JP2006347082A - 追記型光記録媒体 - Google Patents
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Abstract
【課題】 追記特性にすぐれた無機記録膜構成による追記型光記録媒体を作製するものである。
【解決手段】 本発明は、無機記録膜を有する追記型光記録媒体１０であって、無機記録膜が、酸化物ＧｅＯを主成分とする酸化物膜３と、この酸化物膜３に隣接する金属膜２とを有し、金属膜２は酸化されており、その酸素の組成が９原子％以上３８原子％以下とされた構成とされる。この構成によってジッターの改善、膜総数少ない追記型光記録媒体が得られるものである。
【選択図】 図１
【解決手段】 本発明は、無機記録膜を有する追記型光記録媒体１０であって、無機記録膜が、酸化物ＧｅＯを主成分とする酸化物膜３と、この酸化物膜３に隣接する金属膜２とを有し、金属膜２は酸化されており、その酸素の組成が９原子％以上３８原子％以下とされた構成とされる。この構成によってジッターの改善、膜総数少ない追記型光記録媒体が得られるものである。
【選択図】 図１
Description
本発明は、追記型光記録媒体、特に、無機記録膜を有する追記型光記録媒体に関する。
追記型光記録媒体は、例えば追記型のＣＤ（Compact Disc）や、追記型のＤＶＤ（Digital Versatile Disc）の、いわゆるＣＤ−Ｒや、ＤＶＤ−Ｒで知られているように、有機色素をスピンコートした記録膜によるものが主流となっている。
また、例えばＣＤ−Ｒ対応において無機記録膜による記憶部材の提案がなされている(例えば特許文献１参照)。
また、例えばＣＤ−Ｒ対応において無機記録膜による記憶部材の提案がなされている(例えば特許文献１参照)。
これに対し、次期光記録媒体として目されているブルーレイディスク（Blu-ray Disc、ＢＤ）においては、これらよりも高密度情報記録を実現し、ハイビジョン映像の録画を可能にするものである。
初代ＢＤ録画装置は、既に発売されているが、これは相変化材料を記録層に用いた、リライタブルメディアに対応したものである。
しかし、市場のニーズとしては、ＢＤの追記型のメディア（ＢＤ−Ｒ）も要求されており、かつ、リライタブルメディアと比較して低廉であるものが望まれている。
このＢＤ−Ｒとしては、初代ＢＤの規格が相変化材料をベースに作られているということもあり、プッシュプル信号、記録感度などのメディア特性の観点から無機材料を用いて設計する方が特性の合わせこみが容易である。
しかし、市場のニーズとしては、ＢＤの追記型のメディア（ＢＤ−Ｒ）も要求されており、かつ、リライタブルメディアと比較して低廉であるものが望まれている。
このＢＤ−Ｒとしては、初代ＢＤの規格が相変化材料をベースに作られているということもあり、プッシュプル信号、記録感度などのメディア特性の観点から無機材料を用いて設計する方が特性の合わせこみが容易である。
このＢＤ−Ｒとして、相変化材料をベースにして、これにおいて、再記録ができないようにして、ＢＤ−Ｒの規格に入れることも可能である。しかしながら、この構成では、初期化が必要であり、また、膜構成、膜層数や材料がリライタブルメディアと同等になることから、コストを低く抑えることが困難であって低廉なメディアを実現することは困難である。
なかでも、特にコストに大きく影響するのは、膜層数である。この膜層数が減少すれば、スパッタ法により成膜するための真空装置の設備投資が大幅に削減されて、これがメディアのコストの低廉化に反映される。
したがって、膜層数はなるべく少ないほうが好ましく、相変化メディアよりも少ない層数の３層〜４層以下光記録媒体の実現が望まれている。
なかでも、特にコストに大きく影響するのは、膜層数である。この膜層数が減少すれば、スパッタ法により成膜するための真空装置の設備投資が大幅に削減されて、これがメディアのコストの低廉化に反映される。
したがって、膜層数はなるべく少ないほうが好ましく、相変化メディアよりも少ない層数の３層〜４層以下光記録媒体の実現が望まれている。
ところで、ＢＤメディアは、読み出し面が基板とは反対側の、記録膜のカバーとしての薄い例えば厚さ１００μｍの光透過層側からなされる。この光透過層の厚さは、ＢＤにおいて、２層メディアの場合には約７０μｍ、更に多層メディアの規格が完成すればこれに応じて変わるが、１０μｍ〜１７７μｍの範囲がスキュー特性、記録再生特性の面で良好である。
この光透過層の形成方法としては、ＰＣ(ポリカーボネート)樹脂シートを、感圧性粘着材(ＰＳＡ：Pressure Sensitive Adhesive)で貼り付ける方式、あるいはＰＣシートを、紫外線硬化型のいわゆるＵＶレジンで貼り付ける方式、または例えば厚さ１００μｍ程度の光透過層の全てをＵＶレジンで形成する方式などが提案されている。
これらのうち、ＰＳＡは、ＵＶレジンによる場合と比較すると硬度が低く、記録材料によっては特性にも大きな影響を与える。したがって、ＰＳＡを用いても良好な記録が行える、安定した記録材料や、構成が求められる。
特開平１１−１４４３１６号公報
これらのうち、ＰＳＡは、ＵＶレジンによる場合と比較すると硬度が低く、記録材料によっては特性にも大きな影響を与える。したがって、ＰＳＡを用いても良好な記録が行える、安定した記録材料や、構成が求められる。
本発明においては、上述した各要求に対応することができ、記録特性にすぐれた追記型光記録媒体を、少ない膜総数で構成し、また強度にすぐれた光透過層の形成を可能にした追記型光記録媒体を提供するものである。
本発明は、無機記録膜を有する追記型光記録媒体であって、上記無機記録膜が、ゲルマニウム（Ｇｅ）の酸化物ＧｅＯを主成分とする酸化物膜と、該酸化物膜に隣接するチタン（Ｔｉ）を主成分とする金属膜とを有して成ることを特徴とする。
また、本発明は、上記金属膜が酸化されており、該金属膜の酸素の組成が９原子％以上３８原子％以下であることを特徴とする。
また、本発明は、上記金属膜が、チタン・シリコン合金ＴｉＳｉを主成分とする金属膜より成ることを特徴とする。
また、本発明は、上記金属膜が酸化されており、該金属膜の酸素の組成が９原子％以上３８原子％以下であることを特徴とする。
また、本発明は、上記金属膜が酸化されており、該金属膜の酸素の組成が９原子％以上３８原子％以下であることを特徴とする。
また、本発明は、上記金属膜が、チタン・シリコン合金ＴｉＳｉを主成分とする金属膜より成ることを特徴とする。
また、本発明は、上記金属膜が酸化されており、該金属膜の酸素の組成が９原子％以上３８原子％以下であることを特徴とする。
また、本発明は、上記ＧｅＯを主成分とする酸化物膜の上記金属膜と隣接する側とは反対側の面に、誘電体膜が隣接して配置されて成ることを特徴とする追記型光記録媒体。
また、本発明は、上記誘電体膜が、ＺｎＳ−ＳｉＯ２より成ることを特徴とする。
また、本発明は、上記誘電体膜が、上記ＧｅＯを主成分とする酸化物膜に隣接する第１の誘電体膜と、該第１の誘電体膜上に形成された第２の誘電体膜とを有して成り、上記第１の誘電体膜がＺｎＳ−ＳｉＯ２より成り、上記第２の誘電体膜が、ＳｉＮより成ることを特徴とする。
また、本発明は、上記誘電体膜が、ＺｎＳ−ＳｉＯ２より成ることを特徴とする。
また、本発明は、上記誘電体膜が、上記ＧｅＯを主成分とする酸化物膜に隣接する第１の誘電体膜と、該第１の誘電体膜上に形成された第２の誘電体膜とを有して成り、上記第１の誘電体膜がＺｎＳ−ＳｉＯ２より成り、上記第２の誘電体膜が、ＳｉＮより成ることを特徴とする。
また、本発明は、上記酸化物膜のＧｅＯの酸素濃度が、Ｇｅ1Ｏｘの原子組成としたとき、
１．３≦ｘ≦２．２
であることを特徴とする。
１．３≦ｘ≦２．２
であることを特徴とする。
本発明による追記型光記録媒体では、記録の際にはＴｉを主成分とする層は記録前後でほとんど物理的特性が変化することはなく、Ｇｅの酸化物層との界面での反応を促進する、いわば触媒的作用を有する。記録後には、Ｇｅの酸化物層の酸素が分離し、Ｔｉを主成分とする層との界面に酸素組成の多いＧｅ層が形成される。こうして、Ｇｅの酸化物層が光学定数の異なる保存安定性の高い安定な２層に分離し、再生光を照射した際に反射光量が変化し、良好な信号が得られる。
また、本発明による追記型光記録媒体は、後述するところから明らかなように、安定した記録感度の向上、記録特性の向上（ジッターの減少）が得られる。
また、誘電体層をＺｎＳ−ＳｉＯ２とすることにより、記録信号のＳ／Ｎが向上し、良好な特性が得られる。
また、誘電体層をＺｎＳ−ＳｉＯ２とすることにより、記録信号のＳ／Ｎが向上し、良好な特性が得られる。
本発明による追記型光記録媒体の実施の形態を例示するが、本発明は、これらに限られるものではない。
図１は、本発明によるブルーレイ対応の例えばＢＤ（Blu-ray Disc）の追記型光記録媒体１０の基本構成による概略断面図である。
この場合、例えばグルーブ１１Ｇおよびランド１１Ｌが形成された凹凸面１１を有するポリカーボネート（ＰＣ）樹脂基板、ガラス基板等による基板１上に、順次無機記録膜を構成する金属膜２、酸化物膜３が形成され、この上に第１の誘電体膜４、第２の誘電体膜５が形成され、更に、この上に光透過層６が形成されて成る。
この追記型光記録媒体に対する追記および再生の光照射は、光透過層６側からなされ、凹凸面は、光透過層６側に凸形状を有する部分をランド１１Ｌとする。
図１は、本発明によるブルーレイ対応の例えばＢＤ（Blu-ray Disc）の追記型光記録媒体１０の基本構成による概略断面図である。
この場合、例えばグルーブ１１Ｇおよびランド１１Ｌが形成された凹凸面１１を有するポリカーボネート（ＰＣ）樹脂基板、ガラス基板等による基板１上に、順次無機記録膜を構成する金属膜２、酸化物膜３が形成され、この上に第１の誘電体膜４、第２の誘電体膜５が形成され、更に、この上に光透過層６が形成されて成る。
この追記型光記録媒体に対する追記および再生の光照射は、光透過層６側からなされ、凹凸面は、光透過層６側に凸形状を有する部分をランド１１Ｌとする。
酸化物膜３は、ゲルマニウム（Ｇｅ）の酸化物ＧｅＯを主成分とする酸化物膜であり、酸化物膜３のＧｅＯの酸素濃度は、Ｇｅ1Ｏｘの原子組成としたとき、
１．３≦ｘ≦２．２
とされる。
この酸化物膜３に隣接する金属膜２は、Ｔｉを主成分とする金属膜、例えばＴｉＳｉ合金を主成分とする金属膜２であって酸化されており、この金属膜２は、その酸素の組成が９原子％以上３８原子％以下とされる。
この金属膜２のＴｉＳｉは、Ｓｉ組成が、８原子％以上、３２原子％以下とされる。
１．３≦ｘ≦２．２
とされる。
この酸化物膜３に隣接する金属膜２は、Ｔｉを主成分とする金属膜、例えばＴｉＳｉ合金を主成分とする金属膜２であって酸化されており、この金属膜２は、その酸素の組成が９原子％以上３８原子％以下とされる。
この金属膜２のＴｉＳｉは、Ｓｉ組成が、８原子％以上、３２原子％以下とされる。
また、酸化物膜３に隣接して配置される第１の誘電体膜４は、ＺｎＳ−ＳｉＯ２より構成される。
また、この第１の誘電体膜４上に形成される第２の誘電体膜５、すなわち第１の誘電体膜４の、酸化物膜３と隣接する側とは反対側の面に隣接する第２の誘電体膜５は、ＳｉＮより構成される。
この誘電体膜上に形成される光透過層６は、その膜厚が、１０μｍ〜１７７μｍとされる。
また、この第１の誘電体膜４上に形成される第２の誘電体膜５、すなわち第１の誘電体膜４の、酸化物膜３と隣接する側とは反対側の面に隣接する第２の誘電体膜５は、ＳｉＮより構成される。
この誘電体膜上に形成される光透過層６は、その膜厚が、１０μｍ〜１７７μｍとされる。
この追記型光記録媒体１０に対する追記を行う光記録および再生は、前述したように光透過層６側からの光照射によってなされる。
その照射光は、４０５ｎｍ±５ｎｍとされ、光照射の光学系の対物レンズの開口数（Ｎ．Ａ．）は０．８５±０．０１とされる。
その照射光は、４０５ｎｍ±５ｎｍとされ、光照射の光学系の対物レンズの開口数（Ｎ．Ａ．）は０．８５±０．０１とされる。
次に、本発明による追記型光記録媒体を、実施例１〜５を挙げて説明する。
いずれの実施例も、ＢＤ（ブルーレイディスク）の追記型光記録媒体であり、金属膜２の酸素濃度を２１at．％とした。
また、その光学系は、開口数０．８５の２群対物レンズと波長４０５ｎｍの青紫色半導体レーザ光源を用いた光ディスク記録再生装置による。
評価装置はパルステック工業株式会社製のＢＤディスク検査機、ＯＤＵ−１０００を用いた。光源の波長は４０５．２ｎｍである。
再生信号のＣ／Ｎ測定は（独）Rohde-Schwartz社製のスペクトラムアナライザー、ＦＳＰ３を用いて測定した。
また、ジッター測定はパルステック工業株式会社製のイコライザーボードを通して、横河電機株式会社製のタイムインターバルアナライザー、ＴＡ７２０を用いて測定した。
その他、振幅、変調度などの測定にはテクトロニクス社製のデジタルオシロスコープ、ＴＤＳ７１０４を用いた。
記録の線速度は９．８３ｍ／ｓ(２倍速記録)、再生時の線速度は４．９２ｍ／ｓ(１倍速)、チャンネルビット長は７４．５０ｎｍ(直径１２ｃｍの光ディスクに２５ＧＢの記録密度)で行った。
変調方式は１７ＰＰであり、最短マークである２Ｔマークのマーク長は０．１４９μｍ、８Ｔマークのマーク長は０．５９６μｍである。トラックピッチは、０．３２μｍである。
いずれの実施例も、ＢＤ（ブルーレイディスク）の追記型光記録媒体であり、金属膜２の酸素濃度を２１at．％とした。
また、その光学系は、開口数０．８５の２群対物レンズと波長４０５ｎｍの青紫色半導体レーザ光源を用いた光ディスク記録再生装置による。
評価装置はパルステック工業株式会社製のＢＤディスク検査機、ＯＤＵ−１０００を用いた。光源の波長は４０５．２ｎｍである。
再生信号のＣ／Ｎ測定は（独）Rohde-Schwartz社製のスペクトラムアナライザー、ＦＳＰ３を用いて測定した。
また、ジッター測定はパルステック工業株式会社製のイコライザーボードを通して、横河電機株式会社製のタイムインターバルアナライザー、ＴＡ７２０を用いて測定した。
その他、振幅、変調度などの測定にはテクトロニクス社製のデジタルオシロスコープ、ＴＤＳ７１０４を用いた。
記録の線速度は９．８３ｍ／ｓ(２倍速記録)、再生時の線速度は４．９２ｍ／ｓ(１倍速)、チャンネルビット長は７４．５０ｎｍ(直径１２ｃｍの光ディスクに２５ＧＢの記録密度)で行った。
変調方式は１７ＰＰであり、最短マークである２Ｔマークのマーク長は０．１４９μｍ、８Ｔマークのマーク長は０．５９６μｍである。トラックピッチは、０．３２μｍである。
［実施例１］
図２は、この実施例１における追記型光記録媒体１０の記録膜構成を示す図である。
この実施例における追記型光記録媒体１０は、厚さ１．１ｍｍのＰＣ基板１上に、図２では示されていないが、図１で説明したように、グルーブ１１Ｇおよびランド１１Ｌによる凹凸面１１が形成されてなる。このグルーブの深さは２１ｎｍとし、トラックピッチは０．３２μｍとした。
ＢＤにおいては、光入射面は基板とは反対側の面とされるものであって、基板１上に、記録膜として、順次厚さ２５ｎｍのＴｉＳｉ膜による金属膜２、厚さ２２ｎｍのＧｅＯによる酸化物膜３、厚さ４５ｎｍのＺｎＳ−ＳｉＯ２による第１の誘電体膜４、厚さ１０ｎｍのＳｉＮによる第２の誘電体膜５を成膜した。そして、この第２の誘電体膜５上に、光透過層６を形成した。この光透過層６は、感圧性粘着材（ＰＳＡ）によりポリカーボネートシートを貼り合せることによって形成した。その厚さは、ＰＳＡおよびポリカーボネートシートを含めて１００μｍとした。
図２は、この実施例１における追記型光記録媒体１０の記録膜構成を示す図である。
この実施例における追記型光記録媒体１０は、厚さ１．１ｍｍのＰＣ基板１上に、図２では示されていないが、図１で説明したように、グルーブ１１Ｇおよびランド１１Ｌによる凹凸面１１が形成されてなる。このグルーブの深さは２１ｎｍとし、トラックピッチは０．３２μｍとした。
ＢＤにおいては、光入射面は基板とは反対側の面とされるものであって、基板１上に、記録膜として、順次厚さ２５ｎｍのＴｉＳｉ膜による金属膜２、厚さ２２ｎｍのＧｅＯによる酸化物膜３、厚さ４５ｎｍのＺｎＳ−ＳｉＯ２による第１の誘電体膜４、厚さ１０ｎｍのＳｉＮによる第２の誘電体膜５を成膜した。そして、この第２の誘電体膜５上に、光透過層６を形成した。この光透過層６は、感圧性粘着材（ＰＳＡ）によりポリカーボネートシートを貼り合せることによって形成した。その厚さは、ＰＳＡおよびポリカーボネートシートを含めて１００μｍとした。
金属膜２のＴｉＳｉの組成は、Ｓｉの組成を２０at.％（原子％）とし、酸素濃度は、２１at．％とした。
また、酸化物膜３のＧｅＯの組成は、Ｇｅ１Ｏｘで、ｘ＝１．８とした。
第１の誘電体膜４のＺｎＳ−ＳｉＯ２の組成は、比ＺｎＳ：ＳｉＯ２(原子比)において８０：２０とした。
第２の誘電体膜５は、Ｓｉ３Ｎ４とした。
また、酸化物膜３のＧｅＯの組成は、Ｇｅ１Ｏｘで、ｘ＝１．８とした。
第１の誘電体膜４のＺｎＳ−ＳｉＯ２の組成は、比ＺｎＳ：ＳｉＯ２(原子比)において８０：２０とした。
第２の誘電体膜５は、Ｓｉ３Ｎ４とした。
この実施例１による追記型光記録媒体１０と、この構成において、金属膜２のＴｉＳｉの組成を変更したときの記録再生特性、すなわち記録光のパワーＰｗ(記録感度)と、ジッターの測定結果を図３に示す。
ＢＤにおける追記型光記録媒体（ＢＤ−Ｒ）の規格値は、２倍速記録で、記録密度２５ＧＢにおいて、ジッター値が６．５％以下、記録感度が７．０ｍＷであることから、実施例１の構成は、この規格を満たしている。
更に、この結果から、ジッターの規格を満たすには、ＴｉＳｉのＳｉ組成が８at.％以上であり、記録感度を満たすのは３２at.％以下であって、Ｓｉの組成は、８at.％〜３２at.％とすることが、良好な特性を有するＢＤ−Ｒを作製できることが分かる。
ＢＤにおける追記型光記録媒体（ＢＤ−Ｒ）の規格値は、２倍速記録で、記録密度２５ＧＢにおいて、ジッター値が６．５％以下、記録感度が７．０ｍＷであることから、実施例１の構成は、この規格を満たしている。
更に、この結果から、ジッターの規格を満たすには、ＴｉＳｉのＳｉ組成が８at.％以上であり、記録感度を満たすのは３２at.％以下であって、Ｓｉの組成は、８at.％〜３２at.％とすることが、良好な特性を有するＢＤ−Ｒを作製できることが分かる。
尚、上述の構成において、Ｓｉ３Ｎ４による第２の誘電体膜５は、第１の誘電体膜４のＺｎＳ−ＳｉＯ２と、光透過層６のＰＳＡとが反応して劣化することを防止する隔離層の機能を持たせるために設けられるものである。このため、このＳｉＮによる第２の誘電体膜５の膜厚は、この隔離層としての機能を有する範囲でできるだけ薄くする。この第２の誘電体膜５の厚さは、８ｎｍまでは、その厚さを薄くしても、記録感度、ジッター共に全く変化がないことを確認した。
この第２の誘電体膜５は、上述のＰＳＡとの反応のおそれがない場合、例えば光透過層６としてＰＳＡを用いずに、ＵＶレジンによるとき、あるいは短時間利用等においては、その形成を省略することができる。
この第２の誘電体膜５は、上述のＰＳＡとの反応のおそれがない場合、例えば光透過層６としてＰＳＡを用いずに、ＵＶレジンによるとき、あるいは短時間利用等においては、その形成を省略することができる。
［実施例２］
実施例１と同一構成において、その第１の誘電体膜４の膜厚Ｔ１を１０ｎｍ〜４３ｎｍで変化させ、第２の誘電体膜５の膜厚Ｔ２を０〜３５ｎｍに変化させた。
そして、この実施例２における第１の誘電体膜４の膜厚が１０ｎｍ〜４３ｎｍ、第２の誘電体膜５の膜厚Ｔ２が０〜３５ｎｍの構成による場合と、比較のために、この実施例の範囲以外の構成とした第１の誘電体膜４を設けない構成（膜厚Ｔ１＝０）、第２の誘電体の膜厚Ｔ２を６０ｎｍとしたときの、記録マークの前端側のジッター（Leading jitter）と後端側のジッター（Trailing jitter）の測定結果を図４の表１に示す。
実施例１と同一構成において、その第１の誘電体膜４の膜厚Ｔ１を１０ｎｍ〜４３ｎｍで変化させ、第２の誘電体膜５の膜厚Ｔ２を０〜３５ｎｍに変化させた。
そして、この実施例２における第１の誘電体膜４の膜厚が１０ｎｍ〜４３ｎｍ、第２の誘電体膜５の膜厚Ｔ２が０〜３５ｎｍの構成による場合と、比較のために、この実施例の範囲以外の構成とした第１の誘電体膜４を設けない構成（膜厚Ｔ１＝０）、第２の誘電体の膜厚Ｔ２を６０ｎｍとしたときの、記録マークの前端側のジッター（Leading jitter）と後端側のジッター（Trailing jitter）の測定結果を図４の表１に示す。
これによれば、実施例２における実施例１と同一構成において、その第１の誘電体膜４の膜厚を１０ｎｍ〜４３ｎｍとし、第２の誘電体膜５の膜厚を０〜３５ｎｍとするとき、各ジッターを６．５％以下とすることができることがわかる。
すなわち、第１の誘電体膜４のＺｎＳ−ＳｉＯ２の膜厚に対してはきわめて広い膜厚範囲でジッター値が６．５％を下回っており、良好な記録ができており、特に２３ｎｍ以上の膜厚で特性が安定していることがわかる。したがって、第１の誘電体膜４のＺｎＳ−ＳｉＯ２の膜厚は、上述した１０ｎｍ〜４３ｎｍ、好ましくは２３ｎｍ〜４３ｎｍとする。
そして、このように、第１の誘電体膜４の膜厚を広い範囲から選定することができることから、この膜厚は、反射率の面から、光学的に最適な膜厚を選ぶことができる。
一方、第１の誘電体膜４を形成することなく、第２の誘電体膜５のＳｉＮのみとするときは、ジッターが、０．５％低下することから、規格の６．５％を満たす範囲が狭くなる。
つまり、通常の膜厚範囲であれば、膜厚によらずＺｎＳ−ＳｉＯ２を誘電体膜として用いることが記録再生特性向上に有効である。
すなわち、第１の誘電体膜４のＺｎＳ−ＳｉＯ２の膜厚に対してはきわめて広い膜厚範囲でジッター値が６．５％を下回っており、良好な記録ができており、特に２３ｎｍ以上の膜厚で特性が安定していることがわかる。したがって、第１の誘電体膜４のＺｎＳ−ＳｉＯ２の膜厚は、上述した１０ｎｍ〜４３ｎｍ、好ましくは２３ｎｍ〜４３ｎｍとする。
そして、このように、第１の誘電体膜４の膜厚を広い範囲から選定することができることから、この膜厚は、反射率の面から、光学的に最適な膜厚を選ぶことができる。
一方、第１の誘電体膜４を形成することなく、第２の誘電体膜５のＳｉＮのみとするときは、ジッターが、０．５％低下することから、規格の６．５％を満たす範囲が狭くなる。
つまり、通常の膜厚範囲であれば、膜厚によらずＺｎＳ−ＳｉＯ２を誘電体膜として用いることが記録再生特性向上に有効である。
［実施例３］
この実施例においては、その膜構成を図５に示すように、実施例１の構成にあって、金属膜２の組成ＴｉＳｉにおいて、そのＳｉを１０at.％とし、膜厚を３０ｎｍとし、酸化物膜３の膜厚を２０ｎｍとした。
そして、ＺｎＳ−ＳｉＯ２による第１の誘電体膜４の膜厚を３０ｎｍとし、ＳｉＮによる第２誘電体膜５の膜厚を１０ｎｍとした。
この実施例においては、その膜構成を図５に示すように、実施例１の構成にあって、金属膜２の組成ＴｉＳｉにおいて、そのＳｉを１０at.％とし、膜厚を３０ｎｍとし、酸化物膜３の膜厚を２０ｎｍとした。
そして、ＺｎＳ−ＳｉＯ２による第１の誘電体膜４の膜厚を３０ｎｍとし、ＳｉＮによる第２誘電体膜５の膜厚を１０ｎｍとした。
［実施例４］
この実施例においては、その膜構成を図６に示すように、第１の誘電体膜を形成することなく、膜厚６０ｎｍのＳｉＮによる第２の誘電体膜５のみを形成した。
この実施例においては、その膜構成を図６に示すように、第１の誘電体膜を形成することなく、膜厚６０ｎｍのＳｉＮによる第２の誘電体膜５のみを形成した。
実施例３および４において、その反射率は、共に１５％程度とし、酸化物膜３、金属膜２への光の吸収量はほぼ同じになるように設計した。
実施例３および４の各ＢＤ−ＲのＣ／Ｎと変調度のそれぞれの記録感度(記録パワーＰｗ)の依存性の測定結果を、図７および図８に示す。
実施例３および４の各ＢＤ−ＲのＣ／Ｎと変調度のそれぞれの記録感度(記録パワーＰｗ)の依存性の測定結果を、図７および図８に示す。
これによれば、誘電体膜として、ＳｉＮのみを形成した場合に比し、ＺｎＳ−ＳｉＯ２による第１の誘電体膜４を形成したＢＤ−Ｒは、その変調度が大きくなり、かつ、Ｃ／Ｎが高いという結果が得られた。
尚、Ｓｉに代えて、Ｇｅ、Ｓｎを用いても同様の効果が得られる。この場合の組成はＳｉの場合と同様である。
また、金属膜２のＴｉＳｉに対する他の添加物は、耐久性、記録特性を向上するものとして、Ｃｕ,Ｐｄ, Ｎｉ, Ｃ, Ｃｒ, Ｆｅ, Ｍｇ,Ｖ, Ｃａ,Ｂ,Ｎｂ,Ｚｒ,Ｓ,Ｓｅ,Ｍｎ,Ｇａ，Ｍｏ, Ｔｂ, Ｄｙ, Ｎｄが挙げられる。
尚、Ｓｉに代えて、Ｇｅ、Ｓｎを用いても同様の効果が得られる。この場合の組成はＳｉの場合と同様である。
また、金属膜２のＴｉＳｉに対する他の添加物は、耐久性、記録特性を向上するものとして、Ｃｕ,Ｐｄ, Ｎｉ, Ｃ, Ｃｒ, Ｆｅ, Ｍｇ,Ｖ, Ｃａ,Ｂ,Ｎｂ,Ｚｒ,Ｓ,Ｓｅ,Ｍｎ,Ｇａ，Ｍｏ, Ｔｂ, Ｄｙ, Ｎｄが挙げられる。
［実施例５］
この実施例においては、実施例１と同様の膜構成とするが、ＴｉＳｉ金属膜２のＳｉ組成２０at.％とした。
そして、この構成において、酸化物膜３のＧｅ１Ｏｘの酸素組成ｘを変えたときの特性への影響、すなわちジッターへの影響を測定した。この測定結果を図９Ａの表２とこれをプロットした図９Ｂのグラフに示す。
このジッター測定において、記録線速度は２×(９．８３ｍ／ｓ)とした。
これによれば、Ｇｅ１Ｏｘの酸素濃度には最適範囲が存在することがわかる。
そして、ジッターの規格値である６．５％を満した酸素濃度は、この表２の測定結果の酸素濃度依存性データから、
１．３≦ｘ≦２．２
が最適範囲であることがわかる。
つまり、本発明の膜構成において、Ｇｅ１Ｏｘ酸素濃度を、１．３≦ｘ≦２．２とすることによって良好な特性の追記型光記録媒体が得られるものである。
この実施例においては、実施例１と同様の膜構成とするが、ＴｉＳｉ金属膜２のＳｉ組成２０at.％とした。
そして、この構成において、酸化物膜３のＧｅ１Ｏｘの酸素組成ｘを変えたときの特性への影響、すなわちジッターへの影響を測定した。この測定結果を図９Ａの表２とこれをプロットした図９Ｂのグラフに示す。
このジッター測定において、記録線速度は２×(９．８３ｍ／ｓ)とした。
これによれば、Ｇｅ１Ｏｘの酸素濃度には最適範囲が存在することがわかる。
そして、ジッターの規格値である６．５％を満した酸素濃度は、この表２の測定結果の酸素濃度依存性データから、
１．３≦ｘ≦２．２
が最適範囲であることがわかる。
つまり、本発明の膜構成において、Ｇｅ１Ｏｘ酸素濃度を、１．３≦ｘ≦２．２とすることによって良好な特性の追記型光記録媒体が得られるものである。
次に、この追記型光記録媒体にあって、その特性、特にジッター値への、金属膜２の膜厚、酸化物膜３の膜厚の依存性を考察した。
図１０にその測定結果の表３を示す。
この測定資料の追記型光記録媒体は、全体の膜構成は、基本的には実施例１と同一とした。
この場合、膜厚によって、記録膜の熱特性が変わるために、最適な記録パルスの形状（幅、タイミング、パワー）が変わることから、それぞれの媒体に応じて最適化して、最も良いジッター値のみに注目し、その結果を図１０の表３に示した。
これによると、ここに示した例のみでも、金属膜２の膜厚範囲２０ｎｍから２７ｎｍまで、また酸化物膜３の膜厚範囲１６ｎｍから２２．５ｎｍまでジッター値は、規格値の６．５％をはるかに下回っており、膜厚に対するマージンが極めて大であることがわかる。
図１０にその測定結果の表３を示す。
この測定資料の追記型光記録媒体は、全体の膜構成は、基本的には実施例１と同一とした。
この場合、膜厚によって、記録膜の熱特性が変わるために、最適な記録パルスの形状（幅、タイミング、パワー）が変わることから、それぞれの媒体に応じて最適化して、最も良いジッター値のみに注目し、その結果を図１０の表３に示した。
これによると、ここに示した例のみでも、金属膜２の膜厚範囲２０ｎｍから２７ｎｍまで、また酸化物膜３の膜厚範囲１６ｎｍから２２．５ｎｍまでジッター値は、規格値の６．５％をはるかに下回っており、膜厚に対するマージンが極めて大であることがわかる。
上述した各実施例においては、金属膜２の酸素濃度を２１at．％とした場合であるが、本発明による追記型光記録媒体の特性（ジッター特性）の、金属膜２における酸素濃度に関する依存性を考察した。
［実施例６］
実施例１と同様の構成としたが、この実施例においては、金属膜２のＴｉＳｉ合金の組成は、Ｓｉ組成を２０at．％とし、金属膜２の成膜にあたって、そのスパッタは、ＴｉＳｉ合金のターゲットを用い、Ａｒと酸素ガスの雰囲気中で、リアクティブスパッタにより酸化させ、その酸素ガスの流量調整によって、酸素濃度を変化させたＴｉＳｉＯによる金属膜２を成膜した。
また、酸化物膜３は、そのＧｅ１Ｏｘにおいてｘ＝１．８とした。
実施例１と同様の構成としたが、この実施例においては、金属膜２のＴｉＳｉ合金の組成は、Ｓｉ組成を２０at．％とし、金属膜２の成膜にあたって、そのスパッタは、ＴｉＳｉ合金のターゲットを用い、Ａｒと酸素ガスの雰囲気中で、リアクティブスパッタにより酸化させ、その酸素ガスの流量調整によって、酸素濃度を変化させたＴｉＳｉＯによる金属膜２を成膜した。
また、酸化物膜３は、そのＧｅ１Ｏｘにおいてｘ＝１．８とした。
この場合のジッター測定は、前述した測定方法と同様に、ＢＤ評価装置によって行った。この評価装置は、前述したときと同様のパルステック工業（株）製ＯＤＵ−１０００（ＢＤ仕様）である。光源の波長は４０５．２ｎｍ、対物レンズの開口数Ｎ．Ａ．は０．８５である。
記録密度は、直径１２ｃｍのディスクに２５ＧＢ容量相当とし、記録線速度は２倍速記録の規格に相当する９．８３ｍ／ｓとした。
この記録密度では、リミットイコライザーを通したジッターレベルとして６．５％以下で、記録媒体として良好な特性を有するという判断の指標とすることができる。
記録密度は、直径１２ｃｍのディスクに２５ＧＢ容量相当とし、記録線速度は２倍速記録の規格に相当する９．８３ｍ／ｓとした。
この記録密度では、リミットイコライザーを通したジッターレベルとして６．５％以下で、記録媒体として良好な特性を有するという判断の指標とすることができる。
図１１は、この光記録媒体のジッター値の、金属膜２の酸素濃度依存性の測定結果である。
これによると、酸素を導入することによりジッター値が改善することが示される。これはノイズ成分の低下および酸化物膜ＧｅＯ層の反応性の向上が原因と考えられる。
また、酸素濃度が高すぎるとジッターが悪くなるが、これはＴｉＳｉの吸収係数が低下し感度が徐々に悪くなり、記録時の温度分布が理想的ではなくなることが原因と考えられる。
したがって、酸素をＴｉＳｉ層に導入することは特性改善に非常に有効であり、また、その酸素濃度には最適な範囲が存在し、図１１のジッターの規格６．５％を下回る範囲としては、９原子％以上３８at．％である。
この場合においても、ＳｉのＴｉに対する組成比としては、８at．％以上、３２at．％以下の範囲が良好である。
これによると、酸素を導入することによりジッター値が改善することが示される。これはノイズ成分の低下および酸化物膜ＧｅＯ層の反応性の向上が原因と考えられる。
また、酸素濃度が高すぎるとジッターが悪くなるが、これはＴｉＳｉの吸収係数が低下し感度が徐々に悪くなり、記録時の温度分布が理想的ではなくなることが原因と考えられる。
したがって、酸素をＴｉＳｉ層に導入することは特性改善に非常に有効であり、また、その酸素濃度には最適な範囲が存在し、図１１のジッターの規格６．５％を下回る範囲としては、９原子％以上３８at．％である。
この場合においても、ＳｉのＴｉに対する組成比としては、８at．％以上、３２at．％以下の範囲が良好である。
上述したところから明らかなように、本発明によれば、反射率、感度、光学系等に合わせて、本発明の膜構成をもってすぐれた追記型光記録媒体が実現できる。
短波長、高開口数によるブルーレイ対応の高密度記録を行うＢＤ−Ｒとしてもすぐれた特性の追記型光記録媒体を構成することができるものである。
そして、無機記録膜構成において、その層数を３層ないしは４層にとどめることができ、製造コストの低廉化を図ることができるものである。
また、その光透過層６は、実施例におけるように、ＰＳＡ／樹脂シート構成としても、すぐれた特性を有することができるものであり、安定した保存性、耐久性にすぐれた追記型光記録媒体、例えばＢＤ−Ｒを構成することができる。
短波長、高開口数によるブルーレイ対応の高密度記録を行うＢＤ−Ｒとしてもすぐれた特性の追記型光記録媒体を構成することができるものである。
そして、無機記録膜構成において、その層数を３層ないしは４層にとどめることができ、製造コストの低廉化を図ることができるものである。
また、その光透過層６は、実施例におけるように、ＰＳＡ／樹脂シート構成としても、すぐれた特性を有することができるものであり、安定した保存性、耐久性にすぐれた追記型光記録媒体、例えばＢＤ−Ｒを構成することができる。
１……基板、２……金属膜、３……酸化物膜、４……第１の誘電体膜、５……第２の誘電体膜、６……光透過膜、１０……追記型光記録媒体、１１……凹凸面、１１Ｇ……グルーブ、１１Ｌ……ランド
次に、本発明による追記型光記録媒体を、実施例１〜５を挙げて説明する。
いずれの実施例も、ＢＤ（ブルーレイディスク）の追記型光記録媒体であり、金属膜２の酸素濃度を２１原子％とした。
また、その光学系は、開口数０．８５の２群対物レンズと波長４０５ｎｍの青紫色半導体レーザ光源を用いた光ディスク記録再生装置による。
評価装置はパルステック工業株式会社製のＢＤディスク検査機、ＯＤＵ−１０００を用いた。光源の波長は４０５．２ｎｍである。
再生信号のＣ／Ｎ測定は（独）Ｒｏｈｄｅ−Ｓｃｈｗａｒｔｚ社製のスペクトラムアナライザー、ＦＳＰ３を用いて測定した。
また、ジッター測定はパルステック工業株式会社製のイコライザーボードを通して、横河電機株式会社製のタイムインターバルアナライザー、ＴＡ７２０を用いて測定した。
その他、振幅、変調度などの測定にはテクトロニクス社製のデジタルオシロスコープ、ＴＤＳ７１０４を用いた。
記録の線速度は９．８３ｍ／ｓ（２倍速記録）、再生時の線速度は４．９２ｍ／ｓ（１倍速）、チャンネルビット長は７４．５０ｎｍ（直径１２ｃｍの光ディスクに２５ＧＢの記録密度）で行った。
変調方式は１７ＰＰであり、最短マークである２Ｔマークのマーク長は０．１４９μｍ、８Ｔマークのマーク長は０．５９６μｍである。トラックピッチは、０．３２μｍである。
いずれの実施例も、ＢＤ（ブルーレイディスク）の追記型光記録媒体であり、金属膜２の酸素濃度を２１原子％とした。
また、その光学系は、開口数０．８５の２群対物レンズと波長４０５ｎｍの青紫色半導体レーザ光源を用いた光ディスク記録再生装置による。
評価装置はパルステック工業株式会社製のＢＤディスク検査機、ＯＤＵ−１０００を用いた。光源の波長は４０５．２ｎｍである。
再生信号のＣ／Ｎ測定は（独）Ｒｏｈｄｅ−Ｓｃｈｗａｒｔｚ社製のスペクトラムアナライザー、ＦＳＰ３を用いて測定した。
また、ジッター測定はパルステック工業株式会社製のイコライザーボードを通して、横河電機株式会社製のタイムインターバルアナライザー、ＴＡ７２０を用いて測定した。
その他、振幅、変調度などの測定にはテクトロニクス社製のデジタルオシロスコープ、ＴＤＳ７１０４を用いた。
記録の線速度は９．８３ｍ／ｓ（２倍速記録）、再生時の線速度は４．９２ｍ／ｓ（１倍速）、チャンネルビット長は７４．５０ｎｍ（直径１２ｃｍの光ディスクに２５ＧＢの記録密度）で行った。
変調方式は１７ＰＰであり、最短マークである２Ｔマークのマーク長は０．１４９μｍ、８Ｔマークのマーク長は０．５９６μｍである。トラックピッチは、０．３２μｍである。
金属膜２のＴｉＳｉの組成は、Ｓｉの組成を２０原子％とし、酸素濃度は、２１原子％とした。
また、酸化物膜３のＧｅＯの組成は、Ｇｅ１Ｏｘで、ｘ＝１．８とした。
第１の誘電体膜４のＺｎＳ−ＳｉＯ２の組成は、ＺｎＳ：ＳｉＯ２（原子比）において８０：２０とした。
第２の誘電体膜５は、Ｓｉ３Ｎ４とした。
また、酸化物膜３のＧｅＯの組成は、Ｇｅ１Ｏｘで、ｘ＝１．８とした。
第１の誘電体膜４のＺｎＳ−ＳｉＯ２の組成は、ＺｎＳ：ＳｉＯ２（原子比）において８０：２０とした。
第２の誘電体膜５は、Ｓｉ３Ｎ４とした。
この実施例１による追記型光記録媒体１０と、この構成において、金属膜２のＴｉＳｉの組成を変更したときの記録再生特性、すなわち記録光のパワーＰｗ（記録感度）と、ジッターの測定結果を図３に示す。
ＢＤにおける追記型光記録媒体（ＢＤ−Ｒ）の規格値は、２倍速記録で、記録密度２５ＧＢにおいて、ジッター値が６．５％以下、記録感度が７．０ｍＷであることから、実施例１の構成は、この規格を満たしている。
更に、この結果から、ジッターの規格を満たすには、ＴｉＳｉのＳｉ組成が８原子％（８ａｔ．％）以上であり、記録感度を満たすのは３２原子％（３２ａｔ．％）以下であって、Ｓｉの組成は、８原子％〜３２原子％とすることが、良好な特性を有するＢＤ−Ｒを作製できることが分かる。
ＢＤにおける追記型光記録媒体（ＢＤ−Ｒ）の規格値は、２倍速記録で、記録密度２５ＧＢにおいて、ジッター値が６．５％以下、記録感度が７．０ｍＷであることから、実施例１の構成は、この規格を満たしている。
更に、この結果から、ジッターの規格を満たすには、ＴｉＳｉのＳｉ組成が８原子％（８ａｔ．％）以上であり、記録感度を満たすのは３２原子％（３２ａｔ．％）以下であって、Ｓｉの組成は、８原子％〜３２原子％とすることが、良好な特性を有するＢＤ−Ｒを作製できることが分かる。
［実施例３］
この実施例においては、その膜構成を図５に示すように、実施例１の構成にあって、金属膜２の組成ＴｉＳｉにおいて、そのＳｉを１０原子％とし、膜厚を３０ｎｍとし、酸化物膜３の膜厚を２０ｎｍとした。
そして、ＺｎＳ−ＳｉＯ２による第１の誘電体膜４の膜厚を３０ｎｍとし、ＳｉＮによる第２誘電体膜５の膜厚を１０ｎｍとした。
この実施例においては、その膜構成を図５に示すように、実施例１の構成にあって、金属膜２の組成ＴｉＳｉにおいて、そのＳｉを１０原子％とし、膜厚を３０ｎｍとし、酸化物膜３の膜厚を２０ｎｍとした。
そして、ＺｎＳ−ＳｉＯ２による第１の誘電体膜４の膜厚を３０ｎｍとし、ＳｉＮによる第２誘電体膜５の膜厚を１０ｎｍとした。
［実施例５］
この実施例においては、実施例１と同様の膜構成とするが、ＴｉＳｉ金属膜２のＳｉ組成２０原子％とした。
そして、この構成において、酸化物膜３のＧｅ１Ｏｘの酸素組成ｘを変えたときの特性への影響、すなわちジッターへの影響を測定した。この測定結果を図９Ａの表２とこれをプロットした図９Ｂのグラフに示す。
このジッター測定において、記録線速度は２×（９．８３ｍ／ｓ）とした。
これによれば、Ｇｅ１Ｏｘの酸素濃度には最適範囲が存在することがわかる。
そして、ジッターの規格値である６．５％を満した酸素濃度は、この表２の測定結果の酸素濃度依存性データから、
１．３≦ｘ≦２．２
が最適範囲であることがわかる。
つまり、本発明の膜構成において、Ｇｅ１Ｏｘ酸素濃度を、１．３≦ｘ≦２．２とすることによって良好な特性の追記型光記録媒体が得られるものである。
この実施例においては、実施例１と同様の膜構成とするが、ＴｉＳｉ金属膜２のＳｉ組成２０原子％とした。
そして、この構成において、酸化物膜３のＧｅ１Ｏｘの酸素組成ｘを変えたときの特性への影響、すなわちジッターへの影響を測定した。この測定結果を図９Ａの表２とこれをプロットした図９Ｂのグラフに示す。
このジッター測定において、記録線速度は２×（９．８３ｍ／ｓ）とした。
これによれば、Ｇｅ１Ｏｘの酸素濃度には最適範囲が存在することがわかる。
そして、ジッターの規格値である６．５％を満した酸素濃度は、この表２の測定結果の酸素濃度依存性データから、
１．３≦ｘ≦２．２
が最適範囲であることがわかる。
つまり、本発明の膜構成において、Ｇｅ１Ｏｘ酸素濃度を、１．３≦ｘ≦２．２とすることによって良好な特性の追記型光記録媒体が得られるものである。
上述した各実施例においては、金属膜２の酸素濃度を２１原子％とした場合であるが、本発明による追記型光記録媒体の特性（ジッター特性）の、金属膜２における酸素濃度に関する依存性を考察した。
［実施例６］
実施例１と同様の構成としたが、この実施例においては、金属膜２のＴｉＳｉ合金の組成は、Ｓｉ組成を２０原子％とし、金属膜２の成膜にあたって、そのスパッタは、ＴｉＳｉ合金のターゲットを用い、Ａｒと酸素ガスの雰囲気中で、リアクティブスパッタにより酸化させ、その酸素ガスの流量調整によって、酸素濃度を変化させたＴｉＳｉＯによる金属膜２を成膜した。
また、酸化物膜３は、そのＧｅ１Ｏｘにおいてｘ＝１．８とした。
実施例１と同様の構成としたが、この実施例においては、金属膜２のＴｉＳｉ合金の組成は、Ｓｉ組成を２０原子％とし、金属膜２の成膜にあたって、そのスパッタは、ＴｉＳｉ合金のターゲットを用い、Ａｒと酸素ガスの雰囲気中で、リアクティブスパッタにより酸化させ、その酸素ガスの流量調整によって、酸素濃度を変化させたＴｉＳｉＯによる金属膜２を成膜した。
また、酸化物膜３は、そのＧｅ１Ｏｘにおいてｘ＝１．８とした。
図１１は、この光記録媒体のジッター値の、金属膜２の酸素濃度依存性の測定結果である。
これによると、酸素を導入することによりジッター値が改善することが示される。これはノイズ成分の低下および酸化物膜ＧｅＯ層の反応性の向上が原因と考えられる。
また、酸素濃度が高すぎるとジッターが悪くなるが、これはＴｉＳｉの吸収係数が低下し感度が徐々に悪くなり、記録時の温度分布が理想的ではなくなることが原因と考えられる。
したがって、酸素をＴｉＳｉ層に導入することは特性改善に非常に有効であり、また、その酸素濃度には最適な範囲が存在し、図１１のジッターの規格６．５％を下回る範囲としては、９原子％以上３８原子％（すなわち、８ａｔ．％以上、３２ａｔ．％以下）である。
この場合においても、ＳｉのＴｉに対する組成比としては、８原子％以上、３２原子％以下の範囲が良好である。
これによると、酸素を導入することによりジッター値が改善することが示される。これはノイズ成分の低下および酸化物膜ＧｅＯ層の反応性の向上が原因と考えられる。
また、酸素濃度が高すぎるとジッターが悪くなるが、これはＴｉＳｉの吸収係数が低下し感度が徐々に悪くなり、記録時の温度分布が理想的ではなくなることが原因と考えられる。
したがって、酸素をＴｉＳｉ層に導入することは特性改善に非常に有効であり、また、その酸素濃度には最適な範囲が存在し、図１１のジッターの規格６．５％を下回る範囲としては、９原子％以上３８原子％（すなわち、８ａｔ．％以上、３２ａｔ．％以下）である。
この場合においても、ＳｉのＴｉに対する組成比としては、８原子％以上、３２原子％以下の範囲が良好である。
Claims (8)
- 無機記録膜を有する追記型光記録媒体であって、
上記無機記録膜が、
ゲルマニウム（Ｇｅ）の酸化物ＧｅＯを主成分とする酸化物膜と、
該酸化物膜に隣接するチタン（Ｔｉ）を主成分とする金属膜とを有して成る
ことを特徴とする追記型光記録媒体。 - 上記金属膜が酸化されており、該金属膜の酸素の組成が９原子％以上３８原子％以下である
ことを特徴とする請求項１に記載の追記型光記録媒体。 - 上記金属膜が、チタン・シリコン合金ＴｉＳｉを主成分とする金属膜より成る
ことを特徴とする追記型光記録媒体。 - 上記金属膜が酸化されており、該金属膜の酸素の組成が９原子％以上３８原子％以下である
ことを特徴とする請求項３に記載の追記型光記録媒体。 - 上記ＧｅＯを主成分とする酸化物膜の上記金属膜と隣接する側とは反対側の面に、誘電体膜が隣接して配置されて成る
ことを特徴とする請求項１または３に記載の追記型光記録媒体。 - 上記誘電体膜が、ＺｎＳ−ＳｉＯ２より成る
ことを特徴とする請求項５に記載の追記型光情報録媒体。 - 上記誘電体膜が、上記ＧｅＯを主成分とする酸化物膜に隣接する第１の誘電体膜と、該第１の誘電体膜上に形成された第２の誘電体膜とを有して成り、
上記第１の誘電体膜がＺｎＳ−ＳｉＯ２より成り、上記第２の誘電体膜が、ＳｉＮより成ることを特徴とする請求項５に記載の追記型光記録媒体。 - 上記酸化物膜のＧｅＯの酸素濃度が、Ｇｅ1Ｏｘの原子組成としたとき、
１．３≦ｘ≦２．２
である
ことを特徴とする請求項１または３に記載の追記型光記録媒体。
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