧縮された原料空気を冷却する主熱交換器と、冷却された原料空気を酸素蒸留通路と相互に熱交換する空気蒸留通路で蒸留して上部の窒素濃縮物と下部の酸素富化液化空気とに分離するとともに前記酸素蒸留通路で粗酸素を蒸留して下部に酸素が濃縮された液化酸素を生成する熱交換型蒸留器と、前記熱交換型蒸留器で蒸留された蒸留物を更に蒸留する蒸留塔とを備えた空気液化分離装置において、高純窒素塔と、窒素凝縮器と、前記空気蒸留通路の上部に分離した前記窒素濃縮物を前記高純窒素塔の下部に導入する経路と、高純窒素塔の上部に生成した高純窒素を前記窒素凝縮器に導入する経路と、窒素凝縮器で凝縮された高純液化窒素の一部を前記高純塔の上部に還流液として導入する経路と、高純液化窒素の残部を前記蒸留塔の上部に還流液として導入する経路と、高純窒素塔の下部に生成した低純液化窒素を前記蒸留塔の中部に導入する経路とを備え、前記高純窒素塔は、前記窒素濃縮物と高純液化窒素とを蒸留することによって塔上部に窒素が濃縮された高純窒素を、塔下部に窒素濃度が低い低純液化窒素をそれぞれ生成するものであり、前記窒素凝縮器は、前記高純窒素を凝縮させて高純液化窒素を得るものであり、前記蒸留塔は、前記高純液化窒素と前記低純液化窒素と前記酸素富化液化空気とを蒸留して、上部に窒素が濃縮された低圧高純窒素を、下部に酸素が濃縮された前記粗酸素をそれぞれ生成するものであることを特徴とする空気分離装置。
  2. 前記高純窒素塔の上部に生成した高純窒素を、前記主熱交換器を通して回収する経路を備えていることを特徴とする請求項1記載の空気分離装置。
  3. 前記窒素凝縮器は、前記酸素富化液化空気の一部を冷却源として導入する経路を備えていることを特徴とする請求項1記載の空気分離装置。
  4. 前記窒素凝縮器は、前記粗酸素を冷却源として導入する経路を備えていることを特徴とする請求項1記載の空気分離装置。
  5. 前記原料空気圧縮機で圧縮された原料空気の一部を更に圧縮する二次空気圧縮機と、該二次空気圧縮機で圧縮した二次圧縮原料空気を熱源として前記液化酸素を気化させる液化酸素気化手段とを備えていることを特徴とする請求項1記載の空気分離装置。
  6. 前記液化酸素気化手段は、液化酸素ポンプによって昇圧された液化酸素を気化させるものであることを特徴とする請求項5記載の空気分離装置。
  7. 前記高純窒素塔の上部から導出した窒素の一部を圧縮する窒素圧縮機と、該窒素圧縮機で圧縮された圧縮窒素を断熱膨張させる窒素膨張タービンとを備え、前記窒素圧縮機と前記窒素膨張タービンとが同軸で連結されていることを特徴とする請求項1記載の空気分離装置。
  8. 前記空気蒸留通路で分離した前記窒素濃縮物の一部を圧縮する窒素濃縮物圧縮機と、該窒素濃縮物圧縮機で圧縮された圧縮窒素濃縮物を断熱膨張させる窒素濃縮物膨張タービンとを備え、前記窒素濃縮物圧縮機と前記窒素濃縮物膨張タービンとが同軸で連結されていることを特徴とする請求項1記載の空気分離装置。
  9. 圧縮された原料空気の一部をさらに二次圧縮する二次空気圧縮機と、該二次空気圧縮機で圧縮された二次圧縮原料空気を断熱膨張させる空気膨張タービンとを備え、前記二次空気圧縮機と前記空気膨張タービンとが同軸で連結されていることを特徴とする請求項1記載の空気分離装置。
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