JP2006349088A - ゲートバルブ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】チャンバー11の開口部14を開放又は閉塞する弁体16と、弁体16に設けられた係合手段48A、48Bと、開口部14の周囲に設けられ弁体16が開口部14と対向する位置に移動したときに係合手段48A、48Bと係合する被係合手段62、63と、係合手段48A、48Bと被係合手段62、63とが係合したときに弁体16と係合手段48A、48Bとの間に位置する被係合手段62、63に係合手段48A、48Bから弁体16側に押圧力を作用させ開口部14を気密に閉塞し又は押圧力を解除するロック手段44A、44Bと、を有する構成とした。
【選択図】 図3
Description
なお、弁体16が待機部18に位置し開口部14が開放された状態を初期位置として以下に説明する。
11 チャンバー
12 枠体
14 開口部
16 弁体
20A 上部ガイド部(ガイド手段)
20B 下部ガイド部(ガイド手段)
24A 上部ブラケット(接続手段)
24B 上部ブラケット(接続手段)
26A 上部位置保持シャフト(取付手段)
26B 上部位置保持シャフト(取付手段)
28 上部軸(軸)
30A 支持部材(支持手段)
30B 支持部材(支持手段)
32 下部軸(軸)
44A 第1押付用シリンダ(ロック手段)
44B 第2押付用シリンダ(ロック手段)
48A 第1爪状部材(爪状部材、係合手段)
48B 第2爪状部材(爪状部材、係合手段)
60 第2押付用シリンダ(ロック手段)
62 第1受け冶具(被挿入部材、被係合手段)
63 第2受け冶具(被挿入部材、被係合手段)
65 第1受け冶具(被挿入部材、被係合手段)
Claims (6)
- チャンバーの開口部を開放又は閉塞する弁体と、
前記弁体に設けられた係合手段と、
前記開口部の周囲に設けられ前記弁体が前記開口部と対向する位置に移動したときに前記係合手段と係合する被係合手段と、
前記係合手段と前記被係合手段とが係合したときに前記弁体と前記係合手段との間に位置する前記被係合手段に前記係合手段から前記弁体側に押圧力を作用させ前記開口部を気密に閉塞し又は前記押圧力を解除するロック手段と、
を有することを特徴とするゲートバルブ。 - 前記係合手段は、爪状部材、又は前記弁体が前記開口部と対向する位置に移動したときに前記爪状部材を挿入させる被挿入部材、のいずれか一方であり、
前記被係合手段は、爪状部材、又は前記弁体が前記開口部と対向する位置に移動したときに前記爪状部材を挿入させる被挿入部材、のいずれか他方であることを特徴とする請求項1に記載のゲートバルブ。 - 前記弁体の移動を規制するガイド手段と、
前記弁体を支持する支持手段と、
前記ガイド手段と前記支持手段とを接続する接続手段と、
を有することを特徴とする請求項1又は2に記載のゲートバルブ。 - 前記支持手段は、前記弁体の重心位置又はその近傍を支持していることを特徴とする請求項3に記載のゲートバルブ。
- 前記支持手段は前記弁体の幅方向に延在する軸の軸回りに回動可能に設けられ、前記支持手段は前記軸を介して前記弁体又は/及び前記接続手段に取り付けられていることを特徴とする請求項3又は4に記載のゲートバルブ。
- 前記弁体と前記接続手段とが位置決め機構により連結されたことを特徴とする請求項3乃至5のいずれか1項に記載のゲートバルブ。
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