JP2006347804A - シリコン単結晶の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】石英坩堝の回転数(Ω)、坩堝の温度(T)、およびシリコン融液が坩堝の内壁と接触する面積と雰囲気ガスと接触する面積との比(β)の3つのパラメータの相関に基づいて、育成中のシリコン結晶中の酸素濃度を予測し、その予測濃度を目標濃度に一致させるべく、回転数(Ω)と温度(T)の少なくとも1つを制御するようにした。温度(T)と比(β)とを、石英のシリコン融液に対する溶解エネルギ(E)を用いた関数1/β×Exp(−E/T)として関連させることによって、シリコン単結晶中の酸素濃度を調整する。
【選択図】図1
Description
また、近年のシリコン単結晶の8インチサイズから12インチサイズへの大型化やこれに伴う炉の大型化により、シリコン単結晶の酸素濃度調整のために要する結晶引上げコストと時間は級数的に増加しており、従来の試行錯誤的な方法では新たな品種基準への対応や、操業環境の変化に対する適用性が著しく悪い。
2)β:接触面積比
=(シリコン融液が雰囲気ガスと接触する面積)/(シリコン融液が石英坩堝と接触する面積)
3)Ω:坩堝の回転数
1番目のパラメータである坩堝の温度Tは、石英坩堝がシリコン融液の液面と接触する部分の平均温度であり、この温度Tによって石英坩堝の表面から溶出する酸素量が決まる。実際の坩堝の温度は、場所による高低分布があると考えられるが、シリコン融液の対流による熱伝達によって坩堝の内面温度の均一化が図られるため測温場所の影響をあまり受けない。従ってこの温度は、坩堝回転軸上で石英坩堝直下に設けた温度センサ(熱電対や黒体温度計等)で測定されるような1点での測定値で代用できると考える(特開昭56−125296号公報、特開平6−298593号公報、等参照)。
ここで、Aは換算定数、Bは定数、F、GおよびHはそれぞれ、坩堝回転数Ω、坩堝温度T、接触面積比βの関数である。関数F、G、HのΩ、T、βに関する特性は,例えば以下のように各変数のべき乗に夫々定数f、g、hを付与した形で与える。
F(Ω)=Ω0.5+f
G(T)=T+g ・・・式(2)
H(β)=β−1+h
上記式(1)、式(2)に実際の結晶育成中での各操業パラメータΩ、T、βを与えることで、結晶育成中の結晶中の酸素濃度OPを推定できる。
また、式(2)において、関数G(T)は、シリコン融液中に石英坩堝が溶解する速度に比例していると考えられるから、石英のシリコンに対する溶解エネルギをEとして、以下のように表現することが理にかなっている。
更に、関数H(β)も、h=0とおくと、酸素濃度が面積比βに反比例するとする単純な形式となる。
このとき、H(β)とG(T)の積をとった関数I(β,T)は、次のような形になる。
この関数I(β,T)は、干川、平田の境界層モデルによる融液中の酸素濃度を見積った式(日本結晶成長学会誌Vol15.2(1988).P.215),式(14))において、融液の石英坩堝の表面に接する部分の酸素濃度CSが融液の自由表面での酸素濃度Caが大きく(Ca>Cs)、かつ、融液の石英坩堝の表面に対する酸素濃度の境界層の厚さと、自由表面に対する酸素濃度境界層の厚さの比であるαが接触面積比βより十分小さい(α<<β)としたときの近似式に対応している。つまり、融液中の酸素濃度を近似的に示すこの関数を使用した、次の式(5)を使用することで、より精度の高い結晶中の酸素濃度を推定できると考えられる。
OP(Ω,T,β)=A×F(Ω)×1/β×Exp(−E/T)+B
・・・式(5)
次に、式(1)もしくは式(5)で推定した結晶酸素濃度OPが酸素濃度の品質規定値Otと異なる場合には、次の式(6)が成り立つように、結晶育成中に適宜、坩堝回転数Ωと坩堝温度Tを変更する対応をとる。
|OP(Ω,T,β)−Ot(β)|≦Δ ・・・式(6)
ここで△は、当該結晶育成部の酸素濃度の許容幅であり、結晶の品質仕様より決める。
1)坩堝を加熱するヒータ類の電力を調整する。たとえば、坩堝側面を加熱するヒータ(主ヒータ)と坩堝底部を加熱するヒータ(補助ヒータ)の2種類のものが装着されている場合には、坩堝の温度を上昇させるために補助ヒータに供給する電力を上昇させると同時に、その加熱で引上げ中の結晶径の減少が起こらないように主ヒータへの供給電力を減量調整する。
2)坩堝とヒータの相対位置を調整する。これは坩堝を上下に移動させてもよいし、主ヒータを直接移動させる機構を用いてもよい(特開平06−219887号公報参照)。
3)結晶の育成速度を調整する。これは、結晶育成速度の変化に応じて結晶育成界面での凝固による発熱量が増減するために、結晶径を保持するためのヒータからの加熱量を増減させる必要から成されるもので、これに応じて所要ヒータの加熱電力を変化させることで間接的に坩堝温度を増減させることができる。
4)坩堝回転数を変化させる。これは、坩堝の回転数の増加により融液の回転モーメントが増すことで融液自身の対流が抑制され融液中の熱伝達が悪くなることを利用するものである。坩堝の回転数を増すと、融液から結晶への熱伝達が悪くなり結晶径を保持するためのヒータからの加熱量を増化させる必要があり、これに応じて所要ヒータの加熱電力を増加させることになり、間接的に坩堝温度を上昇させることができる。ただし、坩堝回転数は坩堝温度だけに依存するのではなく、先に述べたように流動境界層の厚みとも関連して酸素濃度に影響していることも考慮しなくてはならない。
本発明の比較例として、結晶育成中に、坩堝回転数、結晶育成速度、ヒータと坩堝位置の関係、各ヒータの電力配分等の制御パラメータを変更しなかった場合の結晶育成の例について説明する。図3は、直径28インチサイズの石英坩堝に200kgの多結晶シリコンを装填して溶解させた後、直径12インチの単結晶を育成したときの、接触面積比βと坩堝温度Tおよび、育成した結晶中の酸素濃度の測定値との関係を、育成中の融液重量の変化に対して表したものである。ここで坩堝温度Tは定径部上端育成時での坩堝温度に対する差で表している。
この実施例1は請求項1および3に対応するものである。
F(Ω)=Ω0.5
G(T)=T+g (7)
H(β)=β−1
定数A、Bおよびgは、実施例1での操業条件と実際に得られた結晶の酸素濃度とから最小二乗法によって決定した。
この実施例2は請求項2および3に対応するものである。
I(T)=1/β×Exp(−E/T)
また、Eの値は公知文献(T.Carberg,J.Electrochem.Soc.,vol.133 No.9,P.1940)に示されている値に近い24000(K)とし、定数AとBは実施例1での操業条件と実際に得られた結晶の酸素濃度とから最小二乗法によって決定した。このときの最小二乗法の誤差は、実施例1で求めたときの約半分となり、この式を使用した方が近似の精度が良かった。
この実施例3は請求項4に対応するものである。
この実施例4は請求項5に対応するものである。
この実施例5は請求項6に対応するものである。
この実施例6では、実施例3で得られた結晶酸素濃度が8.0×10E17(atom/cm3)であったのに対し、これよりも高い酸素濃度9.0×10E17(atom/cm3)の結晶を得ることを目的とした。すなわち、ここでは坩堝回転数Ωの変更を実施例3と同じ坩堝回転数の条件の下で、坩堝からの酸素溶出をより促進させるため実施例2よりも坩堝温度Tが高くなるように、補助ヒータ6への供給電力を変化させた。また、ここでは、酸素濃度の推定式として式(5)を用い、実施例2で使用したのと同じ関数FとIを、定数値A、B、Eについても実施例2で使用したものと同じ値を与えて使用した。
この実施例7では、実施例3で得られた結晶酸素濃度が8.0×10E17(atom/cm3)であったのに対し、これよりも低い7.0×10E17(atom/cm3)の酸素濃度の結晶を得ることを目的とした。すなわち、ここでは坩堝回転数Ωの変更を実施例3と全く同じ坩堝回転数条件の下で、石英坩堝4からの酸素溶出をより抑制させるため実施例2よりも坩堝温度Tが低くなるように、補助ヒータ6aへの供給電力を変化させた。また、ここでは、酸素濃度の推定式として式(5)を用い、実施例2で使用したのと同じ関数FとIを、定数値A、B、Eについても実施例2で使用したものと同じ値を与えて使用した。
2 引上炉
3 坩堝軸
4 石英坩堝
5 主ヒータ
5a 主ヒータ電源
6 補助ヒータ
6a 補助ヒータ電源
7 坩堝支持軸駆動機構
7a 坩堝回転サーボモータ
7b 坩堝昇降サーボモータ
8 種結晶
9 シードチャック
10 引上ワイヤ
11 ワイヤ巻取り機構
11a ワイヤ巻上げサーボモータ
11b ロードセル
12 制御装置
13 シリコン単結晶
14 シリコン融液
15 熱電対
16 輻射温度計
Claims (6)
- 石英坩堝を使用するチョクラルスキ法によるシリコン単結晶の製造方法において、
坩堝の回転数(Ω)、坩堝の温度(T)、およびシリコン融液が坩堝の内壁と接触する面積と雰囲気ガスと接触する面積との比(β)の3つのパラメータの相関に基づいて、育成中のシリコン単結晶中の酸素濃度を予測し、その予測濃度を目標濃度に一致させるべく、前記回転数(Ω)と前記温度(T)の少なくとも1つを制御することを特徴とするシリコン単結晶の製造方法。 - 前記温度(T)と前記比(β)とを、石英のシリコン融液に対する溶解エネルギ(E)を用いた関数
1/β×Exp(−E/T)
として関連させることによって、シリコン単結晶中の酸素濃度を調整することを特徴とする請求項1記載のシリコン単結晶の製造方法。 - 前記比(β)と前記温度(T)の変化に応じて前記回転数(Ω)を制御することを特徴とする請求項1または2記載のシリコン単結晶の製造方法。
- 前記回転数(Ω)と前記比(β)の変化に応じて、前記坩堝を加熱するヒータへの供給電力を調節することを特徴とする請求項1または2記載のシリコン単結晶の製造方法。
- 前記回転数(Ω)と前記比(β)の変化に応じて、前記坩堝と前記坩堝を加熱するヒータの相対位置を調節することを特徴とする請求項1または2記載のシリコン単結晶の製造方法。
- 前記回転数(Ω)と前記比(β)の変化に応じて、シリコン単結晶の育成速度を調節することを特徴とする請求項1または2記載のシリコン単結晶の製造方法。
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