JP2006347867A - 種結晶固定装置及び種結晶固定方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】反応容器の種結晶配置部に接着剤を介して種結晶を固定するための種結晶固定装置であって、上記種結晶配置部を内部に配置可能なチャンバーと、
上記チャンバー内部に配置され、気体の給排気により膨張収縮し、膨張した際に上記種結晶の表面に接して種結晶の全面に均一に圧力をかける可撓性袋体と、
を備える種結晶固定装置。
【選択図】図1
Description
(1)反応容器の種結晶配置部に接着剤を介して種結晶を固定するための種結晶固定装置であって、上記種結晶配置部を内部に配置可能なチャンバーと、上記チャンバー内部に配置され、気体の給排気により膨張収縮し、膨張した際に上記種結晶の表面に接して種結晶の全面に均一に圧力をかける可撓性袋体と、を備えることを特徴とする種結晶固定装置。
(2)上記チャンバーは、減圧雰囲気を形成可能である上記(1)記載の種結晶固定装置。
(3)上記チャンバーは、上記種結晶配置部を固定すると共に上記種結晶を固定するガイドを有する上記(1)又は(2)記載の種結晶固定装置。
(4)上記ガイドは、上記種結晶の側面と少なくとも3点で接する上記(3)記載の種結晶固定装置。
(5)上記可撓性袋体は、ゴムもしくは樹脂からなる上記(1)〜(4)のいずれかに記載の種結晶固定装置。
(6)上記接着剤を加熱硬化させる加熱体を有する上記(1)〜(5)のいずれかに記載の種結晶固定装置。
(7)接着剤を介して種結晶が設けられた種結晶配置部を配置する種結晶固定方法であって、気体の給排気により膨張収縮する可撓性袋体を膨張させて、上記種結晶の種結晶配置面の他面側に可撓性袋体を接触させて上記種結晶の全面に均一に圧力をかける工程と、上記接着剤を硬化させる工程と、
を含む種結晶固定方法。
(8)上記加熱硬化は減圧下において行われる上記(6)に記載の種結晶固定方法。
図1(a)は、接着剤5を介して種結晶9が配置された種結晶配置部3を収納した種結晶固定装置1の概略断面図を示し、図1(b)は下チャンバーの上面図を示す。図1(a)に示すように、実施形態にかかる種結晶固定装置1は、反応容器の種結晶配置部3に接着剤5を介して種結晶9を固定するための種結晶固定装置であって、種結晶配置部3を内部に配置可能とし密閉雰囲気を形成するチャンバー10と、チャンバー10内部に配置され、気体の給排気により膨張収縮し、膨張した際に種結晶の表面に接して種結晶の全面に均一に圧力をかける可撓性袋体16と、を備える。種結晶固定装置1は、さらに接着剤を加熱硬化させる加熱体20を有する。
図1の種結晶固定装置を用いた実施形態にかかる種結晶固定方法について、図2(a)〜(g)を用いて説明する。
(ロ)次に、図2(b)に示すように下チャンバー13内に反応容器の種結晶配置部3を配置する。
(ハ)そして、図2(c)に示すように種結晶配置部3をガイド17で固定する。
(ホ)次に、図2(e)に示すように種結晶9を接着剤5を介して種結晶配置部3上に配置する。接着性を向上させる観点からは、種結晶9の種結晶配置部3への接触面を研磨しておくことが好ましい。具体的には種結晶9の接触面の表面粗さ(Ra)は0.1μm以下が好ましい。また種結晶配置部3の種結晶9配置面の表面粗さ(Ra)を1.4μm以下とすると接着性が向上する点で好ましい。
(ト)図2(g)に示すように可撓性袋体16に気体を給気して可撓性袋体16を膨張させる。そして、種結晶9の種結晶配置面の他面側に可撓性袋体16を接触させて種結晶9の全面に均一に圧力をかける。0.01〜1MPa程度の圧力で荷重をかけることが好ましい。
(チ)加熱体20により加熱して接着剤5を硬化させる。加熱条件は接着剤(熱硬化性樹脂)の性質等に依るが、100℃〜1000℃、好ましくは100℃〜300℃で、5分〜10分程度である。
以上種結晶固定方法等について説明してきたが、本発明の別形態として炭化ケイ素単結晶の製造方法が提供される。即ち、昇華用原料を収容する反応容器に昇華用原料を収容し、昇華用原料に略対向して種結晶を配置し、昇華させた昇華用原料を種結晶上に再結晶させて炭化ケイ素単結晶を成長させる炭化ケイ素単結晶の製造方法であって、上記実施形態にかかる種結晶固定方法により種結晶配置部に固定された種結晶上に単結晶を成長させる炭化ケイ素単結晶の製造方法が提供される。
炭化ケイ素単結晶は、前述の炭化ケイ素単結晶の製造方法により製造される。炭化ケイ素単結晶は、溶融アルカリによりエッチングして評価した結晶欠陥(パイプ欠陥)は、50個/cm2以下が好ましく、10個/cm2以下がより好ましい。炭化ケイ素単結晶における金属不純物元素の総含有量としては10ppm以下が好ましい。本発明により得られる炭化ケイ素単結晶は、多結晶や多型の混入やマイクロパイプ等の結晶欠陥がなく、極めて高品質であるので、絶縁破壊特性、耐熱性、耐放射線性等に優れ、半導体ウエハ等の電子デバイス、発光ダイオード等の光学デバイスなどに特に好適に用いられる。
以上、本発明の炭化ケイ素単結晶製造方法によると、高品質な炭化ケイ素単結晶を効率よく、かつ割れ等の破損がない状態で容易に製造することができる。
図1の種結晶固定装置を用いて、実施形態にかかる種結晶固定方法に準じて、種結晶9を種結晶配置部3に固定した。その際、接着剤5としてフェノール樹脂を7.5μl/cm2で塗布した。種結晶9として種結晶厚0.4mm、直径50mmの6Hのレーリー結晶を用いた。そして減圧下(30Torr)において、15分かけて90℃まで加熱しさらに90℃で2分間予備加熱を行った後、25分かけて160℃まで加熱した後160℃で10分間加熱することにより加熱硬化を行った。
その結果、図4(b)の種結晶の表面観察写真に示すように、実施例の種結晶9が接着ムラなく接着されたことが確認された。
得られた炭化ケイ素単結晶のウェハ断面を観察したところ(図4(b))、種結晶直上の全面のマクロ欠陥の数は10個以下であり、種結晶から10mm上のウェハ全面のマクロ欠陥の数は0個であった。また、欠陥の大きさは従来法により得られるものよりも小さかった。
図6に示すように、載置台101に種結晶配置部103を配置し、その上に接着剤(フェノール樹脂)105を介して種結晶109を配置した。そして、重石107を種結晶109の上に配置して、重石107により種結晶109に荷重を加えながら、大気圧下300℃で0.5時間フェノール樹脂の加熱硬化を行った。その結果、図4(a)の種結晶の表面観察写真に示すように、比較例の種結晶109の表面に接着ムラが確認された。
得られた種結晶109を用いて実施例と同様にして炭化ケイ素単結晶を成長させた。
得られた炭化ケイ素単結晶の側面断面図を観察したところ(図4(a))、種結晶直上の全面のマクロ欠陥の数は100個以下であり、種結晶から10mm上のウェハ全面のマクロ欠陥の数は10〜20個であった。マクロ欠陥の大きさは実施例よりも大きかった。
3、103…種結晶配置部
5、105…接着剤
9、109…種結晶
10…チャンバー
11…上チャンバー
13…下チャンバー
12…吸引排気口
15…Oリング
16…可撓性袋体
17…ガイド
20…ヒータ(加熱体)
30…炭化ケイ素単結晶製造装置
31…容器
33a…第一誘導加熱コイル
33b…第二誘導加熱コイル
35…昇華用原料
107…重石
Claims (8)
- 反応容器の種結晶配置部に接着剤を介して種結晶を固定するための種結晶固定装置であって、
前記種結晶配置部を内部に配置可能なチャンバーと、
前記チャンバー内部に配置され、気体の給排気により膨張収縮し、膨張した際に前記種結晶の表面に接して種結晶の全面に均一に圧力をかける可撓性袋体と、
を備えることを特徴とする種結晶固定装置。 - 前記チャンバーは、減圧雰囲気を形成可能であることを特徴とする請求項1記載の種結晶固定装置。
- 前記チャンバーは、前記種結晶配置部を固定すると共に前記種結晶を固定するガイドを有することを特徴とする請求項1又は2記載の種結晶固定装置。
- 前記ガイドは、前記種結晶の側面と少なくとも3点で接することを特徴とする請求項3記載の種結晶固定装置。
- 前記可撓性袋体は、ゴムもしくは樹脂からなることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の種結晶固定装置。
- 前記接着剤を加熱硬化させる加熱体を有することを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の種結晶固定装置。
- 接着剤を介して種結晶が設けられた種結晶配置部を配置する種結晶固定方法であって、
気体の給排気により膨張収縮する可撓性袋体を膨張させて、前記種結晶の種結晶配置面の他面側に可撓性袋体を接触させて前記種結晶の全面に均一に圧力をかける工程と、
前記接着剤を硬化させる工程と、
を含むことを特徴とする種結晶固定方法。 - 前記加熱硬化は減圧下において行われることを特徴とする請求項7に記載の種結晶固定方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006062974A JP5030440B2 (ja) | 2005-05-18 | 2006-03-08 | 種結晶固定装置及び種結晶固定方法 |
US11/435,762 US7553373B2 (en) | 2001-06-15 | 2006-05-18 | Silicon carbide single crystal and production thereof |
US11/683,745 US7497906B2 (en) | 2006-03-08 | 2007-03-08 | Seed crystal fixing apparatus and a method for fixing the seed crystal |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005145790 | 2005-05-18 | ||
JP2005145790 | 2005-05-18 | ||
JP2006062974A JP5030440B2 (ja) | 2005-05-18 | 2006-03-08 | 種結晶固定装置及び種結晶固定方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006347867A true JP2006347867A (ja) | 2006-12-28 |
JP5030440B2 JP5030440B2 (ja) | 2012-09-19 |
Family
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP5030440B2 (ja) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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