JP2006057816A - 片真空ゲート弁 - Google Patents

Abstract

【課題】
大型な片真空ゲート弁であっても、シールプレートに取り付けられたシール部材の交換作業あるいはメンテナンスを、容易に行うことのできる片真空ゲート弁を提供する。
【解決手段】
枠体５８をチャンバー開口部１２に対して回動自在に取り付けするとともに、
枠体５８をチャンバー開口部１２から離反する方向に回動させたときに、チャンバー開口部１２とシールプレート１６との間に作業用空間Ｘを画成するようにしたことを特徴とする。
【選択図】 図４

Description

本発明は、大気室と真空室との間の開口部を開閉する片真空ゲート弁に関するものである。

シリコンウェハなどの半導体製造、薄膜製造、液晶製造などにおいては、クリーンな環境下、高い真空中で、イオンプレーティング、プラズマエッチングなどのワークの加工、処理などが行われているが、近年，これら被処理体は次第に大型化されている。

ところで、真空ゲート弁の中には、弁板が直線的に移動した後に、この動きと直角な方向に移動方向を変えて移動することにより、移動方向に配置された弁座に当接し、ゲート開口部を封止する、いわゆるツーアクションタイプのゲート弁が知られている（特許文献１）。

図８は、従来の片真空ゲート弁１０の軸線方向に沿った縦断面図を示したものである。
このような片真空ゲート弁１０は、矩形状のゲート弁体１８が、上下方向とこれと直交する方向すなわちチャンバー開口部１２に向かって接近あるいは離反する方向に移動可能に配置されることにより、チャンバー開口部１２が開閉される構造になっている。

該ゲート弁体１８は、ベースプレート１４とその内側に配置されたシールプレート１６との２枚の板体を有し、シールプレート１６には、そのチャンバー開口部１２を封止するシール部材２０としてＯリングが装着されている。

そして、ゲート弁体１８は、エアーシリンダ３０に供給される圧縮空気より、ベースプレート１４とシールプレート１６とが一体的に上下に移動される。
また、ゲート弁体１８が上方に移動し、シールプレート１６がチャンバー開口部１２に対面した位置からは、シールプレート１６が軸２６に案内され、このシールプレート１６がチャンバー開口部１２に向かって略水平方向に移動されることにより、チャンバー開口部１２が押圧される。
特開平１１−２４１７７６号公報

ところで、このような片真空ゲート弁１０では、周期的にまたは必要に応じてシールプレート１６に取り付けられたシール部材２０を交換したり、内部のメンテナンスを行ったりする必要がある。

ところが、上記した片真空ゲート弁１０では、このような作業を行う場合に、固定されたゲート弁を完全に取り外してからでなければ、シール部材２０を交換することができなかった。

このように、シール部材２０を交換する作業は、煩雑であるとともに、チャンバー開口部１２が大型である場合は、ゲート弁の重量が大きくなるため、その取り外しおよび組み付け作業には多大な力が必要であった。

本発明はこのような実情に鑑み、大型な片真空ゲート弁であっても、シールプレートに取り付けられたシール部材の交換作業あるいはメンテナンスを、容易に行うことのできる
片真空ゲート弁を提供することを目的としている。

上記目的を達成するための本発明は、
略矩形状の枠体によりチャンバー開口部に対応するように枠体開口部が形成され、前記枠体に沿って、ベースプレートとシールプレートとから構成されるゲート弁体がシリンダ装置により上下動されるとともに、前記シリンダ装置の駆動により前記ゲート弁体が前記枠体開口部を介して前記チャンバー開口部と対面する位置に到達したときに、前記シールプレートが前記ベースプレートから離反して、前記チャンバー開口部に向かって押圧されるように構成された片真空ゲート弁において、
前記枠体を前記チャンバー開口部に対して回動自在に取り付けするとともに、
前記枠体を前記チャンバー開口部から離反する方向に回動させたときに、前記チャンバー開口部と前記シールプレートとの間に作業用空間を画成するようにしたことを特徴としている。

このような構成であれば、ゲート弁体をチャンバー開口部に対して軸を支点として回動させることにより、シールプレートからシール部材を取り外して交換作業を行うことができる。

本発明に係る片真空ゲート弁によれば、ゲート弁体を支持している枠体をゲート開口部に対して回動させれば、シール部材を装着したシールプレートが外部に露出されるので、この露出したシールプレートから劣化したシール部材を容易に交換することができる。したがって、煩雑な作業が不要で、多大な力をかけずに、シール部材の交換を行うことが可能になる。

また、弁内部のメンテナンスを行う場合も、ゲート弁体をゲート開口部に対して略９０°倒すことができるので、作業を容易に行うことができる

以下、図面を参照しながら本発明の実施例について説明する。
図１は、本発明の一実施例に係る片真空ゲート弁の正面図で、左半部はゲート弁体が上方、右半部はゲート弁体が下方に位置した状態をそれぞれ示している。図２は図１におけるＡ−Ａ線方向の断面図、図３は図１の右側面図、図４はゲート弁体を９０°回動させたときの右側面図である。

片真空ゲート弁４０は、上部フレーム４９と下部フレーム５２と左右のフレーム５４，５６とから構成される略矩形状の枠体５８に、ベースプレート１４とシールプレート１６とから構成されるゲート弁体１８が、上下方向に移動可能に設置されている。すなわち、左右のフレーム５４，５６の前方に設置されたガイド棒２４、２４を介してベースプレート１４が上下方向に移動可能に取り付けられている。また、図２に示したように、ベースプレート１４のチャンバー開口部１２側に配置されたシールプレート１６は、押出し用エアーシリンダ３１から圧縮空気が供給されることにより、軸２６に案内され、チャンバー開口部１２に接近する方向に移動され、シール部材２０がチャンバー開口部１２に当接してこのゲート開口部を閉塞する点は、図８に示した片真空ゲート弁１０の場合と同様である。

図１〜図４に示した本実施例において、従来例の片真空ゲート弁１０と大きく異なる点は、ゲート弁体１８が、チャンバー開口部１２の下方に配設された回転中心軸５０を支点として、手前側に略９０°の範囲で回動する点である。すなわち、本実施例の片真空ゲー
ト弁４０では、回転中心軸５０と、この回転中心軸５０を支持しているブラケット４８とにより、ゲート弁体１８が、チャンバー開口部１２に対して回動自在に取り付けられている。

したがって、本実施例では、ゲート弁体１８が図３に示したように、チャンバー開口部１２を封止する状態に配置されたり、図４に示したように、チャンバー開口部１２から大きく離反した状態に配置されたりする。

しかも、本実施例では、回転中心軸５０を支持しているブラケット４８がへの字状に屈曲されており、この屈曲されたブラケット４８がチャンバー開口部１２の下端から垂下して取り付けられた取り付け部材５３に支持されているため、図４に示したように、ゲート弁体１８がチャンバー開口部１２から略９０°回動された場合に、ここに作業用空間として大きな空間Ｘを確保することができる。

したがって、ゲート弁体１８を図４に示したように回動させれば、シールプレート１６が外部に露出されるので、シールプレート１６に装着されたシール部材２０を、容易に交換することができる（図８参照）。

また、チャンバー開口部１２内に作業者が入ることができないとしても、チャンバー開口部１２内に手を挿入し、内部のメンテナンスを容易に行なうことができる。したがって、作業性の改善を図ることができる。

以上、本発明の一実施例について説明したが、本発明は、上記実施例に何ら限定されない。
例えば、上記実施例では、ゲート弁体１８の回転中心軸５０を、への字状のブラケット４８に取り付けているが、本発明は、これに限定されず、他の構造で回転中心軸５０を支持することもできる。

図５〜図７は、チャンバー開口部１２にブラケット４８を取り付けずに、他の構造で回転中心軸５０を支持する例を示したものである。
この実施例では、箱形状の弁組立体２の下方に台座６４が配設され、この台座６４と弁組立体２との間が、取り付け部材６２を介して連結されている。そして、この台座６４の側方に、ゲート弁体１８を取り付けた枠体５８が取り付けられている。

このように、チャンバー開口部１２とは離反した位置に枠体５８を組み付けた構造であっても、上記実施例と略同様の作用効果を奏することができる。すなわち、図６に示したように、エアーシリンダ３０の駆動力により、ゲート弁体１８を上方に移動させ、その後、軸２６を移動させる押出し用エアーシリンダ３１により、シールプレート１６をチャンバー開口部１２に向かって移動させる。これにより、チャンバー開口部１２が封止される。

また、図７に示したように、回転中心軸５０を中心に、枠体５８をチャンバー開口部１２から略９０°回動した位置に配置させることにより、シールプレート１６に装着されたシール部材２０を外部に露出させることができる。

したがって、シール部材２０の交換作業を容易に行うことができる。なお、図５において、符号６８は、ベースプレート１４の下方向への移動を規制するストッパを示したものである。

図５〜図７に示した構造は、弁組立体２の下方に大きな空間を確保できる場合に有効で
ある。

図１は本発明の一実施例による片真空ゲート弁の正面図で、左半部はゲート弁体が上方位置にあり、右半部はゲート弁体が下方位置にある状態を示している。 図２は図１のＡ−Ａ線方向の断面図である。 図３は図１に示した片真空ゲート弁の右側面図である。 図４は片真空ゲート弁が開となったときの右側面図である。 図５は、本発明の他の実施例による片真空ゲート弁の右側面図であり、図３に相当する図である。 図６は、図５に示した右側面図と平行な線で切断したときの左側断面図である。 図７は図５に示した片真空ゲート弁が開となったときの右側面図である。 図８は従来の片真空ゲート弁の作用を示す断面図である。

符号の説明

２ 弁組立体
１０ 片真空ゲート弁
１２ チャンバー開口部
１４ ベースプレート
１６ シールプレート
１８ ゲート弁体
２０ シール部材
２２ 枠体
２４ ガイド棒
２６ 軸
３０ エアーシリンダ
３１ エアーシリンダ
４０ 片真空ゲート弁
４６ 弁体
４８ ヒンジ
４９ 上部フレーム
５０ 回転中心軸
５２ 下部フレーム
５３ ブラケット
５４，５６ フレーム
５８ 枠体
６２ 取り付け部材
６４ 台座
Ｘ 空間

Claims (1)

1. 略矩形状の枠体によりチャンバー開口部に対応するように枠体開口部が形成され、前記枠体に沿って、ベースプレートとシールプレートとから構成されるゲート弁体がシリンダ装置により上下動されるとともに、前記シリンダ装置の駆動により前記ゲート弁体が前記枠体開口部を介して前記チャンバー開口部と対面する位置に到達したときに、前記シールプレートが前記ベースプレートから離反して、前記チャンバー開口部に向かって押圧されるように構成された片真空ゲート弁において、
   前記枠体を前記チャンバー開口部に対して回動自在に取り付けするとともに、
   前記枠体を前記チャンバー開口部から離反する方向に回動させたときに、前記チャンバー開口部と前記シールプレートとの間に作業用空間を画成するようにしたことを特徴とする片真空ゲート弁。